阅读说明：本技术 泵 (Pump and method of operating the same ) 是由 藤崎雅章 于 2018-12-03 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种泵,该泵具备泵壳体、振动板、驱动体以及供电板(40),供电板(40)具有第一导电部(41)以及与第一导电部(41)电绝缘的第二导电部(42),驱动体具有第一面和第二面,第一导电部(41)包含第一外部端子部(411)、与驱动体的第二面电连接的第一连接端子部(412)、以及连结第一外部端子部和第一连接端子部(412)的第一连结部,第二导电部(42)包含：第二外部端子部(421)和与第二外部端子部(421)和驱动体的第一面电连接的第二连接端子部(422)。(The present invention provides a pump, the pump comprises a pump housing, a vibration plate, a power supply plate (40), the power supply plate (40) comprises a first conductive part (41) and a second conductive part (42) electrically insulated from the first conductive part (41), the power supply plate comprises a first surface and a second surface, the first conductive part (41) comprises a first external terminal part (411), a first connecting terminal part (412) electrically connected with the second surface of the power supply plate, and a first connecting part for connecting the first external terminal part and the first connecting terminal part (412), the second conductive part (42) comprises: a second external terminal portion (421), and a second connection terminal portion (422) electrically connected to the second external terminal portion (421) and the first surface of the driving body.)

泵

技术领域

本发明涉及利用振动板的弯曲振动的容积式的泵，尤其涉及利用压电元件作为驱动振动板的驱动体的压电泵。

背景技术

以往，公知有作为容积式的泵的一种的压电泵。压电泵是通过贴附有压电元件的振动板来规定泵室的至少一部分的泵，通过向该压电元件施加规定频率的交流电压来以谐振频率驱动振动板，由此使泵室产生压力变动而能够进行流体的吸入以及排出。

作为公开了像这样的压电泵的文献，例如举出日本特开2013-147965号公报(专利文献1)以及国际公开第2016/175185号(专利文献2)。

在专利文献1中公开的压电泵中，通过层叠多个压电体层而构成的压电元件被粘贴于振动板，该压电体层具有根据电压施加来进行伸缩的中央部、位于比该中央部靠近外侧并根据电压施加而以与中央部相反相位进行伸缩的周边部、以及位于比该周边部靠近外侧的非驱动的外周部。

在专利文献2中公开的压电泵中，具有第一外部端子部的对置板、贴附有压电元件的振动板、被配置为围绕压电元件的绝缘板、以及具有与第二外部端子部和压电元件的上表面连接的连接端子的供电板从下方侧依次层叠。

专利文献1：日本特开2013-147965号公报

专利文献2：国际公开第2016/175185号

然而，在专利文献1中，需要将多个压电体层在所希望的位置进行导通孔连接等，而且必须将多个压电体层层叠而导致压电元件的结构变得复杂。

在专利文献2中公开的压电泵中，对于贴附有压电元件的振动板，在上方侧配置有具有第一外部端子部的供电板，在下方侧配置有具有第二外部端子部的供电板。由于是通过电流在压电元件的厚度方向上流动从而压电元件进行驱动的结构，因此其结构被简单化。

然而，通过第一外部端子部与第二外部端子部的高度位置相当程度地不同，从而在将专利文献2中公开的压电泵安装于电路基板等时，存在第一外部端子部以及第二外部端子部与电路基板侧的端子部的连接变得困难的情况。由于第一外部端子部与第二外部端子部的高度不同，因此例如在使用导线来连接电路基板侧的端子部与第一外部端子以及第二外部端子部的情况下，也担心在压电泵的驱动时振动传播至导线而产生异响。

