阅读说明：本技术 利用多个带电粒子束检查样品的方法 (Method for inspecting a sample with a plurality of charged particle beams ) 是由 刘国狮 刘学东 方伟 招允佳 于 2018-09-25 设计创作，主要内容包括：本文公开了一种方法,包括：通过多个带电粒子束在样品上生成多个探针斑(310A-310C)；在横跨样品上的区域(300)扫描多个探针斑的同时,从多个探针斑记录多个信号集合,多个信号集合分别表示多个带电粒子束与样品的相互作用；分别根据多个信号集合生成区域(300)的多个图像(361-363)；以及根据多个图像生成区域的合成图像。(Disclosed herein is a method comprising: generating a plurality of probe spots (310A-310C) on a sample by a plurality of charged particle beams; recording a plurality of signal sets from the plurality of probe spots while scanning the plurality of probe spots across an area (300) on the sample, the plurality of signal sets respectively representing interactions of the plurality of charged particle beams with the sample; a plurality of images (361-363) of the region (300) are generated respectively according to the plurality of signal sets; and generating a composite image of the region from the plurality of images.)

利用多个带电粒子束检查样品的方法

相关申请的交叉参考

本申请要求2017年9月29日提交的美国申请62/566,177的优先权，其通过引用全部并入本文。

技术领域

本公开涉及用于检查(例如，观察、测量和成像)样品(诸如在诸如集成电路(IC)的制造的器件制造工艺中使用的晶圆和掩模)的方法。

背景技术

器件制造工艺可包括将期望图案施加于衬底。图案化装置(备选地称为掩模或中间掩模)可用于生成期望图案。该图案可转印到衬底(例如，硅晶圆)上的目标部分(例如，包括部分、一个或多个管芯)。图案的转印通常经由在衬底上设置的辐射敏感材料(光刻胶)层成像来完成。单个衬底可包含连续图案化的相邻目标部分的网络。光刻设备可用于这种转印。一种类型的光刻设备被称为步进机(stepper)，其中通过一次将整个图案暴露在目标部分上来照射每个目标部分。另一种类型的光刻设备被称为扫描器(scanner)，其中通过在给定方向上经过辐射束扫描图案、同时与该方向平行或反平行地扫描衬底来照射每个目标部分。也可以通过将图案压印到衬底上来将图案从图案化装置转印到衬底。

为了监控器件制造工艺中的一个或多个步骤(例如，曝光、光刻胶处理、蚀刻、显影、烘烤等)，可以检查样品(诸如通过器件制造工艺图案化的衬底或其中使用的图案化装置)，其中可以测量样品的一个或多个参数。例如，一个或多个参数可包括边缘放置误差(EPE)，其是衬底或图案化装置上的图案的边缘与图案的预期设计的相应边缘之间的距离。检查还可以发现图案缺陷(例如，失败的连接或失败的分离)和不请自来的颗粒。

检查器件制造工艺中使用的衬底和图案化装置可以帮助提高产量。从检查中获得的信息可用于识别缺陷或调整器件制造工艺。

发明内容

本文公开了一种方法，包括：通过多个带电粒子束在样品上生成多个探针斑；在横跨样品上的区域扫描多个探针斑的同时，从多个探针斑记录多个信号集合，该多个信号集合分别表示多个带电粒子束与样品的相互作用；分别根据多个信号集合生成该区域的多个图像；以及根据多个图像生成该区域的合成图像。

