阅读说明：本技术 一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行方法 (Method for controlling multiple polycrystalline furnaces to operate by one vacuum pump on polycrystalline furnace table ) 是由 邵长洲 韩晓敏 孙永付 夏益民 于 2019-09-29 设计创作，主要内容包括：本发明涉及一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法,具体方法如下：(1)在操作前先将相邻多晶炉串联；(2)正常运行状态下真空泵上的V8阀是打开的,V9阀是关闭的；(3)进行并接操作时,先将计划继续运行的主真空泵的V9阀打开,挂好标牌；(4)将准备停的辅真空泵的V8阀关闭,挂好标牌；(5)打开辅真空泵V9阀,挂好标牌；(6)将计划停用的辅泵关闭；(7)当并接的多晶炉中有一台运行结束时,需将停炉的多晶炉分离,恢复正常运行状态；(8)关闭主泵和辅泵的V9阀,挂好标牌。本发明直接减少真空泵的使用数量,从根本上减少能耗,降低故障发生频率。(The invention relates to a method for controlling the operation and transformation of a plurality of polycrystalline furnaces by one vacuum pump of a polycrystalline furnace, which comprises the following steps: (1) before operation, adjacent polycrystalline furnaces are connected in series; (2) the V8 valve on the vacuum pump is open under normal operating conditions, and the V9 valve is closed; (3) when the parallel connection operation is carried out, the V9 valve of the main vacuum pump which is planned to continue to operate is opened, and the label is hung; (4) closing a V8 valve of the auxiliary vacuum pump to be stopped, and hanging a label; (5) opening an auxiliary vacuum pump V9 valve, and hanging the label; (6) shutting down the secondary pump scheduled to be deactivated; (7) when one of the parallel polycrystalline furnaces finishes operating, the shutdown polycrystalline furnace needs to be separated, and the normal operation state is recovered; (8) the V9 valves of the primary and secondary pumps were closed and the signs were hung. The invention directly reduces the number of vacuum pumps, thus fundamentally reducing energy consumption and reducing the frequency of faults.)

一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行方法

技术领域

本发明属于多晶炉技术领域，具体涉及一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行方法。

背景技术

多晶炉运行周期较长（70小时左右），但仅仅在加热阶段（10小时左右），属于气体置换过程。而在熔化、长晶、退火、冷却阶段（60小时左），炉内气压稳定，进出气量小。因此，一台真空泵供给一台多晶炉台的模式会造成大量产能浪费。真空泵作为气体运输中必不可少的装置，运作过程不仅能耗高，且真空泵隶属机械油泵，运作过程中不仅消耗大量润滑油，且机械动作会产生声音，产生大量噪音污染；因此，在固定炉台情况下，增加利用率，减少真空泵的使用是十分必要的。同时，一台真空泵供给一台多晶炉台的模式，会使得每个真空泵都处于工作状态，真空泵长期不停运作滑阀之间一直长时间处于摩擦过程使滑阀寿命降低，停机检修等工作均会直接影响多晶炉设备机台效率。而当真空泵出现故障时只能停机维修；不仅直接影响产品质量，且如果气体无法得到有效排出会发生重大安全事故。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行方法，利用一台真空泵或者机械泵不仅控制单台多晶炉运行也可以控制多台多晶炉正常运行，能有效地降低真空泵运行能耗、减少润滑油使用量、降低车间噪音、提高机台维修效率并提高真空泵滑阀使用寿命。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下。

一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法，具体方法如下：

（1）在操作前先将相邻多晶炉串联；

（2）正常运行状态下真空泵上的V8阀是打开的，V9阀是关闭的；进行并接操作前，首先需确认机台状态，所并接设备必需都处于气体控制模式下；

（3）进行并接操作时，先将计划继续运行的主真空泵的V9阀打开，挂好标牌；需要运行的真空泵称为主真空泵，停止运行的真空泵称为辅真空泵；

（4）将准备停的辅真空泵的V8阀关闭，挂好标牌，关或开；手动阀顺时针是关闭，逆时针是打开；

（5）打开辅真空泵V9阀，挂好标牌，观察炉内气压状况，是否符合配方设定值；

（6）将计划停用的辅泵关闭；将V8阀手动开启，并接工作完成；

（7）当并接的多晶炉中有一台运行结束时，需将停炉的多晶炉分离，恢复正常运行状态；保证有主泵在运行；辅泵真空泵打开，V8阀打开，挂好标牌；打开阀时需逆时针旋到底即可；

