本发明提供一种石英半球谐振子激光和超声辅助磨削制造装备及其方法,装备包括：数控微纳移动旋转工作台、磨削装置和激光辅助加工装置,谐振子固定装夹在数控微纳移动旋转工作台上,绕Z轴进行回转,并进行连续圆周进给运动,沿Z轴前后移动,磨削装置沿C轴旋转及沿C轴前后移动,对谐振子上不同区域进行超声振动辅助磨削加工,激光辅助加工装置与C轴成一定偏角,对谐振子上即将加工表面辅助加热。本发明采用的球形磨头是陶瓷结合剂掺杂氧化铈的金刚石砂轮,磨头杆通过超声波换能器和变幅器与气浮主轴连接实现超声辅助加工,磨削过程中采用CO-(2)激光束实现激光辅助加工,从而利用超声振动辅助和激光辅助实现谐振子的磨削、精密磨削和超精密磨削。