根据一个实施例，多个探针斑具有不同的大小或不同的强度。

根据一个实施例，多个探针斑被隔开。

根据一个实施例，多个探针斑在被扫描时具有相对于彼此的移动。

根据一个实施例，横跨区域分别扫描多个探针斑所经历的时间周期是不同的。

根据一个实施例，时间周期在时间上是不连续的。

根据一个实施例，时间周期具有部分重叠。

根据一个实施例，多个信号集合不是在整个时间周期期间记录的。

根据一个实施例，该区域的多个图像中的每个图像仅由多个信号集合中的一个信号集合生成。

根据一个实施例，生成该区域的多个图像包括：相对于信号的幅度或多个探针斑的位置来数字化多个信号集合。

根据一个实施例，该区域的多个图像是表示信号的幅度的数字值的汇集。

根据一个实施例，该区域的合成图像是数字值的平均值的汇集。

根据一个实施例，生成该区域的合成图像包括平均该区域的多个图像。

根据一个实施例，通过简单平均、加权平均或移动平均来平均多个图像。

根据一个实施例，该方法还包括：根据另一束带电粒子在样品上生成附加斑点。

根据一个实施例，附加斑点具有与多个探针斑不同的大小或不同的强度。

根据一个实施例，该方法还包括：使用附加斑点，用电荷向该区域充电。

根据一个实施例，该方法还包括：在扫描多个探针斑之前或同时扫描附加斑点。

根据一个实施例，不从附加斑点记录表示另一束和样品的相互作用的信号。

本文公开了一种计算机程序产品，包括其上记录有指令的非暂态计算机可读介质，指令在被计算机执行时实施任何上述方法。

附图说明

图1示意性示出了可执行带电粒子束检查的设备。

图2A示意性示出了可使用多个带电粒子束执行带电粒子束检查的设备，其中多束中的带电粒子来自单一源(“多束”设备)。

图2B示意性示出了备选的多束设备。

图2C示意性示出了备选的多束设备。

图3示意性示出了使用一束带电粒子检查样品。

图4示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品。

图5示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品。

图6示意性示出了根据一个实施例的图像平均。

图7示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品。

图8示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品。

图9示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品的方法的流程图。

具体实施方式

具有各种检查样品(例如，衬底和图案化装置)的技术。一种检查技术是光学检查，其中光束被引导向衬底或图案化装置并且记录表示光束和样品的相互作用(例如，散射、反射、衍射)的信号。另一种检查技术是带电粒子束检查，其中带电粒子(例如，电子)束被引导向样品并且记录表示带电粒子与样品的相互作用(例如，二次发射和反向散射发射)的信号。

如本文所使用的，除非另有特别说明，否则术语“或”包括所有可能的组合，除非不可行。例如，如果声明数据库可包括A或B，则除非特别声明或不可行，否则数据库可包括A或B或A和B。作为第二示例，如果声明数据库可包括A、B或C，则除非特别声明或不可行，否则数据库可包括A、或B、或C、或A和B、或A和C、或B和C、或A和B和C。

图1示意性示出了可执行带电粒子束检查的设备100。设备100可包括被配置为生成和控制带电粒子束的部件，诸如可在自由空间产生带电粒子的源10、束提取电极11、聚光透镜12、束消隐偏转器13、孔径14、扫描偏转器15和物镜16。设备100可包括被配置为检测表示带电粒子束和样品的相互作用的信号的部件，诸如E×B带电粒子绕行装置17、信号检测器21。设备100还可以包括被配置为处理信号或控制其他部件的部件，诸如处理器。

在检查处理的一个示例中，带电粒子的束18被引导到位于工作台30上的样品9(例如，晶圆或掩模)。表示束18和样品9的相互作用的信号20通过E×B带电粒子绕行装置17引导到信号检测器21。处理器可使工作台30移动或使束18进行扫描。

由于带电粒子束检查所使用的带电粒子的波长比光学检查所使用的光的波长短，因此带电粒子束检查可具有比光学检查更高的分辨率。随着器件制造工艺的发展，衬底和图案化装置上的图案的大小变得越来越小，带电粒子束检查得到越来越广泛的应用。由于所用带电粒子之间的相互作用(例如，库仑效应)，带电粒子束检查的产量相对较低。可使用多个带电粒子束来增加产量。

在一个示例中，多个带电粒子束可同时扫描样品上的多个区域。多束的扫描可以是同步的或独立的。多个区域之间可具有重叠，可以被平铺以覆盖连续区域，或者可以被彼此隔离。由束和样品的相互作用生成的信号可被多个检测器收集。检测器的数量可小于、等于或大于束的数量。多束可以单独控制或统一控制。

