阅读说明：本技术 剥离液储罐、光阻剥离设备及方法 (Stripping liquid storage tank, photoresist stripping equipment and method ) 是由 李洋 王云志 罗云 于 2019-09-25 设计创作，主要内容包括：本申请提供了一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法,属于显示技术领域。剥离液储罐包括：罐体,以及,固定在罐体内的吸附过滤组件,罐体上设置有进液口和出液口,该吸附过滤组件位于进液口与出液口之间；该吸附过滤组件包括吸附层,该吸附层用于对从进液口进入罐体并流向出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附。由于吸附过滤组件中的吸附层可以对剥离液中的光阻碎片进行吸附,因此经过该吸附过滤组件的剥离液中残留的光阻碎片较少,再次利用该剥离液剥离光阻时,能够残留在基板上的光阻碎片较少,有助于提高显示产品的良率和品质。(The application provides a stripping liquid storage tank, a photoresist stripping device and a method, and belongs to the technical field of display. The stripping solution storage tank includes: the tank body is provided with a liquid inlet and a liquid outlet, and the adsorption and filtration assembly is positioned between the liquid inlet and the liquid outlet; this adsorb filtering component includes the adsorbed layer, and this adsorbed layer is arranged in adsorbing the light resistance piece in the stripper that gets into jar body and flow to the liquid outlet from the inlet. Because the adsorption layer in the adsorption filtering assembly can adsorb the photoresist fragments in the stripping liquid, the residual photoresist fragments in the stripping liquid passing through the adsorption filtering assembly are less, and when the stripping liquid is reused for stripping the photoresist, the residual photoresist fragments on the substrate are less, thereby being beneficial to improving the yield and the quality of display products.)

剥离液储罐、光阻剥离设备及方法

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别涉及一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法。

背景技术

显示产品的制程通常包括前段制程、中段制程和后段组装制程，前段制程主要用于在基板上制作功能图形。在前段制程中，首先在基板上沉积薄膜并在薄膜上涂覆光阻，接着对光阻依次进行曝光和显影得到光阻图形，然后在光阻图形的遮挡下对薄膜进行刻蚀，最后通过光阻剥离设备剥离光阻图形，得到功能图形。

相关技术中，光阻剥离设备通常包括剥离液储罐、过滤器、抽液泵和剥离室，过滤器的出液口与剥离液储罐的进液口连通，剥离液储罐的出液口与抽液泵的进液口连通，过滤器的进液口和抽液泵的出液口均位于剥离室内，抽液泵用于将剥离液储罐中的剥离液抽出并喷洒至剥离室内的待剥离基板上对该待剥离基板上的光阻进行剥离，过滤器用于对从剥离室流向该过滤器的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入剥离液储罐，以对剥离液进行回收并再次利用。

但是，过滤器的过滤效果较差，导致过滤后的剥离液中仍残留有较多的光阻碎片，在对过滤后的剥离液再次利用时，该剥离液中的光阻碎片容易残留在基板上，影响显示产品的良率和品质。

发明内容

本申请实施例提供了一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法，有助于提高显示产品的良率和品质。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种剥离液储罐，所述剥离液储罐包括：

罐体，以及，固定在所述罐体内的吸附过滤组件，所述罐体上设置有进液口和出液口，所述吸附过滤组件位于所述进液口与所述出液口之间；

所述吸附过滤组件包括吸附层，所述吸附层用于对从所述进液口进入所述罐体并流向所述出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附。

可选地，所述吸附层的材料为大孔吸附树脂。

可选地，所述大孔吸附树脂的孔尺寸为0.5微米～1.5微米。

可选地，所述吸附过滤组件还包括：至少两层过滤层，所述至少两层过滤层中每相邻的两层过滤层之间设置有所述吸附层。

可选地，所述过滤层的滤孔的形状包括：圆形或多边形中的至少一种。

可选地，所述过滤层的滤孔的尺寸为0.5毫米～1.5毫米。

可选地，所述吸附过滤组件包括：两层所述过滤层，所述过滤层为过滤网。

可选地，所述进液口位于所述罐体的侧壁上，所述出液口位于所述罐体的顶面上，所述吸附过滤组件固定在所述罐体的内壁上，且所述吸附过滤组件与所述罐体的底面平行。

第二方面，提供了一种光阻剥离设备，所述光阻剥离设备包括：剥离机构、清洗机构和风干机构，所述剥离机构包括第一方面任一所述的剥离液储罐，

所述剥离机构用于使用所述剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行剥离，其中，所述吸附过滤组件用于在剥离液经过所述吸附过滤组件时对所述剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤；