发明内容

本发明是鉴于上述那样的问题而完成的，本发明的目的在于提供能够容易地进行安装的泵。

基于本发明的泵具备：泵壳体，具有泵室；振动板，具有第一主面，并面向上述泵室配置；驱动体，设置于上述第一主面，使上述振动板振动；以及供电板，具有设置为一部分从上述泵壳体露出于外部的第一导电部以及与上述第一导电部电绝缘的第二导电部。上述驱动体具有：与上述第一主面相面对的第一面、和位于上述第一主面相反侧的第二面。上述第一导电部包含：位于上述泵壳体的外部的第一外部端子部、与上述驱动体的上述第二面电连接的第一连接端子部、以及连结上述第一外部端子部和上述第一连接端子部的第一连结部。上述第二导电部包含：位于上述泵壳体的外部的第二外部端子部、和与上述第二外部端子部以及上述驱动体的上述第一面电连接的第二连接端子部。

在基于上述本发明的泵中，上述供电板可以包含将上述第一导电部和上述第二导电部一体保持的保持部。

在基于上述本发明的泵中，上述第二导电部包含连结上述第二外部端子部和上述第二连接端子部的第二连结部，上述第一连结部和上述第二连结部可以包含沿着上述保持部的外周布置的部分。

在基于上述本发明的泵中，在上述第一连结部和上述第二连结部中，沿着上述保持部的外周布置的部分可以具有从上述保持部朝向外部延伸的伸出部。

在基于上述本发明的泵中，优选上述保持部具有开口部，该开口部在厚度方向上贯通以使上述驱动体露出。在这种情况下，上述连接端子部可以具有从规定上述开口部的上述保持部的内周面朝向上述开口部延伸的曲折部。

在基于上述本发明的泵中，上述保持部可以由固化的树脂部件构成。在这种情况下，优选上述第一连结部和上述第二连结部在俯视时与上述保持部重叠的部分具有通孔，优选上述固化的树脂部件覆盖上述与上述保持部重叠的部分的表里面，并且填充于上述通孔。

在基于上述本发明的泵中，优选上述第二导电部具有露出部，通过与上述振动板的上述第一主面接触而导通。

在基于上述本发明的泵中，优选上述供电板包含将上述第一导电部以及上述第二导电部一体地保持的保持部，上述露出部设置为在俯视时被上述保持部包围。

在基于上述本发明的泵中，可以设置有多个上述露出部。

在基于上述本发明的泵中，优选上述第一外部端子部以及上述第二外部端子部设置在同一平面上。

也可以还具备加强板，该加强板在与上述振动板所位于的一侧相反侧配置在上述供电板上。

基于上述本发明的泵也可以还具备加强板，该加强板在与上述振动板所位于的一侧相反侧配置在上述供电板上，上述供电板可以包含将上述第一导电部和上述第二导电部一体地保持的保持部。在这种情况下，优选上述加强板与上述保持部的线膨胀系数的差同上述振动板与上述保持部的线膨胀系数大致相等。

根据本发明，能够提供能够容易地进行安装的泵。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的压电鼓风机的示意剖视图。

图2是实施方式1所涉及的压电鼓风机的分解立体图。

图3是实施方式1所涉及的振动单元以及流路形成部的分解立体图。

图4是从与振动板侧相反的一侧观察图2所示的供电板的情况的立体图。

图5是从振动板侧观察图2所示的供电板的情况的立体图。

图6是从振动板侧观察实施方式1所涉及的供电板的情况的俯视图。

图7是示出实施方式1所涉及的供电板与振动单元的电连接的图。

图8是示出将实施方式1所涉及的压电鼓风机安装于电路基板后的状态的俯视图。

图9是示出将实施方式1所涉及的压电鼓风机安装于电路基板后的状态的剖视图。

图10是从振动板侧观察实施方式2所涉及的压电鼓风机所具备的供电板的情况的俯视图。

图11是从振动板侧观察实施方式3所涉及的压电鼓风机所具备的供电板的情况的俯视图。

图12是变形例所涉及的压电鼓风机的分解立体图。

具体实施方式

以下，参照图，对本发明的实施方式详细地进行说明。以下所示的实施方式例示了将本发明应用于作为将气体吸入并排出的泵的压电鼓风机的情况。此外，在以下所示的实施方式中，对相同或者通用的部分在图中标记同一附图标记，而不重复其说明。

