用于移送流体的连接器
阅读说明：本技术 用于移送流体的连接器 (Connector for moving fluid ) 是由 莲沼正裕 于 2019-07-23 设计创作，主要内容包括：提供一种用于移送流体的连接器,该连接器包括：插头,具有插头本体(3A),所述插头本体内形成有流体流路；插座,具有插座本体(13),所述插座本体内形成有流体流路以在所述插座与插头连接时用于与插头本体的流体流路连通；插头本体容纳部(13b),设置在插座本体(13)上,以在连接时用于插入并容纳插头本体(3A)的顶端；O形环(64),设置在插头本体容纳部(13b)上,并用于对插入到插座本体(13)内的所述插头本体(3A)的外周进行密封；清洗液供给孔(60),设置在相对于O形环(64)的与插头本体(3A)的顶端相反的一侧位置,并用于向插头本体容纳部(13b)内供给清洗液。(There is provided a connector for moving a fluid, the connector comprising: a plug having a plug body (3A) in which a fluid flow path is formed; a receptacle having a receptacle body (13) in which a fluid flow path is formed for communication with a fluid flow path of a plug body when the receptacle is connected with a plug; a plug body accommodating portion (13b) provided on the socket body (13) for inserting and accommodating a tip end of the plug body (3A) at the time of connection; an O-ring (64) provided on the plug body housing portion (13b) and sealing an outer periphery of the plug body (3A) inserted into the socket body (13); and a cleaning liquid supply hole (60) which is provided at a position opposite to the tip of the plug body (3A) with respect to the O-ring (64) and which is used for supplying a cleaning liquid into the plug body housing part (13 b).)
技术领域
本发明涉及一种用于移送流体的连接器，例如用于移送半导体制造装置中使用的化学溶液或者气体。
背景技术
例如在专利文献1中所示地，为了移送半导体制造装置中使用的流体(化学溶液或气体)，可以使用用于移送流体的连接器。用于移送流体的连接器例如包括：插座，该插座固定地设置在建筑物侧，该建筑物侧上设置有用于暂时储存流体的缓冲罐；插头，该插头固定在从罐车引出的管顶端上。通过将插头与插座连接，从而能够将流体从罐车移送至缓冲罐。
如上述文献中记载所述地，在将插头***而固定到插座侧的插口之后，清洗插头的顶端和插座本体的顶端。之后，通过使插座本体进入到插头侧，使得插头顶端的阀芯与插座本体顶端的阀芯对接，同时通过使得各个阀芯相互退避来构成流路，从而移送流体。
现有技术文献
专利文献
专利文献1专利第5046958公报(图1)
发明内容
发明所要解决的问题
在上述文献中，如同一文献的图1所示，在将插头与插座连接而形成流路之前对清洗室25a进行清洗。具体地，从开设在清洗室25a的内表面上的喷射口46向清洗室25a内喷射清洗液，并从排出孔50排放清洗液。
然而，在同一文献中示出的喷射口46位于比用于密封插头的密封部47更靠近插座侧的位置。因此，在插头与插座连接而形成流路之后，因某些故障在从喷射口46向清洗室25a内引导清洗液的情况下，使得清洗液混入到化学溶液(流体)中而引起化学溶液污染的问题。
