本发明专利涉及声表面波滤波器,具体涉及本发明提出一种射频声表面波滤波器,包括压电基片以及压电基片上方的结构单元,结构单元为梳状设置的金属指条,每根金属指条的四个端角进行加宽处理,形成活塞式加权,加权的尺寸为：x轴方向的长度为金属指条宽度/20～金属指条宽度/2、y轴方向的长度为金属指条宽度/10～金属指条宽度；本发明对金属指条进行加权设计,提高剥离精确度,使金属指条表面光滑平整,减小表面波能量损耗,使得在中心频率大于2GHz的声表面波滤波器的顶部插损能够减小到1.0以内；该结构也可以补偿曝光显影设备在制作金属指条的失真现象,利用现有设备高精度制作更细的金属指条,实现超高中心频率滤波器的制作。

本发明实施例公开了一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器,声表面波谐振器包括：压电层、介质层和电极层；介质层位于压电层上；电极层位于介质层远离压电层的一侧,电极层包括叉指换能器；声表面波谐振器的带宽随介质层的厚度增大而减小。本发明实施例的技术方案通过改进声表面波谐振器的结构实现其带宽的可调性,进而可以实现声表面波滤波器的带宽可调性,同时还可以实现声表面波滤波器的小型化,降低成本。

本发明提供一种难以产生IDT电极彼此相邻的部分处的汇流条的形成不良并且能够促进小型化的弹性波装置。该弹性波装置具备：压电基板；和多个弹性波谐振器,构成于压电基板,且包含第1、第2弹性波谐振器,第1弹性波谐振器具有第1IDT电极,该第1IDT电极包含对置的第1、第2汇流条以及与第2汇流条连接的电极指,第2弹性波谐振器具有第2IDT电极,该第2IDT电极包含对置的第3、第4汇流条以及与第3汇流条连接的电极指,第2、第3汇流条分别具有长度方向,并且在与长度方向垂直的方向上隔开间隙而被配置,第2汇流条在至少1个部位具有开口部,第2汇流条的开口部的数量比与第2汇流条连接的电极指的数量少。

弹性波滤波器装置(1)具备具有在弹性波传播方向上排列的奇数个IDT电极(11～15)的纵向耦合型弹性波谐振器(10)以及具有奇数个IDT电极(21～25)的纵向耦合型弹性波谐振器(20),IDT电极(11～15)之中配置在第奇数个的IDT电极(11、13以及15)与节点(N1)连接,配置在第偶数个的IDT电极(12以及14)与节点(N2)连接,IDT电极(21～25)之中配置在第奇数个的IDT电极(21、23以及25)与节点(N2)连接,配置在第偶数个的IDT电极(22以及24)与节点(N1)连接,与节点(N1)连接的IDT电极的数目和与节点(N2)连接的IDT电极的数目相等。

提供一种弹性波装置,能够高精度地调整声速,难以产生声损失。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠有能量封闭层(3)、压电膜(4)及IDT电极(7),并且设置有声速调整膜(11、12),该声速调整膜(11、12)设置在压电膜(4)与支承基板(2)之间的至少一部分,并且由与压电膜(4)不同的材料构成。

滤波器(12)具有配置在信号路径上的串联谐振器(S1～S4),构成串联谐振器(S1～S4)的IDT电极包含具有异型部的第1电极指以及不具有异型部的第2电极指中的至少一者,在构成串联谐振器(S1～S4)中的一个以上的串联谐振器的IDT电极中,将多个电极指各自的另一端彼此连结的方向(D)与弹性波传播方向交叉,该IDT电极包含第1电极指,构成其它串联谐振器的IDT电极的位于弹性波传播方向上的中央的第1部分仅包含第1电极指,位于第1部分的两侧的第2部分以及第3部分仅包含第2电极指。

滤波器(12)具有配置在信号路径上的串联谐振器(S1～S4),构成串联谐振器(S1～S4)的IDT电极包含具有异型部的第1电极指以及不具有异型部的第2电极指中的至少一者,在构成串联谐振器(S1～S4)中的一个以上的串联谐振器的IDT电极中,将多个电极指各自的另一端彼此连结的方向(D)与弹性波传播方向交叉,该IDT电极在第1部分和第2部分中以一定的排列顺序配置了第1电极指和第2电极指。

滤波器,包括：形成于第一压电基板上的梯型滤波器单元；以及,与其连接,形成于与所述第一压电基板不同的第二压电基板上的多模式型滤波器单元；所述梯型滤波器及所述多模式型滤波器单元构成一个通带。

提供一种弹性波装置,能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器的抗蚀剂的残渣。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)及反射器(13A、13B)。IDT电极(3)具有：沿着第一方向(x)(弹性波传播方向)设置有第一、第二开口部(4d、6d)的第一、第二汇流条(4、6)；第一、第二边缘区域(Ca、Cb)；和第一、第二间隙区域(Da、Db)。由第一、第二边缘区域(Ca、Cb)构成低声速区域,由设置有第一、第二开口部(4d、6d)的区域构成高声速区域。反射器(13A)具有第一、第二反射器汇流条(14A、16A)和第二端部(15a)与第二反射器汇流条(16A)对置的第一反射电极指(15A),在从第一方向(x)观察时,第一反射电极指(15A)与第二间隙区域(Db)的全部重叠。

提供一种能够有效地抑制横模的弹性波装置。弹性波装置(1)具备具有晶轴(Z)的压电性基板(2)(压电体层)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)。在将弹性波传播方向设为第1方向(d1),并将与第1方向(d1)正交的方向设为第2方向(d2)时,压电性基板(2)的晶轴(Z)相对于厚度方向而向第2方向(d2)倾斜。IDT电极(3)具有彼此相互交错对插的多个第1电极指(6)和多个第2电极指。第1电极指(6)和第2电极指在第1方向(d1)上相互重叠的部分为交叉区域(A)。交叉区域(A)具有位于第2方向(d2)上的中央侧的中央区域(B)、和配置在中央区域(B)的第2方向(d2)两侧且与中央区域(B)中的声速相比声速低的第1、第2低声速区域。第1低声速区域的结构和第2低声速区域的结构为非对称。