(实施方式1)

(压电鼓风机)

图1是实施方式1所涉及的压电鼓风机的示意剖视图。图2是实施方式1所涉及的压电鼓风机的分解立体图。参照图1以及图2，对实施方式1所涉及的压电鼓风机100进行说明。

如图1所示，实施方式1所涉及的压电鼓风机100具备泵壳体1和振动单元30。泵壳体1在内部具有泵室2和流路部3。另外，在泵壳体1具备进气孔110和排气孔92。进气孔110与流路部3连通。排气孔92与泵室2连通。

振动单元30包含振动板31和作为驱动体的压电元件32。振动板31被配置为面向泵室2。压电元件32贴附于振动板31。压电元件32使振动板31振动。

通过向压电元件32施加驱动电压，从而振动板31振动。由此，泵室2产生压力变动，从进气孔110吸入的气体依次经过流路部3以及泵室2而从排气孔92排出。

(压电鼓风机的详细的结构)

如图2所示，压电鼓风机100具备盖板10、流路形成部20、振动单元30、供电板40、加强板50、第二加强板60、接合部件70、隔膜80以及阀壳体90，通过将它们依次层叠而构成。另外，通过层叠盖板10、流路形成部20、振动单元30、供电板40、加强板50以及阀壳体90的外壁部而构成泵壳体1。

此外，在以下的说明中，将从盖板10朝向阀壳体90的方向设为上方向，将从阀壳体90朝向盖板10的方向设为下方向。

盖板10具有板状形状。在盖板10设置有3个进气孔110。3个进气孔110在周向上隔开间隔而配置。3个进气孔110大致等间隔地配置。

图3是实施方式1所涉及的流路形成部以及振动单元的分解立体图。参照图2以及图3，对流路形成部20以及振动单元30进行说明。

如图2以及图3所示，流路形成部20形成从进气孔110至泵室2为止的流路部3。流路形成部20包含第一流路形成部件21以及第二流路形成部件22。

在第一流路形成部件21设置有流路孔211、3个流路孔210以及6个粘合剂密封孔213。流路孔211具有圆形状，设置于第一流路形成部件21的中央部。3个流路孔210设置为从流路孔211延伸为放射状。

6个粘合剂密封孔213在周向上隔开间隔而配置。6个粘合剂密封孔213以与后述的振动板31的框部312和连接部313的连接位置对置的方式沿着周向延伸。各粘合剂密封孔213的下端侧被盖板10覆盖，上端侧与后述的第二流路形成部件22的粘合剂密封孔223连通。

在第二流路形成部件22设置有1个流路孔220和6个粘合剂密封孔223。流路孔220在第二流路形成部件22的中央部以比第一流路形成部件21的流路孔211小的直径形成为圆形状。流路孔220设置于与流路孔211在上下方向上重叠的位置，并与流路孔211连通。

6个粘合剂密封孔223在周向上隔开间隔而配置。6个粘合剂密封孔223以与振动板31的框部312和连接部313的连接位置对置的方式沿着周向延伸。各粘合剂密封孔223的下端侧与第一流路形成部件21的粘合剂密封孔213连通，上端侧面向粘合层(未图示)。

粘合剂密封孔213、223防止未固化状态的粘合层溢出至泵室2而粘合于振动板31的连接部313。由此，连接部313的振动被阻碍，能够按每个产品而防止特性偏差。

上述的第一流路形成部件21的流路孔210的前端与进气孔110连通。另外，该流路孔210除了与进气孔110连通的部分以外，从下方侧被盖板10覆盖，并且从上方侧被第二流路形成部件22。由此，从进气孔110吸入的气体经过流路孔210而朝向流路孔211。

流路孔211与第二流路形成部件22的流路孔220连通。由此，流至流路孔211的气体朝向流路孔220。

在这里，第二流路形成部件22与后述的振动板31在上下方向上保持距离而配置。因此，流路孔220通过该振动板31与第二流路形成部件22之间的缝隙以及后述的振动板31的孔部315而与泵室2连通。其结果是，流至流路孔220的气体经过上述缝隙以及孔部315流入泵室2。如此，通过第一流路形成部件21以及第二流路形成部件22而形成从进气孔110至泵室2的流路。

