本发明的目的在于提供一种能够实现小型化及低成本化的粒子束装置。粒子束装置(1)具备偏转电磁体(15),该偏转电磁体(15)能够导入来自离子种类互不相同的第1离子源(11)及第2离子源(12)的各离子束(B1、B2),且能够通过切换磁场强度将离子束(B1、B2)中的一个选择性地射出至射束传输系统(19),偏转电磁体(15)具有：偏转功能,使应该射出至射束传输系统(19)的离子束向射束传输系统(19)偏转；及分析功能,减少混合在该离子束中的不同种类的射束朝射束传输系统(19)的射出。

本发明公开了一种带有磁极定位环的四极透镜组件和该定位环的安装方法,该组件包括靠近小半径处设有周向90度均匀间隔的四块磁极、以及环绕在四块磁极外侧磁轭,该四极透镜组件轴向的前、后端面上,各设有第一级磁极定位机构和第二级磁极定位机构,该第一级磁极定位机构为布设在上半个四极透镜和下半个四极透镜对接处的左右两个骑缝销钉,该第二级磁极定位机构为环绕连接四极透镜小半径处四个磁极的磁极定位环,该方法是：配打定位销孔前,测量磁场并确定相对位置；配打每一组四极透镜外圈和内圈的定位销孔,安装束流管道前拆卸四极透镜,安装束流管道后采用销钉复位组装N个四极透镜组件。本发明使得磁场均匀度误差由千分之三提高到万分之五。