阅读说明：本技术 压印压辊装置 (impression compression roller device ) 是由 刘灏 金炳相 金乙泰 黄恩秀 于 2019-02-18 设计创作，主要内容包括：提供了一种压印压辊装置。所述压印压辊装置包括：辊构件,在关于轴旋转的同时向下施加压力；轴承座,结合到辊构件的两个端部以允许辊构件的旋转；以及框架,结合到轴承座以支撑辊构件和轴承座,其中,轴承座包括：结合部,连接到轴；芯部,在竖直方向上从结合部延伸；第一线圈,完全围绕芯部的侧面；以及第二线圈,完全围绕芯部的侧面并且设置在第一线圈上以与第一线圈分隔开。(An embossing nip roller assembly is provided. The embossing roller device includes: a roller member that applies pressure downward while rotating about a shaft; bearing housings coupled to both ends of the roller member to allow rotation of the roller member; and a frame coupled to the bearing housing to support the roller member and the bearing housing, wherein the bearing housing includes: a coupling portion connected to the shaft; a core extending from the coupling portion in a vertical direction; a first coil completely surrounding a side of the core; and a second coil completely surrounding a side surface of the core and disposed on the first coil to be spaced apart from the first coil.)

压印压辊装置

于2018年6月11日在韩国知识产权局提交且名称为“压印压辊装置”的第10-2018-0066807号韩国专利申请通过引用全部包含于此。

技术领域

实施例涉及一种压印压辊装置。

背景技术

纳米压印光刻已经被看作一种用于以低成本形成具有各种尺寸和功能的纳米图案/纳米结构的技术。纳米压印技术可如同印模一样来使用以使用精细的精密模具来简单且成本有效地印刷纳米级图案。

发明内容

实施例旨在提供一种压印压辊装置，所述压印压辊装置包括：辊构件，具有轴，辊构件用于在旋转的同时向下施加压力，轴的相对端部结合到相应的轴承座；以及框架，结合到相应的轴承座以支撑辊构件和轴承座。轴承座可包括连接到轴的结合部、在竖直方向上从结合部延伸的芯部、完全围绕芯部的侧面的第一线圈以及完全围绕芯部的侧面并且设置在第一线圈上的第二线圈，第二线圈与第一线圈分隔开。

实施例也旨在提供一种压印压辊装置，所述压印压辊装置包括：卡盘，用于将基底安装在其上；辊构件，具有轴，轴的相对端部结合到相应的轴承座，辊构件用于在沿第一方向移动的同时旋转并且按压基底上的压印层和模具，辊构件在垂直于第一方向的第二方向上延伸；以及框架，结合到相应的轴承座以支撑辊构件和轴承座，并且移动辊构件。轴承座中的每个可包括连接到轴的结合部、沿竖直方向从结合部延伸的芯部、完全围绕芯部的侧面并且彼此分隔开的第一线圈和第二线圈。

实施例也旨在提供一种压印压辊装置，所述压印压辊装置包括：卡盘，其上安装有基底；辊构件，具有轴，辊构件用于在沿第一方向移动的同时按压基底上的压印层和模具，辊构件在垂直于第一方向的第二方向上延伸；轴承部件，与辊构件的相对端部结合以允许辊构件的旋转；以及框架部件，结合到轴承部件以限制辊构件的水平移动同时不限制辊构件的竖直移动。