所述清洗机构用于在所述剥离机构对所述待剥离基板上的光阻进行剥离后，对所述待剥离基板进行清洗，去除所述待剥离基板上残留的光阻和剥离液；

所述风干机构用于在所述清洗机构对所述待剥离基板进行清洗之后，对所述待剥离基板进行风干。

可选地，所述剥离机构、所述清洗机构和所述风干机构沿目标方向排布，

所述剥离机构包括：m个过滤器、m+1个所述剥离液储罐、m+1个抽液泵和沿所述目标方向排布的m+1个剥离室，所述m为大于或等于1的整数，

m+1个所述剥离液储罐的出液口与m+1个所述抽液泵的进液口一一对应连通，m+1个所述抽液泵的出液口一一对应位于m+1个所述剥离室内，m个所述过滤器的进液口一一对应位于沿所述目标方向排布的后m个所述剥离室内，m个所述过滤器的出液口与m+1个所述剥离液储罐中，与沿所述目标方向排布的前m个所述剥离室对应的所述剥离液储罐的进液口一一对应连通；

每个所述过滤器用于对相应的所述剥离室内流向所述过滤器的剥离液进行过滤，并将过滤后的所述剥离液导入相应的所述剥离液储罐；

每个所述抽液泵用于将相应的所述剥离液储罐中的剥离液抽出并向相应的所述剥离室内喷洒所述剥离液，每个所述剥离液储罐中的吸附过滤组件用于在相应的抽液泵从所述剥离液储罐抽取剥离液的过程中对所述剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤。

第三方面，提供了一种光阻剥离方法，用于第二方面所述的光阻剥离设备，所述方法包括：

通过剥离机构使用所述剥离机构的剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行剥离，其中，所述剥离液储罐中的吸附过滤组件用于在剥离液经过所述吸附过滤组件时对所述剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤；

通过清洗机构对所述待剥离基板进行清洗，去除所述待剥离基板上残留的光阻和剥离液；

通过风干机构对所述待剥离基板进行风干。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益效果包括：

本申请实施例提供的剥离液储罐、光阻剥离设备及方法，剥离机构使用剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行剥离之后，清洗机构对待剥离基板进行清洗，之后风干机构对待剥离基板进行风干，吸附过滤组件中的吸附层可以在剥离液经过吸附过滤组件时对剥离液中的光阻碎片进行吸附，因此经过该剥离液储罐的剥离液中残留光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，有助于提高显示产品的良率和品质。

附图说明

图1是本申请实施例提供的一种剥离液储罐的结构示意图；

图2是本申请实施例提供的一种吸附过滤组件的结构示意图；

图3是本申请实施例提供的一种过滤层的正视图；

图4是本申请实施例提供的一种光阻剥离设备的使用场景图；

图5是本申请实施例提供的一种光阻剥离方法的方法流程图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。

在显示产品的制造过程中，可以通过光阻剥离设备对待剥离基板上的光阻进行剥离。光阻剥离设备通常包括剥离液储罐、过滤器、抽液泵和剥离室，抽液泵用于将剥离液储罐中的剥离液抽出并喷洒至剥离室内的待剥离基板上对该待剥离基板上的光阻进行剥离，过滤器用于对从剥离室流向该过滤器的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入剥离液储罐，以对剥离液进行回收并再次利用。但是，目前过滤器中滤孔的尺寸通常为1微米～2微米，而剥离过程产生的光阻碎片的尺寸通常为0.1微米～5微米，过滤器无法滤除尺寸小于1微米的光阻碎片，在对该剥离液再次利用时，该光阻碎片容易残留在待剥离基板上，影响显示产品的良率和品质。容易理解，通过减小过滤器中的滤孔的尺寸可以滤除尺寸小于1微米的光阻碎片，但是研究发现，减小过滤器中的滤孔的尺寸容易导致过滤器发生堵塞，该方案实际应用中并无可行性，目前并没有较好的方法对尺寸小于1微米的光阻碎片进行去除。

