阅读说明：本技术 一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法 (Dust filtering device and dust filtering control method ) 是由 王俊 闫岩 高崇 梁舰 冯敏强 廖良生 于 2019-11-08 设计创作，主要内容包括：本发明涉及粉尘过滤技术领域,公开一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法。其中粉尘过滤装置包括过滤腔、与过滤腔连通的排污管路和冲洗管路,其中过滤腔包括与外部设备连通的进气管路、与气源连通的吹扫管路和与真空泵连通的抽气管路；过滤腔内设置有过滤网,进气管路位于过滤网的一侧,抽气管路和吹扫管路位于过滤网的另一侧；排污管路设置在过滤网靠近进气管路的一侧；冲洗管路能冲洗过滤网上的粉尘。本发明还公开一种粉尘过滤控制方法。本发明通过过滤腔内的过滤网实现对粉尘的过滤；通过冲洗管路冲洗过滤网上的粉尘；通过排污管路排出粉尘；通过吹扫管路吹干冲洗过后的过滤网；总体上有效地保证了排气管路的通畅。(The invention relates to the technical field of dust filtration, and discloses a dust filtration device and a dust filtration control method. The dust filtering device comprises a filter cavity, a sewage discharge pipeline and a flushing pipeline, wherein the sewage discharge pipeline and the flushing pipeline are communicated with the filter cavity; a filter screen is arranged in the filter cavity, the air inlet pipeline is positioned at one side of the filter screen, and the air suction pipeline and the purging pipeline are positioned at the other side of the filter screen; the sewage discharge pipeline is arranged on one side of the filter screen close to the air inlet pipeline; the flushing pipeline can flush dust on the filter screen. The invention also discloses a dust filtration control method. The invention realizes the filtration of dust through the filter screen in the filter cavity; washing the dust on the filter screen through a washing pipeline; discharging dust through a sewage discharge pipeline; blowing the washed filter screen through a blowing pipeline; the smoothness of the exhaust pipeline is effectively ensured on the whole.)

一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法

技术领域

本发明涉及粉尘过滤技术领域，尤其涉及一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法。

背景技术

在采用等离子体增强化学的气相沉积法(PECVD)镀膜过程中会产生大量粉尘，该粉尘长时间积累后，会堵塞排气管路；并且进入真空泵之后，导致真空泵工作异常和失效，一般情况下会在真空泵的前端加装过滤网来阻止粉尘进入，但长时间积累后导致真空堵塞，无法达到预定真空效果；另外，过滤出的粉尘大多继续堆积在排气管路内，大量堆积的粉尘同样存在堵塞排气管路的问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法，能有效地对排气管路内的粉尘进行过滤、冲洗和收集，保证排气管路的通畅。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种粉尘过滤装置，包括过滤腔，所述过滤腔包括与外部设备连通的进气管路、与气源连通的吹扫管路和与真空泵连通的抽气管路，所述过滤腔内设置有过滤网，所述进气管路位于所述过滤网的一侧，所述抽气管路和所述吹扫管路位于所述过滤网的另一侧；

所述过滤腔还设置有排污管路，所述排污管路设置在所述过滤网靠近所述进气管路的一侧；

冲洗管路，被配置为能冲洗所述过滤网上的粉尘。

作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述进气管路上设置有第一阀门；所述吹扫管路上设置有第二阀门；所述抽气管路上设置有第三阀门；所述冲洗管路上设置有第四阀门，所述排污管路设置有第五阀门。

作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述气源和所述第二阀门之间还设置有加热带，所述加热带被配置为能加热所述气源提供的气体。

作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述排污管路上还设置有粉尘计数器。

作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述粉尘过滤装置还包括与所述过滤网连接的超声波振荡器，所述超声波振荡器被配置为能打散所述过滤网上的粉尘。

作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述粉尘过滤装置还包括控制模块，所述控制模块与所述外部设备、所述气源及所述真空泵电连接。

