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没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法,如有等离子产生
用于EUV光源中的源材料调节的激光系统
公开了一种装置和方法,其中在施加主电离脉冲之前将来自单个激光源的多个(例如,两个或更多个)脉冲施加到源材料,其中多个脉冲由公共激光源生成。当源材料处于第一位置时,第一脉冲被引导朝向源材料,而当源材料处于第二位置时,第二脉冲被引导朝向源材料。
2021-10-29
访问量:24
控制液滴生成器性能的设备和方法
一种控制用于生成EUV辐射的液滴的形成的设备和方法。液滴源包括离开喷嘴的流体和具有在流体中产生扰动的可电致动元件的子系统。液滴源产生流,该流分裂成液滴,当液滴朝向辐照区域前进时,液滴转而聚结成更大的液滴。可电致动元件由具有正弦波分量和方波分量的控制信号驱动。测量和控制各种参数,诸如正弦波分量与方波分量之间的相位差,以使流中未聚结的卫星液滴的形成最小化。
2021-10-15
访问量:25
极紫外光源中的目标提供控制装置和方法
一种用于极紫外(EUV)光源的目标装置(300)包括目标发生器、传感器模块(130)和目标发生器控制器(325)。目标发生器包括被配置为容纳在等离子体状态下产生EUV光的目标材料(114)的容器(115)和与容器流体连通的喷嘴结构(117)。目标发生器在喷嘴结构中限定开口(119),从容器接收的目标材料通过该开口被释放。传感器模块被配置为:当目标材料沿着朝向目标空间(112)的轨迹行进时,检测与从开口释放的目标材料相关的方面,并且从检测到的方面产生一维信号。目标发生器控制器与传感器模块和目标发生器通信,并且被配置为基于对一维信号的分析来修改目标材料的特性。
2021-10-01
访问量:29
强、窄带、完全相干、软X射线的可调谐源
一种用于产生软X射线的设备,包括:电子源,被配置为产生包括电子微聚束的电子束;电子加速器,被配置为使来自电子源的电子微聚束加速;以及激光器,被配置为产生激光束(536),激光束与被加速的电子微聚束(534)在反向传播方向上碰撞以通过逆康普顿散射产生软X射线。电子源具有磁光阱,配置为产生超冷原子气体;两个反向传播的激励激光束,被配置为产生驻波,用于沿射束传播方向引起超冷原子气体的周期性空间调制;以及电离激光器,被配置为引起超冷原子气体的光致电离。
2021-09-28
访问量:37
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技术分类
没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法,如有等离子产生
用于有多于一个阳极的X射线管的电路装置;用于包含有多于一个X射线管设备的电路装置
用于Lilienfeld管的电路装置;用于充气X射线管的电路装置
用于带有相对于阳极可移动的靶的X射线管的电路装置
用于配备有电子影像变换器,例如影像增强器X射线设备的电路装置
用于获得运动目标物在预定瞬间的X射线照片的电路装置,例如X射线频闪观测仪
为获得立体照片的
用于取得一系列X射线照相片或用于X射线电影摄影的电路装置
从一种工作方式变换为另一种工作方式的切换装置,例如从X射线透视变换为射线照相,从X射线透视变换为辐照
接通;断开
保护
靶的大小或形状;电子束的方向,例如在有一个阳极和多个阴极的管子中
仅在电压波形处于限定的范围内时流过管电流
设备接通的瞬间所出现电压降的补偿
一些不同量组合控制,例如,辐照时间以及电压或电流
其中通过直接测量辐射量确定其切换时刻的
应用当加到预定的辐射剂量之后即进行切换的装置的,例如,其切换时刻是通过测量加到该管子上的电能量而确定的
应用可调定时开关的
辐照时间
阳极温度;图像亮度
X射线管的阳极电流、热丝电流、热丝电压
X射线设备或管的电源电压
控制
实际辐照时间的测量或记录;辐照次数的计数;所需辐照时间的测量
测量,控制,保护
通过使用储能器件得到脉冲的
用单脉冲供电的
带有高频交流电供电的;用脉冲串供电的
带有多相低频交流电供电的
降低反向峰值电压的
带有单相低频交流电供电的
带有直流电供电的或用单相交流电经整流供电的
给X射线管馈电的电源装置
电气零部件
将X射线管和至少部分电源设备安装在同一壳内的
X射线管在密闭壳内的安装
结构零部件
有X射线管的X射线设备;其所用电路
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