（8）关闭主泵和辅泵的V9阀，挂好标牌；关闭阀时需顺时针旋到底即可。

该发明的有益效果在于：本发明通过设计一种一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法，直接减少真空泵的使用数量，从根本上减少能耗，且由于真空泵隶属机械油泵，机械动作会产生声音，真空泵数量减少，直接降低噪音的产生；一台真空泵供给多台多晶炉台的模式，可以有效增加真空泵使用寿命，减少运作滑阀之间一直长时间处于摩擦过程使滑阀寿命降低的情况；一台真空泵供给多台多晶炉台的模式，会使得真空泵相互交换使用，停机检修等工作均可安排在不使用状态，从而不影响多晶炉设备机台效率。而定期不耽误机台效率的定期检修，降低故障发生频率，不仅直接保证了产品质量，且防止发生如果气体无法得到有效排出引起的重大安全事故。该发明方法中，可以根据实际情况，任意切换一台真空泵供给多台多晶炉台的个数。

附图说明

图1是本发明实施例中所使用方法的多晶炉连接控制示意图。

图中标记说明：1、第一真空泵；2、第一V8阀门；3、第一V9阀门；4、第二真空泵；5、第二V9阀门；6、第三真空泵；7、第三V9阀门；8、第四真空泵；9、第四V9阀门；10、第四V8阀门；11、第四多晶炉；12、第三V8阀门；13、第三多晶炉；14、第二V8阀门；15、第二多晶炉；16、第一多晶炉。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的具体实施方式进行描述，以便更好的理解本发明。

实施例

本实施例以四台多晶炉进行描述说明该发明实施方法。

如图1所示，本发明中的多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法，具体方法如下：

（1）在操作前先将相邻多晶炉串联；具体见图1，第一多晶炉16、第二多晶炉15、第三多晶炉13和第四多晶炉11利用串联管道相互串联，第一多晶炉16上利用管道连接有第一真空泵1，第一多晶炉16和第一真空泵1之间的管道上设有第一V8阀门2；第一多晶炉16的连接管与串联管道之间设有第一V9阀门3；第二多晶炉15上利用管道连接有第二真空泵4，第二多晶炉15和第二真空泵4之间的管道上设有第二V8阀门14；第二多晶炉15的连接管与串联管道之间设有第二V9阀门5；第三多晶炉13上利用管道连接有第三真空泵6，第三多晶炉13和第三真空泵6之间的管道上设有第三V8阀门12；第三多晶炉13的连接管与串联管道之间设有第三V9阀门7；第四多晶炉11上利用管道连接有第四真空泵8，第四多晶炉11和第四真空泵8之间的管道上设有第四V8阀门10；第四多晶炉11的连接管与串联管道之间设有第四V9阀门9。

（2）正常运行状态下真空泵上的V8阀是打开的，V9阀是关闭的；进行并接操作前，首先需确认机台状态，所并接设备必需都处于气体控制模式下；

（3）进行并接操作时，先将计划继续运行的主真空泵的V9阀打开，挂好标牌；需要运行的真空泵称为主真空泵，停止运行的真空泵称为辅真空泵；

（4）将准备停的辅真空泵的V8阀关闭，挂好标牌，关或开；手动阀顺时针是关闭，逆时针是打开；

（5）打开辅真空泵V9阀，挂好标牌，观察炉内气压状况，是否符合配方设定值；

（6）将计划停用的辅泵关闭；将V8阀手动开启，并接工作完成；

（7）当并接的多晶炉中有一台运行结束时，需将停炉的多晶炉分离，恢复正常运行状态；保证有主泵在运行；辅泵真空泵打开，V8阀打开，挂好标牌；打开阀时需逆时针旋到底即可；

（8）关闭主泵和辅泵的V9阀，挂好标牌；关闭阀时需顺时针旋到底即可。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。