阅读说明：本技术 一种用于瞬态热阻测试的夹持装置 (Clamping device for transient thermal resistance test ) 是由 王敏 于 2019-10-12 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,包括底座,通过在底板中心处固定设有夹持板,顶板和底板的另一侧设有第二侧板,顶板的上对称设有拉力表,拉力表上连接有拉绳,活动板上对称设有固定环,拉绳与固定环连接,活动板下方设有夹块,使用时,将测试器件放置在夹持板上,转动螺纹杆,使其在滑块与滑槽的配合下推动活动板向下移动,在推动时,即可通过拉力表测算出此时向下的拉力,可以根据需要,增加或者减小夹块对夹持板的压力,有益效果：这样的装置结构简单,使用方便,可以在瞬态热阻测试时,根据需要调节不同的夹持力,不会使芯片压碎,或者夹持力过小,增加接触热阻和电阻,影响测试结果。(The invention discloses a clamping device for transient thermal resistance testing, which comprises a base, wherein a clamping plate is fixedly arranged at the center of a bottom plate, a second side plate is arranged at the other side of a top plate and the bottom plate, tension meters are symmetrically arranged on the top plate, pull ropes are connected with the tension meters, fixing rings are symmetrically arranged on a movable plate, the pull ropes are connected with the fixing rings, clamping blocks are arranged below the movable plate, when the clamping device is used, a testing device is placed on the clamping plate, a threaded rod is rotated to push the movable plate to move downwards under the matching of a sliding block and a sliding groove, and when the threaded rod is pushed, the downward pull force at the moment can be measured through the tension meters, so that the pressure of the clamping blocks on the clamping plate can be increased or reduced according to needs: the device has a simple structure, is convenient to use, can adjust different clamping forces according to requirements during transient thermal resistance testing, does not crush the chip, or has excessively small clamping force, increases thermal contact resistance and resistance, and influences a testing result.)

一种用于瞬态热阻测试的夹持装置

技术领域

本发明涉及热阻测试夹持技术领域，具体来说，涉及一种用于瞬态热阻测试的夹持装置。

背景技术

在半导体器件工艺生产过程中，为快速、有效地检验器件芯片和外壳之间的烧结质量(热阻)，一般采用瞬态热阻测试的筛选方法。该方法是向待测半导体器件施加单一功率脉冲，并在脉冲结束后测量热敏参数，推断器件芯片的温升，进而推断器件烧结质量(烧结热阻)的好坏。瞬态热阻的测试能够满足半导体器件工艺生产中的100％筛选，主要剔除那些因芯片烧结质量不合格而导致热阻偏大的器件。在对半导体器件进行瞬态热阻测试时需要对其进行夹持固定，为了保证该半导体器件能够正常工作，需要严格控制夹持装置对半导体器件的夹持力，现有夹持装置往往夹持力过大，压碎芯片，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

针对相关技术中的问题，本发明提出一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，包括底座，所述底座上设有第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有第二支撑杆，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆通过调节装置连接，所述第二支撑杆的一端设有第一侧板，所述第一侧板的两端分别设有顶板和底板，所述顶板和所述底板均与所述第一侧板固定连接，所述底板中心处固定设有夹持板，所述顶板和所述底板的另一侧设有第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板之间设有活动板，所述活动板的两端均设有滑块，所述第一侧板和所述第二侧板位于所述滑块的一侧壁上均设有滑槽，所述滑块与所述滑槽相匹配，所述顶板中心处设有螺纹套，所述螺纹套内设有螺纹杆，所述顶板的上对称设有拉力表，所述拉力表上连接有拉绳，所述活动板上对称设有固定环，所述拉绳与所述固定环连接，所述活动板下方设有夹块。

进一步的，所述调节装置包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板之间设有紧固轴。

进一步的，所述活动板位于所述螺纹杆下方的位置设有固定板，所述固定板中心处设有螺纹槽。

进一步的，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆的材质均为不锈钢。

进一步的，所述底座下方对称设有安装钉。

本发明提供了一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，有益效果如下：

（1）、通过在底板中心处固定设有夹持板，顶板和底板的另一侧设有第二侧板，第一侧板和第二侧板之间设有活动板，活动板的两端均设有滑块，第一侧板和第二侧板位于滑块的一侧壁上均设有滑槽，滑块与滑槽相匹配，顶板中心处设有螺纹套，螺纹套内设有螺纹杆，顶板的上对称设有拉力表，拉力表上连接有拉绳，活动板上对称设有固定环，拉绳与固定环连接，活动板下方设有夹块，使用时，将测试器件放置在夹持板上，转动螺纹杆，使其在滑块与滑槽的配合下推动活动板向下移动，在推动时，即可通过拉力表测算出此时向下的拉力，可以根据需要，增加或者减小夹块对夹持板的压力，这样的装置结构简单，使用方便，可以在瞬态热阻测试时，根据需要调节不同的夹持力，不会使芯片压碎，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

（2）、在调节装置包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板之间设有紧固轴，可以调节第一支撑杆和第二支撑杆的位置。

（3）、在活动板位于所述螺纹杆下方的位置设有固定板，所述固定板中心处设有螺纹槽，在螺纹杆转动时，起到保护活动板的作用。

（4）、在第一支撑杆与所述第二支撑杆的材质均为不锈钢，可以提高第一支撑杆与第二支撑杆的使用寿命。

（5）、在底座下方对称设有安装钉，可以方便底座的安装和拆卸。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1 是根据本发明实施例的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置的结构示意图；