附图说明

通过参照附图描述示例实施例，特征对于本领域技术人员来说将变得明显，在附图中：

图1示出根据示例实施例的压印压辊装置的侧视图；

图2示出形成在基底上的条纹缺陷的平面图；

图3示出用于解释根据示例实施例的压印压辊装置的透视图；

图4示出沿图3的线A-A'截取的局部剖面透视图；

图5示出用于解释图3的轴承座的放大透视图；

图6示出用于解释图3的轴承座的操作的剖视图；

图7示出用于解释图3的轴承座的操作的剖视图；

图8示出用于解释根据示例实施例的压印压辊装置的透视图；

图9示出用于解释根据示例实施例的压印压辊装置的透视图；

图10示出用于解释图9的轴承座的操作的剖视图；

图11示出用于解释图9的轴承座的操作的剖视图；

图12示出根据示例实施例的压印压辊装置的透视图；

图13示出用于解释图12的压印压辊装置的侧视图；

图14示出用于解释图12的压印压辊装置的放大透视图；

图15示出用于解释图12的压印压辊装置的放大透视图；

图16示出用于解释图15的结合轮和结合板的侧视图；

图17示出根据示例实施例的压印压辊装置的侧视图；以及

图18示出根据示例实施例的压印压辊装置的侧视图。

具体实施方式

现在将参照图1至图7来描述根据示例实施例的压印压辊装置。

图1是根据示例实施例的压印压辊装置的侧视图。

参照图1，根据本示例实施例的压印压辊装置包括卡盘10、辊构件100、轴承座200和框架300。

卡盘10可以是其上可安装诸如基底20的物体的支撑结构。卡盘10可具有足够宽的上表面以支撑卡盘10的上表面上的基底20。卡盘10的上表面可以是平坦的，使得安装在卡盘10的上表面上的基底20等不会倾斜。

各种图案可形成在基底20的上表面上。基底20可以是例如玻璃基底、硅基底或塑料膜。基底20可以是柔性基底。

压印层30可设置在基底20上。压印层30可以是通过压印在基底20上形成图案的部分。压印层30可包括例如抗蚀剂层。

抗蚀剂层可包括例如热塑性聚合物。当被加热至预定温度或更高时，热塑性聚合物可以被可塑性地变形。例如，当热塑性聚合物被加热至玻璃化转变温度或更高时，它可以从硬态改变成软态。此时，如果将压力施加到处于软态的热塑性聚合物，则会发生塑性变形。

热塑性聚合物可包括例如聚苯乙烯(PS)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。形成压印层30的热塑性材料可由各种其它材料形成。

在实施方式中，抗蚀剂层可包括光固化树脂。光固化树脂可在用诸如紫外光的光照射时固化。例如，光固化树脂可在通过模具40形成图案之后通过光来固化。

压印层30可形成为具有大的面积。例如，压印层30可具有12英寸或更大的对角线尺寸。

模具40可设置在压印层30上。模具40可具有平板形状，模具图案可形成在模具40的下表面上。模具40可包括例如硅、SUS(不锈钢)、石英等。

模具图案可包括例如具有诸如条纹形状的周期性形状的不均匀图案或各种其它形状的图案。

压印层30可在被模具40按压之后使用热或光来固化。纳米图案可存在于模具40上并且可转印到压印层30。因此，纳米图案可形成在压印层30上。

第一方向X和第二方向Y可以是彼此相交的方向。第一方向X和第二方向Y可以是例如彼此正交的方向。第一方向X和第二方向Y可以是水平方向之中的彼此正交的方向。第三方向Z可以是与第一方向X和第二方向Y两者都相交的方向。例如，第三方向Z可以是与第一方向X和第二方向Y两者都正交的方向。第三方向Z可以是竖直方向。

辊构件100可以在第二方向Y上延伸。辊构件100可以成形为如同在第二方向Y上延伸的圆柱体。辊构件100可在一个方向(例如，前进方向a)上移动，同时关于在第二方向Y上延伸的轴旋转。辊构件100可以在旋转方向b上关于轴旋转的同时移动。前进方向a和旋转方向b可根据辊构件100的移动而反向。

辊构件100可在沿前进方向a移动的同时使设置在辊构件100下方的模具40压靠压印层30。在此按压工艺中，位于模具40上的纳米图案可形成在压印层30上。

轴承座200可结合到辊构件100。轴承座200可结合到辊构件100的在第二方向Y上的两个端部。可使用成对的两个相同的轴承座200。

轴承座200可确定辊构件100的位置并且允许辊构件100在前进方向a上移动的同时在旋转方向b上自由地旋转。轴承座200可仅连接到辊构件100的轴并且可与辊构件100的直接按压模具40的辊部分离。