一种粉尘过滤控制方法，采用如以上任一方案所述的粉尘过滤装置，包括：

S10：关闭所述第一阀门和所述第三阀门，打开所述第四阀门、所述第五阀门和所述超声波振荡器，以打散和冲洗所述过滤网上的粉尘，开始排尘；

S20：关闭所述第四阀门，吹扫管路向过滤腔内吹气，以吹干所述过滤网和所述过滤腔，排尘结束。

作为一种粉尘过滤控制方法的优选方案，关闭所述第四阀门之后打开所述第二阀门，并加热所述气源提供的惰性气体以烘干所述过滤网和所述过滤腔。

作为一种粉尘过滤控制方法的优选方案，在S20之前还包括：

S12：判断所述排污管路内的粉尘数，当所述排污管路内的粉尘数不大于粉尘数阈值时，则执行S20；

当所述排污管路内的粉尘数大于粉尘数阈值时，则继续执行S10。

作为一种粉尘过滤控制方法的优选方案，在S12之前还包括：

S11：对排尘次数进行计数，当所述排污管路内的粉尘数大于粉尘数阈值，继续执行S10后，对排尘次数进行累加，然后判断排尘次数；

当排尘次数大于排尘次数阈值时，则提示更换所述过滤网，然后执行S20；

当排尘次数不大于排尘次数阈值，则执行S12。

本发明的有益效果为：通过在过滤腔内设置过滤网，实现对粉尘的过滤，同时，过滤腔的直径大于抽气管路的直径，将过滤网设置在过滤腔内，增大了过滤网对粉尘的过滤面积，过滤效果更好；通过设置用于冲洗过滤网上的粉尘的冲洗管路，有效地避免了长时间过滤，过滤网被粉尘堵塞的情况发生，增加了过滤网的使用寿命；通过设置排污管路，有效地将冲洗管路冲洗掉的粉尘排出过滤腔，防止了粉尘大量堆积的情况发生；通过设置与气源连通的吹扫管路，能将冲洗过后的过滤网吹干，便于粉尘过滤装置进行下次过滤；另外，吹扫管路在吹干过滤网的同时，将过滤网上未冲洗掉的粉尘进行吹扫，进一步加强了粉尘过滤装置的过滤效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本发明

具体实施方式

提供的粉尘过滤装置的示意图；

图2是本发明具体实施方式提供的粉尘过滤控制方法的流程图。

图中：

1-过滤腔；11-过滤网；12-超声波振荡器；

2-进气管路；21-第一阀门；

3-吹扫管路；31-第二阀门；32-加热带；

4-抽气管路；41-第三阀门；

5-排污管路；51-第五阀门；52-粉尘计数器；

6-冲洗管路；61-第四阀门。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本实施方式提供一种粉尘过滤装置，该装置包括过滤腔1、与过滤腔1连通的排污管路5和冲洗管路6，其中过滤腔1包括与外部设备连通的进气管路2、与气源连通的吹扫管路3和与真空泵连通的抽气管路4；过滤腔1内设置有过滤网11，进气管路2位于过滤网11的一侧，抽气管路4和吹扫管路3位于过滤网11的另一侧；排污管路5设置在过滤网11靠近进气管路2的一侧；冲洗管路6能冲洗过滤网11上的粉尘。

通过在过滤腔1内设置过滤网11，实现对粉尘的过滤，同时，过滤腔1的直径大于抽气管路4的直径，将过滤网11设置在过滤腔1内，增大了过滤网11对粉尘的过滤面积，过滤效果更好；通过设置用于冲洗过滤网11上的粉尘的冲洗管路6，有效地避免了长时间过滤，过滤网11被粉尘堵塞的情况发生，增加了过滤网11的使用寿命；通过设置排污管路5，有效地将冲洗管路6冲洗掉的粉尘排出过滤腔1，防止了粉尘大量堆积的情况发生；通过设置与气源连通的吹扫管路3，能将冲洗过后的过滤网11吹干，便于粉尘过滤装置进行下次过滤；另外，吹扫管路3在吹干过滤网11的同时，将过滤网11上未冲洗掉的粉尘进行吹扫，进一步加强了粉尘过滤装置的过滤效果。

具体地，进气管路2上设置有第一阀门21；吹扫管路3上设置有第二阀门31；抽气管路4上设置有第三阀门41；冲洗管路6上设置有第四阀门61，排污管路5设置有第五阀门51。过滤粉尘时，关闭第一阀门21、第二阀门31和第三阀门41，打开第四阀门61和第五阀门51，外部设备停止向过滤腔1内进气，停止向过滤腔1内吹扫，停止抽真空，开始对过滤网11上的粉尘进行冲洗，冲洗下的粉尘经由排污管路5排出；然后关闭第四阀门61，打开第二阀门31，停止冲洗过滤网11，并向过滤腔1内吹扫，在吹干过滤网11和过滤腔1的同时进一步吹扫过滤网11上残留的粉尘，完成一次对粉尘的过滤。

优选地，为进一步加强气源对过滤网11和过滤腔1的吹干效率，在气源和第二阀门31之间还设置有加热带32，加热带32能加热气源吹出的气体。在打开第二阀门31进行吹扫之前，打开加热带32，对气源提供的气体进行加热，使吹到过滤网11和过滤腔1内加热过的气体能更快的烘干过滤网11和过滤腔1，加快了粉尘过滤装置的工作效率。可以理解，所述加热带32也可以是电热丝等其它加热装置。

