阅读说明：本技术 一种旋涂装置 (Spin coating device ) 是由 杨进 郜晨希 刘金虎 于 2019-08-22 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种旋涂装置,属于表面涂覆技术领域,通过电机,所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘,所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘,所述转盘设置在所述样片托盘的下方,且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；腔室,所述腔室设置在所述转盘的下方,且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；弹性件,所述弹性件设置在所述腔室的底端,且所述弹性件套设在所述转动轴外部,从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转,经常有漏气情况发生的技术问题,达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性,提高整机气路的畅通,提高样片在设备中的吸附能力,延长设备使用寿命的技术效果。(The invention discloses a spin coating device, which belongs to the technical field of surface coating, and is characterized in that a motor is provided with a rotating shaft arranged in the vertical direction; the sample wafer tray is positioned at the top end of the rotating shaft; the rotary disc is arranged below the sample wafer tray, and a first preset distance is reserved between the rotary disc and the sample wafer tray; the chamber is arranged below the rotary table, and a second preset distance is reserved between the chamber and the rotary table; the elastic component, the elastic component sets up the bottom of cavity, just the elastic component cover is established the axis of rotation is outside to solved the leakproofness of spin coating equipment among the prior art along with the high-speed rotation of motor, often had the technical problem that the gas leakage condition takes place, reached the sealing performance and the reliability that improve spin coating equipment, improved the unblocked of complete machine gas circuit, improved the adsorption efficiency of sample wafer in equipment, extension equipment life's technological effect.)

一种旋涂装置

技术领域

本发明涉及表面涂覆技术领域，特别涉及一种旋涂装置。

背景技术

旋涂是在高速旋转的固体表面通过离心作用将具有一定黏度的液态功能材料均匀地涂覆上，通过调节离心旋转速度和反应时间来实现所要求的厚度、均匀性和一致性；在样片高速旋转的情况下，样片通过外接真空泵在气路通道内形成负压，将样片紧紧吸附在样片托上，从而满足整个涂胶工艺工程。因此气路的密封性决定样片是否能紧密贴合，在高速旋转下是否稳定吸附的关键。

现有密闭气路的机构中，下密封环结构仅仅采用凸起结构直接与电机平台硬连接，密封性会随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生。

发明内容

本发明提供了一种旋涂装置，解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题，达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。

本发明提供了一种旋涂装置，包括：电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；腔室，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部。

优选的，还包括：第一密封件，所述第一密封件设置在所述腔室的顶端；第二密封件，所述第二密封件设置在所述腔室的底端与所述弹性件之间。

优选的，所述第一密封件、第二密封件、腔室、弹性件均通过所述转动轴与所述电机固定连接。

优选的，所述第一密封件和所述第二密封件均为黄铜圈。

优选的，所述腔室的一侧壁上垂直向外延伸出一圆筒结构，且所述圆筒结构为L型结构，或，一字型结构。

优选的，所述样片托盘的中心位置处开设有一通孔，且所述样片托盘上以所述通孔为中心开设有多个半环形气路槽。

优选的，所述样片托盘上开设有一凹槽，且所述凹槽的宽度范围为1～2mm，其中，通过所述凹槽以使多个所述半环形气路槽均与所述通孔相连通。

优选的，所述样片托盘外侧边部位置处开设有一环形平台，且所述环形平台的宽度范围为2～4mm。

优选的，所述转盘上开设有两个气路通道，且，所述转盘上相对开设有两个平衡孔，其中，两个所述平衡孔之间的连线与两个所述气路通道的中心线相垂直，以使高速旋转时两个所述气路通道的动平衡与受力均匀。

优选的，所述弹性件为弹簧。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

本发明实施例提供的一种旋涂装置，该旋涂装置包括：电机、样片托盘、转盘、腔室、弹性件，其中，电机具有一竖直方向上设置的转动轴，进而在转动轴的外部可以安装旋涂装置的其他组成元件，样片托盘位于转动轴的顶端；转盘位于样片托盘的下方，同时两者之间具有一定的距离，转盘套设在转动轴的外部，这样，在电机运行时，通过转动轴可带动样片托盘和转盘一起高速旋转，腔室设置在转盘的下方，弹性件设置在腔室的底端，且套设在转动轴的外部，使得弹性件被孔径与转动轴相同的第二密封件压下，配合工差，这样可以更好的实现气路密封，当气路密封性满足要求时，样片托盘负压吸附样片则更加牢固，样片不会甩飞，从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题，达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的

具体实施方式

。

附图说明

图1为本发明实施例中一种旋涂装置的结构示意图；

图2为图1的剖视图；

图3为图1的另一剖视图；

图4为图1中样片托盘的结构示意图。

附图标记说明：样片托盘1；通孔11；半环形气路槽12；凹槽13；环形平台14；斜坡15；转盘2；第一密封件3；腔室4；第二密封件5；弹性件6；电机轴7；气路通道8；旋转气路槽9。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种旋涂装置，用以解决现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题。

