具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1和图2，图1示出了本发明一实施例中的射频电极馈入装置的结构示意图，图2为图1中所示的射频电极馈入装置的俯视图。

本发明一实施例提供的射频电极馈入装置，包括支撑组件10、放置组件和电极组件30。

支撑组件10用于承载石墨舟，该支撑组件10具有散热间隙11，利用支撑组件10支撑的多个石墨舟可以沿第一方向间隔布置，且均与散热间隙11对应，以确保各个石墨舟的散热效率。

放置组件的数量为多个，该多个放置组件沿第一方向布置在支撑组件10上，每一个放置组件均用于放置一个石墨舟，使得每个石墨舟通过对应的放置组件承载在支撑组件10上。

电极组件30的数量为多个，多个电极组件30与多个放置组件一一对应，且每一个电极组件30用于与对应放置组件上的石墨舟相连，以为各个石墨舟加电压。每一个电极组件30均包括第一电极单元31和第二电极单元32，每一电极组件30的第一电极单元31和第二电极单元32分别与对应放置组件的第一放置件21和第二放置件22相连。可以理解的是，每一第一电极单元31的一端与外部射频电源相连接，另一端与对应石墨舟底部的第一放置件21相连，并通过第一放置件21将射频电源电压导通到石墨舟上，组成石墨舟的正极或负极。每一第二电极单元32的一端与外部射频电源接，另一端与对应石墨舟底部的第二放置件22相连，并通过第二放置件22将射频电源电压导通到石墨舟上，组成石墨舟的负极或正极，从而通过石墨舟两侧受到的射频电源电压实现对石墨舟的放电。并且多个的电极组件30配合多个的放置组件，能够实现对各个放置组件上放置的多个石墨舟同时进行放电。

上述射频电极馈入装置，在实际作业时，在每一放置组件上均放置石墨舟，并且每一石墨舟通过对应的第一放置件21和第二放置件22分别与第一电极单元31和第二电极单元32电导通，从而实现与外部射频电源的正极和负极电导通，进而利用外部射频电源完成对各个石墨舟的放电。

如此，本发明的射频电极馈入装置，可以容纳多个石墨舟在支撑组件10上，并通过多个电极组件30配合多个放置组件，实现每个石墨舟的射频电极馈入，有效提高了生产效率，有利于提高产能，降低单片电池片成本。

具体到图2所示的实施例中，第一方向为左右方向，下述第二方向为上下方向。

本发明的实施例中，支撑组件10包括在第一方向上相对布设的第一支撑杆12和第二支撑杆13，第一支撑杆12和第二支撑杆13之间形成上述散热间隙11，且第一支撑杆12和第二支撑杆13均沿第二方向纵长延伸。多个放置组件的第撑杆13设置在第二支撑杆13上，两个支撑杆(即第一支撑杆12和第二支撑杆13)对整个射频电极馈入装置和多个石墨舟起固定支撑作用。优选地，第一支撑杆12和第二支撑杆13为陶瓷杆，陶瓷杆可以起到绝缘的作用。

具体地，在第一支撑杆12和第二支撑杆13的两端均设置有固定座14，固定座14套设在第一支撑杆12和第二支撑杆13上，并且在固定座14上设置有用于连接固定的连接孔。优选地，将固定座14固定在外部装置的连接件上，可以对第一支撑杆12和第二支撑杆13起到固定支撑的作用。

本发明的实施例中，第一放置件21包括第一放置块211和第二放置块212，第一放置块211和第二放置块212均采用抱紧的方式间隔套设在第一支撑杆12上。第二放置件22包括第三放置块221和第四放置块222，第三放置块221和第四放置块222也同样采用抱紧的方式间隔套设第一支撑杆12上。第一电极单元31的一端与第一放置块211和第三放置块221其中一个或两个相连，将射频电压导入第一放置块211或第三放置块221，第二电极单元32的一端与第二放置块212和第四放置块222其中一个或两个相连，将射频电压导入第二放置块212或第四放置块222。优选地，第一电极单元31的一端与第一放置块211相连，第二电极单元21的一端与第四放置块222相连。其中，第一放置块211与第四放置块222分别位于对应石墨舟的对角，一前一后可以使石墨舟的放电效果更好。

需要说明的是，第一放置块211、第二放置块212、第三放置块221及第四放置块222并不仅限于采用抱紧的方式与第一支撑杆12和第二支撑杆13固定安装，在其它实施例中，也可以采用其它紧固方式，例如螺钉紧固、卡扣卡接等方式，在此不作限定。进一步地，第一电极单元31可任意选择其与第一放置块211和第三放置块221的连接方式，以及第二电极单元32与第二放置块212和第四放置块222的连接方式也可任意选择，在此不做限定。

进一步地，第一电极单元31包括第一电极杆311和与第一电极杆311相连的第一电极连杆312，第一电极杆311的一端连接外部射频电源，另一端与第一电极连杆312的中部相连。第一电极连杆312的两端分别与第一放置块211和第三放置块221相连，通过第一电极连杆312将第一放置块211和第三放置块221相连通，实现一路电极同时通过第一放置块211和第三放置块221与石墨舟接触导电，增加石墨舟前端的导电面积，使得石墨舟前端的导电性能极大提升。同时，中间的电极连杆可将两个第一放置块211和第三放置块221连为一体，当第一放置块211和第三放置块221上的紧固螺丝受石墨舟放电产生的热量高温膨胀时，单个的放置块和紧固螺栓容易产生变形使得放置块与第一支撑杆12的配合松动产生旋转，导致石墨舟的前端与放置块的接触不稳定。并且，连为一体的两个放置块(即第一放置块211和第三放置块221)则能够相互干涉，使得石墨舟前端的导电性能更加优良可靠。

