阅读说明：本技术 用于制造设施的带有部件机架系统的折叠梯子 (Folding ladder with component rack system for a manufacturing facility ) 是由 米格尔·本杰明·瓦斯克斯 达明·斯莱文 于 2018-07-06 设计创作，主要内容包括：提供了一种梯子组件,其包括：安装板,所述安装板连接至制造设施中的模块的侧面；折叠梯子,所述折叠梯子包括具有在第一接头处连接至安装板的臂的梯子框架,其中折叠梯子围绕第一接头在降低位置和升高位置之间旋转,降低位置通过将折叠梯子搁置在制造设施的地板上来限定,并且升高位置通过将折叠梯子悬离地板并且悬在模块大致上方来限定；连接至梯子框架的多个台阶板,所述台阶板在折叠梯子处于降低位置时为用户限定台阶面。套筒在折叠梯子的台阶板中的一个下方延伸,以容纳在制造设施中使用的电子设备。(A ladder assembly is provided, comprising: a mounting plate connected to a side of a module in a manufacturing facility; a folding ladder comprising a ladder frame having arms connected to a mounting plate at a first joint, wherein the folding ladder rotates about the first joint between a lowered position and a raised position, the lowered position defined by resting the folding ladder on a floor of a manufacturing facility, and the raised position defined by suspending the folding ladder off the floor and substantially above the module; a plurality of step plates connected to the ladder frame, the step plates defining a step face for a user when the folding ladder is in the lowered position. The sleeve extends under one of the step plates of the folding ladder to accommodate electronic equipment used in the manufacturing facility.)

用于制造设施的带有部件机架系统的折叠梯子

发明领域

本公开的实施方式涉及一种在制造设施中使用的折叠梯子(step ladder)，以及相关的装置和系统。

背景技术

由于半导体制造设施中的空间成本高昂，制造商已寻求通过彼此紧靠地安装工具和设备来使空间利用率最大化。但是，要接近(access)制造设施的设备通常需要工人使用梯子以便到达较高的位置。这样的梯子必须由工人携带在制造设施地板周围，并且由于设施中间隔紧密，这可能是麻烦的，并且还存在与设备碰撞和生成潜在不希望的微粒的风险。

发明概述

本公开的实施方式提供了一种在制造设施中使用的折叠梯子。折叠梯子被配置为使操作员能够接近制造设施中的设备，以例如监视或维修此类设备。折叠梯子被安装到制造设施中的模块的一侧，并且能够在模块上方旋转/翻转，从而将梯子妥善安置(stow)在模块上方并使得能接近模块下方区域。折叠梯子可以是气体弹簧辅助的，以便于将折叠梯子从制造设施地板上升起，并且进一步可以在与之附接的模块上升起和倒转时通过偏心(over center)气体弹簧几何形状保持在适当位置。安全销也可用于将折叠梯子锁定在适当位置。

在一些实施方式中，提供了一种梯子组件，其包括以下：安装板，其连接至在制造设施中搬运、转移、存储和/或处理基板的模块的侧表面；折叠梯子，其包括具有在第一接头处连接至安装板的臂的梯子框架，其中折叠梯子围绕第一接头在降低位置和升高位置之间旋转，降低位置通过将折叠梯子搁置在制造设施的地板上来限定，并且升高位置通过将折叠梯子悬离地板并且悬在模块大致上方来限定，其中，折叠梯子从降低位置到升高位置的旋转包括折叠梯子的重心移动通过与第一接头的旋转轴线相交的垂直平面；连接至梯子框架的多个台阶板，所述台阶板在折叠梯子处于降低位置时为用户限定台阶面。

在一些实施方式中，折叠梯子从降低位置到升高位置的旋转包括折叠梯子的重心从模块侧向的位置到模块上方的位置的移动。

在一些实施方式中，梯子组件进一步包括连接在安装板和臂之间的气体弹簧，气体弹簧被配置为施加拉伸力，所述拉伸力减小将折叠梯子从降低位置提升到升高位置所需的力的量。

在一些实施方式中，当折叠梯子处于升高位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向降低位置的旋转，并且其中当折叠梯子处于降低位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向升高位置的旋转。

