阅读说明：本技术 同步电动机的转子 (Rotor of synchronous motor ) 是由 志津达哉 横地孝典 于 2019-07-10 设计创作，主要内容包括：一种同步电动机的转子(10),其具备转子铁芯(11)、以及永磁体(13),所述转子铁芯(11)具有磁体插入孔(17)以及形成在磁体插入孔(17)的外周侧的多个狭缝(12(12a、12b、12c)),所述永磁体(13)埋设于磁体插入孔(17)。在沿永磁体(13)的边的方向上间隔形成磁路形成狭缝(12a、12b)。在各个磁路形成狭缝(12a、12b)之间、以及在最外侧的磁路形成狭缝(12a)的外侧部分形成有磁路(14)。在规定的磁路形成狭缝(12b)与永磁体(13)之间形成调整狭缝(12c),以使通过相邻的磁路(14)的与永磁体(13)的磁极的朝向交叉的方向的单位宽度的磁感线量的差变小。(A rotor (10) of a synchronous motor is provided with a rotor core (11) and a permanent magnet (13), wherein the rotor core (11) is provided with a magnet insertion hole (17) and a plurality of slits (12a, 12b, 12c) formed on the outer peripheral side of the magnet insertion hole (17), and the permanent magnet (13) is embedded in the magnet insertion hole (17). Magnetic path forming slits (12a, 12b) are formed at intervals in a direction along the sides of the permanent magnet (13). A magnetic path (14) is formed between the magnetic path forming slits (12a, 12b) and outside the outermost magnetic path forming slit (12 a). An adjustment slit (12c) is formed between a predetermined magnetic path forming slit (12b) and the permanent magnet (13) so that the difference in the amount of magnetic induction per unit width in the direction intersecting the direction of the magnetic pole of the permanent magnet (13) passing through the adjacent magnetic path (14) is reduced.)

同步电动机的转子

技术领域

本发明涉及同步电动机的转子。

背景技术

永磁体同步电动机(Permanent Magnet Synchronous Motor)存在各种各样的构造，众所周知的有在转子的外周表面粘贴永磁体的表贴式永磁同步电动机(以下称“SPM(Surface Permanent Magnet Synchronous Motor)”)、以及将永磁体埋入转子铁芯的内置式永磁同步电动机(以下称“IPM(Interior Permanent Magnet Synchronous Motor)”或者“同步电动机(Synchronous Motor)”)。

IPM由于具有将永磁体埋入转子内的构造，所以与在转子的表面粘贴永磁体的SPM相比，转子在高速旋转时永磁体飞散的风险小。另外，由于IPM不需要像SPM一样在永磁体设置用于将永磁体粘贴至转子的表面的曲面，能够采用平板的永磁体，所以能够降低成本。

因此，如果能够在例如用于驱动机床的进给轴的伺服电动机中采用IPM，则能够实现高可靠性和低成本。然而一般来说，由于与SPM相比，IPM的电感大，产生电流的跟踪延迟，所以控制性差。因此，不适用于要求高速高精度的定位动作的伺服电动机。

关于此，作为用于降低IPM的电感的转子构造，已知有例如专利文献1中公开的转子。下面将参考图5，描述该转子的构造。图5是示出现有的IPM中的转子的截面的一个示例的图。转子50具备层积硅钢片等而构成的转子铁芯51、以及多个永磁体53。转子铁芯51包括：沿周方向间隔形成的多个磁体***孔57，以及形成在磁体***孔57的各自的外周侧的多个狭缝52。各个永磁体53埋设于各个磁体***孔57，磁极的朝向为转子铁芯51的径向。转子50在其中心与旋转轴(未图示)连接。磁体***孔57以及狭缝52是沿旋转轴的轴方向(穿过纸面的方向)开设的孔(空隙)。相邻的狭缝52之间、以及狭缝52与转子铁芯51的外周之间，形成磁路54。

此外，在转子50的径向外侧，配置有未图示的定子。定子具有大致圆筒形状，在圆筒形的内周表面沿周方向排列有多个极齿。极齿之间的空间称为槽，线圈通过槽而缠绕在极齿上形成磁极。