本发明鉴于如上所述的情况，目的在于提供一种能够避免清洗液混入到流体中的用于移送流体的连接器。
用于解决问题的方法
根据本发明的一个方面涉及的用于移送流体的连接器包括：插头，所述插头具有插头本体，所述插头本体内形成有流体流路；插座，所述插座具有插座本体，所述插座本体内形成有流体流路以在所述插座与所述插头连接时用于与所述插头本体的所述流体流路连通；插头本体容纳部，所述插头本体容纳部设置在所述插座本体上，以在连接时用于***并容纳所述插头本体的顶端；密封构件，所述密封构件设置在所述插头本体容纳部上，并用于对***到所述插座本体内的所述插头本体的外周进行密封；清洗液供给孔，所述清洗液供给孔设置在相对于所述密封构件的与所述插头本体的顶端相反的一侧位置，并用于向所述插头本体容纳部内供给清洗液。
通过将插头与插座连接而形成流体流路，使得流体经由用于移送流体的连接器而流动。此时，通过插头本体容纳部上设置的密封构件而密封插头的外周，由此避免流体泄漏。
在清洗插头本体与插座本体时，通过从清洗液供给孔向插头本体容纳部供给清洗液而执行清洗。
由于清洗液供给孔设置在相对于密封构件的与插头本体的顶端相反的一侧位置，因此即使在插头本体与插座本体连接而移送流体、因某些故障而从清洗液供给孔流出清洗液时，通过密封构件使得清洗液与插头本体的顶端分隔，使得清洗液不会被引导至插头本体的顶端侧而混入到移送的流体中。
进一步地，根据本发明的一个方面涉及的用于移送流体的连接器，所述清洗液供给孔朝向与所述插头本体的顶端侧倾斜的方向设置。
由于将清洗液供给孔设置为朝向与插头本体的顶端侧倾斜的方向，因此，使得从清洗液供给孔喷射的清洗液朝向插头本体的顶端侧流动。由此，在清洗时，能够使得清洗液被引导至插头本体的顶端侧，从而能够更有效地执行清洗。
进一步地，根据本发明的一个方面涉及的用于移送流体的连接器，包括气体供给孔，所述气体供给孔用于独立于所述清洗液供给孔地向所述插头本体容纳部内供给气体。
由于与清洗液供给孔独立地设置有用于向插头本体容纳部内供给气体的气体供给孔，因此能够从与供给清洗液的位置不同的位置喷射气体。由此，能够更有效地向插头本体容纳部内执行吹扫。
进一步地，根据本发明的一个方面涉及的用于移送流体的连接器，所述气体供给孔设置在相对于所述密封构件的朝向所述插头本体的顶端侧的位置上。
相对于密封构件在插头本体的顶端侧设置气体供给孔。由此，能够通过在气体供给孔与清洗液供给孔之间介入有密封构件地分配设置气体供给孔和清洗液供给孔，从而即使在狭窄空间内也能够更有效地布置气体供给孔和清洗液供给孔。
发明效果
由于清洗液供给孔设置在相对于密封构件的与插头本体的顶端相反的一侧位置，因此能够避免使得清洗液混入到移送的流体中。
附图说明
图1为示出本发明的一个实施例涉及的用于移送流体的连接器的立体图。
图2为示出插座的纵向剖视图。
图3A为示出气缸的初始位置的纵向剖视图。
图3B为示出气缸的第一前进位置的纵向剖视图。
图3C为示出气缸的第二前进位置的纵向剖视图。
图4为示出关闭盖部的状态的插座的立体图。
图5A为示出套筒限制锁定球的移动的状态的纵向剖视图。
图5B为示出套筒解除限制锁定球的移动的状态的纵向剖视图。
图6为示出使插头的键板旋转的状态的立体图。
图7为示出插头的纵向剖视图。
图8为示出图6的设置在插头上的键的位置的主视图。
图9A为示出放大位于第一前进位置的插头本体容纳部周围的纵向剖视图。
图9B为示出放大位于第二前进位置的插头本体容纳部周围的纵向剖视图。
图10A为示出图9A中的清洗液的流动的纵向剖视图。
图10B为示出图9B中的清洗液的流动的纵向剖视图。
图11为示出将插头的顶端***到插座的插口内的状态的立体图。
图12为示出插头的键与插座的键槽匹配的状态的立体图。
图13为示出使插头移位到第一前进位置而执行前清洗工序的状态的立体图。
图14为示出图13的第一前进位置的状态的纵向剖视图。
图15为示出使插头移位到第二前进位置而执行流体移送工序的状态的立体图。
图16为示出图15的第二前进位置的状态的纵向剖视图。
图17为示出使插头移位到第一前进位置而执行后清洗工序的状态的立体图。
具体实施方式
以下参照附图对本发明涉及的实施例进行说明。
