阅读说明：本技术 光罩盒及其夹持件 (Photomask box and clamping piece thereof ) 是由 潘咏晋 林志铭 邱铭乾 于 2019-05-13 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种光罩盒及其夹持件。所述夹持件包括一夹持臂及至少二夹持模块。其中所述夹持臂夹设于所述光罩盒上,每个所述夹持模块设于所述夹持臂末端并穿过所述光罩盒,且每个所述夹持模块包括一外壳、一抵止件及一弹性件。其中所述外壳分设于所述光罩盒内部及外部,所述抵止件设于所述外壳中并穿过所述光罩盒,而所述弹性件与所述抵止件连接。(The invention provides a photomask box and a clamping piece thereof. The clamping piece comprises a clamping arm and at least two clamping modules. The clamping arm is clamped on the photomask box, each clamping module is arranged at the tail end of the clamping arm and penetrates through the photomask box, and each clamping module comprises a shell, a stopping piece and an elastic piece. The shell is arranged inside and outside the photomask box, the stopping piece is arranged in the shell and penetrates through the photomask box, and the elastic piece is connected with the stopping piece.)

光罩盒及其夹持件

技术领域

本发明提供了一种光罩盒及其夹持件，由指一种在光罩盒关闭后会夹紧光罩避免其位移的光罩盒及其夹持件。

背景技术

光罩在现在的半导体工业领域中属于不可或缺的重要角色，如涉及黄光微影等传统蚀刻技术甚至到近年来的极紫外光(Extreme Ultraviolet，EUV)曝光技术，光罩的使用仍然具有极重要的价值存在。

传统上，光罩的传载或储存，多半仰赖光罩盒(Reticle Pod)来完成。而光罩盒也因应传载或储存等不同需求，分为光罩传送盒及光罩储存盒两大类别。甚至，随着科技日新月异，极紫外光(Extreme Ultraviolet，EUV)光罩也有其专属的光罩传送盒及光罩储存盒。

而在已有的光罩盒中，对于光罩的保存和放置往往考虑到其承载稳定性的需求。对于极精密的光罩来说，当存放在光罩盒中，最重要的即为保持光罩的洁净以及极力避免光罩因光罩盒的碰撞或晃动进而损伤。

传统来说，光罩盒固定光罩的方式多半采用结构被动式的承载方式。然而，被动式的承载方式虽然可以短暂解决光罩固定的问题；然而，长久下来持续性的接触摩擦，实际上也容易造成光罩盒或光罩的磨损。

因此，如何解决被动式光罩接触的承载方式，可以说是目前半导体产业中待解决的问题之一。

发明内容

为解决先前技术中所提及的问题，本发明提出了一种光罩盒及其夹持件。所述夹持件主要包括一夹持臂及至少二夹持模块。其中所述夹持臂夹设于一光罩盒上，而每个所述夹持模块设于所述夹持臂末端并穿过所述光罩盒。此外，每个夹持模块包括一外壳、一抵止件以及一弹性件。所述外壳分设于所述光罩盒内部及外部，所述抵止件设于所述外壳中并穿过所述光罩盒。至于所述弹性件与所述抵止件连接。其中，所述弹性件用以复位所述抵止件。

更进一步的，前述夹持件还可实施于一光罩盒上，本发明所述的光罩盒包括一上盖、一下盖以及一夹持件。其中所述下盖与所述上盖盖合，所述夹持件主要包括一夹持臂及至少二夹持模块。其中所述夹持臂夹设于一光罩盒上，而每个所述夹持模块设于所述夹持臂末端并穿过所述上盖。此外，每个夹持模块包括一外壳、一抵止件以及一弹性件。所述外壳分设于所述上盖内部及外部，所述抵止件设于所述外壳中并穿过所述上盖。至于所述弹性件与所述抵止件连接。其中，所述弹性件用以复位所述抵止件。

以上对本发明的简述，目的在于对本发明的数种面向和技术特征作一基本说明。发明简述并非对本发明的详细表述，因此其目的不在特别列举本发明的关键性或重要组件，也不是用来界定本发明的范围，仅为以简明的方式呈现本发明的数种概念而已。

