阅读说明：本技术 膜片分离机构及膜片分离方法 (Diaphragm separation mechanism and diaphragm separation method ) 是由 兰立广 陈保存 姚立强 杨巍 王营营 李金龙 于 2018-06-26 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种膜片分离机构及膜片分离方法。其中,膜片分离机构包括：承载装置,用于承载待分离组合件,承载装置包括第一吸附区和排斥区,其中,第一吸附区能够吸合待分离组合件的第一子部件,排斥区能够将待分离组合件的第二子部件推离承载装置；柱状吸合结构,位于承载装置的上方,柱状吸合结构具有多个第二吸附区,部分或全部第二吸附区投入使用并对待分离组合件的第二子部件进行吸合,柱状吸合结构相对于承载装置运动,以实现待分离组合件的第一子部件和第二子部件之间的分离。本发明有效地解决了现有技术中膜片分离的加工效率较低,存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。(The invention provides a membrane separation mechanism and a membrane separation method. Wherein, diaphragm separating mechanism includes: the bearing device is used for bearing the assembly to be separated and comprises a first adsorption area and a rejection area, wherein the first adsorption area can attract the first sub-component of the assembly to be separated, and the rejection area can push the second sub-component of the assembly to be separated away from the bearing device; the columnar attraction structure is positioned above the bearing device and provided with a plurality of second adsorption areas, part or all of the second adsorption areas are put into use and attract the second sub-part of the assembly to be separated, and the columnar attraction structure moves relative to the bearing device so as to realize the separation between the first sub-part and the second sub-part of the assembly to be separated. The invention effectively solves the problems of low processing efficiency of membrane separation and substrate fragmentation caused by incomplete separation in the prior art.)

膜片分离机构及膜片分离方法

技术领域

本发明涉及膜片分离技术领域，具体而言，涉及一种膜片分离机构及膜片分离方法。

背景技术

目前，在膜片分离技术中，剥离技术包括机械剥离、激光剥离及湿法腐蚀剥离。在湿法腐蚀剥离技术中，湿法剥离后需要将膜片与基底分离。然而，由于膜片和基底之间存在液体，造成膜片与基底之间产生水吸附效应，导致二者之间的分离较为困难。

在现有技术中，通常采用手工分离方式对膜片和基底进行分离，不仅加工效率较低，且存在分离不彻底导致基底碎裂的现象。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种膜片分离机构及膜片分离方法，以解决现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种膜片分离机构，包括：承载装置，用于承载待分离组合件，承载装置包括第一吸附区和排斥区，其中，第一吸附区能够吸合待分离组合件的第一子部件，排斥区能够将待分离组合件的第二子部件推离承载装置；柱状吸合结构，位于承载装置的上方，柱状吸合结构具有多个第二吸附区，部分或全部第二吸附区投入使用并对待分离组合件的第二子部件进行吸合，柱状吸合结构相对于承载装置运动，以实现待分离组合件的第一子部件和第二子部件之间的分离。

进一步地，膜片分离机构还包括：导轨组件，能够带动柱状吸合结构进行移动；驱动结构，与柱状吸合结构连接且能够驱动柱状吸合结构绕其自身轴线转动。

进一步地，膜片分离机构还包括：升降结构，通过升降结构带动柱状吸合结构或承载装置进行升降。

进一步地，柱状吸合结构包括筒状吸合件，筒状吸合件的外表面具有多个第二吸附区，且多个第二吸附区沿筒状吸合件的周向间隔设置，在任意时刻，多个第二吸附区中与承载装置距离最近的第二吸附区投入使用；在预设时间内，全部第二吸附区顺次投入使用。

进一步地，柱状吸合结构还包括与筒状吸合件连接的第一抽真空组件，第一抽真空组件与至少一个第二吸附区连通，以向第二吸附区提供真空负压。

进一步地，第一抽真空组件包括：两个盖体，两个盖体分别与筒状吸合件的两个端面连接；抽真空主管路，部分抽真空主管路穿过其中一个盖体后与抽真空泵连接；多个抽真空支管路，与多个第二吸附区对应设置并与抽真空主管路连接，且各抽真空支管路与相应的第二吸附区相连通；控制装置，通过控制装置控制抽真空主管路与抽真空支管路的通断，在预设时间内，不同的抽真空支管路与抽真空主管路顺次连通。