其中，第二电极单元32包括第二电极杆321和与第二电极杆321相连的第二电极连杆322，第二电极杆321的二端连接外部射频电源，另一端与第二电极连杆322的中部相连。第二电极连杆322的两端分别与第二放置块212和第四放置块222相连，通过第二电极连杆321将第二放置块212和第四放置块222相连通，实现一路电极同时通过第二放置块212和第四放置块222与石墨舟接触导电，增加石墨舟后端的导电面积，使得石墨舟后端的导电性能极大提升。同时，中间电极连杆可将第二放置块212和第四放置块222连为一体，当放置块及放置块上的紧固螺丝受石墨舟放电产生的热量高温膨胀时，单个的放置块和紧固螺栓容易产生变形使得放置块与第二支撑杆13的配合松动产生旋转，导致石墨舟的后端与放置块的接触不稳定。并且，连为一体的两个放置块(即第二放置块212和第四放置块222)则能够相互干涉，使得石墨舟后端的导电性能更加优良可靠。

更加具体的，每一第一电极杆311与每一第二电极杆321均引出至第一支撑杆12和第二支撑杆13在第二方向上的同一端。优选地，第一电极杆311和第二电极杆321均包括延伸段33和弯曲段34，第一电极杆311和第二电极杆321的延伸段33与第二方向平行，即沿着第一支撑杆12或第二支撑杆13的延伸方向延伸。弯曲段34则可以朝任意方向进行弯折。优选地，第一电极杆311和第二电极杆321靠近外部射频电源的一端设置有弯曲段34，第一电极杆311和第二电极杆321可以根据外部射频电源的位置，设计弯曲段34的弯曲方向以避让其他部件，使得延伸段33能够尽可能贴合第一支撑杆12或第二支撑杆13延伸至第一支撑杆12和第二支撑杆13在第二方向上的端部，并使得第一电极杆311与第二电极杆321整体的布置方式也更加紧凑，安全和可靠。

需要说明的是，第一电极杆311和第二电极杆321并不仅限于通过弯曲段34的方式来引出至第一支撑杆12和第二支撑杆13在第二方向上的同一端，在其他实施例中，可以根据实际情况来选择第一电极杆311或第二电极杆321的组成方式，例如第一电极杆311或第二电极杆321也可以只有延伸段33，通过改变第一电极杆311或第二电极杆321的整体的位置来避让其他部件，在此不做限定。

进一步地，第一电极杆311和第二电极杆321上均套设有绝缘管35，可以利用绝缘套35分别对第一电极杆311和第二电极杆321起到保护和绝缘的作用。

本发明的实施例中，电极组件30还包括连接片15，第一电极单元31通过连接片15与第一放置件21相连，第二电极单元32通过连接片15与第二放置件22相连。优选地，连接片15设置在第一放置件21和第二放置件22上，第一电极单元31和第二电极单元32从连接片15上穿过。连接片15用于放置件与电极单元的相互连接，当石墨舟数量较多时，电极单元的布置也更加复杂，连接片15可以使放置件与电极单元的连接更加灵活。

本发明的实施例中，通过第一支撑杆12和第二支撑杆13组成支撑组件10，第一支撑杆12与第二支撑杆13之间形成散热间隙11。在第一支撑杆12上，套设有多个第一放置件21，每个第一放置件21均包括第一放置块211和第二放置块212。在第二支撑杆13上，套设有多个第二放置件22，每个第二放置件22均包括第三放置块221和第四放置块222。

如此，多个石墨舟一一对应放置在每一第一支撑件12和第二支撑件13之间，每一个石墨舟通过电极组件30与外部射频电源相连。每一个电极组件30都包括第一电极单元31和第二电极单元32，第一电极单元31包括第一电极杆311和第一电极连杆312，第二电极单元32包括第二电极杆321和第二电极连杆322。通过第一电极连杆312连接第一放置块211和第三放置块221，再通过与第一电极连杆312相连的第一电极杆311，将外部射频电源的正极导通到第一放置块211和第三放置块221上，形成对石墨舟前端正极的放电。通过第二电极连杆322连接第二放置块212和第四放置块222，再通过与第二电极连杆322相连的第二电极杆321，将外部设射频电源的负极导通到第二放置块212和第四放置块222上，形成对石墨后端负极的放电，配合第一电极单元31，完成整个石墨的放电。多个电极单元配合多个放置组件，可以形成对支撑组件10上放置的多个石墨舟进行放电。

上述射频电极馈入装置具有以下优点：

本发明的射频电极馈入装置，可以容纳多个石墨舟在支撑组件10上，并通过多个电极组件30配合多个放置组件，实现多个石墨舟的射频电极馈入，使一个镀膜设备的腔体能够容纳多个石墨舟，提高产能，降低单片电池片成本。

中间电极连杆可将两个放置块连为一体，当放置块及放置块上的紧固螺丝受石墨舟放电产生的热量高温膨胀时，单个的放置块和紧固螺栓容易产生变形使得放置块与支撑杆的配合松动产生旋转，导致石墨舟与放置块的接触不稳定。而连为一体的两个放置块则能够相互干涉，使得石墨舟的导电性能更加优良可靠。

电极杆可以根据外部射频电源的位置，设计弯曲段34的弯曲方向以避让其他部件，使得延伸段33能够尽可能贴合第一支撑杆12或第二支撑杆13延伸至第一支撑杆12和第二支撑杆13在第二方向上的端部，并使得第一电极杆311与第二电极杆321整体的布置方式也更加紧凑，安全和可靠。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。