振动单元30如上述那样包含振动板31以及压电元件32。振动板31例如通过由不锈钢钢等构成的金属制的薄板构成。振动板31的外形具有大致矩形形状。振动板31具有互为表里关系的第一主面(上面)31a以及第二主面(下面)31b。

振动板31包含圆板部311、框部312以及3个连接部313。在振动板31，多个孔部315设置为被圆板部311、框部312以及连接部313包围。框部312以从圆板部311分离的状态包围圆板部311的周围。

各连接部313连接圆板部311与框部312。各连接部313为大致丁字状，在周向上隔开间隔而配置。具体而言，各连接部313的振动板31的中心侧的端部与圆板部311连接，并从圆板部311沿放射方向延伸，分支为二个并在周向上延伸。而且在连接部313中，在周向上延伸的部分朝向框部312侧弯曲，并与框部312连接。

通过各连接部313具有上述的那样的形状，从而圆板部311的边缘由框部312支承为能够在上下方向(厚度方向)上位移且在平面方向上大致不位移。

压电元件32例如由锆钛酸铅(PZT)等压电材料构成。压电元件32具有圆板形状，具有与第一主面31a相面对的第一面32b和位于第一主面31a相反的一侧的第二面32a。

压电元件32通过导线性粘合剂等贴附于振动板31的第一主面31a。更具体而言，压电元件32贴附于圆板部311中的第一主面31a。

压电元件32通过被施加交流电压从而进行弯曲振动，通过在该压电元件32产生的弯曲振动被传播至振动板31，从而振动板31也进行弯曲振动。由此，在泵室32产生压力变动。

再次，如图2所示，供电板40被设置为在振动板31的第一主面31a侧围绕压电元件32。供电板40具有如后述的那样位于泵壳体1的外部的第一外部端子部411以及第二外部端子部421。

如后述那样，第一外部端子部411与压电元件32的第二面32a电连接，第二外部端子部421与压电元件32的第一面32b电连接。因此，通过向第一外部端子部411以及第二外部端子部421之间施加电压，从而向压电元件32施加电压。此外，对于供电板40的详细的结构，使用图4至图6后述。

加强板50具有俯视时具有圆形的孔部51的框状。加强板50在与振动板31所位于的一侧相反侧配置在供电板40上。加强板50以围绕后述的供电板40的内侧框部432(参照图4)的方式配置在供电板40上。加强板50例如由金属材料构成。通过设置加强板50，从而能够确保泵壳体的刚性。

优选加强板50由与振动板31大致相同的材料构成。具体而言，优选加强板50与后述的供电板40的保持部43的线膨胀系数的差同振动板31与保持部43的线膨胀系数的差大致相等。通过具有这样的关系，从而能够抑制因温度差而供电板40翘曲这一情况。

第二加强板60覆盖加强板50的孔部51。在第二加强板60设置有与孔部51连通的第一孔部61以及第二孔部62。接合部件70接合第二加强板60与隔膜80。接合部件70具有与上述第一孔部61以及第二孔部62连通的孔部71。

隔膜80具有与孔部71连通的孔部81。孔部81与设置于阀壳体90的喷嘴部91的排气孔92连通。

像这样，后述的供电板40的开口部434(参照图4)通过与孔部51、第一孔部61、第二孔部62、孔部71、孔部81以及排气孔92连通从而形成泵室2，来自开口部434的气体经过这些孔部而从排气孔92排出。

(供电板的详细的结构)

图4是从与振动板侧相反的一侧观察图2所示的供电板的情况的立体图。图5是从振动板侧观察图2所示的供电板的情况的立体图。图6是从振动板侧观察实施方式1所涉及的供电板的情况的俯视图。参照图4至图6，对供电板40的详细的结构进行说明。