在一些实施方式中，随着折叠梯子在降低位置和升高位置之间旋转，气体弹簧围绕连接气体弹簧和安装板的第二接头旋转，其中第二接头水平地偏离将臂连接至安装板的第一接头。

在一些实施方式中，随着折叠梯子从降低位置朝向升高位置旋转，气体弹簧的拉伸力围绕第二接头旋转，从指向第一接头的第一侧，通过指向第一接头并与第一接头对准，到指向与第一接头的第一侧相对的第一接头的第二侧。

在一些实施方式中，臂包括主体长度和沿主体长度限定的连接器，所述连接器与气体弹簧在偏离臂的主体长度的位置处形成第二接头。

在一些实施方式中，安装板包括中央开口，所述中央开口使得能可视性查看(provides visibility access to)沿模块的侧面限定的观察窗。

在一些实施方式中，梯子组件进一步包括连接至梯子框架的套筒，所述套筒在折叠梯子的台阶板中的一个台阶板下方延伸，所述套筒被配置为容纳在制造设施中使用的电子设备。

在一些实施方式中，在其下方延伸有套筒的台阶板中的一个台阶板由允许观察电子设备的基本上透明的材料限定。

在一些实施方式中，电子设备包括用于制造设施中的处理模块的至少一个电源。

在一些实施方式中，模块是存储基板的缓冲模块。

在一些实施方式中，提供了一种梯子组件，其包括以下：安装板，其连接至在制造设施中搬运、转移、存储和/或处理基板的模块的侧面；折叠梯子，其包括具有在第一接头处连接至安装板的臂的梯子框架，其中折叠梯子围绕第一接头在降低位置和升高位置之间旋转，降低位置通过将折叠梯子搁置在制造设施的地板上来限定，并且升高位置通过将折叠梯子悬离地板并且悬在模块大致上方来限定，其中折叠梯子从降低位置到升高位置的旋转包括折叠梯子的重心移动通过与第一接头的旋转轴线相交的垂直平面；连接至梯子框架的多个台阶板，所述台阶板在折叠梯子处于降低位置时为用户限定台阶面；连接至梯子框架的套筒，所述套筒在折叠梯子的台阶板中的一个台阶板下方延伸，所述套筒被配置为容纳在制造设施中使用的电子设备；连接在安装板和臂之间的气体弹簧，所述气体弹簧构造成施加拉伸力，所述拉伸力减小将折叠梯子从降低位置提升到升高位置所需的力的量。

在一些实施方式中，当折叠梯子处于升高位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向降低位置的旋转，并且其中当折叠梯子处于降低位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向升高位置的旋转。

在一些实施方式中，随着折叠梯子在降低位置和升高位置之间旋转，气体弹簧围绕连接气体弹簧和安装板的第二接头旋转，其中第二接头水平地偏离将臂连接至安装板的第一接头。

在一些实施方式中，随着折叠梯子从降低位置朝向升高位置旋转，气体弹簧的拉伸力围绕第二接头旋转，从指向第一接头的第一侧，通过指向第一接头并与第一接头对准，到指向与第一接头的第一侧相对的第一接头的第二侧。