图6是将图5的转子50的一部分进行放大而示出由永磁体53产生的磁感线55、以及由向定子线圈通电而产生的磁感线56的图。从图6可知，狭缝52的配置妨碍由向定子线圈通电而产生的磁感线56的通过。如此配置狭缝52，通过减少由向定子线圈通电而产生的磁感线56而减少IPM的电感。另一方面，永磁体53沿径向外侧的朝向磁化，由永磁体53产生的磁感线55通过磁路54而流向定子。

这里，着眼于分别通过距离磁极中心远的磁路54a以及距离磁极中心近的磁路54b的磁感线量。图6中磁感线55的条数示出了磁感线的相对的量。另外，为了说明简单，设定磁路54a与磁路54b的宽度(与永磁体53的磁极的朝向交叉的方向的宽度，在图6中沿永磁体53的边的方向即左右方向的宽度)相等。因此，从永磁体53向磁路54a以及磁路54b流入等量(三条)的磁感线。在磁路54b中，流入的三条均向定子流出三条。而在磁路54a中，由于磁感线在磁极间的相连部分漏掉一条，所以流入的三条中只有两条向定子流出。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平8-182267号公报。

发明内容

如上所述，在现有的IPM的转子中，由永磁体53产生并通过距离磁极中心近的磁路54b而流入定子的磁感线，比由永磁体53产生并通过距离磁极中心远的磁路54a而流入定子的磁感线多。那么，由于磁感线的通过量与磁引力几乎成正比关系，所以在磁感线的通过量大的磁路中产生大的磁引力，在磁感线的通过量少的磁路中仅产生小的磁引力。如果如上述根据磁路不同而磁感线的通过量不同，则根据转子50的旋转位置会产生磁引力的差别。即，当磁感线通过量大的磁路接近定子的极齿时磁引力变大，反之当磁感线通过量小的磁路接近定子的极齿时磁引力变小。如果如上述根据转子50的旋转位置而磁引力变化，则会在转子50旋转时产生被称为齿槽转矩的转矩的脉动。

在例如机床的进给轴使用了齿槽转矩大的伺服电动机的情况下，会发生切割面出现条纹等缺陷。本发明的目的在于，提供一种能够减小齿槽转矩的同步电动机的转子。

为达成上述目的，本发明的同步电动机的转子采用下述结构。

本发明的同步电动机的转子的特征在于，具备：转子铁芯以及多个永磁体，上述转子铁芯由硅钢片或者软磁材料构成，上述转子铁芯包括：沿周方向间隔形成的多个磁体***孔、以及形成在上述磁体***孔的各自的外周侧的多个狭缝，多个上述永磁体埋设于各个上述磁体***孔，其磁极的朝向为上述转子铁芯的径向，上述多个狭缝包括调整狭缝以及磁路形成狭缝，上述磁路形成狭缝在与各个上述永磁体的磁极的朝向交叉的方向上间隔形成，上述磁路形成狭缝的至少其中一个是被调整狭缝，在各个上述磁路形成狭缝之间、以及在上述交叉的方向上的最外侧的上述磁路形成狭缝的外侧部分形成有磁路，在上述被调整狭缝与上述永磁体之间形成上述调整狭缝，以使通过相邻的上述磁路的上述交叉的方向的单位宽度的磁感线量的差变小。

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述调整狭缝的上述交叉的方向的最大宽度，比上述被调整狭缝的上述交叉的方向的最大宽度宽。

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述调整狭缝与上述磁体***孔相连。

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述被调整狭缝是位于上述永磁体的磁极中心侧的上述磁路形成狭缝。

在本发明的同步电动机的转子中，上述交叉的方向是沿上述永磁体的边的第一方向，上述永磁体的上述第一方向的一端侧处的、上述转子铁芯的外周与上述磁体***孔的边缘之间的最短距离W1，作为上述第一方向的距离的、从上述永磁体的上述一端至距离上述一端最近的上述磁路形成狭缝的上述一端侧的边缘的距离W2，作为上述第一方向的距离的、从上述被调整狭缝的上述一端侧的边缘至与上述被调整狭缝的上述一端侧相邻的上述磁路形成狭缝的上述被调整狭缝侧的边缘的距离W3，以及作为上述第一方向的距离的、从上述调整狭缝的上述一端侧的边缘至与上述调整狭缝的上述一端侧相邻的上述磁路形成狭缝的上述调整狭缝侧的边缘的距离W4，满足下述式(1)。