图1中示出本实施例涉及的插头3和插座5。插头3和插座5可以用作用于移送流体的连接器1。作为可被使用的流体，例如为能够在半导体制造装置中使用的化学溶液或气体。
插座5固定在建筑物的壁部上，插座5的后端与配管6的一端连接。配管6的另一端与建筑物内设置的缓冲罐(未示出)连接。插座5的前端(图1中的左端)具有插口8，该插口8用于容纳插头3。插口8形成在圆筒形的***筒体(插头本体保持部)10的内部。***筒体10的顶端上设置有多个键槽11，多个键槽11通过使***筒体10的顶端的一部分开槽而形成。多个键槽11沿***筒体10的圆周方向以预定间隔设置。位于竖直上方的键槽11作为主键槽11a，其为周向宽度比其余键槽11的周向宽度大的槽。
***筒体10保持沿圆周方向间隔布置的多个锁定球9(参照图5A等)。各个锁定球9可以在将插头3和插座5固定时使用。
在***筒体10的后侧(图1的右侧)设置有插座本体13。插座本体13呈在水平方向上具有中心轴线的圆筒形状，且内部设置有用于开闭流路的阀芯13a(参照图5A等)。在插座本体13的前后侧固定有前侧固定板15和后侧固定板16。两个固定板15、16为沿竖直方向竖立设置的矩形板状体。两个固定板15、16的下侧设置有脚部17以用于固定到安装面上。以贯通两个固定板15、16的四个边角的方式，沿水平方向延伸地设置有四个支撑轴体18。
在各个支撑轴体18的前端和后端上固定有前侧支撑板20和后侧支撑板21。两个支撑板20、21为沿竖直方向竖立设置的矩形板状体。前侧支撑板20支撑上述***筒体10。
各个支撑轴体18上安装有气缸23。各个气缸23固定在前侧固定板15和后侧固定板16之间。各个气缸23与空气供给配管24连接，通过从空气供给配管24供应的空气压力，使得支撑轴体18相对于气缸23沿轴线方向往复运动。由此，能够使得支撑在前侧支撑板20上的***筒体10与插座本体13靠近或远离。
位于上方一侧的第一支撑轴体18a上安装有盖部27。具体地，如图2所示，在第一支撑轴体18a内部设置有沿第一支撑轴体18a的中心轴线贯通第一支撑轴体18a的盖部驱动用轴体18a1。图2示出了拆除插座本体13的状态的插座5，其为沿竖直平面剖切第一支撑轴体18a的纵向剖视图。
气缸23沿前侧固定板15至后侧固定板16的方向上包括第一筒体部23a、第二筒体部23b、第三筒体部23c以及第四筒体部23d。各个筒体部23a、23b、23c、23d彼此具有公共轴线并且相互串联的同时，通过介入O形圈以液密方式连接。
在第二筒体部23b的内周侧和第三筒体部23c的内周侧形成有密闭空间S。通过空气供给配管24能够将空气供给至该密闭空间S内以及从该密闭空间S排出空气。在密闭空间S内布置有活塞25。活塞25与第三筒体部23c的内周以及盖部驱动用轴体18a1的外周以气密方式配合，并且在密闭空间S内沿轴线方向往复运动。
在活塞25的前侧(图2的左侧)设置有用于分隔密闭空间S的分隔环26。分隔环26固定在第一支撑轴体18a上，且与第二筒体部23b的内周以气密方式配合。由此，分隔环26能够使密闭空间S分隔成第一空间S1和第二空间S2，第一空间S1位于分隔环26的前侧(左侧)，第二空间S2位于分隔环26的后侧(右侧)。此外，在图2的状态中，分隔环26位于最前侧(左侧)，第一空间S1的体积大致为零。在活塞25的后侧(右侧)形成有第三空间S3。由此，密闭空间S通过分隔环26和活塞25被分隔成第一空间S1、第二空间S2和第三空间S3。
活塞25包括前侧的小径部25a和后侧的大径部25b。由此，活塞25的前侧端面的截面积比后侧端面的截面积小。因此，在向第二空间S2和第三空间S3供给相同压力的空气时，由于施加到后侧端面的力大于施加到前侧端面的力，因此使得活塞25在密闭空间S内朝向前侧(左侧)移位。
空气供给配管24从前侧至后侧包括：第一配管24a、第二配管24b、第三配管24c以及第四配管24d。第一配管24a向第一空间S1供给空气并将空气排出。第二配管24b向第二空间S2中构成用于使活塞25的小径部往复运动的小径的空间供给空气并将空气排出。第三配管24c向第二空间S2中构成用于使活塞25的大径部25b往复运动的大径的空间供给空气并将空气排出。第四配管24d向第三空间S3供给空气并将空气排出。针对各个配管24a、24b、24c、24d供气和排气的时间由控制部控制。
