阅读说明：本技术 一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路及其调压方法 (Low-voltage-stabilizing control circuit for wafer test system and voltage-regulating method thereof ) 是由 刘飞跃 吕红林 于 2020-05-28 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路及其调压方法,包括：AD/DC转换模块、电源驱动模块、过流保护模块、反向耐压模块、串联负反馈稳压模块,所述AD/DC转换模块中电阻R1吸收电容C2出现的过放电流；所述电源驱动模块中电容C9利用自生的充放电性,对降压后的电压进行平滑调制；所述过流保护模块串接在AD/DC转换模块和电源驱动模块中,利用三极管Q4和三极管Q5组成电流的控制开关,遇到释放电流过大时产生自锁现象；所述反向耐压模块中二极管D3和二极管D4通过负极端连接,增大方向导通电压的耐压值；所述串联负反馈稳压模块中三极管Q6和三极管Q7组成达林顿管稳定降压后的电压,进而给晶圆测试系统提供稳定的输出电源,提高测试电路电压的稳定。(The invention discloses a low-voltage-stabilizing control circuit for a wafer test system and a voltage-regulating method thereof, wherein the low-voltage-stabilizing control circuit comprises the following steps: the power supply comprises an AD/DC conversion module, a power supply driving module, an overcurrent protection module, a reverse voltage-withstanding module and a series negative feedback voltage-stabilizing module, wherein a resistor R1 in the AD/DC conversion module absorbs over-discharge current generated by a capacitor C2; the capacitor C9 in the power driving module smoothly modulates the voltage after voltage reduction by utilizing self-generated charge and discharge; the overcurrent protection module is connected in series in the AD/DC conversion module and the power supply driving module, and a current control switch is formed by a triode Q4 and a triode Q5, so that a self-locking phenomenon is generated when the release current is too large; in the reverse voltage-withstanding module, a diode D3 and a diode D4 are connected through a negative terminal, so that the voltage withstanding value of the directional conduction voltage is increased; and in the series negative feedback voltage stabilizing module, the triode Q6 and the triode Q7 form a Darlington tube to stabilize the voltage after voltage reduction, so that a stable output power supply is provided for the wafer test system, and the stability of the test circuit voltage is improved.)

一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路及其调压方法

技术领域

本发明涉及一种低电稳压技术领域，尤其是一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路及其调压方法。

背景技术

稳压电路是指在输入电网电压波动或负载发生改变仍要保持输出电压基本不变的电源电路，稳压电路按电流的类型分为直流电稳压电路和交流稳压电路、按照稳压电路与负载连接的方式分为串联稳压电路和并联稳压电路，而低电稳压电路是将获取的市电电压转换为晶圆测试系统用的低压直流电，进而满足低压设备提供稳定的输出电压。

而在晶圆测试系统中对晶圆的测试是一步非常重要的测试，而这一步对检测设备的电能稳定性，也提出了较高的要求，而不稳定的电压会造成检测设备供电电压发生波动，进而影响测试数据的精准性，无法真实表达晶圆测试的数据，而在将获取的市电压转换为直流电压时储存电容会出现过放电流现象，从而影响测试内部器件的稳定，无法准确传达检测数据；在通过降压器件对获取的直流电压进行降压处理时降压后的电压会发生波动，从而无法平稳的输出稳定电压，在超负荷的运行下线路会加速电流的流动造线路升温，从而加速检测元器件的负荷，进而无法实现对用电设备的保护。

发明内容

发明目的：提供一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路，以解决上述问题。

技术方案：一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路，包括：

用于将获取的市电压转换为晶圆测试系统用的低压直流电的AD/DC转换模块；

用于将转换降压后的低压直流电通过引脚传递特定电压值的电源驱动模块；

用于保护AD/DC转换模块向电源驱动模块传递的过电流的过流保护模块；

用于增大二极管方向击穿的耐压值，防止电压在元器件上传输时发生波动的反向耐压模块；

用于改善经过降压处理以及交直流电转换电压稳定的串联负反馈稳压模块。

根据本发明的一个方面，所述AD/DC转换模块中三极管Q1、三极管Q2控制电压的通断，而电阻R1吸收电容C2出现的过放电流；

所述电源驱动模块中电阻R4降低电压值，而电容C9利用自生的充放电性，对降压后的电压进行平滑调制；

所述过流保护模块串接在AD/DC转换模块和电源驱动模块中，从而利用三极管Q4和三极管Q5组成电流的控制开关，遇到释放电流过大时产生自锁现象，保护用电设备的安全；

所述反向耐压模块中二极管D3和二极管D4通过负极端连接，增大方向导通电压的耐压值；

所述串联负反馈稳压模块中三极管Q6和三极管Q7组成达林顿管稳定降压后的电压，而三极管Q8基极端与可变电阻RV1连接，减少受电源频段的影响而产生误动作，进而给晶圆测试系统提供稳定的输出电源，提高测试电路电压的稳定。