(W2-W1)/W2＝W4/W3 (1)

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述被调整狭缝是位于上述永磁体的磁极中心侧的上述磁路形成狭缝的两侧的上述磁路形成狭缝。

本发明的同步电动机的转子的特征在于，具备：转子铁芯以及多个永磁体，上述转子铁芯由硅钢片或者软磁材料构成，上述转子铁芯包括：沿周方向间隔形成的多个磁体***孔、以及形成在上述磁体***孔的各自的外周侧的多个狭缝，多个上述永磁体埋设于各个上述磁体***孔，其磁极的朝向为上述转子铁芯的径向，上述多个狭缝在与各个上述永磁体的磁极的朝向交叉的方向上间隔形成，在各个上述狭缝之间、以及在上述交叉的方向上最外侧的上述狭缝的外侧部分形成有磁路，形成上述交叉的方向的最大宽度不同的两种以上的上述狭缝，以使通过相邻的上述磁路的上述交叉的方向的单位宽度的磁感线量的差变小。

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述狭缝的至少其中一个是变形狭缝，上述变形狭缝具有从上述永磁体侧向上述转子铁芯的外周侧延伸、上述交叉的方向的宽度在途中变化的形状。

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述变形狭缝的上述永磁体侧的端部的上述交叉的方向的宽度，比上述变形狭缝的上述转子铁芯的外周侧的端部的上述交叉的方向的宽度宽。

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述变形狭缝与上述磁体***孔相连。

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述变形狭缝是位于上述永磁体的磁极中心侧的上述狭缝。

在本发明的同步电动机的转子中，上述交叉的方向是沿上述永磁体的边的第一方向，上述变形狭缝的上述永磁体侧的端部是扩张部，上述变形狭缝的上述永磁体侧的端部与上述转子铁芯的外周侧的端部之间的部分是中间部，上述永磁体的上述第一方向的一端侧处的、上述转子铁芯的外周与上述磁体***孔的边缘之间的最短距离W1，作为上述第一方向的距离的、从上述永磁体的上述一端至距离上述一端最近的上述狭缝的上述一端侧的边缘的距离W2，作为上述第一方向的距离的、从上述变形狭缝的上述中间部的上述一端侧的边缘至与上述变形狭缝的上述一端侧相邻的上述狭缝的上述变形狭缝侧的边缘的距离W5，以及作为上述第一方向的距离的、从上述变形狭缝的上述扩张部的上述一端侧的边缘至与上述变形狭缝的上述一端侧相邻的上述狭缝的上述变形狭缝侧的边缘的距离W6，满足下述式(2)。

(W2-W1)/W2＝W6/W5 (2)

在本发明的同步电动机的转子中，也可以设置为，上述变形狭缝是位于上述永磁体的磁极中心侧的上述狭缝的两侧的上述狭缝。

根据本发明的同步电动机的转子，能够减小同步电动机的齿槽转矩。

附图说明

图1是将第一实施方式中的转子的截面的一部分进行了放大的图。

图2是将第二实施方式中的转子的截面的一部分进行了放大的图。

图3是将第二实施方式的变形例中的转子的截面的一部分进行了放大的图。

图4是将第二实施方式的另一变形例中的转子的截面的一部分进行了放大的图。

图5是示出现有的IPM中的转子的截面的一个示例的图。

图6是将图5的转子的一部分进行放大、示出由永磁体产生的磁感线的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的同步电动机的转子的实施方式进行说明。

(第1实施方式)

图1是将第一实施方式中的同步电动机的转子10的截面的一部分进行了放大的图。除了狭缝的形态以外，本实施方式的同步电动机的转子10与图5所示的同步电动机的转子50为相同的构成。即，当对照参考图1与图5时，转子10具备层积硅钢片等而构成的转子铁芯11(相当于图5的51)、以及多个永磁体13(相当于图5的53)。转子铁芯11包括沿周方向间隔形成的多个磁体***孔17(相当于图5的57)。各个永磁体13埋设于各个磁体***孔17，磁极的朝向为转子铁芯11的径向。转子10在其中心与旋转轴(未图示)连接。磁体***孔17以及后述的狭缝12是沿旋转轴的轴方向(穿过纸面的方向)开设的孔(空隙)。