示例地，有机发光二级管(Organic Light-emitting Diode；OLED)具有自发光、广视角、高对比度、低功耗和极高反应速度等优点，随着显示技术的发展，OLED显示器成为最有前景的显示产品。OLED显示器通常包括高清(英文：High Definition；简称：HD)显示器、全高清(英文：Full High Definition；简称：FHD)显示器、超高清(英文：Quad HighDefinition；简称：QHD)显示器。其中，HD显示器的像素大小为79微米，QHD显示器的分辨率为49微米，由于HD显示器和FHD显示器的像素尺寸较大，尺寸小于1微米的光阻碎片在HD显示器和FHD显示器上的残留不会明显影响HD显示器和FHD显示器的品质，但是QHD显示器的像素尺寸较小，尺寸小于1微米的光阻碎片在QHD显示器上的残留会导致QHD显示器的异常，例如，QHD显示器会产生大量的白点，严重影响QHD显示器的良率和品质。

本申请实施例提供了一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法，光阻剥离设备包括过滤器和剥离液储罐，该剥离液储罐的罐体内设置有吸附过滤组件，经过滤器过滤的剥离液从该剥离液储罐的进液口进入罐体并流向该剥离液储罐的出液口，在剥离液经过吸附过滤组件时，该吸附过滤组件中的吸附层可以对剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤，因此经过该剥离液储罐的剥离液中残留光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，从而可以避免对显示产品的二次污染，有助于提高显示产品的良率和品质。本申请的详细方案请参考下述实施例。

请参考图1，其示出了本申请实施例提供的一种剥离液储罐01的结构示意图，参见图1，该剥离液储罐01包括：罐体011和吸附过滤组件012。罐体011上设置有进液口0111和出液口0112，吸附过滤组件012固定在罐体011内且位于进液口0111和出液口0112之间。其中，吸附过滤组件012包括吸附层(图1中未示出)，吸附层用于对从进液口0111进入剥离液储罐01并流向出液口0112的剥离液(图1中未示出)中的光阻碎片进行吸附。

综上所述，本申请实施例提供的剥离液储罐，由于罐体内设置有吸附过滤组件，该吸附过滤组件位于罐体的进液口与出液口之间，该吸附过滤组件中的吸附层可以对从进液口进入罐体并流向出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附，因此经过该剥离液储罐的剥离液中残留光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，有助于提高显示产品的良率和品质。

可选地，吸附过滤组件012还包括至少两层过滤层，该至少两层过滤层中每相邻的两层过滤层之间设置有吸附层。该过滤层具有滤孔，该滤孔的尺寸可以为0.5毫米～1.5毫米，例如，该滤孔的尺寸可以为0.8毫米、1毫米、1.2毫米或1.4毫米等等，该滤孔的形状可以为圆形或多边形中的至少一种，例如，该滤孔的形状可以为圆形、椭圆形、三角形或四边形。可选地，过滤层可以为金属过滤网或橡胶过滤网。示例地，请参考图2，其示出了本申请实施例提供的一种吸附过滤组件012的结构示意图，参见图2，该吸附过滤组件012包括：两层过滤层0121和设置在该两层过滤层0121之间的吸附层0122。示例地，请参考图3，其示出了本申请实施例提供的一种过滤层0121的正视图，参见图3，该过滤层0121中滤孔的形状可以为等边三角形，该等边三角形的边长可以为1毫米。

可选地，吸附层0122的材料可以为大孔吸附树脂，大孔吸附树脂通常以苯乙烯和二乙烯苯为原料，在0.5％的明胶溶液中，加入一定比例的致孔剂聚合而成。其中，苯乙烯为聚合单体，二乙烯苯为交联剂，甲苯或二甲苯作为致孔剂，它们互相交联聚合形成了大孔吸附树脂的多孔骨架结构。大孔吸附树脂利用其与被吸附物质之间的范德华引力，通过其巨大的比表面对被吸附物质进行吸附。目前常用的大孔吸附树脂可以包括非极性大孔吸附树脂、中极性大孔吸附树脂和极性大孔吸附树脂。在本申请实施例中，大孔吸附树脂可以为非极性大孔吸附树脂，大孔吸附树脂的颗粒尺寸可以为3毫米～5毫米，孔尺寸可以为0.5微米～1.5微米，由于大孔吸附树脂可以吸附尺寸小于其孔尺寸的物质，因此大孔吸附树脂可以对尺寸小于1.5微米的光阻碎片进行吸附，示例地，在QHD显示器的制造过程中，大孔吸附树脂可以对尺寸小于1微米的光阻碎片进行吸附，使得残留在基板上的光阻碎片减少，从而提高QHD显示器的良率和品质，也即是，提高高分辨率OLED显示产品的良率和品质。