通过上述气缸23、活塞25、分隔环26等来构成驱动机构，该驱动机构用于调整插头本体3A与插座本体13之间的间距。
在作为其余支撑轴体的第二支撑轴体18b、第三支撑轴体18c和第四支撑轴体18d上，也设置有与第一支撑轴体18a相同的气缸23、活塞25和分隔环26等。另外，对于与四个气缸23各自连接的空气供给配管24，其长度分别为相同的长度且形成为相同的直径。由此，能够准确地同步驱动四个气缸23上各自设置的活塞25。
图3A至图3C中示出了通过由空气供给配管24供气和排气使气缸23动作的各个状态。图3A示出了处于气缸23最靠近于后侧支撑板21的状态(即处于插座本体13最远离于插头本体3A的状态)的初始位置P0。图3B示出了第一前进位置P1，该第一前进位置P1为相比于初始位置P0向前侧支撑板20前进的中间位置。图3C示出了处于最靠近于前侧支撑板20的状态(即处于插头本体3A与插座本体13连接的状态)的第二前进位置P2。
如图3A至3C所示，在气缸23上从前侧(图的左侧)至后侧(图的右侧)依次固定有第一位置传感器28a、第二位置传感器28b以及第三位置传感器28c。各个位置传感器28a、28b、28c构造为成对的投光元件(例如LED)和受光元件。各个位置传感器28a、28b、28c的输出发送到控制部。
各个位置传感器28a、28b、28c具有U形的截面，使得传感器用板31经过介于该U形之间的间隙。传感器用板31相对于后侧支撑板21上固定的杆36固定。在传感器用板31经过介于U形之间的间隙时，通过位置传感器28a、28b、28c光学性地检测到传感器用板31上形成的槽口31a，从而检测出气缸23与固定有传感器用板31的后侧支撑板21的相对位置。即，通过位置传感器28a、28b、28c检测出插座本体13与插头3的相对位置。
在图3A中示出的初始位置P0，从空气供给配管24的第四配管24d(参照图2)向第三空间S3供给空气而对第三空间S3增压，从而向图3A的左侧推动活塞25。另外，也从第二配管24b(参照图2)向第二空间S2供给空气而对第二空间S2增压，使分隔环26向图3A中的左侧推动。根据活塞25的大径部25b与小径部25a的面积比，即使向第二空间S2和第三空间S3供给相同压力的空气，活塞25始终处于朝向左侧被推动的状态。
此时，传感器用板31的槽口31a位于第一位置传感器28a处。由此，控制部判断为位于初始位置P0。
在图3B中示出的第一前进位置P1，从第二空间S2经由第二配管24b(参照图2)排出空气，同时从第一配管24a(参照图2)向第一空间S1供给空气而对第一空间S1增压，从而向右侧推动分隔环26。另外，从第四配管24d(参照图2)向第三空间S3供给空气而对第三空间S3增压。由此，支撑轴体18与分隔环26一同相对于气缸23向右侧移位。
此时，传感器用板31的槽口31a位于第二位置传感器28b处。由此，控制部判断为位于第一前进位置P1。
在图3C中示出的第二前进位置P2，从第三空间S3经由第四配管24d(参照图2)排出空气，同时经由第一配管24a(参照图2)向第一空间S1供给空气而对第一空间S1增压，并且通过从第三配管24c(参照图2)供给空气，从而向右侧推动活塞25和分隔环26。由此，支撑轴体18与分隔环26一同相对于气缸23进一步向右侧移位。
此时，传感器用板31的槽口31a位于第三位置传感器28c处。由此，控制部判断为位于第二前进位置P2。
如图2所示，盖部驱动用轴体18a1的顶端上固定有盖部27。通过设置在第一支撑轴体18a的后端上的第一执行机构29a，使得盖部驱动用轴体18a1沿前后方向(轴线方向)往复动作，并围绕轴线进行旋转动作。第一执行机构29a的动作由未示出的控制部控制。
在用于移送流体的连接器1处于未使用状态下，盖部27可以在将插头3从插座5拆卸时用于封堵插口8。图4中示出关闭盖部27的状态。通过使盖部27封堵插口8，不仅能够防止流体受到污染，而且在不使用时通过用盖部27封堵插口8，能够防止从盖部27至插座本体13内部阀芯之间的流路受到污染。