本发明实施例中的技术方案，总体思路如下：

本发明实施例提供的一种旋涂装置，包括：电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；腔室，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部，从而达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例

图1为本发明实施例中一种旋涂装置的结构示意图，如图1-3所示：

所述旋涂装置包括：电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴7。

具体而言，电机是该旋涂装置中的动力机构，即通过电机为旋涂装置提供电源，其中，电机是指依据电磁感应定律实现电能转换或传递的一种电磁装置，它的主要作用是产生驱动转矩，作为用电器或各种机械的动力源。本实施例中的电机的转动轴7安装在竖直方向上，进而在转动轴7的外部可以安装旋涂装置的其他组成元件。

所述旋涂装置还包括：样片托盘1，所述样片托盘1位于所述转动轴7的顶端。

具体而言，样片托盘1为该旋涂装置中用于吸附样片的部件，其形状为具有一定厚度的圆盘状结构，同时样片托盘1位于转动轴7的顶部，进一步的，样片托盘1与转动轴7具有同一中心轴线，样片托盘1位于水平方向上，这样，在电机运行时，通过转动轴7可带动样片托盘1一起高速旋转。

所述旋涂装置还包括：转盘2，所述转盘2设置在所述样片托盘1的下方，且所述转盘2与所述样片托盘1之间具有第一预设距离。

进一步的，所述转盘2上开设有两个气路通道8，且，所述转盘2上相对开设有两个平衡孔，其中，两个所述平衡孔之间的连线与两个所述气路通道8的中心线相垂直，以使高速旋转时两个所述气路通道8的动平衡与受力均匀。

具体而言，转盘2为旋涂装置中进行旋转的托盘，其形状同样为具有一定厚度的圆盘状结构，且转盘2位于样片托盘1的下方，同时两者之间具有一定的距离，转盘2套设在转动轴7的外部，这样，在电机运行时，通过转动轴7可带动样片托盘1和转盘2一起高速旋转。进一步的，转盘2上面的气路通道8为两条，即为旋转盘中间气槽，可以与腔室4内的密封空间相连。为了平衡固定转盘2的顶丝，因此要在对称两条气路的垂直位置上打对应的平衡孔，从而保证高速旋转时候整个气路的动平衡与受力均匀，保证了更加优异的吸附性，动平衡在涂胶里面非常重要，样片表面会因为微量动平衡不均匀，造成样片膜厚不均匀等状况。

所述旋涂装置还包括：腔室4，所述腔室4设置在所述转盘2的下方，且所述腔室4与所述转盘2之间具有第二预设距离。

进一步的，所述腔室4的一侧壁上垂直向外延伸出一圆筒结构，且所述圆筒结构为L型结构，或，一字型结构。

具体而言，腔室4的内部具有一定的容置空间，并且位于转盘2的下方，这样使得腔室4和转盘2两者之间具有一定的距离，同时腔室4套设在转动轴7的外部，本实施例中的腔室4在设计上，其内部容置空间的体积较小，在有限的气体腔室内，能保证100mm的样片在高速8000转不飞片，通过合理的设计保证了腔室4的密封性；进一步的，在腔室4的一侧壁上打孔，垂直安装一圆筒结构，且该圆筒结构的形状为具有一定壁厚的中空圆柱体结构，且本实施例中以圆筒机构呈L型结构作为优选，也就是说，该圆筒机构由两部分组成，其中的第一部分垂直于腔室4的侧壁，第二部分与第一部分相垂直呈90°角设计，进一步的，该圆筒机构的形状也可为一字型结构或是其他形状的结构，具体的形状可根据实际需要进行安装设计，本实施例中不做具体限制，通过该圆筒机构从而达到了降低粉尘与胶进入真空泵的概率，大幅延长维护间隔，提高使用寿命的技术效果。

进一步的，所述旋涂装置还包括：第一密封件3，所述第一密封件3设置在所述腔室4的顶端；第二密封件5，所述第二密封件5设置在所述腔室4的底端与所述弹性件6之间。

进一步的，所述第一密封件3和所述第二密封件5均为黄铜圈。

具体而言，第一密封件3和第二密封件5为旋涂装置中用于密封的元件，其中，第一密封件3位于腔室4的顶部，转盘2***腔室4中，通过第一密封件3完成腔室4上部的气路密封；第二密封件5位于腔室4的底部，即腔室4位于第二密封件5的上面，腔室4底部的孔径正好与第二密封件5的外圆直径一致，这样可以进一步保证气路的密闭性，本实施例中以第一密封件3和第二密封件5均选择为黄铜圈作为优选。

所述旋涂装置还包括：弹性件6，所述弹性件6设置在所述腔室4的底端，且所述弹性件6套设在所述转动轴7外部。

进一步的，所述弹性件6为弹簧。

具体而言，弹性件6位于第二密封件5的下面，且套设于转动轴7的外部，使得弹性件6被孔径与转动轴7相同的第二密封件5压下，配合工差，从而达到了保证气路底部的密闭性的目的，本实施例中以弹性件6为弹簧作为优选，弹簧圈穿过转动轴7，放置于转动轴7上面。这样可以更好的实现气路密封，当气路密封性满足要求时，样片托盘1负压吸附样片则更加牢固，样片不会甩飞，同时通过该弹性件6使得腔室4与电机平台有一定的弹性连接，密封尺寸也有所变更，在电机高速旋转的情况下，弹性件6的弹簧圈会根据外力不同，对第二密封件5一直保持向上的力，使得设备在任何转速下，气路均能保证密闭状况。