进一步地，控制装置包括多个开关结构，且多个开关结构与多个抽真空支管路对应设置，以控制相应的抽真空支管路与抽真空主管路的通断。

进一步地，承载装置包括：承载结构，第一吸附区和/或排斥区设置在承载结构的上表面；第二抽真空组件，设置在承载结构上，第一吸附区通过第二抽真空组件吸合待分离组合件的第一子部件；进气结构，设置在承载结构上，排斥区通过进气结构将待分离组合件的第二子部件推离承载结构。

进一步地，排斥区位于第一吸附区的一侧。

进一步地，排斥区和/或第一吸附区和/或第二吸附区由多个通孔形成。

进一步地，膜片分离机构还包括：收集装置，位于柱状吸合结构的下游位置处，待分离组合件的第二子部件被柱状吸合结构带动至收集装置上，收集装置具有多个第三吸附区，部分或全部第三吸附区投入使用并对待分离组合件的第二子部件进行吸合。

进一步地，收集装置包括：收集结构，第三吸附区设置在收集结构的上表面；多个第三抽真空组件，设置在收集结构上，且多个第三抽真空组件与多个第三吸附区对应设置，第三吸附区通过第三抽真空组件吸合待分离组合件的第二子部件。

进一步地，沿柱状吸合结构的移动方向，多个第三吸附区依次排列设置。

进一步地，膜片分离机构还包括：压力检测装置，设置在柱状吸合结构或承载装置或收集装置上，用于检测柱状吸合结构与承载装置之间的第一压力值；和/或用于检测柱状吸合结构与收集装置之间的第二压力值，当第一压力值达到第一预设压力值时，排斥区投入使用；当第二压力值达到第二预设压力值时，第三抽真空组件投入使用。

根据本发明的另一方面，提供了一种膜片分离方法，采用上述的膜片分离机构，膜片分离方法包括：步骤S1：将待分离组合件放置在膜片分离机构的承载装置上；步骤S2：承载装置的第一吸附区吸合待分离组合件的第一子部件，将膜片分离机构的柱状吸合结构移动至承载装置所在位置处，承载装置的排斥区将待分离组合件的第二子部件的至少部分推离承载装置；步骤S3：柱状吸合结构的部分或全部第二吸附区投入使用并吸合待分离组合件的第二子部件，柱状吸合结构相对于承载装置运动，以使待分离组合件的第一子部件和第二子部件分离。

进一步地，步骤S2包括：步骤S21：开启承载装置的第二抽真空组件，以使第一吸附区对待分离组合件的第一子部件进行吸合；步骤S22：膜片分离机构的导轨组件带动柱状吸合结构移动并移动至承载装置所在位置处；

步骤S23：膜片分离机构的升降结构带动柱状吸合结构或承载装置运动，以使柱状吸合结构与承载装置相互靠近，膜片分离机构的压力检测装置检测二者之间的第一压力值，当第一压力值达到第一预设压力值时，进气结构将待分离组合件的第二子部件推离承载装置。

进一步地，步骤S3包括：步骤S31：膜片分离机构的导轨组件带动柱状吸合结构朝向膜片分离机构的收集装置的方向移动，且膜片分离机构的驱动结构驱动柱状吸合结构朝向第一方向转动，以使柱状吸合结构带动待分离组合件的第二子部件朝向收集装置运动。

进一步地，在步骤S31中，导轨组件移动速度V1的方向与柱状吸合结构和承载装置接触部分的线速度V2的方向相反，且移动速度V1的数值大于或等于线速度V2的数值。

进一步地，在步骤S31中，在任意时刻，与承载装置距离最近的第二吸附区投入使用，而与投入使用的第二吸附区相对应的膜片分离机构的抽真空支管路和抽真空主管路相连通，以使第二吸附区对待分离组合件的第二子部件进行吸合。

进一步地，膜片分离方法还包括位于步骤S3后的步骤S4：柱状吸合结构运动至膜片分离机构的收集装置所在位置处时，收集装置的第三吸附区投入使用并对待分离组合件的第二子部件进行吸合，且部分或全部第二吸附区不再对待分离组合件的第二子部件进行吸合。