在一些实施方式中，臂包括主体长度和沿主体长度限定的连接器，所述连接器与气体弹簧在偏离臂的主体长度的位置处形成第二接头。

在一些实施方式中，安装板包括中央开口，所述中央开口使得能可视性查看沿模块的侧面限定的观察窗。

在一些实施方式中，在其下方延伸有套筒的台阶板中的一个台阶板由允许观察电子设备的基本上透明的材料限定。

在一些实施方式中，电子设备包括用于制造设施中的处理模块的至少一个电源。

具体实施方式

。在其他实施方式中，在具有和不具有气体弹簧的情况下，提升折叠梯子所需的具体力(specific forces)可能不同于图6所示的具体实施方式。

图7是根据本公开的实施方式的折叠梯子100的上部的立体图。在所示的图中，示出了折叠梯子100的第四台阶(最上层台阶)。如前所述，台阶的周边由台阶框架116b限定。台阶的表面由台阶板114d限定，所述台阶板114d由基本上透明的材料制成，以使得能够观察在台阶下方存储的电子设备。因此，台阶板114d既用作电子设备的保护盖，又用作操作员踩踏/站立的台阶面。台阶板114d可以由提供合适的可见性和强度的任何透明或基本上透明的材料形成。举例但不做限制地，台阶板114d可以由塑料或玻璃材料、透明聚合物、丙烯酸类聚合物、有机玻璃等形成。在一些实施方式中，台阶板114d被限定为格栅(grate)的形式，所述格栅具有足够的孔以使得能够适当观察下方设置的电子设备。

如上所述，电子设备可以包括一个或多个电源，所述电源容纳在折叠梯子的第四台阶下方的套筒118b内。在图示的实施方式中，存储在第四台阶下方的电子设备包括四个电源702a、702b、702c和702d。在台阶板114d的下侧中限定的多个凹部700a、700b、700c和700d容纳用于电源的电源开关。这使得能够轻松地接通或断开各个电源。

此外，在某些实施方式中，每个电源都对应于多工位处理模块(例如，处理模块210、212、214或216之一)中的单个处理工位。因此，在多工位处理模块包含四个工位的实施方式中，存储在折叠梯子的单个台阶下方的电源则为单个多工位处理模块中的每个工位供电。此外，然后参照图2A的群集工具系统，折叠梯子100a和100b的第三和第四台阶中的每一个都被配置为容纳用于处理模块210、212、214和216的电源。例如，折叠梯子100的第三台阶可以容纳用于处理模块210的工位的电源，而折叠梯子100的第四台阶可以容纳用于处理模块214的工位的电源。而且，折叠梯子100b的第三台阶可以容纳用于处理模块212的工位的电源，而折叠梯子100b的第四台阶可以容纳用于处理模块216的工位的电源。

继续参照图7，在图示的实施方式中，台阶板114d由包括两个盖板710a和710b以及其上刻有数字的刻字横杆704的部件组件限定。数字标识给定多工位处理模块的处理工位，数字下方的电源分别对应于所述处理工位。应当理解，根据本公开的实施方式，台阶板114c也可以由类似的组装配置限定。

尽管已经参照折叠梯子100的第四台阶对参照图7的实施方式进行了描述，但是应当理解，类似的描述也可以应用于折叠梯子100的第三台阶。

图8是根据本公开的实施方式的安装板102的特写视图。如图所示，安装板102包括一对铰链接头支架板800a和800b。铰链接头支架板包括孔802a和802b。左臂106a的上端设置在铰链接头支架板800a和800b之间，并且铰链接头108a由连接器销形成，所述连接器销***通过孔802a、左臂106a的对应孔706a(在图7中示出)以及孔802b。

此外，铰链接头支架板包括容纳安全销806a的孔804a、804b、806a和806b。当折叠梯子100处于降低位置时，臂106a的孔708a(在图7中示出)则与孔806a和806b对准。在该位置，安全销806a可以***通过孔806a、708a和806b，以将折叠梯子锁定在降低位置。

当折叠梯子100处于升高位置时，臂106a的孔708a则与孔804a和804b对准。在该位置，安全销806a可以***通过孔804a、708a和804b，以将折叠梯子锁定在升高位置。

应当理解，相对于安装板102的另一侧存在相似的部件，包括铰链接头支架板800c和800d以及安全销806b，它们具有与上述相似的操作机制，但右臂106b和右铰链接头108b除外。

在一些实施方式中，安装板102通过穿过螺孔810的带螺纹的螺钉或螺栓附接到模块的侧面。

尽管出于清楚理解的目的已经详细地描述了前述实施方案，但是显而易见的是，可以在所公开的实施方案的范围内进行某些改变和修改。应该注意的是，存在许多实现本实施方案的方法、系统和设备的替代方式。因此，本实施方案应被认为是说明性的而不是限制性的，并且实施方案不限于在此给出的细节。