如图4至图6所示，供电板40包含作为第一导电部的第一导电部件41、作为第二导电部的第二导电部件42、以及保持部43。

第一导电部件41以及第二导电部件42设置为一部分从泵壳体朝向外部突出。即，第一导电部件41以及第二导电部件42设置为一部分从泵壳体露出于外部。第一导电部件41以及第二导电部件42相互分离地配置。第一导电部件41以及第二导电部件42电绝缘。第一导电部件41以及第二导电部件42例如由包含铜的金属片构成。此外，例示第一导电部件41以及第二导电部件42由独立部件构成的情况而进行说明，但并不局限于此，第一导电部件41以及第二导电部件42只要是电绝缘则也可以一体化。

第一导电部件41包含第一外部端子部411、第一连接端子部412以及第一连结部413。第一外部端子部411位于泵壳体1的外部。第一外部端子部411设置于第一导电部件41中的从泵壳体1朝向外部突出的部分的前端侧。

优选在第一外部端子部411实施表面处理。例如，优选第一外部端子部411被Sn镀层包覆。由此，如后述的那样，在对第一外部端子部411进行焊料安装时，能够使焊料的附着性变得良好。此外，优选作为表面处理部的镀层未与保持部43接触。由此，能够在焊料安装时防止焊料与保持部43接触。

第一连接端子部412与压电元件32的第二面32a电连接。具体而言，第一连接端子部412的前端被焊接于压电元件32的第二面32a。优选第一连接端子部412被实施表面处理。例如，由于第一连接端子部412被Sn镀层包覆。由此，能够使焊料的附着性变得良好。

第一连接端子部412从规定后述的保持部43的开口部434的保持部43的内周面朝向开口部434延伸。第一连接端子部412设置为具有朝向开口部434延伸的曲折部而曲折。由此，与将连接端子部形成为直线状的情况相比较，能够增长第一连接端子部412的长度。

通过第一连接端子部412变长，从而能够使通过压电元件32的位移而施加于第一连接端子部412的前端部并传播至第一连接端子部412的基部的振动衰减。其结果是，能够减轻对第一连接端子部412的基部的负荷，并能够抑制第一连接端子部412的基部的断裂。

第一连结部413连结第一外部端子部411与第一连接端子部412。第一连结部413包含沿着保持部43的外周布置的部分。第一连结部413设置为沿着俯视时的保持部43的4个角部中的1个角部。第一连结部413具有大致L字形状。

在第一连结部413中，沿着保持部43的外周布置的部分具有从保持部43朝向外部延伸的伸出部413c。第一连结部413在俯视时与保持部重叠的部分具有通孔414。

第二导电部件42包含第二外部端子部421、第二连接端子部422、以及第二连结部423。第二外部端子部421位于泵壳体1的外部。第二外部端子部421设置于第二导电部件42中的从泵壳体朝向外部突出的部分的前端侧。

优选在第二外部端子部421实施表面处理。例如，优选第二外部端子部421被Sn镀层包覆。由此，如后述的那样，在对第二外部端子部421进行焊料安装时，能够使焊料的附着性变得良好。此外，优选作为表面处理部的镀层未与保持部43接触。由此，能够在焊料安装时防止焊料与保持部43接触。

第二连接端子部422与第二外部端子421和上述压电元件32的第一面32b电连接。第二连接端子部422具有露出部422a。露出部422a位于泵壳体的内部，从保持部43朝向振动板31的第一主面31a侧露出。露出部422a设置有多个。具体而言，设置有3个露出部422a。3个露出部422a配置于俯视时的保持部43的4个角部中的未配置有上述的第一连结部413的其他3个角部的内侧。

露出部422a与振动板31的第一主面31a接触。由此，第二导电部件42通过振动板31与压电元件32的第一面32b电连接。即，露出部422a与第一主面32b接触而导通，通过振动板31形成将露出部422a与压电元件32的第一面32b电连接的导通路径。