进一步的，所述第一密封件3、第二密封件5、腔室4、弹性件6均通过所述转动轴7与所述电机固定连接。

具体而言，样片托盘1、转盘2、第一密封件3、腔室4、第二密封件5、弹性件6均通过电机轴7按照一定顺序排列，也就是说，旋涂装置的所有的结构均以电机转动轴7为中心依次组合，相互接触，其中，腔室4与第一密封件3相接触，第二密封件5与弹性件6相接触，这样使得第一密封件3、第二密封件5、腔室4、弹性件6整体组合为一体，在高速状态下，只有样片托盘1和转盘2与电机一起高速旋转，其余部分均为静止状态，各独立配件包括第一密封件3、第二密封件5、腔室4、弹性件6与电机之间固定，确保组合为一体后，保证气路的密封性。通过这种设计连接，在涂胶工艺中实现了气体的密封性，可将样片牢牢吸附在样片托盘1上，提高涂胶过程样片位置的固定，实现样片高速旋转下不飞片，密封件不跟着电机旋转，提高了密封气路寿命，也提升了涂胶设备的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。

进一步的，所述样片托盘1的中心位置处开设有一通孔11，且所述样片托盘1上以所述通孔11为中心开设有多个半环形气路槽12。

进一步的，所述样片托盘上开设有一凹槽13，且所述凹槽13的宽度范围为1～2mm，其中，通过所述凹槽13以使多个所述半环形气路槽12均与所述通孔11相连通。

进一步的，所述样片托盘1外侧边部位置处开设有一环形平台14，且所述环形平台14的宽度范围为2～4mm。

具体而言，如图4所示，样片托盘1的中心位置处开设有一中间孔，接着以该通孔11为中心，向外开设有多个半环形气路槽12，在多个半环形气路槽12中，相对设置的半环形气路槽12尺寸相同，同时相邻的两条半环形气路槽12尺寸不同，即就是靠近通孔11的半环形气路槽12的直径小于远离通孔11的半环形气路槽12的直径。本实施例中对半环形气路槽12的横截面形状不做具体限制，即半环形气路槽12的横截面形状可为半圆形、方形等，且本实施例中以半环形气路槽12的横截面形状为V型作为优选，即样片托盘1上所开设的半环形气路槽12为V型槽，且倾斜角度为60°，同时在样片托盘1的中心处开一条凹槽13，该凹槽13的宽度范围为1～2mm，本实施例中以该凹槽的宽度为1.5mm作为优选，这样以通孔11为中心，形成半环形气路，即旋转气路槽9，当中心抽气时，气体可快速通过该凹槽13，流通到整个旋转气路槽9内，进一步的，在样片托盘1最外圆预留一环形平台14，且环形平台14的宽度范围为2mm～4mm，通过该环形平台14可以预防胶顺气路进入设备；样片托设计高出一个平台，可以预防设备进胶，当有漏胶情况存在时，此时可通过45°斜坡15，流到平台底下平面，也就是说，样片托盘1上的半环形气路和斜坡15的高度高于样片托盘1的其他部分。当样片放在样片托盘1上时，通过旋转气路槽9就可以将样片底部与整个气路紧密连接在一起，通过外接抽气泵，将整个气路变成负压紧紧吸附样片在样片托盘1上面，完成整个气路的连通。

因此，本实施例中的旋涂装置通过各个独立结构之间的配合，在涂胶工艺中实现通过气体整体气路的通畅，有利于提高样片在设备中的吸附能力，无论电机在高速还是低转速状态下，气路的整体密封性均能得到保证，密封件与腔室也能保证好的密闭性，有利于提高整体气路良好的密封能力，提高仪器的使用年限，提升了旋涂设备的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

本发明实施例提供的一种旋涂装置，该旋涂装置包括：电机、样片托盘、转盘、腔室、弹性件，其中，电机具有一竖直方向上设置的转动轴，进而在转动轴的外部可以安装旋涂装置的其他组成元件，样片托盘位于转动轴的顶端；转盘位于样片托盘的下方，同时两者之间具有一定的距离，转盘套设在转动轴的外部，这样，在电机运行时，通过转动轴可带动样片托盘和转盘一起高速旋转，腔室设置在转盘的下方，弹性件设置在腔室的底端，且套设在转动轴的外部，使得弹性件被孔径与转动轴相同的第二密封件压下，配合工差，这样可以更好的实现气路密封，当气路密封性满足要求时，样片托盘负压吸附样片则更加牢固，样片不会甩飞，从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题，达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明实施例的精神和范围。这样，倘若本发明实施例的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。