根据本发明的一个方面，所述调压单元包括电容C10、稳压器U2、二极管D7、电容C11、电阻R15、可变电阻RV2、二极管D6、电容C12、可变电阻RV3、三极管Q9，其中所述电容C10一端分别与稳压器U2引脚1、二极管D7负极端、端口VIN连接；所述电容C10另一端1分别与电容C11一端、可变电阻RV2引脚1和引脚3、电容C12一端、地线GND连接；所述电容C11另一端分别与稳压器U2引脚2、二极管D6负极端连接；所述二极管D6正极端分别与电阻R15一端、二极管D7正极端、稳压器U2引脚3、电容C12另一端、可变电阻RV3引脚2、三极管Q9集电极端连接；所述电阻R15另一端与可变电阻RV2引脚2连接；所述可变电阻RV3引脚1与三极管Q9基极端连接；所述可变电阻RV3引脚3分别与三极管Q9发射极端、端口VON连接。

根据本发明的一个方面，所述AD/DC转换模块包括变压器T1、桥式稳压二极管VD1、三极管Q2、三极管Q1、电容C2、电阻R1、电容C1，其中所述变压器T1引脚1与交流电AC正极端连接；所述变压器T1引脚2与交流电AC负极端连接；所述变压器T1引脚4与桥式稳压二极管VD1引脚1连接；所述变压器T1引脚3与桥式稳压二极管VD1引脚2连接；所述桥式稳压二极管VD1引脚4分别与三极管Q2集电极端、电容C2一端连接；所述桥式稳压稳压二极管VD1引脚3分别与三极管Q1发射极端、电容C1一端连接；所述三极管Q2基极端与三极管Q1集电极端连接；所述三极管Q2发射极端分别与电阻R1一端、电容C1另一端连接；所述电阻R1另一端分别与三极管Q1基极端、电容C2另一端连接。

根据本发明的一个方面，所述电源驱动模块包括电阻R2、电阻R3、二极管D1、电阻R4、电容C9、电容C3、电容C4、电阻R5、触发器U1，其中所述电阻R2一端分别与电阻R3一端、三极管Q2发射极端、电阻R1一端、电容C1另一端连接；所述电阻R2另一端分别与二极管D1负极端、电阻R4一端、触发器U1引脚8、电阻R5一端连接；所述二极管D1正极端分别与电阻R4另一端、电容C9一端、触发器U1引脚4连接；所述电阻R3另一端分别与触发器U1引脚5和引脚2连接；所述电容C9另一端分别与电容C3一端、桥式稳压稳压二极管VD1引脚3、三极管Q1发射极端、电容C1一端连接；所述电容C3另一端分别与电容C4正极端、触发器U1引脚1连接；所述电阻R5另一端与触发器U1引脚6连接。

根据本发明的一个方面，所述过流保护模块包括三极管Q4、电容C6、电阻R10、三极管Q5、电阻R9、电容C5，其中所述三极管Q4发射极端分别与电容C6正极端、电阻R10一端、电容C3另一端、电容C4正极端、触发器U1引脚1连接；所述三极管Q4集电极端分别与电阻R9一端、电容C5负极端、三极管Q5基极端、电容C9另一端、电容C3一端、桥式稳压稳压二极管VD1引脚3、三极管Q1发射极端、电容C1一端连接；所述三极管Q4基极端分别与电容C6负极端、电阻R10另一端、三极管Q5集电极端连接；所述三极管Q5发射极端分别与电容C5正极端、电阻R9另一端、地线GND连接。