本领域技术人员容易理解，过滤层0121中滤孔的尺寸可以为0.5毫米～1.5毫米以保证溶液的流通性，而大孔吸附树脂的颗粒尺寸可以为3毫米～5毫米，由于过滤层0121中滤孔的尺寸小于大孔吸附树脂的颗粒尺寸，因此，过滤层0121可以承载大孔吸附树脂以防止大孔吸附树脂掉落或扩散，从而大孔吸附树脂可以固定在两层过滤层0121之间。此外，容易理解，在使用一定次数之后，大孔吸附树脂会吸附较多的物质，因此在使用一定次数之后可以对大孔吸附树脂进行清洗以去除大孔吸附树脂所吸附的物质，之后对大孔吸附树脂进行烘干后可以再次利用。可选地，可以利用三羟甲基氨基甲烷对大孔吸附树脂进行清洗，对大孔吸附树脂进行烘干的温度范围可以为250℃～350℃(摄氏度)，烘干时间范围可以为3小时～4小时。

可选地，在本申请实施例中，如图1所示，进液口0111位于罐体011的侧壁上，出液口0112位于罐体011的顶面上，吸附过滤组件012固定在罐体011的内壁上，且吸附过滤组件012与罐体011的底面平行。需要说明的是，在本申请实施例中，吸附过滤组件012与罐体011的底面平行可以是吸附过滤组件012与罐体011的底面趋于平行或近似平行，例如，吸附过滤组件012与罐体011的底面之间的夹角为0度、1度、2度、5度或10度等。

本申请实施例中，在罐体011内壁上设置吸附过滤组件012时，可以首先将吸附层0122固定在两层过滤层0121之间形成一体结构的吸附过滤组件012，然后将该吸附过滤组件012固定在罐体011内壁上；或者，也可以首先将一层过滤层0121固定在罐体011内壁上，然后在该过滤层0121上设置一层大孔吸附树脂得到吸附层0122，最后将另一层过滤层0121设置在吸附层0122上并固定在罐体011内壁以形成吸附过滤组件012，上述两种实现方式均可以在罐体011内设置吸附过滤组件012，本申请实施例对此不作限定。

综上所述，本申请实施例提供的剥离液储罐，由于罐体内设置有吸附过滤组件，该吸附过滤组件位于罐体的进液口与出液口之间，该吸附过滤组件中的吸附层可以对从进液口进入罐体并流向出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附，因此经过该剥离液储罐的剥离液中残留光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，有助于提高显示产品的良率和品质。

请参考图4，其示出了本申请实施例提供的一种光阻剥离设备的使用场景图，参见图4，该光阻剥离设备包括剥离机构0、清洗机构1和风干机构2，该剥离机构0可以包括图1所示的剥离液储罐01，该剥离液储罐01包括罐体011和设置在罐体011内的吸附过滤组件012。

剥离机构0用于使用剥离液储罐中01的剥离液对待剥离基板S上的光阻进行剥离，其中，吸附过滤组件012用于在剥离液经过该吸附过滤组件012时对剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤。

