阅读说明：本技术 一种晶圆加工用自动卸料研磨机 (Automatic discharging grinding machine for wafer processing ) 是由 吴嘉至 于 2019-10-21 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机,其结构包括安装座、工作台、研磨头、升降台、电机、升降杆,安装座固定在工作台的底端,升降台中安装有电机与升降杆,升降杆中采用机械连接的方式连接有研磨头,研磨头对应于工作台,研磨头设置有钻口与机身,机身安装在升降杆上并控制钻口,机身内部组成有隔板、导流道、喷射口、支撑杆、围板、钻口控制器,本发明在研磨头机身中上端开设有导流道,其中导流道与隔板底端内部互通,加大研磨头的空气流通,而进液端设于机身上端,在研磨中冷却液一部分作用在研磨器件上一部分实现研磨头内部的水冷却,充分利用冷却液,而降低研磨头温度。(The invention discloses an automatic discharging grinder for wafer processing, which structurally comprises a mounting seat, a workbench, a grinding head, a lifting table, a motor and a lifting rod, wherein the mounting seat is fixed at the bottom end of the workbench, the motor and the lifting rod are installed in the lifting table, the lifting rod is connected with the grinding head in a mechanical connection mode, the grinding head corresponds to the workbench, the grinding head is provided with a drill hole and a machine body, the machine body is installed on the lifting rod and controls the drill hole, a partition plate, a flow guide channel, a jet orifice, a support rod, a surrounding plate and a drill hole controller are formed in the machine body, the upper end of the grinding head is provided with the flow guide channel, the flow guide channel is communicated with the inner part of the bottom end of the partition plate, the enlarged air of the grinding head is communicated, a liquid inlet end is arranged at the upper end of the machine body, part of cooling liquid acts on a, thereby reducing the temperature of the polishing head.)

一种晶圆加工用自动卸料研磨机

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，特别的，是一种晶圆加工用自动卸料研磨机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，目前晶圆在加工过程中会对晶圆进行研磨使其表面光滑，便于加工，而晶圆在研磨加工中，经过长期使用其研磨头容易产生高热，晶圆的材料的主要是二氧化硅，除了容易碎裂外，其表面还容易受到高温影响产生线性缺陷，进而影响下一个工序光刻阶段的光阻喷涂，喷涂后的表面不均匀，会降低成品的使用性能和寿命。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种晶圆加工用自动卸料研磨机。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括安装座、工作台、研磨头、升降台、电机、升降杆，所述安装座固定在工作台的底端，所述升降台中安装有电机与升降杆，所述升降杆中采用机械连接的方式连接有研磨头，所述研磨头对应于工作台，所述研磨头设置有钻口与机身，所述机身安装在升降杆上并控制钻口，所述机身内部组成有隔板、导流道、喷射口、支撑杆、围板、钻口控制器，所述钻口控制器的底端通过隔板固定，所述导流道与喷射口内部相通，所述导流道相对于喷射口的另一端与支撑杆垂直焊接，所述喷射口与钻口控制器正对，所述钻口控制器两侧用围板密封。

作为本发明的进一步改进，所述喷射口中设有压力出口。

作为本发明的进一步改进，所述导流道设置有为漏斗形结构的进液端。

作为本发明的进一步改进，所述进液端的内部包括滤网、出液球、压簧，所述出液球的一端紧贴有滤网、另一端配合有压簧。

作为本发明的进一步改进，所述隔板为空心状，且位于钻口控制器的两侧与底端均为为开口式。

作为本发明的进一步改进，所述压簧包裹在密封喉管内，可避免压簧与冷却水直接接触腐蚀锈化。

作为本发明的进一步改进，所述压簧设有两个，在两者间形成水平通道与出液球的进、出液口相通。

作为本发明的进一步改进，所述滤网设有多层，层间之间相互交错且保留有5mm的间隙形成一个波浪状结构。

作为本发明的进一步改进，所述喷射口主要采用花洒原理进行出水，呈射流状出水使隔板上的降温效率更高。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