多个带电粒子束可在样品表面上形成多个探针斑。探针斑可分别或同时扫描表面上的多个区域。带电粒子束可以从探针斑的位置生成信号。信号的一个示例是次级电子。次级电子的能量通常小于50ev。当带电粒子束是电子时，信号的另一示例是反向散射电子。反向散射电子的能量通常接近电子束的着陆能量。来自探针斑的位置的信号可以被多个检测器分别或同时收集。

多束可分别来自多个源或者单个源。如果束来自多个源，则多列可以将光束扫描并聚焦到表面上，并且由束生成的信号可以分别被列中的检测器检测。使用来自多个源的束的设备可称为多列设备。列可以是独立的，或者共享多轴磁性或电磁复合物镜。参见美国专利第8,294,095号，其公开通过引用全部并入本文。由多列设备生成的探针斑可以隔开30-50mm的距离。

如果束来自单个源，则源转换单元可用于形成单个源的多个虚拟或真实图像。每个图像和单个源可以被视为束的(也称为“束流(beamlet)”，因为所有束流都来自相同源)发射器。源转换单元可具有导电层(其具有多个开口)，可将来自单个源的带电粒子划分为多个束流。源转换单元可具有光学元件，其可以影响束流来形成单个源的多个虚拟或真实图像。每个图像都可以被视为发射一个束流的源。束流可以隔开微米的距离。可具有投影系统和偏转扫描单元的单列可用于扫描并将束流聚焦在样品的多个区域上。由束流生成的信号可以被单列内的检测器的多个检测元件分别检测。使用来自单个源的束的设备可以称为多束设备。

至少有两种方法来形成单个源的图像。在第一种方法中，每个光学元件具有聚焦一个束流并由此形成一个真实图像的静电微透镜。例如，参见美国专利第7,244,949号，其公开通过引用全部并入本文。在第二种方法中，每个光学元件具有静电微偏转器，该静电微偏转器偏转一个束流，从而形成一个虚拟图像。例如，参见美国专利第6,943,349号和美国专利申请第15/065,342号，其公开通过引用全部并入本文。第二种方法中的带电粒子之间的相互作用(例如，库仑效应)可弱于第一种方法，因为真实图像具有更高的电流密度。

图2A示意性示出了可使用多个带电粒子束执行进行带电粒子束检查的设备400，其中，多束中的带电粒子来自单个源。即，设备400是多束设备。设备400具有可以在自由空间中产生带电粒子的源401。在一个示例中，带电粒子是电子，并且源401是电子枪。设备400具有光学系统419，其可以利用带电粒子在样品407的表面上生成多个探针斑，并且在扫描样品407的表面上的探针斑。光学系统419可具有相对于聚光透镜404在上游或下游的聚光透镜404和主孔径405。如本文所使用的，表述“部件A相对于部件B在上游”表示在设备的正常操作中，带电粒子束在到达部件B之前达部件A。如本文所使用的，表述“部件B相对于部件A在下游”表示在设备的正常操作中，带电粒子束在到达部件A之后到达部件B。光学系统419具有被配置为形成源401的多个虚拟图像(例如，虚拟图像402和403)的源转换单元410。虚拟图像和源401均可以被视为束流的发射器(例如，束流431、432和433)。源转换单元410可具有：导电层412，具有多个开口，可以将来自源401的带电粒子划分为多个束流；以及光学元件411，可以影响束流以形成源401的虚拟图像。光学元件411可以是被配置为使束流偏转的微偏转器。束流的电流可受到导电层412中的开口的大小或者聚光透镜404的聚焦功率的影响。光学系统419包括被配置为聚焦多个束流、从而在样品407的表面上形成多个探针斑的物镜406。源转换单元410还可以具有被配置为减少或消除探针斑的像差(例如，场曲率和像散)的微补偿器。