根据本发明的一个方面，所述反向耐压模块包括电阻R6、二极管D2、电阻R7、二极管D3、二极管D4、三极管Q3、电阻R8，其中所述电阻R6一端分别与电阻R8一端、电阻R2另一端、二极管D1负极端、电阻R4一端、触发器U1引脚8、电阻R5一端连接；所述电阻R6另一端分别与二极管D4正极端、二极管D2负极端、三极管Q3发射极端、端口VIN连接；所述二极管D2正极端分别与三极管Q4发射极端、电容C6正极端、电阻R10一端、电容C3另一端、电容C4正极端、触发器U1引脚1、地线GND连接；所述电阻R7一端与触发器U1引脚3连接；所述电阻R7另一端分别与二极管D3正极端、三极管Q3基极端连接；所述电阻R8另一端与三极管Q3集电极端连接；所述二极管D3负极端与二极管D4负极端连接。

根据本发明的一个方面，所述串联负反馈稳压模块包括电容C7、电阻R11、电容C8、三极管Q6、三极管Q7、电阻R12、二极管D5、电阻R12、三极管Q8、可变电阻RV1、电阻R13、电阻R14，其中所述电容C7正极端分别与电阻R11一端、三极管Q6集电极端、三极管Q7集电极端连接；所述电容C7负极端分别与电容C8负极端、二极管D5正极端、电阻R14一端、直流电DC负极端、二极管D2正极端、三极管Q4发射极端、电容C6正极端、电阻R10一端、电容C3另一端、电容C4正极端、触发器U1引脚1、地线GND连接；所述电阻R11另一端与三极管Q8集电极端连接；所述三极管Q6发射极端与三极管Q7基极端连接；所述三极管Q6基极端与电容C8正极端连接；所述三极管Q7发射极端分别与电阻R12、电阻R13一端、直流电DC正极端连接；所述电阻R12另一端分别与二极管D5负极端、三极管Q8发射极端连接；所述三极管Q8基极端与可变电阻RV1引脚1连接；所述电阻R13与可变电阻RV1引脚2连接；所述可变电阻RV1引脚3与电阻R14另一端连接。

根据本发明的一个方面，所述电容C4、所述电容C5、所述电容C6、所述电容C7、所述电容C8型号均为电解电容；所述二极管D1、所述二极管D2、所述二极管D5、所述二极管D7、所述二极管D6型号均为稳压二极管；所述三极管Q1、所述三极管Q3、所述三极管Q5、所述三极管Q6、所述三极管Q8、所述三极管Q9型号均为NPN；所述三极管Q2、所述三极管Q4型号均为PNP；所述触发器U1型号为555；所述稳压器U2型号为LM337T。

根据本发明的一个方面，一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路的调压方法，其特征在于，所述调压单元通过端口VIN获取输入电压从而进行调节达到安全稳定的输出电压，进而通过端口VON将调节后的安全电压传递给串联负反馈稳压模块，满足不同的低电压输出要求，具体步骤如下：

步骤1、稳压器U2引脚1通过端口VIN接收反向耐压模块中交流电转换的直流电，而电容C10将获取的直流电进行储存，在稳压器U2出现亏电现象时进行快速释放，确保稳压器U2输出电压的稳定，而二极管D7具有单向导电性，从而将不稳定电压再次经过稳压器U2调整，进而达到稳定的效果，电容C11与稳压器U2引脚2连接，另一端接地，从而在稳压器U2运行将产生输出电压以外的频段进行过滤，从而阻止电源干扰频段影响其它元器件；

步骤2、电阻R15和可变电阻RV2串联组成降压电路，而电阻R15的阻值为固定值，通过可变电阻RV2可以提高阻值的精度，满足不同阻值的大小实现不同的输出电压值，再利用电容C12并联在线路中从而稳定降压后电压的传输速度防止滞留产生电源的损耗；而三极管Q9通过基极端获取降压后的参数，再通过可变电阻的阻值限制降压后电压的导通，当三极管Q9集电极端获取电压高于基极端经过可变电阻RV3调压后的电压时，则三极管Q9作无触点开关，从而将集电极端获取降电压通过端口VON传递给串联负反馈稳压模块，从而对降压后的电压进行稳压处理，而当三极管Q9集电极端获取电压低于基极端经过可变电阻RV3调压后的电压时，则三极管Q9无控制效果，当三极管Q9集电极端获取电压与基极端经过可变电阻RV3调压后的电压一致时经过可变电阻RV3引脚3导通降压值。