图2 是根据本发明实施例的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置中调节装置的结构示意图。

图中：

1、底座；2、第一支撑杆；3、第二支撑杆；4、调节装置；5、第一侧板；6、顶板；7、底板；8、夹持板；9、第二侧板；10、活动板；11、滑块；12、滑槽；13、螺纹套；14、螺纹杆；15、拉力表；16、拉绳；17、固定环；18、夹块；19、第一夹板；20、第二夹板；21、紧固轴；22、固定板；23、螺纹槽；24、安装钉。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面，结合附图以及具体实施方式，对本发明做出进一步的描述：

实施例一：

请参阅图1-2，根据本发明实施例的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，包括底座1，所述底座1上设有第一支撑杆2，所述第一支撑杆2上设有第二支撑杆3，所述第一支撑杆2与所述第二支撑杆3通过调节装置4连接，所述第二支撑杆3的一端设有第一侧板5，所述第一侧板5的两端分别设有顶板6和底板7，所述顶板6和所述底板7均与所述第一侧板5固定连接，所述底板7中心处固定设有夹持板8，所述顶板6和所述底板7的另一侧设有第二侧板9，所述第一侧板5和所述第二侧板9之间设有活动板10，所述活动板10的两端均设有滑块11，所述第一侧板5和所述第二侧板9位于所述滑块11的一侧壁上均设有滑槽12，所述滑块11与所述滑槽12相匹配，所述顶板6中心处设有螺纹套13，所述螺纹套13内设有螺纹杆14，所述顶板6的上对称设有拉力表15，所述拉力表15上连接有拉绳16，所述活动板10上对称设有固定环17，所述拉绳16与所述固定环17连接，所述活动板10下方设有夹块18。

通过本发明的上述方案，通过在底板7中心处固定设有夹持板8，所述顶板6和所述底板7的另一侧设有第二侧板9，所述第一侧板5和所述第二侧板9之间设有活动板10，所述活动板10的两端均设有滑块11，所述第一侧板5和所述第二侧板9位于所述滑块11的一侧壁上均设有滑槽12，所述滑块11与所述滑槽12相匹配，所述顶板6中心处设有螺纹套13，所述螺纹套13内设有螺纹杆14，所述顶板6的上对称设有拉力表15，所述拉力表15上连接有拉绳16，所述活动板10上对称设有固定环17，所述拉绳16与所述固定环17连接，所述活动板10下方设有夹块18，使用时，将测试器件放置在夹持板8上，转动螺纹杆14，使其在滑块11与滑槽12的配合下推动活动板10向下移动，在推动时，即可通过拉力表15测算出此时向下的拉力，可以根据需要，增加或者减小夹块对夹持板8的压力，这样的装置结构简单，使用方便，可以在瞬态热阻测试时，根据需要调节不同的夹持力，不会使芯片压碎，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

实施例二：

如图1-2所示，所述调节装置4包括第一夹板19和第二夹板20，所述第一夹板19和所述第二夹板20之间设有紧固轴21；在调节装置4包括第一夹板19和第二夹板20，所述第一夹板19和所述第二夹板20之间设有紧固轴21，可以调节第一支撑杆2和第二支撑杆3的位置。所述活动板10位于所述螺纹杆14下方的位置设有固定板22，所述固定板22中心处设有螺纹槽23；在活动板10位于所述螺纹杆14下方的位置设有固定板22，所述固定板22中心处设有螺纹槽23，在螺纹杆14转动时，起到保护活动板10的作用。所述第一支撑杆2与所述第二支撑杆3的材质均为不锈钢；在第一支撑杆2与所述第二支撑杆3的材质均为不锈钢，可以提高第一支撑杆2与第二支撑杆3的使用寿命。所述底座1下方对称设有安装钉24；在底座1下方对称设有安装钉24，可以方便底座的安装和拆卸。

综上所述，借助于本发明的上述技术方案，通过在底板7中心处固定设有夹持板8，所述顶板6和所述底板7的另一侧设有第二侧板9，所述第一侧板5和所述第二侧板9之间设有活动板10，所述活动板10的两端均设有滑块11，所述第一侧板5和所述第二侧板9位于所述滑块11的一侧壁上均设有滑槽12，所述滑块11与所述滑槽12相匹配，所述顶板6中心处设有螺纹套13，所述螺纹套13内设有螺纹杆14，所述顶板6的上对称设有拉力表15，所述拉力表15上连接有拉绳16，所述活动板10上对称设有固定环17，所述拉绳16与所述固定环17连接，所述活动板10下方设有夹块18，使用时，将测试器件放置在夹持板8上，转动螺纹杆14，使其在滑块11与滑槽12的配合下推动活动板10向下移动，在推动时，即可通过拉力表15测算出此时向下的拉力，可以根据需要，增加或者减小夹块对夹持板8的压力，这样的装置结构简单，使用方便，可以在瞬态热阻测试时，根据需要调节不同的夹持力，不会使芯片压碎，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

调节装置4包括第一夹板19和第二夹板20，所述第一夹板19和所述第二夹板20之间设有紧固轴21，可以调节第一支撑杆2和第二支撑杆3的位置；在活动板10位于所述螺纹杆14下方的位置设有固定板22，所述固定板22中心处设有螺纹槽23，在螺纹杆14转动时，起到保护活动板10的作用；在第一支撑杆2与所述第二支撑杆3的材质均为不锈钢，可以提高第一支撑杆2与第二支撑杆3的使用寿命；在底座1下方对称设有安装钉24，可以方便底座的安装和拆卸。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。