图2B示意性示出了备选的多束设备。聚光透镜404准直来自源401的带电粒子。源转换单元410的光学元件411可包括微补偿器413。微补偿器413可与微偏转器分离，或者可与微偏转器集成。如果分离，则微补偿器413可被定位在微偏转器的上游。微补偿器413被配置为补偿聚光透镜404或物镜406的离轴像差(例如，场曲率、像散和失真)。离轴像差可能对由离轴(即，不沿着设备的主光轴)束流形成的探针斑的大小或位置产生负面影响。物镜406的离轴像差不能通过束流的偏转而完全消除。微补偿器413可补偿物镜406的残余离轴像差(即，不能通过束流的偏转而消除的离轴像差的部分)或探针斑的大小的不均匀性。每个微补偿器413与导电层412中的一个开口对准。微补偿器413均可具有四极或更多极。束流的电流可以受导电层412中的开口的大小和/或聚光透镜404的位置的影响。

图2C示意性示出了备选的多束设备。源转换单元410的光学元件411可包括预弯微偏转器414。预弯曲微偏转器414是被配置为在束流通过导电层412中的开口之前弯曲束流的微偏转器。

使用来自单个源的多束电荷粒子的设备的附加描述可在美国专利申请出版物2016/0268096、2016/0284505和2017/0025243、美国专利9607805、美国专利申请15/365,145、15/213,781、15/216,258和62/440,493以及PCT申请PCT/US17/15223中找到，其公开通过引用全部并入本文。

当用一束带电粒子检查样品(例如，衬底或图案化装置)的区域时，从该区域中由该束形成的探针斑记录表示束与样品的相互作用的信号。信号可包括随机噪声。为了减少随机噪声，探针斑可多次扫描该区域，并且可以对不同时间从相同位置记录的信号进行平均。图3示意性示出了使用一束带电粒子检查样品。图3示出了探针斑310相对于样品的移动。在扫描探针斑310期间，样品可以移动。探针斑310的直径为W。在该示例中被检查的区域300是矩形的，但不是必须为矩形。为了方便，在相对于样品没有移动的参考框(“RF”)中限定了两个方向x和y。x和y方向相互垂直。在时间周期T10期间，探针斑310横跨整个区域300进行扫描，这意味着在时间周期T10期间的某个时间点，区域300中的每个位置都在探针斑310内。例如，探针斑310可沿x方向移动长度L(用实心箭头表示)，在此期间，从探针斑310记录表示束和样品的相互作用的信号；可沿-x方向移动长度L以及沿-y方向移动宽度W(用点箭头表示)，在此期间，从探针斑310没有记录表示束和样品的相互作用的信号。探针斑310的这种来回移动可以重复，直到探针斑310扫描了整个区域300为止。探针斑310的其它移动以覆盖整个区域是可能的。可以根据时间周期T10期间记录的信号生成区域300的图像351。例如，图像351可以通过在幅度或空间方面数字化信号来生成。图像351可以是表示当探针斑310分别位于区域300内的多个位置时记录的信号的幅度的数字值的汇集。尽管使用了“图像”一词，但图像351不是必须为人眼可容易感知的形式。例如，图像351可以是存储在计算机存储器中的值。以相同或不同的方式，可以在不同于时间周期T10的时间周期T20和T30期间获得诸如图像352和353的附加图像。时间周期T10、T20和T30在时间上可以不连续。对从由同一束带电粒子生成的探针斑310获得的图像进行平均(例如，简单平均、加权平均、移动平均等)。例如，当图像351、352和353是表示当探针斑310位于区域300内的多个位置时记录的信号的幅度的数字值的汇集时，可以通过对相同位置的数字值进行平均来对图像351、352和353进行平均。即，图像351、352和353的平均可以是图像351、352和353分别在多个位置处的数字值的平均的汇集。