1、本发明在研磨头机身中上端开设有导流道，其中导流道与隔板底端内部互通，加大研磨头的空气流通，而进液端设于机身上端，在研磨中冷却液一部分作用在研磨器件上一部分实现研磨头内部的水冷却，充分利用冷却液，而降低研磨头温度。

2、本发明喷射口与压力出口配合，使冷却液呈弧形射流扩散在整个钻口控制器外表面，更加高效的降低研磨头内温。

3、本发明设有的滤网、出液球以及压簧共同作用，滤网可过滤加工中冷却液的杂质，在无冷却液时压簧解放液体压力下复位推出出液球，以实现进液端的封闭减少不必要的流道污染。

附图说明

图1为本发明一种晶圆加工用自动卸料研磨机的结构示意图。

图2为本发明研磨头的内部结构示意图。

图3为本发明导流道的结构示意图。

图4为本发明导流道的出液球工作原理示意图。

图5为本发明研磨头内部水冷却的结构示意图。

图中：安装座-1、工作台-2、研磨头-3、升降台-4、电机-5、升降杆-6、钻口-31、机身-32、隔板-2a、导流道-2b、喷射口-2c、压力出口-c1、支撑杆-2d、围板-2e、钻口控制器-2f、进液端-b1、滤网-b21、出液球-b22、压簧-b23。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，图1～图5示意性的显示了本发明实施方式的自动卸料研磨机的结构，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例

如图1-图5所示，本发明提供一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括安装座1、工作台2、研磨头3、升降台4、电机5、升降杆6，所述安装座1固定在工作台2的底端，所述升降台4中安装有电机5与升降杆6，所述升降杆6中采用机械连接的方式连接有研磨头3，所述研磨头3对应于工作台2，所述研磨头3设置有钻口31与机身32，所述机身32安装在升降杆6上并控制钻口31，所述机身32内部组成有隔板2a、导流道2b、喷射口2c、支撑杆2d、围板2e、钻口控制器2f，所述钻口控制器2f的底端通过隔板2a固定，所述导流道2b与喷射口2c内部相通，所述导流道2b相对于喷射口2c的另一端与支撑杆2d垂直焊接，所述喷射口2c与钻口控制器2f正对，所述钻口控制器2f两侧用围板2e密封，所述喷射口2c中设有压力出口c1，所述导流道2b设置有为漏斗形结构的进液端b1，所述进液端b1的内部包括滤网b21、出液球b22、压簧b23，所述出液球b22的一端紧贴有滤网b21、另一端配合有压簧b23，所述隔板2a为空心状，且位于钻口控制器2f的两侧与底端均为为开口式，所述压簧b23包裹在密封喉管内，可避免压簧b23与冷却水直接接触腐蚀锈化，所述压簧b23设有两个，在两者间形成水平通道与出液球b22的进、出液口相通，所述滤网b2设有多层，层间之间相互交错且保留有5mm的间隙形成一个波浪状结构，所述喷射口2c主要采用花洒原理进行出水，呈射流状出水使隔板2a上的降温效率更高。

下面对上述技术方案中的自动卸料研磨机的工作原理作如下说明：

对晶圆进行加工研磨处理时，现有技术为减少研磨中晶圆受到高温影响出现研磨损坏，因此在研磨过程中，需要持续不断的添加冷却液，本发明的研磨头3在工作时，配合钻口31高速转动下，钻口控制器2f内部会产生很大的工作热，为更好的实现内部降温，在机身32的上端开设有导流道2b，冷却液通过进液端b1进入后，基于液体压力下，压簧b23受到挤压，而滤网b21层层过滤了冷却液之后，经过喷射口2c与压力出口c1冷却液扩散在钻口控制器2f，对其外表面进行水冷却，冷却水一部分遇热会变成水蒸气扩散，而少部分则通过两侧的开口隔板经过底端排出，作为一个水冷却回路，在工作时，能够实现水冷却，而在工作停止后，利用该回路可加速研磨头3内部的空气流通，配合水冷却能够更加有效的提高冷却时效，并且空气流通为垂直上下相通可，避免内部因水冷却带有的小部分泥物堆积。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“侧向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构 造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。