框架300可结合到轴承座200。框架300可设置在轴承座200和辊构件100上方以控制辊构件100的位置。当框架300移动时，连接到框架300的轴承座200和辊构件100也可同时移动，当框架300在前进方向a上移动时，辊构件100也可在前进方向a上移动同时在旋转方向b上旋转。

框架300可如同辊构件100一样在第二方向Y上延伸，并且可结合到两个轴承座200两者。因此，框架300、两个轴承座200和辊构件100可彼此固定。

引导件50可支撑框架300。引导件50可限定框架300移动所沿的路径。引导件50可支撑框架300同时允许框架300移动，并且可以是滑块、轨道或各种形状的形式。

图2是示出形成在基底20上的条纹缺陷的平面图。

参照图1和图2，当辊构件100连接到框架300和轴承座200时，它可仅用自身的重量来按压模具40。辊构件100的自身重量可用于将均匀的压力施加到模具40的上表面。如在这里详细描述的，轴承座200可不在第三方向Z上接触辊构件100，第三方向Z可以是由重力引起的力的方向。

辊构件100可在前进方向a上移动，当框架300和轴承座200在前进方向a上移动时，可在水平方向(即，前进方向a)上存在接触。

如果辊构件100在用于转印纳米尺寸图案的压印工艺期间在第一方向X上摇晃，则会在基底20的压印层30中出现缺陷。例如，细微的空隙会被引入到压印层30以形成完全条纹缺陷21或局部条纹缺陷22。参照图2，完全条纹缺陷21可以是在第二方向Y上延伸的条纹缺陷并且完全地形成在基底20的第二方向Y上，局部条纹缺陷22可以是仅在第二方向Y上部分地延伸的条纹缺陷。如果在纳米图案的实际期望的位置和形状被摇晃的情况下在压印层30上形成诸如完全条纹缺陷21和局部条纹缺陷22的条纹缺陷，则随后将形成在基底20上的图案的位置和形状也会与期望的位置和形状不同，这会对形成在基底20上的元件的性能和可靠性不利。

图3是用于解释根据示例实施例的压印压辊装置的透视图。图4是沿图3的线A-A'截取的局部剖面透视图。图5是用于解释图3的轴承座的放大透视图。

参照图3至图5，辊构件100可关于轴110旋转。轴110可直接连接到轴承座200。轴承座200可在第三方向Z上连接框架300和辊构件100。

每个轴承座200可包括壳体(图6中的全体的210、211、212和213)、结合部240、芯部250、第一线圈220和第二线圈230。

壳体(210、211、212和213)可包括外壁210、第一突起211、第二突起212和第三突起213。外壁210可围绕芯部250、第一线圈220和第二线圈230。外壁210可以是直接连接到框架300的部分。外壁210可结合并固定到框架300的下表面。

外壁210可保护芯部250、第一线圈220和第二线圈230。在另一实施方式中，芯部250、第一线圈220和第二线圈230可被暴露而不被外壁210覆盖。

第一突起211可从外壁210向内突出。第一突起211可覆盖第一线圈220的上表面的至少一部分。第一突起211可包括芯部250可穿过其中的通孔。通孔的直径可大于芯部250的主体251的直径并且可小于芯部250的头部252的直径。当辊构件100不与下方的表面接触时，芯部250的头部252可由第一突起211的上表面来支撑，使得框架300和轴承座200保持彼此结合。

第二突起212可从外壁210内向突出。第二突起212可位于第一突起211下方。第二突起212可覆盖第一线圈220的下表面的至少一部分和第二线圈230的上表面的至少一部分。第一线圈220可位于第一突起211与第二突起212之间。