清洗机构1用于在剥离机构0对待剥离基板S上的光阻进行剥离后，对待剥离基板S进行清洗，去除待剥离基板S上残留的光阻和剥离液。

风干机构2用于在清洗机构1对待剥离基板S进行清洗之后，对待剥离基板S进行风干。

可选地，请继续参考图4，剥离机构0包括：m个过滤器02、m+1个剥离液储罐01、m+1个抽液泵03和m+1个剥离室04，m+1个剥离室04沿目标方向F排布，m为大于或等于1的整数。m+1个剥离液储罐01的出液口与m+1个抽液泵03的进液口一一对应连通，m+1个抽液泵03的出液口一一对应位于m+1个剥离室04内，m个过滤器02的进液口一一对应位于沿目标方向F排布的后m个剥离室04内，m个过滤器02的出液口与m+1个剥离液储罐01中，与沿目标方向F排布的前m个剥离室04对应的剥离液储罐01的进液口一一对应连通。其中，每个过滤器02用于对相应的剥离室04内流向过滤器02的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入相应的剥离液储罐01；每个抽液泵03用于将相应的剥离液储罐中011的剥离液抽出并向相应的剥离室04内喷洒剥离液，每个剥离液储罐01中的吸附过滤组件012用于在相应的抽液泵03从剥离液储罐01抽取剥离液的过程中对剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤。

示例地，图4是以m＝2进行说明，则剥离机构0包括两个过滤器02、三个剥离液储罐01、三个抽液泵03和三个剥离室04。以该两个过滤器02包括第一过滤器和第二过滤器，该三个剥离液储罐01包括第一剥离液储罐、第二剥离液储罐和第三剥离液储罐，该三个抽液泵03包括第一抽液泵、第二抽液泵和第三抽液泵，且该三个剥离室04包括沿目标方向F依次排布的第一剥离室、第二剥离室和第三剥离室为例进行说明。第一剥离液储罐的出液口与第一抽液泵的进液口连通，第一抽液泵的出液口位于第一剥离室内，第一过滤器的进液口位于第二剥离室内，第一过滤器的的出液口与第一剥离液储罐的进液口连通，第二剥离液储罐的出液口与第二抽液泵的进液口连通，第二抽液泵的出液口位于第二剥离室内，第二过滤器的进液口位于第三剥离室内，第二过滤器的的出液口与第二剥离液储罐的进液口连通，第三剥离液储罐的出液口与第三抽液泵的进液口连通，第三抽液泵的出液口位于第三剥离室内。第一过滤器用于对第二剥离室流出的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入第一剥离液储罐，第一抽液泵用于将第一剥离液储罐中的剥离液抽出并向第一剥离室内喷洒剥离液，第二过滤器用于将第三剥离室流出的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入第二剥离液储罐，第二抽液泵用于将第二剥离液储罐中的剥离液抽出并向第二剥离室内喷洒剥离液，第三抽液泵用于将第三剥离液储罐中的剥离液抽出并向第三剥离室内喷洒剥离液。

可选地，清洗机构1可以包括：n个过滤器(图4中未标出)、n+1个储水罐(图4中未标出)、n+1个抽液泵(图4中未标出)和n+1个清洗室(图4中未标出)，n+1个清洗室沿目标方向F排布，n为大于或等于1的整数。n+1个储水罐的出液口与n+1个抽液泵的进液口一一对应连通，n+1个抽液泵的出液口一一对应位于n+1个清洗室内，n个过滤器的出液口与n+1个储水罐中，与沿目标方向F排布的前n个清洗室对应的储水罐的进液口一一对应连通。其中，每个过滤器用于对相应的清洗室内流向过滤器的去离子水进行过滤，并将过滤后的去离子水导入相应的储水罐；每个抽液泵用于将相应的储水罐中的去离子水抽出并向相应的清洗室内喷洒去离子水。

示例地，图4是以n＝1进行说明，则清洗机构1包括一个过滤器、两个储水罐、两个抽液泵和两个清洗室。以该两个储水罐包括第一储水罐和第二储水罐，该两个抽液泵包括第一抽液泵和第二抽液泵，且该两个清洗室包括沿目标方向F依次排布的第一清洗室和第二清洗室为例进行说明。过滤器的进液口位于第二清洗室内，过滤器的出液口与第一储水罐的进液口连通，第一储水罐的出液口与第一抽液泵的进液口连通，第一抽液泵的出液口位于第一清洗室内，第二储水罐的出液口与第二抽液泵的进液口连通，第二抽液泵的出液口位于第二清洗室内。过滤器用于对第二清洗室流出的去离子水进行过滤，并将过滤后的去离子水导入第一储水罐，第一抽液泵用于将第一储水罐中的去离子水抽出并向第一清洗室内喷射去离子水，第二抽液泵用于将第二储水罐中的去离子水抽出并向第二清洗室内喷射去离子水。风干机构2可以包括风干室(图4中未标出)以及位于风干室内的风刀(图4中未示出)，在清洗机构1对待剥离基板S进行清洗后，风刀可以吹干待剥离基板S表面的去离子水。