进一步地，步骤S4还包括：步骤S41：膜片分离机构的导轨组件带动柱状吸合结构朝向远离承载装置的方向移动，且膜片分离机构的驱动结构驱动柱状吸合结构朝向与第一方向相反的第二方向转动，以使待分离组合件的第二子部件逐渐被第三吸附区吸合。

进一步地，在步骤S41中，在任意时刻，与收集装置距离最近的膜片分离机构的控制装置使得与其相应的膜片分离机构的抽真空支管路与膜片分离机构的抽真空主管路断开连通，且沿与导轨组件的运动方向相反的方向，各第三吸附区逐渐投入使用。

进一步地，在步骤S41中，第三吸附区投入使用后，抽真空支管路与抽真空主管路断开连通。

进一步地，在步骤S41中，膜片分离机构的压力检测装置检测柱状吸合结构与收集装置之间的第二压力值，当第二压力值达到第二预设压力值时，第三吸附区投入使用。

进一步地，在步骤S41中，导轨组件移动速度V3的方向与柱状吸合结构和收集装置接触部分的线速度V4的方向相反，且移动速度V3的数值小于或等于线速度V4的数值。

应用本发明的技术方案，承载装置的第一吸附区能够对待分离组合件的第一子部件进行吸合，承载装置的排斥区能够对待分离组合件的第二子部件进行推离，柱状吸合结构带动部分或全部第二吸附区相对于承载装置运动，且第二吸附区能够将待分离组合件的第二子部件吸合，以实现待分离组合件的第一子部件和第二子部件的分离。在上述过程中，第二吸附区吸合第二子部件且带动第二子部件相对于第一子部件运动，以使第一子部件与第二子部件的分离更加容易。

与现有技术中采用手工方式进行膜片分离相比，本申请中的膜片分离机构解决了现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本发明的膜片分离机构的实施例的立体结构示意图；

图2示出了图1中的膜片分离机构的柱状吸合结构去除筒状吸合件后的立体结构示意图；

图3示出了图2中的膜片分离机构的承载装置与柱状吸合结构装配后的立体结构示意图；

图4示出了图1中的膜片分离机构的收集装置的立体结构示意图；

图5示出了图1中的膜片分离机构的筒状吸合件的立体结构示意图；

图6示出了图5中的筒状吸合件的侧视图；

图7示出了图6中的筒状吸合件的A-A向剖视图；

图8示出了图1中的柱状吸合结构去除盖体后的侧视图；

图9示出了图1中的膜片分离机构的承载装置的透视图；

图10示出了图1中的膜片分离机构的收集装置的俯视图；以及

图11示出了图1中的待分离组合件的仰视图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、承载装置；11、第一吸附区；12、排斥区；13、承载结构；14、第二抽真空组件；15、进气结构；20、待分离组合件；21、第一子部件；22、第二子部件；30、柱状吸合结构；31、第二吸附区；32、筒状吸合件；321、第二连通孔；322、连通腔；33、第一抽真空组件；331、盖体；332、抽真空主管路；333、抽真空支管路；333a、第一连通孔；40、导轨组件；41、导轨；50、驱动结构；60、收集装置；61、第三吸附区；62、收集结构；63、第三抽真空组件。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本发明。

为了解决现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题，本申请提供了一种膜片分离机构及膜片分离方法。

如图1和图2所示，膜片分离机构包括承载装置10及柱状吸合结构30。其中，承载装置10用于承载待分离组合件20，承载装置10包括第一吸附区11和排斥区12，其中，第一吸附区11能够吸合待分离组合件20的第一子部件21，排斥区12能够将待分离组合件20的第二子部件22推离承载装置10。柱状吸合结构30位于承载装置10的上方，柱状吸合结构30具有多个第二吸附区31，部分或全部第二吸附区31投入使用并对待分离组合件20的第二子部件22进行吸合，柱状吸合结构30相对于承载装置10运动，以实现待分离组合件20的第一子部件21和第二子部件22之间的分离。

