阅读说明：本技术 一种抖动控制器(Dither Controller) (A shaking Controller (Dither Controller) ) 是由 马少志 于 2018-07-11 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种抖动控制器(Dither Controller),属于半导体制造领域。抖动控制器(Dither Controller)包括：AC/DC模块(1)、开关电源(2)、信号控制板(3)、伺服驱动器(4)。该控制器需外接220VAC市电,为AC/DC模块(1)和开关电源(2)提供输入电源；AC/DC模块(1)为伺服驱动器(4)提供直流工作电压；开关电源(2)为信号控制板(3)提供所需的工作电压；信号控制板(3)通过模拟信号控制伺服驱动器(4)输出电流的幅值、波形和频率,同时进行电流反馈信号的采集；外部控制器与信号控制板(3)进行信息的交换。(The invention discloses a jitter Controller (Dither Controller), belonging to the field of semiconductor manufacturing. The jitter Controller (Dither Controller) includes: the device comprises an AC/DC module (1), a switching power supply (2), a signal control board (3) and a servo driver (4). The controller needs to be externally connected with 220VAC commercial power and provides input power for the AC/DC module (1) and the switch power supply (2); the AC/DC module (1) provides direct-current working voltage for the servo driver (4); the switching power supply (2) provides required working voltage for the signal control board (3); the signal control board (3) controls the amplitude, waveform and frequency of the output current of the servo driver (4) through analog signals, and simultaneously acquires current feedback signals; the external controller exchanges information with the signal control panel (3).)

一种抖动控制器(Dither Controller)

技术领域

本发明涉及离子注入机的抖动控制器(Dither Controller)，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。

背景技术

Q3聚焦磁透镜放置于质量分析磁铁之后、平行透镜之前的束线系统中，对束流的调节作用很大。在束流的传输过程中，通过对束流的垂直和水平方向聚焦或散焦的调节作用，对于提高束流传输效率有重要作用。抖动控制器(Dither Controller)作用于Q3聚焦磁透镜，因而设计一种性能优良的的抖动控制器 (Dither Controller)是必要的，然而目前国内各研发生产厂家所生产使用的抖动控制器(Dither Controller)存在结构过于复杂、参数指标达不到要求或者性能不够理想等缺点。

发明内容

本发明提供了一种抖动控制器(Dither Controller)，该控制器可以输出 Q3聚焦磁透镜所需的工作电流。通过调节束流水平和垂直方向的聚焦和散焦，可提高束流的传输效率，进而完成离子注入工艺。

本发明通过以下技术方案实现：

抖动控制器(Dither Controller)基本框图如图1所示，它包括4个主要功能部分：AC/DC模块(1)、开关电源(2)、信号控制板(3)、伺服驱动器 (4)。各功能单元的实现电路及作用如下：

AC/DC模块(1)：220VAC市电为输入电压，通过变压器降压后，然后经过整流、滤波和稳压电路，得到稳定的供电电源，为伺服驱动器(4)提供合适的直流工作电压。

开关电源(2)：为信号控制板(3)提供所需的直流工作电压，包括±15V、 5V和24V。

信号控制板(3)：可将0～10V模拟信号转换为-5V～+5V、93Hz的三角波控制信号；可将-3V～+3V的PWM信号转换为0～10V模拟量信号；可接收数字信号和反馈数字信号。

伺服驱动器(4)：工作电压为+22～+90VDC，最大持续输出电流为10A，峰值输出电流为20A，可通过模拟信号控制，且具有电流监测功能。作用于驱动负载。

本发明具有如下显著优点：

1、结构简单、可靠性好，各模块连接方便，易维护。

2、可驱动负载电感范围较大，400uH～40mH。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1是抖动控制器(Dither Controller)结构框图。

图2是抖动控制器(Dither Controller)的原理图。

具体实施方式

下而结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为本发明的限定。

如图1、图2，一种抖动控制器(Dither Controller)，该控制器需220VAC 市电供电，连接AC/DC模块(1)和开关电源(2)，提供输入电源；AC/DC模块 (1)连接伺服驱动器(4)，提供50VDC工作电压；开关电源(2)连接信号控制板(3)，提供所需的±15V、5V和24VDC工作电压；信号控制板(3)通过连接器连接外部控制器，可实现上位机远程控制，接收0～10V模拟量控制信号并转换为-5V～+5V的三角波控制信号，接收数字信号实现高低电平使能信号的输出，同时将-3V～+3V的PWM电流反馈信号转换为0～10V模拟信号和低电平的错误信号传输回外部控制器，以达到监测功能；信号控制板(3)连接伺服驱动器(4)，输出-5V～+5V的三角波模拟信号控制驱动器的输出电流值，通过低电平使能信号控制驱动器的使能输出，同时接收-3V～+3V的PWM电流反馈信号和低电平错误信号；伺服驱动器(4)连接线圈负载，输出电流驱动负载。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。