此外，在第一实施方式以及图5中，磁体***孔17(相当于图5的57)以及永磁体13(相当于图5的53)分别为四个，不过根据磁极数，也可能为其他数量。

此外，需要注意的是，在本说明书中，所谓转子10或者转子铁芯11的周方向，有时不是严格的圆周方向。例如图5互相成90度而相邻的各个磁体***孔57(各个永磁体53)，以及例如磁体***孔57(永磁体53)的数量为两个的情况下在图5的上下或者左右相向而配置的情况，也称为磁体***孔57(永磁体53)沿周方向间隔配置(形成)。

以下参照图1对第一实施方式的同步电动机的转子10进行详细说明。一般，由于转子10的与旋转轴线正交的截面在旋转轴线方向上是一样的，所以对于磁路、狭缝、永磁体、以及磁体***孔的形状，结合与旋转轴线正交的截面中的形状而对其进行说明。

沿旋转轴线方向层积由硅钢片等软磁材料构成的板材而形成转子10的转子铁芯11。转子铁芯11具备形成在磁体***孔17的外周侧的多个狭缝12。多个狭缝12包括：调整狭缝12c、以及在与永磁体13的磁极的朝向(径向)交叉的方向上间隔形成的磁路形成狭缝12a、12b。此外，在图1中，交叉的方向是沿永磁体13的边的方向(图1的左右方向)，以下将沿永磁体13的边的方向适当地称为“第一方向”。磁路形成狭缝12a、12b的至少其中一个为被调整狭缝，在图1中，位于永磁体13的磁极中心侧的磁路形成狭缝12b为被调整狭缝。在各个磁路形成狭缝12a、12b之间、以及在第一方向上最外侧的磁路形成狭缝12a的外侧部分形成有磁路14。

此外，在转子10的径向外侧，配置有未图示的定子。定子具有大致圆筒形状，在圆筒形的内周表面沿周方向排列有多个极齿。极齿之间的空间称为槽，线圈通过槽而缠绕在极齿上形成磁极。

如图1所示，被调整狭缝12b与调整狭缝12c构成狭缝组16。调整狭缝12c的第一方向的最大宽度，比被调整狭缝12b的第一方向的最大宽度宽。第一实施方式的同步电动机的转子10的特征在于，在被调整狭缝12b与永磁体13之间形成调整狭缝12c，以使通过相邻的磁路14a、14b的第一方向的单位宽度的磁感线量的差变小。

图1中，为了说明简单，设定磁路14a与磁路14b的宽度(第一方向的宽度)相等。在图1中，用式(1)所示的关系确定被调整狭缝12b和调整狭缝12c的各自的宽度，以使通过磁路14a而流入定子的磁感线量与通过磁路14b而流入定子的磁感线量相等。

(W2-W1)/W2＝W4/W3 (1)

图1示出了上述式(1)中的W1、W2、W3以及W4。在上述式(1)中，W1是永磁体13的第一方向的一端侧(图1的右侧)处的、转子铁芯11的外周与磁体***孔17的边缘之间的最短距离。W2是第一方向的距离，是从永磁体13的上述一端(图1的右侧)至距离该一端最近的磁路形成狭缝12a的该一端侧的边缘的距离。W3是第一方向的距离，是从被调整狭缝12b的上述一端侧(图1的右侧)的边缘，至与被调整狭缝12b的该一端侧相邻的磁路形成狭缝12a的、被调整狭缝12b侧的边缘的距离。W4是第一方向的距离，是从调整狭缝12c的一端侧(图1的右侧)的边缘，至与调整狭缝12c的该一端侧相邻的磁路形成狭缝12a的、调整狭缝12c侧的边缘的距离。

使用图1说明由上述构造中的永磁体13产生的磁感线的流动方式。图1中，永磁体13朝着径向外侧的方向磁化，磁感线15示出由永磁体13产生的磁感线的路径。另外，示出磁感线的路径的磁感线15的条数表示磁感线的相对的量。如上所述，因为磁路14a与磁路14b的宽度相等，所以基本上从永磁体13向所有磁路流入相同条数的磁感线。然而，由于配置有第一方向的宽度宽的调整狭缝12c而限制流入磁路14b的磁感线，流入磁路14a的磁感线为三条，流入磁路14b的磁感线为两条。如果着眼于从永磁体13通过磁路14而流入定子的磁感线量，则在磁路14b中流入的两条均向定子流出，而在磁路14a中，由于磁感线在磁极间的相连部分漏掉一条，所以流入的三条中有两条向定子流出。