附图说明

图1是本发明实施例的光罩盒外观结构图；

图2是本发明实施例未夹持光罩状态的横剖面图；

图3是本发明实施例夹持件的细部横剖面图；

图4是本发明实施例已夹持光罩状态的横剖面图。

附图标号说明：

100 光罩盒

101 上盖

102 下盖

200 夹持件

201 夹持臂

202 夹持模块

2021 抵止件

2022 弹性件

2023 保护件

2024 气密件

2025 外壳

R 光罩

具体实施方式

为能了解本发明的技术特征及实用功效，并可依照说明书的内容来实施，在此进一步以如图式所示的较佳实施例说明，详细说明如后：

首先请参照图1，图1是本发明实施例的光罩盒外观结构图。如图1所示，本发明实施例将会结合夹持件200及其可应用的光罩盒100进行说明。在本实施例中，夹持件200中的夹持臂201是以倒U型桥接的方式横跨于光罩盒100之上。其固定方式可以用螺丝栓固等方式固定于光罩盒100上。

此外，对于光罩盒100的种类，其是可为光罩传送盒、光罩储存盒或极紫外光光罩盒。本实施例的光罩盒100是选用符合标准机械接口(Standard Mechanical Interface)的光罩传送盒实施，然实际上对于光罩盒100的种类，本发明并不加以限制。

请同时参照图1-4，图2是本发明实施例未夹持光罩状态的横剖面图；图3是本发明实施例夹持件的细部横剖面图；图4是本发明实施例已夹持光罩状态的横剖面图。图2中虚线方框的部份即为夹持模块202，其放大图请详参图3。话句话说，图1中的光罩盒100和夹持件2020的组合即呈现出本实施例的总成。所述光罩盒100主要包括上盖101、下盖102以及前述夹持件200。下盖102可与上盖101盖合，至于夹持件200同样由夹持臂201及至少二夹持模块202构成。而每个夹持模块202设于夹持臂201末端并穿过上盖101，形成本实施例的样态。

如图2及图3所示，本实施例的夹持件200主要包括夹持臂201及至少二夹持模块202。其中夹持臂201夹设于光罩盒100上，而每个夹持模块202设于夹持臂201末端并穿过光罩盒100的上盖101。在图2中，可清晰看到光罩盒100分为两个部位，包括上盖101及下盖102。而夹持件200则以夹持臂201及夹持模块202为主构成。

在本实施例中，夹持臂201是悬空设置于上盖101之上，形成倒U型架桥。而夹持臂201倒U型架桥结构的末端各设置有一个夹持模块202。在本实施例中，夹持模块202的夹持启动条件可由使用者依照需求调控。包括机械手臂对于持臂201与夹持模块202施加向内的压力等皆可做为启动的条件；亦可在夹持模块202的外部设置手动开关或是由下盖102和上盖101盖合时触动板机，让两个夹持模块202自动启动。

当然，夹持模块202的启动条件，也不排除当光罩盒100进行传载时，由天车吊起或是卡扣于特定机械结构点上时触发夹持模块202的夹持动作。例如，夹持臂201倒U型架桥结构被吊起时，产生向上拉动的力，以由此向上拉动的力量牵引倒U型架桥架结构两侧的力臂形成倒梯形，向内侧挤压，使夹持模块202启动夹持光罩的作动机制。然而，本发明对于夹持模块202可触发的条件并不加以限制。

此外，本实施例中的每个夹持模块202包括外壳2025、抵止件2021以及弹性件2022。且外壳2025分设于光罩盒100上盖101的内部及外部，抵止件2021则设于外壳2025中并穿过光罩盒100的上盖101。至于弹性件2022与抵止件2021连接。且所述弹性件2022用以复位抵止件2021。接着如图3所示，在本实施例中，抵止件2021为箭矢状的设计，且其箭矢的箭锋端(靠近与光罩R接触的一端)上更设有保护件2023。本实施例的保护件2023可采用任何具有阻尼效果的耐磨材料(例如硅胶表面涂布或覆上铁氟龙材料)，除了能够有效保护光罩R之外，更能减少有微小颗粒的产生。

至于外壳2025与抵止件2021间更设有气密件2024，得以让整个夹持模块202和光罩盒100的上盖之间保持气密状态。本实施例中的弹性件2022系透过螺旋的方式贯穿设于气密件2024之中，并抵住外壳2025的底端。当抵止件2021无需往前推动抵止光罩R时，弹性件2022可协助抵止件2021复归到原本的位置，达到被动复位的功效。

最后，请参照图4，当本发明实施例的夹持模块202启动时，便会由左右两侧夹持置于光罩盒100中光罩R。透过这个作动机制，可使本发明实施例的光罩盒100仅有在被搬运或是特定条件的状况下才会有和光罩R之间产生物理接触，直接解决了传统被动式光罩盒会长期且持续接触光罩的问题。

以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，不能以此限定本发明实施的范围，即依本发明申请专利范围及说明内容所作的简单变化与修饰，皆仍属本发明涵盖的范围内。