第二突起212可包括芯部250可穿过其中的通孔。在第一线圈220下方的第二突起212可支撑第一线圈220。

第三突起213可从外壁210向内突出。第三突起213可位于第一突起211和第二突起212下方。第三突起213可覆盖第二线圈230的下表面的至少一部分。第二线圈230可位于第二突起212与第三突起213之间。

第三突起213可包括芯部250可穿过其中的通孔。在第二线圈230下方的第三突起213可支撑第二线圈230。

结合部240可直接连接到轴110。结合部240可形成芯部250的下端部。轴110可在第二方向Y上延伸，芯部250可在第三方向Z上延伸，轴110和芯部250可在结合部240中彼此连接。

芯部250可在第三方向Z上从结合部240延伸。芯部250可完全或部分地由受磁场影响的材料(例如，磁性材料等)形成，所述磁场由第一线圈220和第二线圈230产生。因此，可通过流过第一线圈220和第二线圈230的电流将磁力施加到芯部250。

芯部250可包括主体251和头部252。芯部250的主体251可以是被第一线圈220和第二线圈230围绕的部分。主体251可在第三方向Z上从结合部240延伸。主体251可穿过由第一突起211、第二突起212和第三突起213限定的通孔。

头部252可形成在芯部250的端部处。头部252可在第三方向Z上连接到主体251。芯部250的主体251可位于芯部250的头部252与结合部240之间。

头部252可在水平面上具有比主体251大的剖面面积。因此，头部252会不能穿过由第一突起211限定的通孔。头部252可设置在第一突起211上。

第一线圈220可完全围绕芯部250的主体251的侧面。第一线圈220可通过在第三方向Z上卷绕导线而形成。第一线圈220可围绕主体251的所有侧面。第一线圈220可被外壁210覆盖并且由第二突起212支撑。

第二线圈230可完全围绕芯部250的主体251的侧面。如同第一线圈220一样，第二线圈230可通过在第三方向Z上卷绕导线而形成。第二线圈230可围绕主体251的所有侧面。第二线圈230可位于第一线圈220下面。第二线圈230可在第三方向Z上与第一线圈220分隔开。第二突起212可位于第一线圈220与第二线圈230之间。第二线圈230可被外壁210覆盖并且由第三突起213支撑。

图6和图7是示出由第一线圈220和第二线圈230产生的竖直力和横向力的剖视图。

图6是用于解释图3的轴承座200的操作的剖视图。

参照图6，第一电流I1可流过第一线圈220。如图6中所示，第一电流I1的方向可在第一线圈220的外表面周围是向下方向。主体251可由与磁场相互作用的材料形成，所述磁场由在第一线圈220中流动的第一电流I1产生，使得在位于第一线圈220内部的主体251中产生第一磁力m1。

第二电流I2可流过第二线圈230。如图6中所示，第二电流I2的方向可在第二线圈230的外表面周围是向上方向。主体251可由与磁场相互作用的材料形成，所述磁场由在第二线圈230中流动的第二电流I2产生，使得在位于第二线圈230内部的主体251中产生第二磁力m2。

在示例实施例中，第一磁力m1的幅值和第二磁力m2的幅值可彼此相等，第一磁力m1的方向和第二磁力m2的方向可彼此相反。因此，由第一线圈220和第二线圈230的操作形成的磁力m1和m2的例如在第三方向Z上的总和可以是零，使得芯部250不接收第三方向Z上(例如，在重力的方向上)的净附加力。因此，辊构件100可不从轴承座200接收第三方向Z上的净力，并且可在压印工艺期间仅用其自身的重量来按压模具40。

图7是用于解释图3的轴承座200的操作的剖视图。

参照图6和图7，在第一线圈220中流动的第一电流I1可在主体251的方向上形成作用在主体251上的外力f。外力f可均匀地施加到主体251的所有侧面。主体251可在第一线圈220内通过由于在第一线圈220中流动的第一电流I1而作用在主体251上的外力f来固定在横向方向(例如，X方向)上。