如此一来，通过调整狭缝12c的效果，与示出现有的IPM的转子中的磁感线的流动方式的图6不同，通过磁路14而流入定子的磁感线量在磁路14a和磁路14b相等。因此，在所有的磁路中产生的磁引力相等，从而转子10旋转时不发生磁引力的变化，由此能够减小齿槽转矩。

此外，在上述第一实施方式中，每一极配置了三条磁路形成狭缝12a、12b，但每一极的磁路形成狭缝12a、12b的条数不限定于三条。另外，磁路形成狭缝12a、12b可以沿磁极的朝向(图1的上下方向)多个分离而存在。另外，调整狭缝12c也可以沿磁极的朝向(图1的上下方向)多个分离而存在。

另外，在上述第一实施方式中，举例说明了磁路14a与磁路14b的宽度相等的情况，但并不限定于此。

另外，在上述第一实施方式中，根据式(1)确定磁路形成狭缝12a、12b以及调整狭缝12c的宽度，以使通过磁路14a而流入定子的磁感线量与通过磁路14b而流入定子的磁感线量相等。然而，并不限定于该例。即使不是式(1)的关系，只要存在第一方向的宽度宽的调整狭缝12c，就能够减小通过磁路14a而流入定子的磁感线量与通过磁路14b而流入定子的磁感线量的差，就能够减小齿槽转矩。

另外，调整狭缝12c也可以是与磁体***孔17相连的构造。这种情况下也能够得到与上述相同的效果。

另外，在上述第一实施方式中，狭缝组16(被调整狭缝12b以及调整狭缝12c)存在于永磁体13的磁极中心侧。然而，只要能够减小相邻的磁路14a、14b的磁感线变化，就不限定狭缝组16的位置。例如，可以将位于永磁体13的磁极中心侧的磁路形成狭缝12b的两侧的两个磁路形成狭缝12a作为被调整狭缝，在每个上述磁路形成狭缝12a(被调整狭缝)与永磁体13之间配置调整狭缝12c。此为分别将后述的图4(第二实施方式的变形例)中的两个变形狭缝18上下分离，作为被调整狭缝以及调整狭缝的情况下的构成。

(第2实施方式)

以下对第二实施方式中的同步电动机的转子10进行说明。图2是将第二实施方式中的同步电动机的转子10的截面的一部分进行了放大的图。在第二实施方式中，将第一实施方式中的被调整狭缝12b与调整狭缝12c一体化设置，形成变形狭缝18。由于其他的构成与第一实施方式相同，所以对相同的构成适当地省略说明。

如图2所示，多个狭缝12、18在与永磁体13的磁极的朝向(径向)交叉的方向上间隔形成，此外，与第一实施方式相同地，在第二实施方式中，交叉的方向是沿永磁体13的边的方向(左右方向，即第一方向)。在各个狭缝12、18之间、以及在第一方向上最外侧的狭缝12的外侧部分形成有磁路14。第二实施方式的同步电动机的转子10具有如下特征，即，形成第一方向的最大宽度不同的两种以上的狭缝12、18，以使通过相邻的磁路14的第一方向的单位宽度的磁感线量的差变小。

狭缝12、18的至少其中一个是变形狭缝18，变形狭缝18具有从永磁体13侧向转子铁芯11的外周侧延伸、第一方向的宽度在途中变化的形状。在图2中，变形狭缝18的永磁体13侧的端部的第一方向的宽度，比该变形狭缝18的转子铁芯的外周侧的端部的第一方向的宽度宽。

图2中，设定磁路14a与磁路14b的宽度(第一方向的宽度)相等。在图2中，用式(2)所示的关系确定狭缝12、18的宽度，以使通过磁路14a而流入定子的磁感线量与通过磁路14b而流入定子的磁感线量相等。

(W2-W1)/W2＝W6/W5 (2)