于其他实施例中，在通过冲洗管路6冲洗过滤网11的同时，还可以打开第二阀门31，进行对过滤网11的吹扫，以便使粉尘和清洗溶液能快速进入排污管路5，待冲洗结束后，关闭第四阀门61，打开加热带32，实现对过滤腔1和过滤网11的干燥。

具体地，气源提供的气体为惰性气体，进一步具体地，该惰性气体可以为氮气。将气源提供的气体设置为氮气等更加稳定的惰性气体，能避免与过滤网11或过滤腔1内的粉尘进行反应，同时也能使过滤过程更加稳定和安全。

优选地，冲洗管路6靠近过滤网11的一端设置有喷淋头。在打开第四阀门61对过滤网11进行冲洗时，冲洗管路6将清洗溶液通过所述喷淋头喷洒至过滤网11上，对过滤网11上的粉尘进行冲洗，喷淋头的设置能使清洗溶液对过滤网11的冲洗更加均匀，同时还能有效的节约水资源。

优选地，粉尘过滤装置还包括与过滤网11连接的超声波振荡器12，在打开第四阀门61对过滤网11进行冲洗的同时打开超声波振荡器12，超声波振荡器12能打散过滤网11上的粉尘，使清洗溶液对过滤网11的冲洗更加彻底。

为检测对过滤网11的冲洗效果，过滤腔1靠近进气管路2的一侧或排污管路5上还设置有粉尘计数器52，能对进入排污管路5的粉尘进行计数，于本实施例中，粉尘计数器52设置在排污管路5上。

具体地，于本实施例中，粉尘过滤装置还包括控制模块，外部设备、气源、真空泵、超声波振荡器12、粉尘计数器52以及第一阀门21、第二阀门31、第三阀门41、第四阀门61、第五阀门51均与控制模块电连接，并且控制模块能对上述与之电连接的各部分进行控制，具体的连接方式及控制方式为现有技术，本领域技术人员能根据实际情况进行连接和控制，在此不再赘述。

如图2所示，本实施方式还提供一种粉尘过滤控制方法，采用如上所述的粉尘过滤装置，包括：

S10：关闭第一阀门21、第二阀门31和第三阀门41，打开第四阀门61、第五阀门51和超声波振荡器12，以打散和冲洗所述过滤网11上的粉尘，开始排尘；

S11：对排尘次数进行计数(N＝0)，当排污管路5内的粉尘数大于粉尘数阈值(y)，继续执行S10后，对排尘次数进行累加(N＝N+1)，然后判断排尘次数是否大于排尘次数阈值(x)；当排尘次数大于排尘次数阈值(x)时，则提示更换所述过滤网11，然后执行S20；当排尘次数不大于排尘次数阈值，则执行S12。

S12：判断粉尘计数器52记录的粉尘数，当排污管路5内的粉尘数不大于粉尘数阈值时，则执行S20；当排污管路5内的粉尘数大于粉尘数阈值时，则继续执行S10。

S20：关闭第四阀门61，打开第二阀门31，以吹干过滤网11和过滤腔1，排尘结束。

值得说明的是，粉尘数阈值和排尘次数阈值的选定可以根据操作人员的经验，还可以根据多次试验验证，以满足粉尘过滤装置能正常完成过滤为准，具体设定数值和设定方式在此不做具体限定。

优选地，在打开第二阀门31之前打开加热带32，加热气源提供的惰性气体以烘干过滤网11和过滤腔1，保证过滤网11和过滤腔1的清洁、干燥；进一步优选地，过滤网11上设置有湿度传感器，湿度传感器能检测过滤网11的干燥程度，以使粉尘过滤装置能正常的进行下次过滤。

当粉尘数大于粉尘数阈值且排尘次数大于排尘次数阈值时，则证明过滤网11上积累了过多粉尘，已经无法通过冲洗将过滤网11清理干净，故在本实施例中，过滤网11与过滤腔1可拆卸连接，当提示更换过滤网11时，可将失效的过滤网11取下，更换干净的过滤网11，以实现粉尘过滤装置的继续过滤。

于本实施例中，一种粉尘过滤装置和粉尘过滤控制方法应用于采用化学气相沉积法、等离子体增强化学的气相沉积法(PECVD)镀膜的装置中，能有效对蒸镀过程中产生的粉尘进行过滤，同时还能对过滤进行控制，能有效地保证粉尘过滤装置对粉尘进行有效地过滤。

于其他实施例中，上述粉尘过滤装置和粉尘过滤控制方法还可以应用于空调、吸尘器、空气净化器、超净室等需要对粉尘过滤，同时还需要对过滤进行控制的场合，能实现对该场合的粉尘进行有效地过滤，保证该场合对粉尘含量的要求。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。