阅读说明：本技术 一种光罩盒及其作动方法 (Photomask box and actuating method thereof ) 是由 潘咏晋 钟承恩 于 2018-10-22 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种光罩盒及其作动方法,所述光罩盒主要包括一上盖、一定位模块以及一下盖。其中,所述定位模块主要包括一本体、一杠杆部、一致动部以及一推动部。本发明透过所述本体、杠杆部、致动部以及推动部的连动原理,配合第一止挡部的限制,可轻易的达到在光罩盒中定位光罩的功效。(The invention provides a mask box and an actuating method thereof. The positioning module mainly comprises a body, a lever part, an actuating part and a pushing part. The invention can easily achieve the effect of positioning the photomask in the photomask box by matching the limitation of the first stopping part through the linkage principle of the body, the lever part, the actuating part and the pushing part.)

一种光罩盒及其作动方法

技术领域

本发明涉及一种光罩盒及其作动方法，主要指一种具有特殊致动结构而达到推动定位光罩的光罩盒及其作动方法。

背景技术

在半导体传载产业中，各种半导体元件或半导体半成品的储存或传送已经成为相当重要的问题。在自动化机台已经普遍被使用的情况下，如何将所需的材料或是半导体元件运送到所需的地，考验的将会是载具的各项性质，例如减少微小粒子产生、抗静电或是气密性等性质。

常见需要储存或是运送的半导体元件包括晶圆、基板或光罩等。特别是光罩，在不同的半导体制程所需使用的光罩尺寸各有不同，因此也衍生出大大小小各种不同尺寸的载具。

其中，光罩盒(Reticle Pod)是常用的单片光罩储存或传送载具。又鉴于光罩是在半导体制程中涉及微影蚀刻等极为精密制程所采用的元件。因此，用以传送或储存光罩的载具往往被要求要具有抗静电、抗微小粒子产生以及稳固、定位储放于其中的光罩，避免因为碰撞而致使光罩损害的功效。

特别是对于光罩定位的部分，由于光罩盒的操作大多采用自动化机械手臂的方式运作。为避免外部的设备直接碰触到精密的光罩，因此光罩盒内大多设计有因盒盖开闭而自动定位光罩的机构设计。

传统而言，所述些定位光罩机构分为主动式与被动式的定位方式。被动式的技术通常利用简单的斜角几何机构设计来达到推抵光罩的功效。而主动式的机构则需要透过复杂的连杆、弹簧或弹片等机构来达到。其中，主动式机构往往有结构设计复杂、容易因摩擦产生微小粒子致使成本高攀等缺点。

对此，目前传统的光罩盒及需要一种结构有效且简单的设计，来改变目前所面临的缺点。

发明内容

为解决先前技术中所提到的问题，本发明提供了一种光罩盒及其作动方法。其中，所述光罩盒包括一上盖、一定位模块以及一下盖。其中，所述定位模块主要包括一本体、一杠杆部、一致动部以及一推动部。

所述上盖具有一内表面，而所述定位模块设置于所述内表面上。所述本体包括一第一止挡部，所述杠杆部可旋转地与所述本体连接。所述致动部与所述杠杆部连接，所述推动部与所述杠杆部连接。而所述下盖则与所述上盖盖合。其中，所述致动部设于靠近所述下盖的一侧，且可分离地与所述下盖碰触，所述第一止挡部限制所述致动部的转动。

本发明另外提供了一种光罩盒的作动方法，主要包括三个步骤。首先执行步骤(a)，提供前述的光罩盒。接着执行步骤(b)，将所述下盖盖合所述上盖，使所述下盖推动所述致动部，最后执行步骤(c)，所述致动部带动所述杠杆部转动，使所述推动部推动一光罩并定位。

以上对本发明的简述，目的在于对本发明的数种面向和技术特征作一基本说明。发明简述并非对本发明的详细表述，因此其目的不在特别列举本发明的关键性或重要元件，也不是用来界定本发明的范围，仅为以简明的方式呈现本发明的数种概念而已。

附图说明

图1是本发明实施例的上盖结构剖面图；

图2是本发明实施例定位模块启动前结构示意图；

图3是本发明实施例定位模块启动后结构示意图；

图4是本发明实施例定位模块启动后光罩盒的剖面图；

图5是本发明实施的作动方法流程图。

符号说明：

光罩盒 10

上盖 101

内表面 1011

抗静电元件 102

下盖 103

定位模块 200

本体 201

第一止挡部 2011

杠杆部 202

致动部 203

弯沟结构 2031

推动部 204

延伸部 205

固定元件 206

V字状凹陷部 207

孔洞 208

第二止挡部 209

光罩 R

具体实施方式

为能了解本发明的技术特征及实用功效，并可依照说明书的内容来实施，兹进一步以如图式所示的较佳实施例，详细说明如后：

首先，请先参照图4，图4是本发明实施例定位模块启动后光罩盒的剖面图。在图4的实施例中，明确的展示出本实施例光罩盒10包括上盖101、定位模块200以及下盖103。其中，定位模块200主要包括本体201、杠杆部202、致动部203以及推动部204。