应用本实例的技术方案，承载装置10的第一吸附区11能够对待分离组合件20的第一子部件21进行吸合，承载装置10的排斥区12能够对待分离组合件20的第二子部件22进行推离，柱状吸合结构30带动部分或全部第二吸附区31相对于承载装置10运动，且第二吸附区31能够将待分离组合件20的第二子部件22吸合，以实现待分离组合件20的第一子部件21和第二子部件22的分离。在上述过程中，第二吸附区31吸合第二子部件22且带动第二子部件22相对于第一子部件21运动，以使第一子部件21与第二子部件22的分离更加容易。

在本实施例中，第一子部件21为基底。

与现有技术中采用手工方式进行膜片分离相比，本实施例中的膜片分离机构解决了现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。

在本实施例中，待分离组合件20的第一子部件21为基底，待分离组合件20的第二子部件22为膜片。如图11所示，第二子部件22的侧边相对于第一子部件21外露，排斥区12对该侧边进行吹扫。

在本实施例中，柱状吸合结构30上的部分或全部第二吸附区31投入使用，以使第一子部件21与第二子部件22之间的分离方式为线分离，进而提升膜片分离机构的运行可靠性，有效地避免了因面接触过大导致的分离无效的问题。同时，通过排斥区12实现了第二子部件22的预分离，起到良好的辅助分离作用。

如图1和图2所示，膜片分离机构还包括导轨组件40及驱动结构50。其中，导轨组件40能够带动柱状吸合结构30进行移动。驱动结构50与柱状吸合结构30连接且能够驱动柱状吸合结构30绕其自身轴线转动。具体地，将待分离组合件20放置在承载装置10上后，导轨组件40带动柱状吸合结构30进行移动，直至柱状吸合结构30运动至承载装置10的上方。同时，驱动结构50能够带动柱状吸合结构30进行转动，以使吸合第二子部件22后的柱状吸合结构30相对于承载装置10进行转动，实现第一子部件21和第二子部件22的快速分离。

在本实施例中，导轨组件40包括两根相互平行的导轨41，柱状吸合结构30分别连接在两根导轨41上且能够随着两根导轨41滑动。上述结构的结构简单，容易实现。

需要说明的是，导轨组件40的结构不限于此。可选地，导轨组件40包括一根导轨41，柱状吸合结构30的一部分固定在导轨41上且能够随着导轨41滑动。

在本实施例中，驱动结构50为电机。

在本实施例中，膜片分离机构还包括升降结构。其中，通过升降结构带动柱状吸合结构30进行升降。具体地，当柱状吸合结构30位于承载装置10的上方时，升降结构带动柱状吸合结构30朝向承载装置10运动，直至柱状吸合结构30与承载装置10之间的压力达到预设压力值，驱动结构50驱动柱状吸合结构30进行转动。

在附图中未示出的其他实施方式中，通过升降结构带动承载装置进行升降。当柱状吸合结构位于承载装置的上方时，升降结构带动承载装置朝向柱状吸合结构运动，直至柱状吸合结构与承载装置之间的压力达到预设压力值，驱动结构驱动柱状吸合结构进行转动。

可选地，柱状吸合结构30包括筒状吸合件32，筒状吸合件32的外表面具有多个第二吸附区31，且多个第二吸附区31沿筒状吸合件32的周向间隔设置，在任意时刻，多个第二吸附区31中与承载装置10距离最近的第二吸附区31投入使用；在预设时间内，全部第二吸附区31顺次投入使用。如图6所示，筒状吸合件32的外表面具有五个第二吸附区31，且五个第二吸附区31沿筒状吸合件32的周向间隔设置，在任意时刻，与承载装置10距离最近的一个第二吸附区31投入使用；在预设时间内，不同的第二吸附区31顺次投入使用。这样，在柱状吸合结构30对第二子部件22进行吸合的过程中，承载装置10的排斥区12将第二子部件22的一部分吹离承载装置10，柱状吸合结构30上的第二吸附区31顺次投入使用，以对第二子部件22的不同部分进行顺次吸合，直至柱状吸合结构30上的全部第二吸附区31投入使用。