相似地，在第二线圈230中流动的第二电流可在芯部250的主体251的方向上形成外力f，外力f可均匀地施加到主体251的所有侧面，使得主体251可由于在第二线圈230中流动的第二电流I2而固定在横向方向(例如，X方向)上。

如图6中所示，第一线圈220和第二线圈230可在第三方向Z上将力施加到主体251，并且当抵消这些力时，在Z方向上施加到芯部250的主体251的净力可以是零。

由磁场产生的外力f可以以非接触方式施加到主体251。参照图7，第一线圈220和芯部250的主体251可因第一间隙225而彼此不接触，第二线圈230和芯部250的主体251可因第二间隙235而彼此不接触。

根据本示例实施例的压印压辊装置可帮助减少或消除辊构件100的在水平方向上的摇晃，同时不将辊构件100固定在竖直方向上，使得辊构件100仅用其自身的重量来按压模具40。分别由第一线圈220和第二线圈230产生的第一磁力m1和第二磁力m2可在竖直方向上是净相反的，辊构件100可不固定在竖直方向上，然而每个轴承座200的芯部250可通过由第一线圈220和第二线圈230产生的外力f而固定在水平方向上，因此使辊构件100固定在水平方向上。

根据本示例实施例的压印压辊装置可例如通过减少或防止图2的完全条纹缺陷21或局部条纹缺陷22的形成来改善压印工艺的可靠性。

现在将参照图1、图7和图8来描述根据示例实施例的压印压辊装置。将简略给出或省略与上述的实施例的元件和特征相同的元件和特征的冗余描述。

图8是用于解释根据示例实施例的压印压辊装置的透视图。

参照图1、图7和图8，根据实施例的压印压辊装置的每个轴承座200可包括三个线圈。

例如，每个轴承座200可包括第一线圈220、第二线圈230和第三线圈260。

第三线圈260可位于第一线圈220与第二线圈230之间。第三线圈260可完全围绕芯部250的主体251的侧面。第三线圈260可通过在第三方向Z上卷绕导线来形成。第三线圈260可围绕主体251的所有侧面。

第三电流可流过第三线圈260。第三电流可具有与图6的第一电流I1相同的方向或可具有与图6的第二电流I2相同的方向。当第三线圈260的第三电流形成在与第一电流I1相同的方向上时，通过第三线圈260形成在第三方向Z上的第三磁力可作用在向上方向上，如同第一磁力m1一样。相反地，当第三线圈260的第三电流形成在与第二电流I2相同的方向上时，通过第三线圈260形成在第三方向Z上的第三磁力可作用在向下方向上，如同第二磁力m2一样。

在实施方式中，第三磁力可在与第一磁力m1相同的方向上，第一磁力m1的幅值和第三磁力的幅值的总和可与第二磁力m2的幅值相同，而第一磁力m1和第三磁力的方向可与第二磁力m2的方向相反，使得第一磁力m1和第三磁力抵消第二磁力m2。因此，在竖直方向上最终的合力可是零。

在另一实施方式中，第三磁力可在与第二磁力m2相同的方向上，第二磁力m2的幅值和第三磁力的幅值的总和可与第一磁力m1的幅值相同，而第二磁力m2和第三磁力的方向可与第一磁力m1的方向相反，使得第二磁力m2和第三磁力抵消第一磁力m1。因此，在竖直方向上最终的合力可是零。

因此，第三线圈可不在第一竖直方向上施加净外力，辊构件100可仅用其自身的重量来按压模具40。此外，芯部250可通过第一线圈220、第二线圈230和第三线圈260来固定，这可帮助减少或防止因摇晃而导致的条纹缺陷。

在其它实施方式中，线圈的数量可以是例如四个或更多个，可调整电流的幅值、线圈的密度等使得外力在竖直方向上是零。

现在将参照图9至图11来描述根据示例实施例的压印压辊装置。将简略给出或省略与上述的实施例的元件和特征相同的元件和特征的冗余描述。

图9是用于解释根据示例实施例的压印压辊装置的透视图。图10是用于解释图9的轴承座200的操作的剖视图。图11是用于解释图9的轴承座200的操作的剖视图。

参照图9至图11，根据本示例实施例的压印压辊装置可包括传感器180和控制器190。

传感器180可感测通过辊构件100施加到模具40的压力。例如，传感器180可检测施加到位于辊构件100的两个端部处的两个轴承座200的位置的第一合力C1和第二合力C2不相同的情况。

