本发明提供振动器件,能够抑制振荡特性的下降。振动器件具有：半导体基板,其具有第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面；振动片,其配置在所述第1面；电路元件,其配置在所述第1面,包含振荡电路；布线,其配置在所述第1面,将所述振动片和所述振荡电路电连接；处理电路,其配置在所述第2面,处理所述振荡电路的输出信号；以及贯通电极,其贯通所述半导体基板,将所述振荡电路和所述处理电路电连接。