此外，通过设置多个露出部422a，从而能够更可靠地进行露出部422a与振动板31的接触。

露出部422a配置为在俯视时被保持部43包围。由此，能够抑制露出部422a进入保持部43的开口部434的内侧。在露出部422a进入开口部434的情况下，可能因泵室7内的气体的移动而力作用于露出部422a，露出部422a被剥离。在本实施方式中，由于露出部422a未进入开口部434内，因此能够抑制露出部422a的剥离。

对露出部422a进行表面处理。例如，露出部422a被Sn镀层包覆。由此，能够抑制露出部422a生锈。

第二连结部423连接第二外部端子部421与多个露出部422a。第二连结部423包含沿着保持部43的外周布置的部分。具体而言，第二连结部423包含以依次经过俯视时的保持部43的4个角部中的未配置有上述第一连结部413的其他3个角部的方式沿着保持部43的外周延伸的部分。

在第二连结部423中，沿着保持部43的外周布置的部分具有从保持部43朝向外部延伸的伸出部423c。第二连结部423在俯视时与保持部重叠的部分具有通孔424。

保持部43将第一导电部件41以及第二导电部件42一体地保持。保持部43由固化的树脂部件构成。作为树脂部件，使用绝缘性的材料。保持部43将第一导电部件41以及第二导电部件42成型为一部分露出。

如上述那样，在第一连结部413以及第二连结部423中，沿着保持部43的外周布置的部分具有从保持部43朝向外部延伸的伸出部。因此，在使用注射模塑成形来将第一导电部件41、第二导电部件42以及保持部43一体成形的情况下，能够以金属模的外部来支承伸出部。

由此，不需要在金属模的内部设置用于挤压第一导电部件41以及第二导电部件42的结构，而能够增大俯视时保持部43的面积。由此，能够稳定保持部43地接合于振动板，并且能够增大接合面积。

另外，第一连结部413以及第二连结部423在俯视时与保持部43重叠的部分具有通孔414、424，上述固化的树脂部件覆盖与保持部43重叠的部分的表里面，并且填充于上述通孔414、424。由此，能够防止第一导电部件41以及第二导电部件42从保持部43脱落。

保持部43包含外侧框部431、内侧框部432、位移限制部435。外侧框部431俯视下具有大致矩形形状。外侧框部431包围内侧框部432，并且规定保持部43的外形。

内侧框部432具有俯视时大致圆形的外形。在内侧框部432设置有以压电元件32露出的方式在厚度方向上贯通的开口部434。规定开口部434的内侧框部432的内周面构成泵室2的一部分。

在内侧框部432与外侧框部431之间设置有阶梯差。内侧框部432设置为与外侧框部431相比高度位置较高。内侧框部432的上表面位于比外侧框部431的上表面高的位置，内侧框部432的下表面位于比外侧框部431的下表面高的位置。

若压电元件32的第二面32a过度地接近内侧框部432的下表面则因空气阻力而振动振幅降低。因此，在实施方式1中，内侧框部432的下表面被设置为从压电元件32远离。

内侧框部432具有朝向开口部434突出的3个波状部433。各波状部433俯视下波状地连续。3个波状部433设置于在周向上4等分区域中的3个区域。

在朝向压电元件32侧的波状部433的下表面设置有位移限制部435。位移限制部435俯视下为圆形，朝向压电元件32侧突出。位移限制部435在冲击加重等作用时接触压电元件32的第二面32a而抑制在振动板31的连接部313产生过度的延伸。此外，位移限制部435被设置为不干扰压电元件32的弯曲振动。

图7是示出实施方式1所涉及的供电板与振动单元的电连接的图。参照图7，对供电板40与振动单元30的电连接进行说明。

如图7所示，与第一外部端子部411电连接的第一连接端子部412与压电元件32的第二面32a电连接。与第二外部端子部421电连接的露出部422a接触振动板31的第一主面31a，并通过振动板31与压电元件32的第一面32b电连接。由此，通过向第一外部端子部411以及第二外部端子部421施加电压，从而向压电元件32施加电压。

(安装状态)