这里，第一合力C1和第二合力C2中的每个可表示通过将因辊构件100的自身重量而导致的力与因其它因素而导致的力组合而获得的力。

控制器190可从传感器180接收由传感器180感测的压力信息。控制器190可将电流施加到位于辊构件100的两个端部处的两个轴承座200，使得第一合力C1和第二合力C2变得相等。

例如，参照图9和图10，控制器190可将第一电流I1施加到第一线圈220并且将第2-1电流I2'施加到第二线圈230。第2-1电流I2'可与第一电流I1在相同方向上，由第一线圈220和第二线圈230产生的磁力可在相同方向上。因此，可结合两个磁力以在向上方向上形成第一竖直磁力Cf1，如图10中所示。

相反地，参照图9和图11，控制器190可将第1-1电流I1'施加到第一线圈220并且将第二电流I2施加到第二线圈230。第1-1电流I1'可与第二电流I2在相同方向上，由第一线圈220和第二线圈230产生的磁力可在相同方向上。因此，可结合两个磁力以在向下方向上形成第二竖直磁力Cf2。

压印压辊装置可沿第二方向Y保持均匀的压力。致使压力不均匀的在辊构件100下方的压力的变化会由于例如辊构件100的非均匀厚度、卡盘10的倾斜上表面等的各种原因而出现。

根据本示例实施例的压印压辊装置可使用传感器180来感测辊构件100下方的压力并且使用控制器190来校正压力。例如，控制器190可调整施加到位于辊构件100的两个端部处的轴承座200的线圈的电流的方向和幅值，使得第一合力C1和第二合力C2变得彼此相等。

控制器190可选择性地使用如图10中所示的作用在向上方向上的第一竖直磁力Cf1或者如图11中所示的作用在向下方向上的第二竖直磁力Cf2。另外，控制器190可通过调整电流的幅值来精细地调整第一竖直磁力Cf1的幅值和第二竖直磁力Cf2的幅值。

因此，根据本示例实施例的压印压辊装置可通过随后的控制器的校正将均匀的压力施加到辊构件100下方，这可改善压印工艺的可靠性。

现在将参照图12至图16来描述根据示例实施例的压印压辊装置。将简略给出或省略与上述的实施例的元件和特征相同的元件和特征的冗余描述。

图12是根据示例实施例的压印压辊装置的透视图。图13是用于解释图12的压印压辊装置的侧视图。图14是用于解释图12的压印压辊装置的放大透视图。图15是用于解释图12的压印压辊装置的放大透视图。图16是用于解释图15的结合轮430和结合板520的侧视图。

参照图12至图16，根据本示例实施例的压印压辊装置可包括辊构件100、钩单元500和轴承部件400。

辊构件100可在第二方向上延伸。辊构件100和轴承部件400可安装在钩单元500上。钩单元500的上端部可连接到图1的框架300。因此，当框架300移动时，钩单元500也可移动。

每个钩单元500可包括第一支撑臂501和第二支撑臂502。第一支撑臂501可以是直接连接到图1的框架300的部分。第一支撑臂501可在第三方向Z上延伸。在实施方式中，压印压辊装置也可包括在不与第三方向Z完全平行的方向上延伸的第一支撑臂501。第二支撑臂502可在水平方向上(即，在第一方向X上)从第一支撑臂501延伸。第二支撑臂502延伸所沿的方向也可不与第一方向X完全平行。

第一支撑臂501可包括凹部530。凹部530可以是每个轴承部件400的凸部与其啮合的部分。当辊构件100不位于模具40上时，每个轴承部件400可安装在凹部530上。因此，凹部530可支撑辊构件100。当辊构件100设置在模具40上时，凹部530可不接触每个轴承部件400。