具体地，在柱状吸合结构30自转时，与承载装置10距离最近的第二吸附区31先投入使用，该第二吸附区31对第二子部件22进行吸合，以使第二子部件22被吸合在柱状吸合结构30上。之后，柱状吸合结构30转动至与上一个第二吸附区31相邻的第二吸附区31且与承载装置10之间的距离最近时，该第二吸附区31也投入使用，以对第二子部件22进行吸合。直至全部第二吸附区31投入使用，以将全部第二子部件22吸合在柱状吸合结构30上，以实现第一子部件21和第二子部件22的分离。

如图3和图8所示，柱状吸合结构30还包括与筒状吸合件32连接的第一抽真空组件33，第一抽真空组件33与至少一个第二吸附区31连通，以向第二吸附区31提供真空负压。具体地，第一抽真空组件33通过第二吸附区31对第二子部件22进行吸合，以使第二子部件22被吸合在柱状吸合结构30上。上述结构的结构简单，容易实现，降低了膜片分离机构的加工成本。

需要说明的是，柱状吸合结构30吸合第二子部件22的方式不限于此。可选地，柱状吸合结构30与第二子部件22通过磁性吸合。可选地，磁性吸合为电磁吸合。

如图3和图8所示，第一抽真空组件33包括两个盖体331、抽真空主管路332、多个抽真空支管路333及控制装置。其中，两个盖体331分别与筒状吸合件32的两个端面连接。部分抽真空主管路332穿过其中一个盖体331后与抽真空泵连接。多个抽真空支管路333与多个第二吸附区31对应设置并与抽真空主管路332连接，且各抽真空支管路333与相应的第二吸附区31相连通。通过控制装置控制抽真空主管路332与抽真空支管路333的通断，在预设时间内，不同的抽真空支管路333与抽真空主管路332顺次连通。这样，通过上述结构实现柱状吸合结构30上各第二吸附区31的通断，以使被吸合在筒状吸合件32上的第二子部件22的外观更加平整、美观。

具体地，导轨41和相应的盖体331之间设置有滚动轴承，通过滚动轴承实现筒状吸合件32相对于导轨41的转动。抽真空主管路332位于筒状吸合件32的中央且与抽真空泵连接，抽真空主管路332与各抽真空支管路333之间的通断可以通过控制装置进行控制。当控制装置控制抽真空支管路333与抽真空主管路332连通时，与该抽真空主管路332相应的第二吸附区31能够对第二子部件22进行吸合。直至全部抽真空支管路333与抽真空主管路332连通，则第二子部件22被吸合在筒状吸合件32上。

如图3、图5至图7，抽真空支管路333的朝向筒状吸合件32的侧面具有第一连通孔333a，抽真空支管路333与相应的第二吸附区31通过第一连通孔333a连通。筒状吸合件32包括沿其径向方向设置的第二连通孔321及与第二连通孔321相连通的连通腔322。其中，通过连通腔322将第二连通孔321与第二吸附区31连通，筒状吸合件32与第一连通孔333a通过第二连通孔321连通。具体地，当抽真空主管路332与各抽真空支管路333连通时，第二吸附区31、连通腔322、第二连通孔321、第一连通孔333a及抽真空主管路332形成连通的通道，以使第二吸附区31内产生负压。

可选地，控制装置包括多个开关结构，且多个开关结构与多个抽真空支管路333对应设置，以控制相应的抽真空支管路333与抽真空主管路332的通断。如图8所示，控制装置包括五个开关结构，且五个开关结构与多个抽真空支管路333对应设置。这样，各抽真空支管路333通过相应的开关结构进行控制，以实现抽真空支管路333与抽真空主管路332的通断，进而使得工作人员对第二吸附区31的控制更加容易、方便，降低了工作人员的劳动强度。

可选地，开关结构为电磁阀。

可选的，控制装置为阀岛，控制五个第二吸附区31的真空负压开关。

如图1至图3及图9所示，承载装置10包括承载结构13、第二抽真空组件14及进气结构15。其中，第一吸附区11和排斥区12设置在承载结构13的上表面。第二抽真空组件14设置在承载结构13上，第一吸附区11通过第二抽真空组件14吸合待分离组合件20的第一子部件21。进气结构15设置在承载结构13上，排斥区12通过进气结构15将待分离组合件20的第二子部件22推离承载结构13。具体地，第二抽真空组件14通过第一吸附区11对第一子部件21进行吸合，进气结构15通过排斥区12对第二子部件22进行推离、吹扫，以使第二子部件22的一部分与第一子部件21分离，进而方便筒状吸合件32对第二子部件22吸合。其中，部分第二子部件22位于第一子部件21外，排斥区12能够对位于第一子部件21外的第二子部件22进行吹扫。上述结构的结构简单，容易实现。