图4示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品。在该示例中，三束在样品上生成三个探针斑310A-310C。图4示出了三个探针斑310A-310C相对于样品的移动。三个探针斑310A-310C可以但不是必须排成一行。在该示例中，三个探针斑310A-310C的宽度为W。探针斑的宽度不是必须相同。三个探针斑310A-310C彼此之间可以移动或者可以不移动。在该示例中，被检查的区域300是矩形的，但不是必须为矩形。在该示例中，在时间周期T41、T42和T43期间，三个探针斑310A-310C分别横跨整个区域300进行扫描，这意味着分别在时间周期T41-T43期间的某个时间点，区域300中的每个位置都在探针斑310A-310C内。例如，三个探针斑310A-310C可沿x方向移动长度L(用实心箭头表示)，在此期间，从探针斑310记录表示束和样品的相互作用的信号；沿x方向移动长度L以及沿-y方向移动宽度W(用点箭头表示)，在此期间，从三个探针斑310A-310C没有记录表示束和样品的相互作用的信号。这些来回移动可以重复，直到三个探针斑310A-310C中的每一个扫描了整个区域300。三个探针斑310A-310C可以在时间周期T41、T42或T43的开始处位于不同位置，并且位置可以在区域300之外。例如，如图4所示，在时间周期T41的开始处，探针斑310A在y方向上位于区域300的末端；探针斑310B与探针斑310A相邻且在区域300之外；探针斑310C与探针斑310B相邻且进一步在区域300之外。在时间周期T41、T42或T43的持续时间内，三个探针斑310A-310C可位于不同位置。例如，如图4所示，在时间周期T41、T42或T43的持续时间内，探针斑310A-310C彼此相邻并且在区域300内。类似地，在时间周期T43的结束处，三个探针斑310A-310C可位于不同位置，并且这些位置可以在区域300之外。例如，如图4所示，在时间周期T43的结束处，探针斑310C在-y方向上位于区域300的末端；探针斑310B与探针斑310C相邻且在区域300之外；探针斑310A与探针斑310B相邻且进一步在区域300之外。区域300的图像361可由在时间周期T41期间从探针斑310A记录的信号形成。区域300的图像362可由在时间周期T42期间从探针斑310B记录的信号形成。区域300的图像363可由在时间周期T43期间从探针斑310C记录的信号形成。例如，图像361-363可通过在幅度或空间方面数字化信号来形成。图像361-363可以是表示当探针斑310A-310C分别位于区域300内的多个位置时记录的信号的幅度的数字值的汇集。尽管使用了“图像”一词，但图像361-363不是必须为人眼可容易感知的形式。例如，图像361-363可以是存储在计算机存储器中的值。时间周期T41、T42和T43可具有一些重叠(如本示例)、完全重叠(如图5所示的示例)或者完全没有重叠。时间周期T10、T20和T30在时间上可以不连续。在该示例中，时间周期T41、T42和T43具有相同的长度，但开始和结束于不同的时间。图像361-363被平均(例如，简单平均、加权平均、移动平均等)。例如，当图像361-363是表示当探针斑310A-300C位于区域300内的多个位置时所记录的信号的幅度的数字值的汇集时，可通过对相同位置的数字值进行平均来对图像361-363进行平均。即，图像361-363的平均可以是图像361-363分别在多个位置的数字值的平均的汇集。在该示例中，当记录表示生成三个探针斑310A-310C中的任何两个的束与样品的相互作用的信号时，这两个探针斑不在区域300中的相同位置。