如图1所示，在位于上方另一侧的第二支撑轴体18b、以及第三支撑轴体18c上安装有套筒驱动板19，第三支撑轴体18c与第二支撑轴体18b之间介入***筒体10，且第三支撑轴体18c与第二支撑轴体18b位于对角线上。具体地，套筒驱动板19固定在套筒驱动板用轴体18b1、18c1的顶端上，套筒驱动板用轴体18b1设置为沿第二支撑轴体18b的中心轴线贯通第二支撑轴体18b，套筒驱动板用轴体18c1设置为沿第三支撑轴体18c的中心轴线贯通第三支撑轴体18c。通过设置在各个支撑轴体18b、18c后端上的第二执行机构29b和第三执行机构29c，使得各个套筒驱动板用轴体18b1、18c1沿前后方向(轴线方向)往复运动。执行机构29b、29c的动作由未示出的控制部控制。
套筒驱动板19呈中部形成有开口的大致棱形形状的板状体。呈圆筒形状的套筒22的顶端22a***到套筒驱动板19的开口内。如图7的下半部分所示地，套筒22布置为覆盖***筒体10的外周，且相对于***筒体10沿轴线方向往复运动。在将固定在插座5上的插头3拆卸时，套筒驱动板19使得套筒22动作而发生移位。具体地，在如图5A所示的利用套筒22限制锁定球9沿径向向外的移动的状态下，如图5B所示，通过将套筒驱动板19牵引至前侧支撑板20侧(图5B中的右侧)，使得套筒22移位，从而允许锁定球9沿径向向外移动而解除锁定。在将插头3固定在插座5上时，根据插头3***到***筒体10内的动作，使锁定球9旋转而锁止到第一固定环39的凹处39a。此时，套筒驱动板19不动作。由此，通过锁定球9和套筒22等构成用于使得插头3锁定到***筒体10即插座5上的锁定机构。
如图1所示，在第二支撑轴体18b的下方和第三支撑轴体18c的侧方设置有第四支撑轴体18d。从第四支撑轴体18d的内部至套筒22的内侧设置有传感器线18d1。在传感器线18d1的顶端设置有构造为成对的投光元件(例如LED)和受光元件的传感器(未示出)。通过该传感器检测插头3是否***到***筒体10内的适当位置。传感器的输出经由传感器线18d1传输至未示出的控制部。
例如，控制部可以包括CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random AccessMemory)、ROM(Read Only Memory)以及计算机可读的存储媒体等。并且，对于用于实现各种功能的一系列处理，作为一例，通过利用程序形式存储到存储媒体等，CPU将该程序从RAM等读取以执行信息处理和运算处理，从而能够实现各种功能。此外，程序可以适用于预先加载到ROM或其它存储媒体中的形式、以存储在计算机可读的存储媒体中的状态提供的形式、或者通过有线或无线经由通信单元传送的形式等。作为计算机可读的存储媒体有磁盘、磁光盘、CD-ROM、DVD-ROM、半导体存储器等。
如图1所示，插头3大致呈圆筒形状，且内部具有用于流通流体的流路。管4的一端固定在插头3的底端部(图1中的左侧)上。管4的另一端固定在罐车(未示出)上。管4的内径为大于等于25mm，优选为大于等于50mm。
插头3的后侧位置上可以安装有键板(环体)30。键板30可以为无端面的环形状。在键板30的圆周方向的多个位置上设置有向顶端侧(图1中的右侧)凸出的键32。多个键32中的一个为在圆周方向上宽度比其它键32的宽度大的主键32a。键板30可以围绕插头本体3A的轴线相对旋转。由此，如图6所示，作业人员通过手动旋转键板30，能够使得主键32a移位至作为所需位置的竖直上方位置。
图7示出插头3的纵向剖视图。此外，图7的下半部分中示出了插座5侧的锁定球9、***筒体10、套筒22以及套筒驱动板19。
插头本体3A从顶端侧(图7的右侧)包括顶端筒部33、中间筒部34以及底端筒部35。所述的筒部33、34、35具有共同的插头中心轴线L1且相互连接，并且内部形成有用于流通流体的流路。
在顶端筒部33内容纳有阀芯33a。阀芯33a通过弹簧33b被推动至顶端筒部33的顶端侧。由此，阀芯33a关闭顶端筒部33的顶端开口。阀芯33a的顶端侧中部上设置有凸出部33c，该凸出部33c沿插头中心轴线L1朝向顶端侧凸出。在插头3与插座5连接时，使得凸出部33c与相对的插座5侧阀芯的凸出部(未示出)抵靠。通过将插座5侧阀芯的凸出部与插头3的凸出部33c抵靠而克服弹簧33b的推力，使得阀芯33a向底端部侧缩回而打开插头3内的流路。
顶端筒部33的底端侧(左侧)与中间筒部34的顶端侧在相接触状态下通过承插相连接。顶端筒部33与中间筒部34之间设置有O形圈37，以使得顶端筒部33与中间筒部34液密或气密地连接。