图8是示出将实施方式1所涉及的压电鼓风机安装于电路基板的状态的俯视图。图9是示出将实施方式1所涉及的压电鼓风机安装于电路基板的状态的剖视图。参照图8以及图9，对实施方式1所涉及的压电鼓风机100的安装状态进行说明。

如图8以及图9所示，压电鼓风机100例如安装于被支承部件300支承的电路基板200。电路基板200具有用于将压电鼓风机100插入的插入孔203、以及用于连接第一外部端子部411以及第二外部端子部421的焊盘201、202。焊盘201、202设置于位于与支承部件300侧相反的一侧的电路基板200的主面。

压电鼓风机100在以喷嘴部91朝向支承部件300侧的方式被插入插入孔203的状态安装于支承部件300。在该状态下，第一外部端子部411以及第二外部端子部421与焊盘201、202对置而配置。

在压电鼓风机100中，由于是第一导电部件41以及第二导电部件42被一体保持于保持部43的结构，因此能够抑制第一导电部件41以及第二导电部件42的高度位置偏差。由此，能够抑制第一导电部件41所包含的第一外部端子部411以及第二导电部件42所包含的第二外部端子部421的高度位置偏差。因此，能够将第一外部端子部411以及第二外部端子部421焊接于焊盘201、202。

如以上的那样，在实施方式1所涉及的压电鼓风机100中，通过设为将具有与压电元件32的第二面32a连接的第一连接端子部412以及第一外部端子部411的第一导电部件41、与具有通过相对于压电元件32形成于振动板31侧的导通路径而与压电元件32的第一面32b电连接的露出部422a以及第二外部端子部421的第二导电部件42，通过保持部43一体地保持的结构，从而能够不进行向压电元件32的电压施加，并且抑制第一外部端子部411与第二外部端子部421的高度位置的偏差。由此，如上述那样，能够将压电鼓风机100容易地安装于电路基板200等。另外，通过不使用导线而使用焊料来将第一外部端子部411与第二外部端子部421安装于电路基板，从而能防止因伴随压电元件32的伸缩的振动而导线振动而产生异响。

并且，在将第一外部端子部411与第二外部端子部421设置于同一平面上的情况下，能够更容易地进行安装。

(实施方式2)

图10是从振动板侧观察实施方式2所涉及的压电鼓风机所具备的供电板的情况的俯视图。参照图10，对实施方式2所涉及的压电鼓风机进行说明。

如图10所示，实施方式2所涉及的压电鼓风机在与实施方式1所涉及的压电鼓风机100相比较的情况下，供电板40的第一连接端子部412A的形状不同。其他的结构大致相同。

第一连接端子部412A具有直线部4121和突出部4122。直线部4121从规定保持部43的开口部434的保持部43的内周面朝向开口部434直线地延伸。突出部4122向与直线部4121的延伸方向交叉的方向突出。突出部4122设置于直线部4121的前端与基端之间。

通过设置突出部4122，与连接端子部仅由直线部4121构成的情况相比较，突出部4122作为重物发挥作用。由此，能够使因压电元件32的位移而施加于第一连接端子部412A的前端部并传播至第一连接端子部412A的基部的振动衰减。其结果是，能够减轻对第一连接端子部412A的基部的负荷，并能够抑制第一连接端子部412A的基部的断裂。

在具有以上的那样的结构的情况下，实施方式2所涉及的压电鼓风机也能够获得与实施方式1所涉及的压电鼓风机大致相同的效果。

(实施方式3)

图11是从振动板侧观察实施方式3所涉及的压电鼓风机所具备的供电板的情况的俯视图。参照图11，对实施方式3所涉及的压电鼓风机进行说明。

如图11所示，实施方式3所涉及的压电鼓风机在与实施方式1所涉及的压电鼓风机100相比较的情况下，供电板40的第一连接端子部412B的形状不同。其他的结构大致相同。

