一种粒子计数器的工作方法

本发明提供一种粒子计数器的工作方法包括：对光电接收模组进行预标定。所述预标定包括：提供激光光源,使激光光源的光照完全覆盖照射所述光电转换器；测量前置放大电路的实际输出电压,与标准输出电压对比,得到修正系数。根据修正系数和每种粒径粒子对应的标准门槛电压,设置每种粒径粒子对应通道的数字模拟转换器的输出电压；在光学模组输出的光场中通入待检测的粒子气流,通过输出电压分辨出每种粒径粒子的粒子数。该技术方案的有益效果在于,通过对光电接收模组的预标定,得到粒子计数器的修正系数,保证光电接收模组的一致性,提高粒子计数器的计数准确度和精度。

2021-10-26

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一种粒子计数器的工作方法

本发明提供一种粒子计数器的工作方法,包括：对光学模组进行标定,使光学模组输出的光的平均光强保持一致；对光电接收模组进行标定,使光电接收模组的前置放大电路的输出电压保持一致；对电路系统进行标定,通过电位计对不同粒径尺寸的粒子的门槛电压进行调节,使得在同一流量的情况下,粒子计数器的粒子计数值与标准粒子计数器的计数值保持一致；还包括,在完成上述任一步骤后,在粒子计数器的测量腔中通入待检测的粒子气流,通过比较所述待检测的粒子气流中粒子的输出电压分辨出每种尺寸粒径的粒子数。通过对粒子计数器的光学模组、光电接收模组以及电路系统的标定,提高粒子计数器的计数准确度和精度；且通过电位计调节,操作简便。

2021-10-26

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一种粒子计数方法

本发明提供一种粒子计数方法,包括：标定光电探测部件；标定不同粒径的粒子对应的门槛电压；基于所述门槛电压设置粒子通道的电位计调整的比较电压值,通过比较器比较光电探测部件的输出电压与所述比较电压值分辨粒子大小并统计数量。通过电位计调节比较器的比较电压值,能够高效且准确的完成计数,成本低；标定粒子计数器后进行计量,步骤简洁且极大降低了最终计量结果的偏差范围,不依赖于标准计数器和人工操作水平,计量效率高、可靠性好,易于实现,有利于计量技术的进一步推广和发展。

2021-10-26

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粒子计数器标定方法及粒子计量方法

本发明提供的粒子计数器标定方法,包括：第一标定过程:对粒子计数器的激光工作区域进行标定；第二标定过程：将固定浓度的预知粒径的粒子气流通过标定后的所述激光工作区域,采用带有高速ADC板卡的Labview采集系统标定与所述预知粒径对应的门槛电压；辅助标定过程：采用外设工装对光电接收模组进行标定,所述外设工装包括提供均匀激光的激光器。改变了传统依赖于人工和标准粒子计数器进行标定的做法,标定效率高、精度好。本发明还提供的粒子计量方法因采用本发明的标定方法标定的粒子计数器实施而具有相应优势；能够更加细化粒径分布,将粒子浓度提升到一个更高的档次,推动计量技术的进一步发展。

2021-10-26

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粒子计数器的标定方法及工作方法

本发明提供一种粒子计数器的标定方法,包括对光学模组进行标定,对光电接收模组进行标定；对光学模组进行标定包括：一次标定,将光学模组输出的光投射至激光光斑采集器上,判断呈现的光斑是否符合要求；对符合要求的光学模组进行二次标定,接入光功率计,计算激光器输出的总功率,通过调整给激光器供电的电源,使得激光器输出的总功率与标准功率保持一致。通过对光学模组和光电接收模组的标定,能够提高粒子计数器的计数准确度和精度,保证产品的一致性。本发明还提供一种粒子计数器的工作方法,产品一致性高,避免不同的粒子计数器对同一束粒子气流的分类计数结果不同。

2021-10-26

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一种粒子计数器的标定方法及工作方法

本发明提供一种粒子计数器的标定方法,包括对光学模组进行标定,对光电接收模组进行标定；对光学模组进行标定包括：初步标定,将光学模组输出的光投射至激光光斑采集器上,判断呈现的光斑是否符合要求；对符合要求的光学模组进行二次标定,对光斑进行切割,得到固定面积的光斑,接入光功率计,调整光学模组的电源供电,使得固定面积的光斑的平均光强与标准光强的偏差控制在10%以内。通过对光学模组和光电接收模组的标定,能够提高粒子计数器的计数准确度和精度,保证产品的一致性。本发明还提供一种粒子计数器的工作方法,产品一致性高,避免不同的粒子计数器对同一束粒子气流的分类计数结果不同。

2021-10-26

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粒子计数器计量方法

本发明提供粒子计数器计量方法,包括：将激光器的输出光束进行整形得到工作光束；标定前置放大电路的输出电压；标定不同粒径对应的门槛电压；设置DAC的门限值,通过比较器完成不同通道的计数。通过设置DAC结合比较器,能够高效且准确的完成计数,成本低、功耗小；标定粒子计数器后进行计量,步骤简洁且极大降低了最终计量结果的偏差范围,计量效率高、可靠性好,易于实现,有利于计量技术的进一步推广和发展。

2021-10-26

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粒子计数器标定方法及工作方法

本发明提供粒子计数器标定方法,包括：第一步.标定光学模组；第二步.标定光电接收模组；第三步.数据采集,标定粒径通道对应的门槛电压；所述第二步中,在工作区域加设光路转折元件将所述工作光束转折后覆盖照射光敏元件,测量前置放大电路输出电压,调节所述输出电压与预设输出电压标准值一致。一体化实施光学模组的标定和光电接收模组的标定,极大降低了粒子计数器标定的偏差,标定效率高、精确度好,易于实现。本发明还提供的粒子计数器工作方法因采用本发明的标定方法,标定粒子计数器后工作而具有相应优势；能够更加细化粒径分布,将粒子浓度提升到一个更高的档次,推动计量技术的进一步发展。

2021-10-26

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一种湿法刻蚀设备及其管理方法

本发明公开了一种湿法刻蚀设备及其管理方法,湿法刻蚀设备包括缓冲区和刻蚀区,在缓冲区内靠近刻蚀区的入口处设置有气雾监控装置,以在入口打开时监控从刻蚀区扩散至缓冲区的气雾的颗粒数量；气雾监控装置与湿法刻蚀设备的上位机连接,在气雾的颗粒数量积累到预设值时,气雾监控装置向上位机发送报警信号；上位机根据报警信号控制报警器报警。本发明的技术方案可以对扩散至缓冲区的气雾的颗粒数量进行监控,在气雾的颗粒数量达到需要清理的阈值时,通知人员及时对缓冲区进行清理,避免现有技术中清理不及时容易污染基板增加不良率,或清理过于频繁造成能源浪费。

2021-10-26

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用于颗粒辨别的参数

本公开内容的方面包括用于表征流动流中的样品的颗粒的方法。根据某些实施例的方法包括检测来自流动流中具有细胞的样品的光,生成询问区域中的流动流中的对象的图像,以及基于所生成的图像确定流动流中的对象是否是聚集体。还描述了具有处理器的系统,该处理器具有可操作地耦合到该处理器的存储器,该存储器具有存储在其上的指令,所述指令在由处理器执行时使该处理器生成流动流中的对象的图像并且确定该对象是否为聚集体。还提供了具有用于实施主题方法的编程的集成电路设备(例如,现场可编程门阵列)。

2021-10-22

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