阅读说明：本技术 一种新式扫描电子显微镜 (Novel scanning electron microscope ) 是由 马银平 沈非 于 2020-05-29 设计创作，主要内容包括：本发明涉及新式扫描电子显微镜,包括电子显微镜主体,以及底座；底座上设置有安装电子显微镜主体的安装座,底座上设置有供安装座放置的安装槽,安装槽的底面以及内壁均设置有减振件；安装座上设置有对电子显微镜主体安装减振的减振组件；通过将安装电子显微镜主体的部分分为底座和安装座两部分,且两部分接触处设置减振件减振,并在安装座上设置对电子显微镜主体安装减振的减振组件,不仅设置安装方便,且具有较好的二次减振效果。(The invention relates to a novel scanning electron microscope, which comprises an electron microscope main body and a base; the base is provided with a mounting seat for mounting the electron microscope main body, the base is provided with a mounting groove for placing the mounting seat, and the bottom surface and the inner wall of the mounting groove are provided with vibration damping parts; the mounting base is provided with a vibration reduction assembly for mounting vibration reduction on the electron microscope main body; the part for installing the electron microscope main body is divided into the base and the installation seat, the vibration damping part is arranged at the contact position of the two parts for damping vibration, and the vibration damping component for installing the vibration damping part on the electron microscope main body is arranged on the installation seat, so that the installation is convenient, and a better secondary vibration damping effect is achieved.)

一种新式扫描电子显微镜

技术领域

本发明涉及扫描电子显微镜技术领域，更具体地说，涉及一种新式扫描电子显微镜。

背景技术

扫描电子显微镜用于进行显微扫描，其对精度要求较高，需要尽可能的去减少来自外界的振动影响；目前，针对落地式的扫描电子显微镜来说，其放置在地面上，其对于减振的要求会较高，常规的安装方式很难达到要求。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种新式扫描电子显微镜。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

构造一种新式扫描电子显微镜，其中，包括电子显微镜主体，以及底座；所述底座上设置有安装所述电子显微镜主体的安装座，所述底座上设置有供所述安装座放置的安装槽，所述安装槽的底面以及内壁均设置有减振件；所述安装座上设置有对所述电子显微镜主体安装减振的减振组件。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述电子显微镜主体包括真空室，所述真空室内设置有物料载台；所述真空室上设置有对所述物料载台发射电子束的电子束发射组件，和接收经由物料反射后二次电子并将其转换成数字信号发送至计算机的接收处理单元。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述安装座上设置有部分容纳所述真空室的容纳槽；所述减振组件包括设置在所述安装座的上表面的吊架，所述吊架通过多根垂直的吊绳与所述真空室的上表面连接；所述真空室的底面与所述容纳槽的内底面不接触，且所述真空室的底面设置有磁吸件，所述容纳槽的内底面设置有吸附所述磁吸件的磁性件；所述容纳槽的内壁设置有对所述真空室的外侧表面限位的弹性限位件。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述弹性限位件为弹性气囊，多个所述弹性限位件通过多通管连通。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述真空室的外侧表面包裹有硅胶减振外层，所述硅胶减振外层具有至少三个外侧表面，每一所述外侧表面正对有至少一个所述弹性气囊。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述多通管包括环形管，所述环形管的内侧分布设置有多个一一对应连接所述弹性气囊的支管，所述环形管的外侧设置有进出气管。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述容纳槽的开口处设置有环形台阶，所述环形台阶上成型有安装所述多通管的安装槽；所述环形台阶上还可拆卸连接有压紧所述多通管固定的环形盖板；所述安装座的一侧表面设置有连通所述环形台阶供所述进出气管通过的开孔。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述底座上设置有振动监测传感器，所述进出气管上连接有充放气机构；所述新式扫描电子显微镜还包括控制所述充放气机构运行的控制器；所述振动监测传感器监测到振动超过阀值时，发送信号至所述控制器，所述控制器控制所述充放气机构放气，所述弹性气囊与所述电子显微镜主体脱离接触状态。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述吊架设置有对所述吊绳收放卷的收放卷轮以及驱动所述收放卷轮转动的伺服电机；所述伺服电机与所述控制器通讯连接并受其控制。

本发明所述的新式扫描电子显微镜，其中，所述振动监测传感器监测到振动超过阀值时，发送信号至所述控制器，所述控制器控制所述伺服电机运行，带动所述收放卷轮转动，对所述吊绳放卷，减小所述磁吸件和所述磁性件之间间距。

本发明的有益效果在于：通过将安装电子显微镜主体的部分分为底座和安装座两部分，且两部分接触处设置减振件减振，并在安装座上设置对电子显微镜主体安装减振的减振组件，不仅设置安装方便，且具有较好的二次减振效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，下面描述中的附图仅仅是本发明的部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图：