如图3所示，排斥区12位于第一吸附区11的一侧。这样，排斥区12将第二子部件22位于第一子部件21外的部分吹起，且只吹起一侧，被吹起的第二子部件22为吸合起始端，进而使得第二子部件22在筒状吸合件32上的吸合更加容易。

如图1和图3所示，排斥区12和第一吸附区11和第二吸附区31由多个通孔形成。上述结构的机构简单，容易加工、实现，进而降低了膜片分离机构的加工成本。

可选地，通孔为微孔结构。

可选地，排斥区12的吹扫方向与承载结构13呈夹角设置，以使部分第二子部件22被气流向斜上方吹起。

如图1、图2及图4所示，膜片分离机构还包括收集装置60。其中，收集装置60位于柱状吸合结构30的下游位置处，待分离组合件20的第二子部件22被柱状吸合结构30带动至收集装置60上，收集装置60具有多个第三吸附区61，部分或全部第三吸附区61投入使用并对待分离组合件20的第二子部件22进行吸合。这样，收集装置60用于收集第二子部件22(膜片)，以使完成分离后的第二子部件22(膜片)齐整地放置在收集装置60上。

具体地，吸合在柱状吸合结构30上的第二子部件22被导轨组件40输送至收集装置60的上方，升降结构带动柱状吸合结构30朝向收集装置60下降，或者带动收集装置60朝向柱状吸合结构30上升，直至柱状吸合结构30与收集装置60之间存在预定的压力，部分或全部第三吸附区61投入使用，以对第二子部件22进行吸合。之后，柱状吸合结构30上的第二吸附区31停止运行，以使第二子部件22均被吸合在收集装置60上。

如图4及图10所示，收集装置60包括收集结构62及多个第三抽真空组件63。其中，第三吸附区61设置在收集结构62的上表面。多个第三抽真空组件63设置在收集结构62上，且多个第三抽真空组件63与多个第三吸附区61对应设置，第三吸附区61通过第三抽真空组件63吸合待分离组合件20的第二子部件22。这样，在收集装置60对第二子部件22进行吸合的过程中，各第三抽真空组件63顺次投入使用，以防止第二子部件22与收集结构62之间产生气泡而影响第二子部件22的平展性。

可选地，多个第三抽真空组件63通过阀岛控制。

可选的，第三抽真空组件控制装置为阀岛，控制多个第三吸附区61真空负压开关。

在本实施例中，沿柱状吸合结构30的移动方向，多个第三吸附区61依次排列设置。其中，各第三吸附区61按照其排列顺序依次投入使用，以使第二子部件22的各部分被顺次吸合在收集结构62上，保证第二子部件22与收集结构62之间不存在气泡。

在本实施例中，膜片分离机构还包括压力检测装置。其中，压力检测装置设置在柱状吸合结构30上，用于检测柱状吸合结构30与承载装置10之间的第一压力值，且用于检测柱状吸合结构30与收集装置60之间的第二压力值。当第一压力值达到第一预设压力值时，排斥区12投入使用；当第二压力值达到第二预设压力值时，第三抽真空组件63投入使用。这样，通过压力检测装置检测出柱状吸合结构30与承载装置10及柱状吸合结构30与收集装置60之间的压力值，当压力值达到预设压力值时，控制相应的结构或部件投入使用，进而提升膜片分离机构的分离效率及分离质量，以使第一子部件21和第二子部件22之间的分离更加彻底。

需要说明的是，压力检测装置的设置位置不限于此。可选地，压力检测装置设置在承载装置10或收集装置60上。

本申请还提供了一种膜片分离方法，采用上述的膜片分离机构，膜片分离方法包括：

步骤S1：将待分离组合件20放置在膜片分离机构的承载装置10上；

步骤S2：承载装置10的第一吸附区11吸合待分离组合件20的第一子部件21，将膜片分离机构的柱状吸合结构30移动至承载装置10所在位置处，承载装置10的排斥区12将待分离组合件20的第二子部件22的至少部分推离承载装置10；