第一连接端子部412B具有随着从基部一侧朝向前端逐渐变细的尖端渐细形状。由此，能够提高第一连接端子部412B的基部侧的刚性。因此，能够使因压电元件32的位移而施加于第一连接端子部412B的前端部并传播至第一连接端子部412B的基部的振动衰减。其结果是，能够减轻对第一连接端子部412B的基部的负荷，并能够抑制第一连接端子部412B的基部的断裂。

即使在具有以上的那样的结构的情况下，实施方式3所涉及的压电鼓风机也能够获得与实施方式1所涉及的压电鼓风机大致相同的效果。

(其他的变形例)

在上述的实施方式1至3所涉及的压电鼓风机中，例示第二导电部件42的露出部422a通过振动板31而与压电元件32的第一面32b电连接的情况而进行了说明，但不限定于此。露出部422a只要通过相对于压电元件32形成于振动板31侧的导通路径连接于压电元件32的第一面32b即可，能够将该导通路径适当地变更。例如，也可以在振动板31中，通过在与压电元件32的第一面32b的一部分对置的部分设置第一洞部，在与露出部422a对置的部分设置第二洞部，并以经过该第一洞部以及第二洞部的方式设置布线部从而第一面32b与露出部422a电连接。

此外，在上述的实施方式1至3中，例示将本发明应用于将气体吸入并排出的压电鼓风机的情况而进行了说明，但也能够将本发明应用于将液体吸入而排出的泵、利用压电元件以外的元件作为驱动体的泵(但是，当然仅限于利用振动板的弯曲振动的容积式的泵)。

此外，在上述的实施方式1至3中，例示在振动板31中供压电元件32贴附的部分为俯视圆形形状的情况进行了说明，但并不局限于此，只要构成为能够通过压电元件32振动，则也可以是俯视矩形形状，也可以是多边形形状。

图12是变形例所涉及的压电鼓风机的分解立体图。如图12所示，在变形例所涉及的压电鼓风机100B中，如上述那样在振动板31中，供压电元件32贴附的部分为俯视矩形状。在这种情况下，优选压电元件32也是矩形形状，根据供上述压电元件32贴附的部分的形状，而适当地变更多个流路孔210、多个粘合剂密封孔213、223、孔部315、多个连接部313的位置以及/或者形状。具体而言，多个流路孔210形成为十字形状。多个粘合剂密封孔213、223配置于矩形形状的4个角部，该矩形形状分离地围绕与供压电元件32贴附的部分重叠的部分，并形成为L字形状。多个连接部313设置于与供压电元件32贴附的部分的各边对应的位置。

在上述的实施方式1至3以及变形例所涉及的压电鼓风机中，例示盖板10与第一流路形成部件21以及第二流路形成部件22独立地构成的情况进行了说明，但并不限定于此，也可以它们一体地构成。

以上，这次发明的实施方式在全部的方面都是例示而不是限制性的。本发明的范围由权利要求书示出，并包含与权利要求书等同的含义以及范围内的全部变更。

附图标记说明：

1...泵壳体；2...泵室；3...流路部；10...盖板；20...流路形成部；21、22...流路形成部件；30...振动单元；31...振动板；31a...第一主面；32...压电元件；32a...第二面；32b...第一面；40...供电板；41...第一导电部件；42...第二导电部件；43...保持部；50...加强板；51...孔部；60...第二加强板；61...第一孔部；62...第二孔部；70...接合部件；71...孔部；80...隔膜；81...孔部；90...阀壳体；91...喷嘴部；92...排气孔；100...压电鼓风机；110...进气孔；200...电路基板；201、202...焊盘；203...插入孔；210、211...流路孔；213...粘合剂密封孔；220...流路孔；223...粘合剂密封孔；300...支承部件；311...圆板部；312...框部；313...连接部；315...孔部；411...第一外部端子部；412、412A、412B...第一连接端子部；413...第一连结部；413c...伸出部；414...通孔；421...第二外部端子部；422...第二连接端子部；422a...露出部；423...第二连结部；423c...伸出部；424...通孔；431...外侧框部；432...内侧框部；433...波状部；434...开口部；435...位移限制部；4121...直线部；4122...突出部。