图2示出了上述式(2)中的W1、W2、W5以及W6。在此，变形狭缝18的永磁体13侧的端部称为“扩张部”，变形狭缝18的永磁体13侧的端部与转子铁芯11的外周侧的端部之间的部分称为“中间部”。在上述式(2)中，W1是永磁体13的第一方向的一端侧(图2的右侧)处的、转子铁芯11的外周与磁体***孔17的边缘之间的最短距离。W2是第一方向的距离，是从永磁体13的上述一端(图2的右侧)至距离该一端最近的狭缝12的该一端侧的边缘的距离。W5是第一方向的距离，是从变形狭缝18的中间部的上述一端侧(图1的右侧)的边缘，至与变形狭缝18的该一端侧相邻的狭缝12的、变形狭缝18侧的边缘的距离。W6是第一方向的距离，是从变形狭缝18的扩张部的一端侧(图1的右侧)的边缘，至与变形狭缝18的该一端侧相邻的狭缝12的、变形狭缝18侧的边缘的距离。

使用图2说明由上述构造中的永磁体13产生的磁感线的流动方式。图2中，永磁体13朝着径向外侧的方向磁化，磁感线15示出由永磁体13产生的磁感线的路径。另外，示出磁感线的路径的磁感线15的条数表示磁感线的相对的量。如上所述，因为磁路14a与磁路14b的宽度相等，所以基本上从永磁体13向所有磁路流入相同条数的磁感线。然而，配置于磁极中心侧的变形狭缝18的第一方向(图2的左右方向)的最大宽度比其他的狭缝12的第一方向的最大宽度宽，从而限制流入磁路14b的磁感线，流入磁路14a的磁感线为三条，流入磁路14b的磁感线为两条。在此，如果着眼于从永磁体13通过磁路14而流入定子的磁感线量，则在磁路14b中流入的两条均流入定子，而在磁路14a中，由于磁感线在磁极间的相连部分漏掉一条，所以流入的三条中有两条向定子流出。

如此一来，通过变形狭缝18的效果，与示出现有的IPM的转子中的磁感线的流动方式的图6不同，通过各个磁路14的磁感线量相等。因此，与第一实施方式相同地，在所有的磁路14中产生的磁引力相等，从而转子10旋转时不发生磁引力的变化，所以能够减小齿槽转矩。

此外，与第一实施方式相同地，在上述第二实施方式中，每一极配置了三条狭缝12、18，但每一极的狭缝12、18的条数不限定于三条。另外，狭缝12、18也可以沿磁极的朝向(图2的上下方向)多个分离而存在。

另外，与第一实施方式相同地，在上述第二实施方式中，举例说明了磁路14a与磁路14b的宽度相等的情况，但并不限定于此。

另外，在上述第二实施方式中，根据式(2)确定狭缝12、18的宽度，以使通过磁路14a而流入定子的磁感线量与通过磁路14b而流入定子的磁感线量相等。然而，并不限定于该例。即使不是式(2)的关系，只要形成有最大宽度不同的两种以上的狭缝12、18，就能够减小通过磁路14a而流入定子的磁感线量与通过磁路14b而流入定子的磁感线量的差，就能够减小齿槽转矩。

另外，变形狭缝18也可以是与磁体***孔17相连的构造。这种情况下也能够得到与上述相同的效果。

另外，在上述第二实施方式中，变形狭缝18的第一方向的宽度最宽的位置(最大宽度的位置)是永磁体13侧的端部。然而，最大宽度的位置也可以是变形狭缝18的其他部分。图3是将第二实施方式的变形例中的转子的截面的一部分进行了放大的图。如图3所示，在变形狭缝18中，最大宽度的位置可以位于沿磁极的朝向的方向(图2的上下方向)的大致中间附近。这种情况下也能够得到与上述相同的效果。

另外，在上述第二实施方式中，变形狭缝18存在于永磁体13的磁极中心侧。然而，只要能够使通过相邻的磁路14a、14b的第一方向的单位宽度的磁感线量的差变小，就不限定变形狭缝18的位置。图4是将第二实施方式的另一变形例中的转子的截面的一部分进行了放大的图。如图4所示，可以将位于永磁体13的磁极中心侧的狭缝12的两侧的两个狭缝作为变形狭缝18。这种情况下也能够得到与上述相同的效果。