有益效果：本发明设计一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路及其调压方法，在对晶圆测试系统用电电路设计了低电稳压控制电路，通过给晶圆测试电路提供安全稳定的电压，使检测电路能够精确判断晶圆的好坏，能够平稳的传输检测数据，达到精准检测的目的，从而不会受到电压不稳定，造成测试数据不准确；在将获取的市电压转换为直流电压时储存电容会出现过放电流现象，从而通过在AD/DC转换模块中利用三极管Q1和三极管Q2控制电压通断，判断是否达到三极管导通电压的条件，再根据电阻R1吸收电容C2的储存电能，防止释放电流超出设定参数值，从而稳定测试元器件；在通过降压器件对获取的直流电进行降压处理时降压后的电压会发生波动，通过在电源驱动模块中电阻R4实现单向线路上电压的调节，而电容C9利用自身的充放电性，对降压后的电压进行平滑调制，稳定降压后的电压；在超负荷的运行下线路会出现发热情况，通过在过热保护模块中三极管Q4和三极管Q5组成电流控制开关，遇到释放电流过大或超出三极管基极端导通电压时产生自锁现象，保护用电设备的安全。

附图说明

图1是本发明的结构框图。

图2是本发明的低电稳压控制电路分布图。

图3是本发明的AD/DC转换模块电路图。

图4是本发明的电源驱动模块电路图。

图5是本发明的过流保护模块电路图。

图6是本发明的反向耐压模块电路图。

图7是本发明的串联负反馈稳压模块电路图。

图8是本发明的调压单元电路图。

具体实施方式

如图1所示，在该实施例中，一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路，包括：

用于将获取的市电压转换为晶圆测试系统用的低压直流电的AD/DC转换模块；

用于将转换降压后的低压直流电通过引脚传递特定电压值的电源驱动模块；

用于保护AD/DC转换模块向电源驱动模块传递的过电流的过流保护模块；

用于增大二极管方向击穿的耐压值，防止电压在元器件上传输时发生波动的反向耐压模块；

用于改善经过降压处理以及交直流电转换电压稳定的串联负反馈稳压模块。

在进一步的实施例中，如图2所示，所述AD/DC转换模块中三极管Q1、三极管Q2控制电压的通断，而电阻R1吸收电容C2出现的过放电流；

所述电源驱动模块中电阻R4降低电压值，而电容C9利用自生的充放电性，对降压后的电压进行平滑调制；

所述过流保护模块串接在AD/DC转换模块和电源驱动模块中，从而利用三极管Q4和三极管Q5组成电流的控制开关，遇到释放电流过大时产生自锁现象，保护用电设备的安全；

所述反向耐压模块中二极管D3和二极管D4通过负极端连接，增大方向导通电压的耐压值；

所述串联负反馈稳压模块中三极管Q6和三极管Q7组成达林顿管稳定降压后的电压，而三极管Q8基极端与可变电阻RV1连接，减少受噪声信号的影响而产生误动作，进而给晶圆测试系统提供稳定的输出电源，提高测试电路电压的稳定。

在进一步的实施例中，如图8所示，所述调压单元包括电容C10、稳压器U2、二极管D7、电容C11、电阻R15、可变电阻RV2、二极管D6、电容C12、可变电阻RV3、三极管Q9。

在更进一步的实施例中，所述调压单元中所述电容C10一端分别与稳压器U2引脚1、二极管D7负极端、端口VIN连接；所述电容C10另一端1分别与电容C11一端、可变电阻RV2引脚1和引脚3、电容C12一端、地线GND连接；所述电容C11另一端分别与稳压器U2引脚2、二极管D6负极端连接；所述二极管D6正极端分别与电阻R15一端、二极管D7正极端、稳压器U2引脚3、电容C12另一端、可变电阻RV3引脚2、三极管Q9集电极端连接；所述电阻R15另一端与可变电阻RV2引脚2连接；所述可变电阻RV3引脚1与三极管Q9基极端连接；所述可变电阻RV3引脚3分别与三极管Q9发射极端、端口VON连接。

