公开了一种装置和方法,其中在施加主电离脉冲之前将来自单个激光源的多个(例如,两个或更多个)脉冲施加到源材料,其中多个脉冲由公共激光源生成。当源材料处于第一位置时,第一脉冲被引导朝向源材料,而当源材料处于第二位置时,第二脉冲被引导朝向源材料。

一种控制用于生成EUV辐射的液滴的形成的设备和方法。液滴源包括离开喷嘴的流体和具有在流体中产生扰动的可电致动元件的子系统。液滴源产生流,该流分裂成液滴,当液滴朝向辐照区域前进时,液滴转而聚结成更大的液滴。可电致动元件由具有正弦波分量和方波分量的控制信号驱动。测量和控制各种参数,诸如正弦波分量与方波分量之间的相位差,以使流中未聚结的卫星液滴的形成最小化。

一种用于极紫外(EUV)光源的目标装置(300)包括目标发生器、传感器模块(130)和目标发生器控制器(325)。目标发生器包括被配置为容纳在等离子体状态下产生EUV光的目标材料(114)的容器(115)和与容器流体连通的喷嘴结构(117)。目标发生器在喷嘴结构中限定开口(119),从容器接收的目标材料通过该开口被释放。传感器模块被配置为：当目标材料沿着朝向目标空间(112)的轨迹行进时,检测与从开口释放的目标材料相关的方面,并且从检测到的方面产生一维信号。目标发生器控制器与传感器模块和目标发生器通信,并且被配置为基于对一维信号的分析来修改目标材料的特性。

一种用于产生软X射线的设备,包括：电子源,被配置为产生包括电子微聚束的电子束；电子加速器,被配置为使来自电子源的电子微聚束加速；以及激光器,被配置为产生激光束(536),激光束与被加速的电子微聚束(534)在反向传播方向上碰撞以通过逆康普顿散射产生软X射线。电子源具有磁光阱,配置为产生超冷原子气体；两个反向传播的激励激光束,被配置为产生驻波,用于沿射束传播方向引起超冷原子气体的周期性空间调制；以及电离激光器,被配置为引起超冷原子气体的光致电离。