以覆盖顶端筒部33的底端侧外周地设置第一固定环39。在第一固定环39的外周以遍及圆周方向地设置有凹处39a。在插头3与插座5侧连接时，保持在***筒体10上的锁定球9通过套筒22沿径向向内移动而***到凹处39a内。通过将锁定球9嵌入到凹处39a内，使得插头3固定在插座5上。在第一固定环39的内周侧形成有构成台阶的肩部39b，使得设置在顶端筒部33的底端部上的大径部与该肩部39b配合。在第一固定环39的底端侧内周形成有内螺纹部39c。
以覆盖中间筒部34的大致全部外周地设置有第二固定环41。在第二固定环41的内周侧形成有构成台阶的肩部41b，使得设置在中间筒部34的顶端侧上的大径部与该肩部41b配合。在第二固定环41的顶端侧外周形成有外螺纹部41c。通过将第二固定环41的外螺纹部41c与第一固定环39的内螺纹部39c螺纹连接，能够使得顶端筒部33与中间筒部34相互固定。
在第二固定环41的外螺纹部41c上从其基端部侧螺纹连接止动螺母43。止动螺母43在与第一固定环39的底端侧端部抵靠的位置上被固定。止动螺母43容纳在键板30的内周侧。止动螺母43的底端部比键板30的底端部位于顶端侧。由此，止动螺母43被容纳在键板30的内部而不从键板30的底端侧凸出。
止动螺母43的顶端侧外周具有比底端侧小的直径。由此，止动螺母43与第一固定环39的底端侧端部之间形成有沟槽，在键板30的顶端侧的内周侧上凸出的小径部30a***到该沟槽内。小径部30a的插头中心轴线L1方向上的长度比要***的沟槽的插头中心轴线L1方向上的长度小。如上所述，通过将键板30的小径部30a松动配合到沟槽内，既能够使得键板30沿旋转方向***，也能够限制插头中心轴线L1方向上的位置。
各个键32分别通过螺钉45固定在键板30上。螺钉45从底端侧朝向顶端侧***到键板30和键32内。此外，键32的固定方法并不限定于利用螺钉45的固定，例如也可以使得键板30与键32一体式形成。
中间筒部34的底端部与底端筒部35的顶端侧在相接触状态下通过承插相连接。中间筒部34与底端筒部35之间设置有O形圈47，以使得中间筒部34与底端筒部35液密或气密地连接。
第二固定环41的底端侧的法兰41a通过螺钉50固定在底端侧法兰49上。底端侧法兰49在与底端筒部35的底端部外周配合的状态下固定。螺钉50与底端侧法兰49螺纹连接。由此，底端筒部35固定在中间筒部34和顶端筒部33上。
底端侧法兰49的底端侧的表面上固定有多个固定螺栓52。各个固定螺栓52贯通用于固定管4的管用法兰53，并且各个固定螺栓52的顶端与螺母51螺纹连接。由此，通过将管用法兰53与底端侧法兰49固定，使得管4固定在插头3上。
图8中示出多个键32在圆周方向上的角度位置。图8中示出了三个键32。主键32a在竖直上方即十二点的方位上固定在键板30上。此外，在图5中为将自由旋转的键板30在圆周方向上的位置布置成，使得主键32a位于十二点的方位时的状态。
第一辅助键32b在九点和十二点之间的中间方位上固定在键板30上。第二辅助键32c在六点的方位上固定在键板30上。主键32a的周向宽度比第一辅助键32b或第二辅助键32c的周向宽度大，约为第一辅助键32b或第二辅助键32c的周向宽度的2倍大小。第一辅助键32b的周向宽度与第二辅助键32c的周向宽度相同。此外，第一辅助键32b的宽度方向上的尺寸与第二辅助键32c的宽度方向上的尺寸也可以不同。
如图5A和图5B所示，插座本体13上设置有用于容纳插头本体3A的顶端侧的插头本体容纳部13b。插头本体容纳部13b沿与插头中心轴线L1共线的中心轴线形成，且为具有与插头本体3A的顶端相对应的形状的空间。
图9A和图9B示出了插头本体容纳部13b周围的放大图。在插座本体13的插头本体容纳部13b上设置有清洗液供给孔60和气体供给孔62，清洗液供给孔60用于向插头本体容纳部13b内供给水等清洗液，气体供给孔62用于向插头本体容纳部13b内供给用于干燥的吹扫气体。清洗液供给孔60设置为朝向沿着插头本体容纳部13b内周面的切线方向、且设置为向插头本体3A的顶端侧倾斜地供给清洗液。气体供给孔62设置为朝向沿着插头本体容纳部13b内周面的切线方向供给气体。
在清洗液供给孔60的上游侧设置有清洗液用阀，以根据控制部的指令确定供给时间。在气体供给孔62的上游侧设置有气体用阀，以根据控制部的指令确定供给时间。