可选地，如图4所示，剥离机构0、清洗机构1和风干机构2沿目标方向F依次排布，该清洗机构1可以为第一清洗机构，该光阻剥离设备还可以包括液刀机构3、第二清洗机构4和毛刷机构5，液刀机构3、第二清洗机构4和毛刷机构5均位于剥离机构0和清洗机构1之间，且液刀机构3、第二清洗机构4和毛刷机构5沿目标方向F依次排布。液刀机构3用于剥离机构0对待剥离基板S上的光阻进行剥离后，对待剥离基板S上残留的光阻进行刮除，可选地，液刀机构3可以包括液刀；第二清洗机构4用于在液刀机构3对待剥离基板S上的光阻进行刮除后，对待剥离基板S进行清洗，可选地，第二清洗机构4中的清洗剂可以为羟甲基氨基甲烷(英文：trihydroxymethylaminomethane；简称：THAM)；毛刷机构5用于在第二清洗机构4对待剥离基板S进行清洗后，对待剥离基板S上的光阻进行刷除，可选地，毛刷机构5可以包括毛刷。

需要说明的是，在本申请实施例中，光阻剥离设备还可以包括传送机构(图4中未示出)和控制机构(图4中未示出)，控制机构用于控制传送机构沿目标方向F传送待剥离基板S，则容易理解，目标方向F可以为待剥离基板S的传送方向，也即是，目标方向F为传送机构的传送方向。此外，容易理解，剥离机构0、清洗机构1、风干机构2、液刀机构3、清洗机构4和毛刷机构5的工作过程均可以由控制机构来控制，示例地，当控制机构控制传送机构将待剥离基板S的传送至剥离室时，控制机构控制剥离机构0中相应的抽液泵工作向待剥离基板S喷洒剥离液；当控制机构控制传送机构将待剥离基板S的传送至清洗机构1的清洗室时，控制机构控制清洗机构1中相应的抽液泵工作向待剥离基板S喷洒去离子水。

综上所述，本申请实施例提供的光阻剥离设备，剥离机构使用剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行剥离之后，清洗机构对待剥离基板进行清洗，之后风干机构对待剥离基板进行风干，吸附过滤组件中的吸附层可以在剥离液经过吸附过滤组件时对剥离液中的光阻碎片进行吸附，因此经过该剥离液储罐的剥离液中残留光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，有助于提高显示产品的良率和品质。

请参考图5，其示出了本申请实施例提供的一种光阻剥离方法的方法流程图，该光阻剥离方法可以用于图4所示的光阻剥离设备。参见图5，该方法可以包括以下步骤：

步骤101、通过剥离机构使用剥离机构的剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行剥离，其中，剥离液储罐中的吸附过滤组件用于在剥离液经过吸附过滤组件时对剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤。

其中，剥离机构可以包括：m个过滤器、m+1个剥离液储罐、m+1个抽液泵和m+1个剥离室，m+1个剥离室沿目标方向排布，m+1个剥离液储罐的出液口与m+1个抽液泵的进液口一一对应连通，m+1个抽液泵的出液口一一对应位于m+1个剥离室内，m个过滤器的进液口一一对应位于沿目标方向排布的后m个剥离室内，m个过滤器的出液口与m+1个剥离液储罐中，与沿目标方向排布的前m个剥离室对应的剥离液储罐的进液口一一对应连通。其中，每个过滤器可以对相应的剥离室内流向过滤器的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入相应的剥离液储罐；每个抽液泵可以将相应的剥离液储罐中的剥离液抽出并向相应的剥离室内喷洒剥离液，每个剥离液储罐中的吸附过滤组件可以在相应的抽液泵从剥离液储罐抽取剥离液的过程中对剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤。

