阅读说明：本技术 一种检测管式pecvd的质量流量计是否正常的方法 (Method for detecting whether tubular PECVD mass flowmeter is normal ) 是由 张云鹏 王玉 赵科巍 鲁贵林 杨飞飞 秦鹏 于 2020-05-21 设计创作，主要内容包括：本发明涉及太阳能电池生产领域,一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法,管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时,记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值,记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值一一对应的管式PECVD的炉管压力,记录每个对应的管式PECVD的炉管压力与压力差值,记录压力算术平均值为；进行正常的管式PECVD镀膜工作,记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应多个值,如果偏差超出正常范围,需要更换新的质量流量计。(The invention relates to the field of solar cell production, in particular to a method for detecting whether a tubular PECVD mass flowmeter is normal or not, wherein the tubular PECVD mass flowmeter is a normal flowmeter, records the pressure value when the pressure of a furnace tube of the tubular PECVD is lowest, records the furnace tube pressures of the tubular PECVD corresponding to a plurality of different flow values in the range of the normal mass flowmeter, records the furnace tube pressure and the pressure difference value of each corresponding tubular PECVD, and records the arithmetic mean value of the pressures; and (4) carrying out normal tubular PECVD film coating work, recording a plurality of values corresponding to the mass flowmeter to be detected and the normal mass flowmeter in the first step, and if the deviation exceeds a normal range, replacing the mass flowmeter with a new mass flowmeter.)

一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产领域，特别涉及管式PECVD镀膜领域。

背景技术

光伏太阳能PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工艺是借助射频使硅烷，氨气和笑气气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应在硅片上沉积出氮氧化硅和氮化硅膜薄膜。因此，硅烷，氨气和笑气质量流量计的准确性非常的重要。如果硅烷，氨气和笑气质量流量计出现异常，如质量流量计设定的流量从工控机显示正常，但质量流量计设定值与实际值出现偏差，会影响镀膜的质量，出现膜色异常的问题，从而影响电池片的效率和外观。并且判断质量流量计是否正常，一般需要很长时间，会影响车间的正常生产。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：如何准确检测管式PECVD的质量流量计是否正常。

本发明所采用的技术方案是：一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，按照如下的步骤进行

步骤一、管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值P_S0，记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值M₁至M_n一一对应的管式PECVD的炉管压力P_S1至P_Sn，记录P_S1至P_Sn每个对应的管式PECVD的炉管压力与P_S0的压力差值P_SS10至P_SSn0，记录P_SS10至P_SSn0的压力算术平均值为P_S；

步骤二、将待检测的质量流量计安装在管式PECVD上；

步骤三、进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值P_c1，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应的多个不同流量值M₁至M_n一一对应的管式PECVD的炉管压力P_c1至P_cn，记录P_c1至P_cn每个对应的管式PECVD的炉管压力与P_c0的压力差值P_cc10至P_ccn0，记录P_cc10至P_ccn0的压力算术平均值为P_c，n为大于等于3的自然数；

步骤四、如果（|P_c-P_S|/ P_S）*100%小于10%，说明待检测的质量流量计正常，返回步骤三，当（|P_c-P_S|/ P_S）*100%大于等于10%时，需要更换新的质量流量计，然后返回步骤二。

压力值P_S0与压力值P_c1相等。

M₁至M_n指M₁、M₂、…、M_i、…、M_n-1、M_n，i为大于等于2小于等于n-1的自然数，P_S1至P_Sn、P_SS10至P_SSn0、P_c1至P_cn、P_cc10至P_ccn0含义与之类似。

这里所述的PECVD的质量流量计是否正常是指质量流量计设定值与实际值的偏差是否在预设范围内，由于PECVD的质量流量计在使用过程中，会在质量流量计内部会出现沉积，随着沉积厚度原来越厚，导致质量流量计设定值与实际值的偏差越来越大。所以在质量流量计设定值与实际值的偏差超出预设范围后，需要及时发现进行更换。

本发明的有益效果是：在进行PECVD工艺时，能够及时发现质量流量计处于不正常状态，避免镀膜过程发生影响镀膜的质量的问题。

具体实施方式

管式PECVD的硅烷、氨气和笑气的进口都安装有质量流量计，管式PECVD的炉管内部安装有压力传感器，而这些质量流量计和压力传感器都连接PLC控制器，本发明通过PLC控制器实时获得的质量流量计和压力传感器数据直接判断出质量流量计的设定值与实际值偏差是否超过了预测范围，发现超过预测范围的不正常质量流量计时及时报警，提醒工作人员更换质量流量计。具体方案如下

步骤一、管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，通过PLC记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值P_S0，通过PLC记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值M₁至M_n一一对应的管式PECVD的炉管压力P_S1至P_Sn，记录P_S1至P_Sn每个对应的管式PECVD的炉管压力与P_S0的压力差值P_SS10至P_SSn0，记录P_SS10至P_SSn0的压力算术平均值为P_S；本实施例中以硅烷质量流量计进行说明，其它氨气和笑气质量流量计与之类似；本实施例中，P_S0=25mTorr，M₁至M_n，取n=5，M₁=200 SCCM，M₂=300 SCCM，M₃=400 SCCM，M₄=500 SCCM，M₅=600 SCCM，P_S1至P_Sn取五个值，为P_S1，P_S2，P_S3，P_S4和P_S5；

步骤二、将待检测的质量流量计安装在管式PECVD上；

步骤三、进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值P_c1，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应的多个不同流量值M₁至M_n一一对应的管式PECVD的炉管压力P_c1至P_cn，记录P_c1至P_cn每个对应的管式PECVD的炉管压力与P_c0的压力差值P_cc10至P_ccn0，记录P_cc10至P_ccn0的压力算术平均值为P_c，n为大于等于3的自然数；本实施例中，P_c1= P_S0=25mTorr，P_c1至P_cn取五个值，为P_c1，P_c2，P_c3，P_c4和P_c5；

步骤四、如果PLC检测到（|P_c-P_S|/ P_S）*100%小于5%，说明待检测的质量流量计正常，返回步骤三，当（|P_c-P_S|/ P_S）*100%大于等于5%时，报警提醒工作人员，需要更换新的质量流量计，工作人员更换后，返回步骤二。

本实施例可以简单准确的判断出异常的硅烷，氨气和笑气质量流量计并进行更换，缩短了异常处理的时间，保证了硅片镀膜颜色的正常，确保了车间的正常生产。