在清洗液供给孔60与气体供给孔62之间设置有O形环(密封构件)64。O形环64***到插头本体容纳部13b内周上形成的环槽内。如上所述，清洗液供给孔60设置在相对于O形环64的与插头本体3A的顶端相反的一侧位置，气体供给孔62设置在相对于O形环64的朝向插头本体3A的顶端侧的位置。
另外，虽然未示出，但在插头本体容纳部13b中比清洗液供给孔60进一步朝向插头本体3A的底端侧(图9A和图9B的左侧)的位置上，设置有用于排出清洗液和气体的排出路径。
在处于图9A示出的状态，即处于插头本体3A的阀芯33a与插座本体13的阀芯13a间隔的状态(具体为第一前进位置P1)时执行清洗。图10A如箭头所示地示出了在清洗时从清洗液供给孔60喷出清洗液的状态。清洗液沿插头本体容纳部13b的内周面旋转并流动，同时朝向插头本体3A的顶端侧(图10A的右侧)流动。由此，对插头本体3A的顶端、插座本体13的阀芯13a的顶端以及插头本体容纳部13b的内部进行清洗。
图9B示出的状态示出了从图9A的状态下通过将插头本体3A靠近于插座本体13而使得插头3与插座5之间的流路连通的状态(具体为第二前进位置P2)。从图9B中知晓，插头本体3A的顶端以填充插头本体容纳部13b的末端侧(右侧)的方式嵌入到插头本体容纳部13b的末端侧。另外，插头本体3A的外周通过O形环64实现液密地密封。在该状态下，即使从清洗液供给孔60流出清洗液，也能够如图10B的箭头所示地通过O形环64实现密封，从而使得清洗液不会被引导至插头本体3A的顶端侧。
接下来，对将上述插头3与插座5连接以及解除连接的动作进行说明。
<连接前准备工序>
首先，如图1所示，将插头3位于与插座5相对的位置上。之后，如图6所示，作业人员手动旋转键板30，使得键板30定位成作业人员易于从上方观察的位置(即主键32a位于竖直上方的位置)。
<***工序>
在定位键板30的位置之后，如图11所示，将插头3的顶端***到插座5的插口8内。在此状态下，在将插头3沿轴线方向***到插座5内时，如图12所示，键32与插座5的***筒体10上设置的键槽11匹配地嵌入到键槽11内。在将键32与键槽11匹配地嵌合时，可以确定插头3与插座5适配而避免误连接。在键槽11与键32没有匹配的情况下，由于插头3不能挤入到与插座5连接的位置，因此作业人员判断插头3与插座5没有适配。
<锁定工序>
在键32与键槽11匹配而使得插头3适当地***到***筒体10内时，根据插头3沿轴线方向挤入到***筒体10的动作，如图7的下半部分所示地，通过将保持在***筒体10上的各个锁定球9***到插头3的第一固定环39上设置的凹处39a内，从而使得插头3与插座5固定。此时，如图5A所示，由套筒22来限制锁定球9沿径向向外的移动。
<前清洗工序>
如图13所示，将插头3从图12的状态朝向插座本体13侧牵引而移位至第一前进位置P1。具体地，如图3B所示，通过根据控制部的指令，利用从空气供给配管24供给至各个气缸23的空气，使得各个支撑轴体18沿轴线方向动作，由此来自动实现移位至第一前进位置P1。所述第一前进位置P1的纵向剖视图在图14中示出。
之后，如图13中箭头A1和箭头A2所示地，通过纯水清洗插头3的顶端与插座5之间的空间(参照图10A)，之后，利用氮等惰性气体进行干燥。在该前清洗工序中，插头3的阀芯33a(参照图7)和插座5的阀芯13a位于关闭位置，从而切断各自的流路。
<流体移送工序>
接着，如图15所示，将插头3从图13的第一前进位置P1更进一步向插座本体13侧牵引而移位至作为连接位置的第二前进位置P2。具体地，如图3C所示，通过根据控制部的指令，利用从空气供给配管24供给至各个气缸23的气体，使得各个支撑轴体18沿轴线方向动作，由此来自动实现移位至第二前进位置P2。该第二前进位置P2的纵向剖视图在图16中示出。
如上所述，相对于图12中示出的初始位置P0，驱使插头3分为图13的第一前进位置P1和图15的第二前进位置P2的两个阶段地前进。
在将插头3定位到第二前进位置P2时，通过使得插头3的阀芯33a的凸出部33c(参照图7)与插座5的阀芯13a的凸出部之间发生抵靠并相互挤压而移位至打开位置，从而开放各自的流路。由此，如箭头A3和箭头A4所示地，使得流体从罐车经由用于移送流体的连接器1移送至建筑物内的缓冲罐。