可选地，以m＝2进行说明，则剥离机构可以包括第一过滤器和第二过滤器，第一剥离液储罐、第二剥离液储罐和第三剥离液储罐，第一抽液泵、第二抽液泵和第三抽液泵，沿目标方向依次排布的第一剥离室、第二剥离室和第三剥离室。当待剥离基板被传送至第一剥离室时，第一抽液泵可以将第一剥离液储罐中的剥离液抽出并喷洒至待剥离基板上以对待剥离基板上的光阻进行第一步剥离；在第一步剥离之后，待剥离基板被传送至第二剥离室，第二抽液泵可以将第二剥离液储罐中的剥离液抽出并喷洒至待剥离基板上以对待剥离基板上的光阻进行第二步剥离，第二步剥离产生的剥离液流入第一过滤器，第一过滤器可以对该剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入第一剥离液储罐以在第一步剥离中再次利用，在第一抽液泵从第一剥离液储罐抽取剥离液的过程中，第一剥离液储罐中的吸附过滤组件可以对经过该吸附过滤组件的剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤。在第二步剥离后，待剥离基板被传送至第三剥离室，第三抽液泵可以将第三剥离液储罐中的剥离液抽出并喷洒至待剥离基板上以对待剥离基板上的光阻进行第三步剥离，第三步剥离产生的剥离液流入第二过滤器后，在第二过滤器、第二抽液泵和第二剥离液储罐的作用下，在第二步剥离中再次利用。

步骤102、通过清洗机构对待剥离基板进行清洗，去除待剥离基板上残留的光阻和剥离液。

在剥离机构对待剥离基板进行剥离之后，清洗机构可以对待剥离基板进行清洗以去除待剥离基板上残留的光阻和剥离液。

其中，清洗机构可以包括：n个过滤器、n+1个储水罐、n+1个抽液泵和n+1个清洗室，n+1个清洗室沿目标方向F排布，n为大于或等于1的整数。n+1个储水罐的出液口与n+1个抽液泵的进液口一一对应连通，n+1个抽液泵的出液口一一对应位于n+1个清洗室内，n个过滤器的出液口与n+1个储水罐中，与沿目标方向F排布的前n个清洗室对应的储水罐的进液口一一对应连通。其中，每个过滤器用于对相应的清洗室内流向过滤器的去离子水进行过滤，并将过滤后的去离子水导入相应的储水罐；每个抽液泵用于将相应的储水罐中的去离子水抽出并向相应的清洗室内喷洒去离子水。

可选地，以n＝1进行说明，则清洗机构1包括过滤器、第一储水罐和第二储水罐，第一抽液泵和第二抽液泵，沿目标方向F依次排布的第一清洗室和第二清洗室。当待剥离基板被传送至第一清洗室时，第一抽液泵可以将第一储水罐中的去离子水抽出并喷洒至待剥离基板上以对待剥离基板进行第一次清洗；在第一次清洗之后，待剥离基板被传送至第二清洗室，第二抽液泵可以将第二储水罐中的去离子水抽出并喷洒至待剥离基板上以对待剥离基板进行第二次清洗，第二次清洗产生的去离子水流入过滤器，过滤器可以对该去离子水进行过滤，并将过滤后的去离子水导入第一储水罐以在第一次清洗中再次利用。

需要说明的是，光阻剥离设备还包括位于剥离机构和清洗机构之间的液刀机构、第二清洗机构和毛刷机构，在清洗机构对待剥离基板进行清洗之前，液刀机构可以在剥离机构对待剥离基板上的光阻进行剥离后，对待剥离基板上残留的光阻进行刮除，第二清洗机构可以在液刀机构对待剥离基板上的光阻进行刮除后，对待剥离基板进行清洗，毛刷机构可以在第二清洗机构对待剥离基板进行清洗后，对待剥离基板上的光阻进行刷除。

步骤103、通过风干机构对待剥离基板进行风干。

在清洗机构对待剥离基板进行清洗后，可以通过风干机构对待剥离基板进行风干。可选地，风干机构可以包括风干室以及位于风干室内的风刀，在待剥离基板被传送至风干室时，风刀可以吹干待剥离基板表面的去离子水。

综上所述，本申请实施例提供的光阻剥离设备，剥离机构使用剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行剥离之后，清洗机构对待剥离基板进行清洗，之后风干机构对待剥离基板进行风干，吸附过滤组件中的吸附层可以在剥离液经过吸附过滤组件时对剥离液中的光阻碎片进行吸附，因此经过该剥离液储罐的剥离液中残留光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，有助于提高显示产品的良率和品质。

在本申请中，术语“第一”、“第二”和“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。

以上所述仅为本申请的可选实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的构思和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。