步骤S3：柱状吸合结构30的部分或全部第二吸附区31投入使用并吸合待分离组合件20的第二子部件22，柱状吸合结构30相对于承载装置10运动，以使待分离组合件20的第一子部件21和第二子部件22分离。

具体地，承载装置10的第一吸附区11对待分离组合件20的第一子部件21吸合，承载装置10的排斥区12对待分离组合件20的第二子部件22推离，柱状吸合结构30带动部分或全部第二吸附区31相对于承载装置10运动，且第二吸附区31能够将待分离组合件20的第二子部件22吸合，以实现待分离组合件20的第一子部件21和第二子部件22的分离。在上述过程中，第二吸附区31吸合第二子部件22且带动第二子部件22相对于第一子部件21运动，以使第一子部件21与第二子部件22的分离更加容易，进而解决了现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。

在本实施例中，步骤S2包括：

步骤S21：开启承载装置10的第二抽真空组件14，以使第一吸附区11对待分离组合件20的第一子部件21进行吸合；

步骤S22：膜片分离机构的导轨组件40带动柱状吸合结构30移动并移动至承载装置10所在位置处；

步骤S23：膜片分离机构的升降结构带动柱状吸合结构30运动，以使柱状吸合结构30与承载装置10相互靠近，膜片分离机构的压力检测装置检测二者之间的第一压力值，当第一压力值达到第一预设压力值时，进气结构15将待分离组合件20的第二子部件22推离承载装置10。

具体地，第二抽真空组件14被开启并对第一子部件21进行吸合，导轨组件40带动柱状吸合结构30移动，并使其移动至承载装置10的上方。之后，升降结构带动柱状吸合结构30朝向承载装置10运动，直至柱状吸合结构30与承载装置10之间的第一压力值达到第一预设压力值，升降结构停止运行，进气结构15投入使用并对部分第二子部件22进行吹扫，以使该部分第二子部件22被推离承载装置10。

在本实施例中，步骤S3包括：

步骤S31：膜片分离机构的导轨组件40带动柱状吸合结构30朝向膜片分离机构的收集装置60的方向移动，且膜片分离机构的驱动结构50驱动柱状吸合结构30朝向第一方向转动，以使柱状吸合结构30带动待分离组合件20的第二子部件22朝向收集装置60运动。这样，柱状吸合结构30在任意时刻进行三个同步动作，分别为：导轨组件40带动柱状吸合结构30朝向收集装置60的移动、柱状吸合结构30在驱动结构50驱动下的转动及第二吸附区31对第二子部件22的吸合，则柱状吸合结构30边运动边对第二子部件22进行吸合，以使第二子部件22吸合在柱状吸合结构30上，以实现第一子部件21和第二子部件22的快速分离。

在本实施例中，在步骤S31中，导轨组件40移动速度V1的方向与柱状吸合结构30和承载装置10接触部分的线速度V2的方向相反，且移动速度V1的数值大于或等于线速度V2的数值。这样，上述设置保证吸合在柱状吸合结构30上的第二子部件22相对于参考面(不动面)朝向远离承载装置10一侧的方向运动(朝向收集装置60的方向运动)，以实现柱状吸合结构30对第二子部件22的运输作用。

在本实施例中，在步骤S31中，在任意时刻，与承载装置10距离最近的第二吸附区31投入使用，而与投入使用的第二吸附区31相对应的膜片分离机构的抽真空支管路333和抽真空主管路332相连通，以使第二吸附区31对待分离组合件20的第二子部件22进行吸合。这样，柱状吸合结构30开始运动后，与承载装置10距离最近的一个第二吸附区31开始投入使用，之后，柱状吸合结构30转动至与上一个第二吸附区31相邻的第二吸附区31与承载装置10之间的距离最近时，该相邻第二吸附区31也投入使用，以对第二子部件22进行吸合。直至全部第二吸附区31投入使用，以将全部第二子部件22吸合在柱状吸合结构30上，以实现第一子部件21和第二子部件22的分离。