图1是本发明较佳实施例的新式扫描电子显微镜结构示意图；

图2是本发明较佳实施例的新式扫描电子显微镜原理框图。

具体实施方式

为了使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。

本发明较佳实施例的新式扫描电子显微镜，如图1所示，同时参阅图2，包括电子显微镜主体，以及底座2；底座2上设置有安装电子显微镜主体的安装座3，底座2上设置有供安装座3放置的安装槽20，安装槽20的底面以及内壁均设置有减振件200；安装座3上设置有对电子显微镜主体安装减振的减振组件；通过将安装电子显微镜主体的部分分为底座2和安装座3两部分，且两部分接触处设置减振件减振，并在安装座3上设置对电子显微镜主体安装减振的减振组件，不仅设置安装方便，且具有较好的二次减振效果。

优选的，电子显微镜主体包括真空室10，真空室10内设置有物料载台100；真空室10上设置有对物料载台100发射电子束的电子束发射组件11，和接收经由物料反射后二次电子并将其转换成数字信号发送至计算机的接收处理单元12；

较佳的，电子束发射组件11可以包括发射电子束的电子枪、为电子枪发射的电子束进行会聚的聚光镜、对聚光镜聚焦后电子束滤除离轴的电子束的光阑机构、使得经过光阑机构后电子束作扫描动作的扫描线圈，以及位于扫描线圈下方将电子束聚焦成点的聚焦透镜；真空室内设置有带动物料载台纵向和/或横向运动的调节机构；经由聚焦透镜汇聚的电子束投射在物料上产生二次电子。

优选的，安装座3上设置有部分容纳真空室10的容纳槽30；减振组件包括设置在安装座3的上表面的吊架31，吊架31通过多根垂直的吊绳310与真空室10的上表面连接；真空室10的底面与容纳槽30的内底面不接触，且真空室10的底面设置有磁吸件101，容纳槽30的内底面设置有吸附磁吸件101的磁性件300；容纳槽30的内壁设置有对真空室10的外侧表面限位的弹性限位件32；依靠吊架31和吊绳310来使得真空室10悬空设置，将来自外界的纵向的振动干扰能够降低到最低程度，并在纵向方向上依靠磁吸件101和磁性件300的吸附作用力来减少晃动，再利用弹性限位件32对真空室10进行横向的限位以及横向的减振，从而达到减少绝大部分外界振动的目的。

优选的，弹性限位件32为弹性气囊32，多个弹性限位件32通过多通管33连通；便于多个弹性气囊32相互连通，对真空室10提供较为均匀的挤压力，同时具有很好的缓冲减振，以及自动复位的效果。

优选的，真空室10的外侧表面包裹有硅胶减振外层102，硅胶减振外层102具有至少三个外侧表面，每一外侧表面正对有至少一个弹性气囊32；稳定性好。

优选的，多通管33包括环形管330，环形管330的内侧分布设置有多个一一对应连接弹性气囊32的支管331，环形管330的外侧设置有进出气管332；便于进行装配。

优选的，容纳槽30的开口处设置有环形台阶301，环形台阶301上成型有安装多通管33的安装槽；环形台阶301上还可拆卸连接有压紧多通管33固定的环形盖板302；安装座3的一侧表面设置有连通环形台阶301供进出气管332通过的开孔34；便于装配，且稳定性好。

优选的，底座2上设置有振动监测传感器20，进出气管332上连接有充放气机构4；新式扫描电子显微镜还包括控制充放气机构4运行的控制器5；振动监测传感器20监测到振动超过阀值时，发送信号至控制器5，控制器5控制充放气机构4放气，弹性气囊32与电子显微镜主体脱离接触状态；当遭遇到振动时，第一时间使得弹性气囊32与电子显微镜主体脱离接触状态，即电子显微镜主体处于完全悬空状态，将后续振动带来的干扰降到最低。

优选的，吊架31设置有对吊绳310收放卷的收放卷轮311以及驱动收放卷轮311转动的伺服电机312；伺服电机312与控制器5通讯连接并受其控制；振动监测传感器20监测到振动超过阀值时，发送信号至控制器5，控制器5控制伺服电机312运行，带动收放卷311轮转动，对吊绳310放卷，减小磁吸件101和磁性件300之间间距；当遭遇到振动时，使得处于悬空状态的电子显微镜主体下降，减小磁吸件101和磁性件300之间间距，即对处于悬空状态的电子显微镜主体施加更大的向下吸附力，使其稳定；

根据需要，磁吸件101和磁性件300可对应的设置多组。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。