本发明公开了一种谐振器的调频方法,包括：对目标晶圆上的谐振器组中的谐振器进行谐振频率测试,得到测试结果；根据测试结果,从谐振器组中确定待调整谐振器以及待调整谐振器的调整类型；对待调整谐振器进行模拟仿真,确定待调整谐振器的待调频区域；根据待调整谐振器的调整类型,对待调频区域进行沉积操作或刻蚀操作,沉积操作用于增加待调频区域的厚度,降低待调频区域的谐振频率,刻蚀操作用于降低待调频区域的厚度,提高待调频区域的谐振频率。本申请对未达标的谐振器进行优化,实现精准地调频,提高达标率。