在本实施例中，膜片分离方法还包括位于步骤S3后的步骤S4：柱状吸合结构30运动至膜片分离机构的收集装置60所在位置处时，收集装置60的第三吸附区61投入使用并对待分离组合件20的第二子部件22进行吸合，且部分或全部第二吸附区31不再对待分离组合件20的第二子部件22进行吸合。这样，当第三吸附区61投入使用时，第二吸附区31不再投入使用，以保证第二子部件22被吸合在收集装置60上。

在本实施例中，步骤S4还包括：

步骤S41：膜片分离机构的导轨组件40带动柱状吸合结构30朝向远离承载装置10的方向移动，且膜片分离机构的驱动结构50驱动柱状吸合结构30朝向与第一方向相反的第二方向转动，以使待分离组合件20的第二子部件22逐渐被第三吸附区61吸合。这样，第二子部件22上最后被柱状吸合结构30吸合的部分先被第三吸附区61吸合，之后，第二子部件22的其余部分被第三吸附区61顺次吸合，直至全部第二子部件22被第三吸附区61吸合。

在本实施例中，在步骤S41中，在任意时刻，与收集装置60距离最近的膜片分离机构的控制装置使得与其相应的膜片分离机构的抽真空支管路333与膜片分离机构的抽真空主管路332断开连通，且沿与导轨组件40的运动方向相反的方向，各第三吸附区61逐渐投入使用。这样，上述设置使得第二子部件22的各个部分被第三吸附区61顺次吸合，以防止第二子部件22与收集装置60之间产生气泡而影响吸合效果。

具体地，与柱状吸合结构30距离最近的第三吸附区61先投入使用，第二子部件22上与被第三吸附区61吸合的部分相对应的第二吸附区31停止吸合。随着柱状吸合结构30的运动(沿第二方向的转动与导轨组件40带动其运动的合运动)，与柱状吸合结构30距离最近的其余第三吸附区61顺次投入使用，第二子部件22上与被其余第三吸附区61吸合的部分相对应的第二吸附区31停止吸合，直至全部第三吸附区61投入使用，全部第二吸附区31停止吸合，则完成收集装置60对第二子部件22的收集、吸合。

在本实施例中，在步骤S41中，第三吸附区61投入使用后，抽真空支管路333与抽真空主管路332断开连通。这样，第三吸附区61对第二子部件22进行吸合，同时，第二吸附区31不再对第二子部件22吸合，对第二子部件22进行释放，以使第二子部件22被吸合在收集装置60上。

在本实施例中，膜片分离机构的压力检测装置检测柱状吸合结构30与收集装置60之间的第二压力值，当第二压力值达到第二预设压力值时，第三吸附区61投入使用。具体地，导轨组件40带动柱状吸合结构30移动，并使其移动至收集装置60的上方。之后，升降结构带动柱状吸合结构30朝向收集装置60运动，直至柱状吸合结构30与收集装置60之间的第二压力值达到第二预设压力值，升降结构停止运行，第三吸附区61投入使用并对部分第二子部件22进行吸合，同时，第二吸附区31对该部分第二子部件22进行释放，直至全部第二子部件22被第三吸附区61吸合。

在本实施例中，在步骤S41中，导轨组件40移动速度V3的方向与柱状吸合结构30和收集装置60接触部分的线速度V4的方向相反，且移动速度V3的数值小于或等于线速度V4的数值。这样，上述设置保证吸合在柱状吸合结构30上的第二子部件22相对于参考面(不动面)朝向承载装置10的方向运动，以实现柱状吸合结构30对第二子部件22的释放，以使第二子部件22平铺在收集装置60上。

从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：

承载装置的第一吸附区能够对待分离组合件的第一子部件进行吸合，承载装置的排斥区能够对待分离组合件的第二子部件进行推离，柱状吸合结构带动部分或全部第二吸附区相对于承载装置运动，且第二吸附区能够将待分离组合件的第二子部件吸合，以实现待分离组合件的第一子部件和第二子部件的分离。在上述过程中，第二吸附区吸合第二子部件且带动第二子部件相对于第一子部件运动，以使第一子部件与第二子部件的分离更加容易。

与现有技术中采用手工方式进行膜片分离相比，本申请中的膜片分离机构解决了现有技术中膜片分离的加工效率较低，存在分离不彻底导致基底碎裂的问题。

显然，上述所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。