图5示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品。在该示例中，三个光束在样品上生成三个探针斑310A-310C。图5示出了三个探针斑310A-310C相对于样品的移动。三个探针斑310A-310C可以但不是必须排成一行。在该示例中，三个探针斑310A-310C的宽度为W。探针斑的宽度不必须相同。三个探针斑310A-310C彼此之间可以移动或者不移动。在该示例中，被检查的区域300是矩形的，但不定必须为矩形。在该示例中，在时间周期T40期间，三个探针斑310A-310C中的每一个都横跨整个区域300进行扫描，这意味着在时间周期T40期间的某个时间点，区域300中的每一位置都在探针斑310A-310C中的每一个内。例如，三个探针斑310A-310C可沿x方向移动长度L(用实心箭头表示)，在此期间，从探针斑310记录表示束和样品的相互作用的信号；在-x方向上移动长度L以及在-y方向或y方向上移动宽度W的一倍或多倍(用虚线箭头表示)，在此期间，从三个探针斑310A-310C没有记录表示束和样品的相互作用的信号。这些来回移动可以重复，直到三个探针斑310A-310C中的每一个扫描了整个区域300。在时间周期T40的开始处，三个探针斑310A-310C可位于不同位置。例如，如图5所示，在时间周期T40的开始处，探针斑310C在y方向上位于区域300的末端；探针斑310B与探针斑310C相邻且在区域300内；探针斑310A与探针斑310B相邻且进一步在区域300内。类似地，在时间周期T40期间或结束处，三个探针斑310A-310C可位于不同位置。区域300的图像361可由在时间周期T40期间从探针斑310A记录的信号形成。区域300的图像362可由在时间周期T40期间从探针斑310B记录的信号形成。区域300的图像363可由在时间周期T40期间从探针斑310C记录的信号形成。例如，图像361-363可以通过在幅度和空间方面数字化信号来形成。图像361-363可以是表示当探针斑310A-310C分别位于区域300内的多个位置处记录的信号的幅度的数字值的汇集。尽管使用了“图像”一词，但图像361-363不是必须为人眼可容易感知的形式。例如，图像361-363可以是存储在计算机存储器中的值。时间周期T40在时间上可以不连续。图像361-363被平均(例如，简单平均、加权平均、移动平均等)。例如，当图像361-363是表示当探针斑310A-300C位于区域300内的多个位置时所记录的信号的幅度的数字值的汇集时，可以通过对相同位置的数字值进行平均来对图像361-363进行平均。即，图像361-363的平均可以是图像361-363分别在多个位置的数字值的平均的汇集。在该示例中，当记录表示生成三个探针斑310A-310C中的任何两个的束与样品的相互作用的信号时，这两个探针斑不在区域300中的相同位置。

图6示意性示出了根据一个实施例的图像平均。在多个时间周期(例如，时间周期T41-T43)期间，从多个探针斑(例如，探针斑310A-310C)记录多个信号集合(例如，集合611-613)。在这里所示的示例中，信号集合可以是模拟信号。图像(例如，图像661-663)可以通过在幅度和空间方面分别对信号集合进行数字化而形成。该示例所示的值和阴影表示数字化信号的大小。平均图像(例如，平均图像669)通过平均图像中的对应位置处的数字化信号的幅度而形成。其他平均方法也是可能的。

图7示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品。在这里所示的示例中，与图5所示的示例类似，三个光束在样品上生成三个探针斑310A-310C。图7示出了三个探针斑310A-310C相对于样品的移动。在图5所示的示例中，探针斑310A-310C彼此相邻。在图7所示的示例中，三个探针斑310A-310C可以隔开，例如隔开宽度W的倍数。使探针斑310A-310C隔开可以减少生成探针斑310A-310C的束的相互作用或者从探针斑310A-310C记录的信号的干扰。

图8示意性示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品，其中一个或多个附加带电粒子束可用于除生成用于成像的信号之外的其他目的。图8所示的示例与图4所示的示例类似，但是在探针斑310A-310C横跨区域300进行之前，通过附加带电粒子束在样品上生成斑点310D，用于用电荷为区域300充电。斑点310D可具有与探针斑310A-310C不同的大小或强度。斑点310D可以在探针斑310A-310C横跨区域300进行扫描之前或同时扫描区域300。在一个实施例中，不从斑点310D记录信号。