<后清洗工序>
在完成流体移送之后，如图17所示地将插头后退至与图13相同的第一前进位置P1。之后，如图17中的箭头A1以及箭头A2所示，通过纯水清洗插头3的顶端与插座5之间的空间(参照图10A)，之后，利用氮等惰性气体进行干燥。在该后清洗工序中，插头3的阀芯33a(参照图7)和插座5的阀芯13a位于关闭位置，从而切断各自的流路。
<拆卸工序>
在完成如图17中示出的后清洗工序之后，将插头3后退至如图12中示出的初始位置P0，根据控制部的指令，套筒驱动板19动作使得套筒22向插头3的顶端方向(图12的右侧方向)移动而解除锁定球9的锁定之后(参照图5B)，使得插头3从插座5上拆卸。
根据本实施例，实现了以下效果。
由于清洗液供给孔60设置在相对于O形环64的与插头本体3A的顶端相反的一侧位置，因此即使在插头本体3A与插座本体13连接而移送流体、因某些故障而从清洗液供给孔60流出清洗液时，通过O形环64使得清洗液与插头本体3A的顶端分隔。由此，如图10B所示地使得清洗液不会被引导至插头本体3A的顶端侧而混入到移送的流体中。
由于如图9A所示地将清洗液供给孔60设置为朝向与插头本体3A的顶端侧倾斜的方向，因此，使得从清洗液供给孔60喷射的清洗液朝向插头本体3A的顶端侧流动(参照图10A)。由此，在清洗时，能够使得清洗液被引导至插头本体3A的顶端侧，从而能够更有效地执行清洗。
由于与清洗液供给孔60独立地设置有用于向插头本体容纳部13b内供给气体的气体供给孔62，因此能够从与供给清洗液的位置不同的位置喷射气体。由此，能够更有效地向插头本体容纳部13b内执行吹扫。
相对于O形环64在插头本体3A的顶端侧设置气体供给孔62。由此，能够通过在气体供给孔62与清洗液供给孔60之间介入有O形环64地分配设置气体供给孔62和清洗液供给孔60，从而即使在狭窄空间内也能够更有效地布置气体供给孔62和清洗液供给孔60。
此外，本实施方式中，虽然对作为移送的流体使用液体进行了说明，但本发明并不限定于此，也可以使用气体。
另外，作为用于将插头本体3A密封在插头本体容纳部13b内的构件虽然以O形环64为例进行了说明，但本发明并不限定于此，其只要能够实现液密地密封则也可以使用其它密封构件。
附图标记说明
1-用于移送流体的连接器，3-插头，3A-插头本体，4-管，5-插座，6-配管，8-插口，9-锁定球，10-***筒体(插头本体保持部)，11-键槽，11a-主键槽，13-插座本体，13a-阀芯，15-前侧固定板，16-后侧固定板，17-脚部，18-支撑轴体，18a-第一支撑轴体，18a1-盖部驱动用轴体，18b-第二支撑轴体，18b1-套筒驱动板用轴体，18c-第三支撑轴体，18c1-套筒驱动板用轴体，18d-第四支撑轴体，18d1-传感器线，19-套筒驱动板，20-前侧支撑板，21-后侧支撑板，22-套筒，22a-顶端，23-气缸(驱动机构)，23a-第一筒体部，23b-第二筒体部，23c-第三筒体部，23d-第四筒体部，24-空气供给配管，24a-第一配管，24b-第二配管，24c-第三配管，24d-第四配管，25-活塞(驱动机构)，25a-小径部，25b-大径部，26-分隔环(驱动机构)，27-盖部，29a-第一执行机构，29b-第二执行机构，29c-第三执行机构，30-键板(环体)，30a-小径部，31-传感器用板，31a-槽口，32-键，32a-主键，33-顶端筒部，33a-阀芯，33b-弹簧，33c-凸出部，34-中间筒部，35-底端筒部，37-O形圈，39-第一固定环，39a-凹处，39b-肩部，39c-内螺纹部，41-第二固定环，41a-法兰，41b-肩部，41c-外螺纹部，43-止动螺母，45-螺钉，47-O形圈，49-底端侧法兰，50-螺钉，51-螺母，52-固定螺栓，53-管用法兰，L1-插头中心轴线，P0-初始位置，P1-第一前进位置(中间位置)，P2-第二前进位置(连接位置)，S-密闭空间，S1-第一空间，S2-第二空间，S3-第三空间，28a-第一位置传感器，28b-第二位置传感器，28c-第三位置传感器，36-杆，32b-第一辅助键，32c-第二辅助键，13b-插头本体容纳部，60-清洗液供给孔，62-气体供给孔，64-O形环。