由图4的实施例可以见得，上盖101具有内表面1011。在本实施例中，内表面1011不仅可以是单纯的内部结构，其上更可以设置金属罩或金属内衬等抗静电元件102，可适配地装设于上盖101的内，本发明并不加以限制。而定位模块200设置于内表面1011上。

在本实例中，实际上定位模块200也可以是穿过抗静电元件102(金属内衬)后设置于上盖101上。然而，在其他可能的实施例中，定位模块200的本体201也可以和上盖101一体成型并穿过内表面1011的抗静电元件102设置，本发明并不加以限制。

请同时参照图1及图2，图1是本发明实施例的上盖结构剖面图；图2是本发明实施例定位模块启动前结构示意图。如图1及图2所示，对比于图4本实施例的上盖101盖合下盖103的状态，图1及图2中展示了上盖101分离于下盖103时的情况。

在图2中，可以明显见得本实施例的定位模块200中，本体201还包括第一止挡部2011。且杠杆部202可旋转地与所述本体201连接。而致动部203与杠杆部202连接，推动部204则与杠杆部202连接。进一步而言，本实施例中的杠杆部202、致动部203以及推动部204为一体成型，且共构为一S型片状结构。透过此S型片状结构的设计，可以大幅地的减少零件的使用，又能达到推动光罩R定位的效果。

透过图1、2及4的揭示，应可理解到由于下盖103需与上盖101盖合，因此致动部203必须设于靠近下盖103的一侧，且可分离地与下盖103碰触，并由第一止挡部2011限制致动部203的转动，来达到有效主动推动光罩R到特定位置的功效。

在本实施例中，致动部203上更设有弯沟结构2031。弯沟结构2031设置的主要目的在于将片状的致动部203和下盖103的间的接触面积减少，以有效的防止或减少当上盖101盖合时，因致动部203与下盖103有过多的接触面积，进而使微小粒子产生的风险。

请同时参照图2及图3，图3是本发明实施例定位模块启动后结构示意图；图4是本发明实施例定位模块启动后光罩盒的剖面图。

如图2及图3所示，再参照图1及图4的剖面图，得知在本实施例中，推动部204为弧状弹片。特别是在图1及图4的剖面图，可看到推动部204微微地向靠近上盖101的一侧弯曲，形成前述的弧状弹片。透过此弧状弹片的形状设计，可以有效吸收上盖101往下压时产生的杠杆作用力。避免在作用力突然被加剧的情况下，因推动部204无法吸收部份过多的力道而导致光罩R受损。

至于由图2及图3可得知，在本实施例中，本体201更与至少一延伸部205连接。正确来说为双边各有一延伸部205。延伸部205在本实施例中呈现水滴状，其作用在于让本体201得以调整其装设于上盖101时，需固定位置的间距。此外，其形状也有能够稳固本体201受到来自左右两侧晃动的功效，能进一步减少本实施例光罩盒10在作动时产生的各种晃动、碰撞或摩擦的问题。

在本实施例中，延伸部205更透过固定元件206设置于上盖101的内表面1011上。在可能的实施例中，固定元件可以将延伸部205固定于内表面1011(或是其上的抗静电元件102)，也可以穿过抗静电元件102后直接固设于上盖101上，本发明并不加以限制。

如图2-3所示，本实施例的杠杆部202上更设有两孔洞208，使杠杆部202可以穿过两孔洞208设置，让杠杆部202可旋转地与本体201连接。进一步来说，在本实施例中，杠杆部202的左右两端各设有V字状凹陷部207，所述V字状凹陷部207穿过两孔洞208，将杠杆部202可旋转地固定于本体201的上。

不可避免地，当本实施例的第一止挡部2011损坏时，将会导致定位模块200中的S型片状结构不断翻转。因此本实施例如图1及图3-4所示，本体201靠近上盖101内表面1011处更设有第二止挡部209，可以限制推动部204的转动。进一步而言，当上盖101远离下盖103的时候，一般情况下实质上推动部204并不会受到第二止挡部209的限制，以减少额外的摩擦，进而避免微小粒子产生的风险。

在本实施例中，第二止挡部209唯有在第一止挡部2011损坏，而导致定位模块200中的S型片状结构会不断翻转时，可以发挥其身为保险的功用。当第一止挡部2011损坏时，限制S型片状结构翻转的责任就会由第一止挡部2011与致动部203变为第二止挡部209与推动部204，进一步保证本实施例的运作，直至使用者发现问题，进行维修或替换。

请参照图5，图5是本发明实施的作动方法流程图。如图5所示，图5中展示了本实施例光罩盒10的作动流程。进一步来说，本实施例的光罩盒10作动包括了五个步骤。首先，执行步骤(a)，提供图1-4中所示的光罩盒10。

接着执行步骤(b)，将下盖103盖合上盖103，使所述下盖103推动致动部203。接着执行步骤(c)，透过致动部203带动杠杆部202转动，使推动部204推动光罩R定位。更进一步地，当光罩盒10欲进行开盖时，执行步骤(d)，将上盖101与下盖103分离，接着执行步骤(e)，致动部203的转动被第一止挡部2011限制并归位。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并不能以此限定本发明实施的范围，即使依照本发明申请专利范围及说明内容所作的简单变化与修饰，均属本发明涵盖的范围内。