图9示出了根据一个实施例的使用多个带电粒子束检查样品的方法的流程图。在步骤910中，通过多个带电粒子束在样品上生成多个探针斑920。多个探针斑920可具有相同大小或不同大小。多个探针斑920可以具有相同强度或不同强度。多个探针斑920可以彼此相邻或隔开。附加斑点可通过附加带电粒子束在样品上生成，并且可以具有与探针斑920不同的大小或强度。在步骤930中，在探针斑920横跨样品上的区域进行扫描的同时，从探针斑920记录分别表示多个带电粒子束束与样品的相互作用的多个信号集合940。在探针斑920横跨整个区域进行扫描的同时，探针斑920可以彼此移动。探针斑920可以在不同的时间周期期间横跨区域进行扫描。探针斑920可以横跨区域的不同部分进行扫描而不扫描它们之间的区域。在探针斑920横跨区域进行扫描时，可以不总是记录信号集合940。在步骤950中，分别从信号集合940生成该区域的多个图像960。可以仅从一个信号集合940中生成图像960中的每一个。图像960可以通过将信号集合940相对于信号的幅度和探针斑920的位置进行数字化来生成。图像960可具有有限大小的像素。图像960可以不是人眼可容易感知的形式。例如，图像960可以是表示存储在计算机可读存储介质中的信号的幅度的数字值的汇集。在步骤970中，从多个图像960生成该区域的合成图像980。如同图像960，合成图像980可以不是人眼可容易感知的形式。在一个示例中，合成图像980可以是图像960的数字值的平均的汇集。

可使用以下条款进一步描述实施例：

1.一种方法，包括：

通过多个带电粒子束在样品上生成多个探针斑；

在横跨样品上的区域扫描多个探针斑的同时，从多个探针斑记录多个信号集合，该多个信号集合分别表示多个带电粒子束与样品的相互作用；

分别根据多个信号集合生成该区域的多个图像；以及

根据多个图像生成该区域的合成图像。

2.根据第1条的方法，其中，多个探针斑具有不同的大小或强度。

3.根据第1条的方法，其中，多个探针斑被隔开。

4.根据第1条的方法，其中，多个探针斑在被扫描时具有相对于彼此的移动。

5.根据第1条中的方法，其中，横跨该区域分别扫描多个探针斑所经历的时间周期是不同的。

6.根据第5条的方法，其中，时间周期在时间上不连续。

7.根据第5条的方法，其中，时间周期具有部分重叠。

8.根据第5条的方法，其中，该多个信号集合不是在整个时间周期期间记录的。

9.根据第1条的方法，其中，该区域的多个图像中的每个图像仅由多个信号集合中的一个信号集合生成。

10.根据第1条的方法，其中，生成该区域的多个图像包括：相对于信号的幅度或多个探针斑的位置对多个信号集合进行数字化。

11.根据第1条的方法，其中，该区域的多个图像是表示信号的幅度的数字值的汇集。

12.根据第11条的方法，其中，该区域的合成图像是数字值的平均的汇集。

13.根据第1条的方法，其中，生成该区域的合成图像包括平均该区域的多个图像。

14.根据第13条的方法，其中，通过简单平均、加权平均或移动平均来平均多个图像。

15.根据第1条的方法，进一步包括：根据另一束带电粒子在样品上生成附加斑点。

16.根据第15条的方法，其中，该附加斑点具有与多个探针斑不同的大小或强度。

17.根据第15条的方法，进一步包括：使用该附加斑点，用电荷为该区域充电。

18.根据第15条的方法，进一步包括：在扫描多个探针斑之前或同时扫描该附加斑点。

19.根据第15条的方法，其中，不从附加斑点记录表示另一束和样品的相互作用的信号。

20.一种计算机程序产品，包括其上记录有指令的非暂态计算机可读介质，这些指令在被计算机执行时实施条款1-19中的任一条的方法。

尽管以上公开涉及多束设备(即，可使用多个带电粒子束执行带电粒子束检查的设备，其中多束中的带电粒子来自单一来源)，但这些实施例可应用于多列设备(即，可使用多束电荷粒子执行带电粒子束检查的设备，其中多束电荷粒子由多个源产生)。多列设备的附加描述可在美国专利8,294,095中找到，其公开通过引用全部并入本文。

虽然本文的公开的概念可用于对样品(诸如硅晶圆)或图案化装置(诸如玻璃上的铬)的检查，但应理解，所公开的概念可用于任何类型的样品，例如除硅晶圆以外的样品的检查。

以上描述旨在说明而不是限制。因此，本领域技术人员应理解，在不脱离以下阐述的权利要求的范围的情况下，可以如所述进行修改。