在进一步的实施例中，如图3所示，所述AD/DC转换模块包括变压器T1、桥式稳压二极管VD1、三极管Q2、三极管Q1、电容C2、电阻R1、电容C1。

在更进一步的实施例中，所述AD/DC转换模块中所述变压器T1引脚1与交流电AC正极端连接；所述变压器T1引脚2与交流电AC负极端连接；所述变压器T1引脚4与桥式稳压二极管VD1引脚1连接；所述变压器T1引脚3与桥式稳压二极管VD1引脚2连接；所述桥式稳压二极管VD1引脚4分别与三极管Q2集电极端、电容C2一端连接；所述桥式稳压稳压二极管VD1引脚3分别与三极管Q1发射极端、电容C1一端连接；所述三极管Q2基极端与三极管Q1集电极端连接；所述三极管Q2发射极端分别与电阻R1一端、电容C1另一端连接；所述电阻R1另一端分别与三极管Q1基极端、电容C2另一端连接。

在进一步的实施例中，如图4所示，所述电源驱动模块包括电阻R2、电阻R3、二极管D1、电阻R4、电容C9、电容C3、电容C4、电阻R5、触发器U1。

在更进一步的实施例中，所述电源驱动模块中所述电阻R2一端分别与电阻R3一端、三极管Q2发射极端、电阻R1一端、电容C1另一端连接；所述电阻R2另一端分别与二极管D1负极端、电阻R4一端、触发器U1引脚8、电阻R5一端连接；所述二极管D1正极端分别与电阻R4另一端、电容C9一端、触发器U1引脚4连接；所述电阻R3另一端分别与触发器U1引脚5和引脚2连接；所述电容C9另一端分别与电容C3一端、桥式稳压稳压二极管VD1引脚3、三极管Q1发射极端、电容C1一端连接；所述电容C3另一端分别与电容C4正极端、触发器U1引脚1连接；所述电阻R5另一端与触发器U1引脚6连接。

在进一步的实施例中，如图5所示，所述过流保护模块包括三极管Q4、电容C6、电阻R10、三极管Q5、电阻R9、电容C5。

在更进一步的实施例中，所述过流保护模块中所述三极管Q4发射极端分别与电容C6正极端、电阻R10一端、电容C3另一端、电容C4正极端、触发器U1引脚1连接；所述三极管Q4集电极端分别与电阻R9一端、电容C5负极端、三极管Q5基极端、电容C9另一端、电容C3一端、桥式稳压稳压二极管VD1引脚3、三极管Q1发射极端、电容C1一端连接；所述三极管Q4基极端分别与电容C6负极端、电阻R10另一端、三极管Q5集电极端连接；所述三极管Q5发射极端分别与电容C5正极端、电阻R9另一端、地线GND连接。

在进一步的实施例中，如图6所示，所述反向耐压模块包括电阻R6、二极管D2、电阻R7、二极管D3、二极管D4、三极管Q3、电阻R8。

在更进一步的实施例中，所述反向耐压模块中所述电阻R6一端分别与电阻R8一端、电阻R2另一端、二极管D1负极端、电阻R4一端、触发器U1引脚8、电阻R5一端连接；所述电阻R6另一端分别与二极管D4正极端、二极管D2负极端、三极管Q3发射极端、端口VIN连接；所述二极管D2正极端分别与三极管Q4发射极端、电容C6正极端、电阻R10一端、电容C3另一端、电容C4正极端、触发器U1引脚1、地线GND连接；所述电阻R7一端与触发器U1引脚3连接；所述电阻R7另一端分别与二极管D3正极端、三极管Q3基极端连接；所述电阻R8另一端与三极管Q3集电极端连接；所述二极管D3负极端与二极管D4负极端连接。

在进一步的实施例中，如图7所示，所述串联负反馈稳压模块包括电容C7、电阻R11、电容C8、三极管Q6、三极管Q7、电阻R12、二极管D5、电阻R12、三极管Q8、可变电阻RV1、电阻R13、电阻R14。

在更进一步的实施例中，所述串联负反馈稳压模块中所述电容C7正极端分别与电阻R11一端、三极管Q6集电极端、三极管Q7集电极端连接；所述电容C7负极端分别与电容C8负极端、二极管D5正极端、电阻R14一端、直流电DC负极端、二极管D2正极端、三极管Q4发射极端、电容C6正极端、电阻R10一端、电容C3另一端、电容C4正极端、触发器U1引脚1、地线GND连接；所述电阻R11另一端与三极管Q8集电极端连接；所述三极管Q6发射极端与三极管Q7基极端连接；所述三极管Q6基极端与电容C8正极端连接；所述三极管Q7发射极端分别与电阻R12、电阻R13一端、直流电DC正极端连接；所述电阻R12另一端分别与二极管D5负极端、三极管Q8发射极端连接；所述三极管Q8基极端与可变电阻RV1引脚1连接；所述电阻R13与可变电阻RV1引脚2连接；所述可变电阻RV1引脚3与电阻R14另一端连接。

在进一步的实施例中，所述电容C4、所述电容C5、所述电容C6、所述电容C7、所述电容C8型号均为电解电容；所述二极管D1、所述二极管D2、所述二极管D5、所述二极管D7、所述二极管D6型号均为稳压二极管；所述三极管Q1、所述三极管Q3、所述三极管Q5、所述三极管Q6、所述三极管Q8、所述三极管Q9型号均为NPN；所述三极管Q2、所述三极管Q4型号均为PNP；所述触发器U1型号为555；所述稳压器U2型号为LM337T。

在进一步的实施例中，一种晶圆测试系统用低电稳压控制电路的调压方法，其特征在于，所述调压单元通过端口VIN获取输入电压从而进行调节达到安全稳定的输出电压，进而通过端口VON将调节后的安全电压传递给串联负反馈稳压模块，满足不同的低电压输出要求，具体步骤如下：

步骤1、稳压器U2引脚1通过端口VIN接收反向耐压模块中交流电转换的直流电，而电容C10将获取的直流电进行储存，在稳压器U2出现亏电现象时进行快速释放，确保稳压器U2输出电压的稳定，而二极管D7具有单向导电性，从而将不稳定电压再次经过稳压器U2调整，进而达到稳定的效果，电容C11与稳压器U2引脚2连接，另一端接地，从而在稳压器U2运行将产生输出电压以外的频段进行过滤，从而阻止电源干扰频段影响其它元器件；

步骤2、电阻R15和可变电阻RV2串联组成降压电路，而电阻R15的阻值为固定值，通过可变电阻RV2可以提高阻值的精度，满足不同阻值的大小实现不同的输出电压值，再利用电容C12并联在线路中从而稳定降压后电压的传输速度防止滞留产生电源的损耗；而三极管Q9通过基极端获取降压后的参数，再通过可变电阻的阻值限制降压后电压的导通，当三极管Q9集电极端获取电压高于基极端经过可变电阻RV3调压后的电压时，则三极管Q9作无触点开关，从而将集电极端获取降电压通过端口VON传递给串联负反馈稳压模块，从而对降压后的电压进行稳压处理，而当三极管Q9集电极端获取电压低于基极端经过可变电阻RV3调压后的电压时，则三极管Q9无控制效果，当三极管Q9集电极端获取电压与基极端经过可变电阻RV3调压后的电压一致时经过可变电阻RV3引脚3导通降压值。

总之，本发明具有以下优点：桥式稳压二极管VD1利用单向导电性对交流电转换为直流电的电压进行稳压，三极管Q1、三极管Q2控制电压的通断，而电阻R1吸收电容C2出现的过放电流，电容C1用于将储存的电能来提高三极管Q1和三极管Q2的响应速度，而电阻R3和电阻R2将接收的电压进行串联分压，来满足各支路上不同的用电需求，再通过电阻R4降低电压值，而电容C9利用自生的充放电性，对降压后的电压进行平滑调制，而输入电压达到触发器U1启动电压时，就会经过二极管具有的单向导电性传输电能，而电容C3用于维持电路上传输电压的平衡，电容C4一端接地用于消除触发器U1运行时产生的干扰频段；从而利用三极管Q4和三极管Q5组成电流的控制开关，遇到释放电流过大时产生自锁现象，保护用电设备的安全，电阻R10和电容C6并联减小阻抗，提高三极管的响应速度；再通过二极管D3和二极管D4负极端连接，增大方向导通电压的耐压值，防止方向电压过大发生击穿现象，三极管Q3根据集电极端获取电阻R8的降压值，控制电源的通断；再根据三极管Q6和三极管Q7组成达林顿管稳定降压后的电压，电容C7并联在电路从而提供储存电能，出现亏电现象时进行释放而三极管Q8基极端与可变电阻RV1连接，减少受电源频段的影响而产生误动作，进而给晶圆测试系统提供稳定的输出电源，提高测试电路电压的稳定。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。