第二支撑臂502可包括结合板520。结合板520可结合到每个轴承部件400的结合轮430。

在实施方式中，结合板520或结合轮430可以是磁体，结合板520和结合轮430可以彼此磁性吸引。

每个轴承部件400可包括凸部410、延伸部420和结合轮430。凸部410可直接连接到轴110。凸部410可以是安装在第二支撑臂502的凹部530上的部分。

当辊构件100设置在模具40上时，凸部410可不接触凹部530。例如，参照图13，凹部530和凸部410可通过包括间隙段511和512的第三间隙510彼此分离。凹部530和凸部410可通过竖直间隙段511彼此竖直地分隔开，辊构件100可在用其自身的重量按压模具40时用均匀的压力来按压模具40。

延伸部420可从凸部410朝向第一支撑臂501延伸。延伸部420可在水平方向上(即，在第一方向X上)延伸，将放置结合轮430的凹槽可形成在延伸部420的端部处。

结合轮430可通过结合销440固定到延伸部420。结合轮430可关于结合销440自由地可旋转。同样地，当结合轮430结合并且固定到结合板520时，每个轴承部件400(即，延伸部420和凸部410)可关于结合销440可旋转。考虑到辊构件100的移动范围，每个轴承部件400可局限于水平方向上的移动同时允许在竖直方向上移动。

在实施方式中，结合轮430和结合板520中的至少一个可以是磁体，结合轮430和结合板520可互相磁性吸引。

水平间隙段512可通过延伸部420和结合轮430而保持在凹部530与凸部410之间，使得凹部530和凸部410在水平方向上彼此不接触。

参照图16，当在第二方向Y上从侧面观看时，结合轮430可具有圆形轮廓。结合到结合轮430的结合板520可具有凹表面。

结合板520的凹表面可设计成构成结合轮430与结合板520之间的点接触。因此，结合板520和结合轮430可每次在不同的点彼此接触，结合板520的表面可制成为具有凹曲度，使得结合板520和结合轮430在每当它们彼此结合时在相同的位置处进行彼此点接触。

根据本示例实施例的压印压辊装置可保持辊构件100不在竖直方向上与钩单元500接触，使得辊构件100可仅用其自身的重量来施加压力。此时，根据本示例实施例的压印压辊装置可通过使用磁体在水平方向上结合结合轮430和结合板520来防止当在图1的前进方向a上移动时在水平方向上的摇晃。

另外，在根据本示例实施例的压印压辊装置中，结合轮430可通过结合销440固定到延伸部420同时可自由地旋转，在竖直方向上可不将力施加到辊构件100。

现在将参照图17来描述根据示例实施例的压印压辊装置。将简略给出或省略与上述的实施例的元件和特征相同的元件和特征的冗余描述。

图17是根据示例实施例的压印压辊装置的侧视图。

参照图17，在根据本示例实施例的压印压辊装置中，结合板520可具有平坦表面。

当结合板520的表面是平坦的时，辊构件100和第一支撑臂501之间的距离可不根据与结合轮430的接触位置而改变。因此，辊构件100的水平位置可以总是相同的。这可使得压印工艺的散布均匀，使得可在每个工艺中制造相同的元件并且可改善工艺的可靠性。

现在将参照图18来描述根据示例实施例的压印压辊装置。将简略给出或省略与上述的实施例的元件和特征相同的元件和特征的冗余描述。

图18是根据示例实施例的压印压辊装置的侧视图。

参照图18，在根据本示例实施例的压印压辊装置中，结合板520的表面可以是与结合轮430的弯曲表面完全对应的凹的弯曲表面。

当结合板520的表面是与结合轮430的弯曲表面完全对应的凹的弯曲表面时，结合轮430和结合板520可使彼此表面接触而不点接触。因此，结合轮430和结合板520的结合表面可总是在相同位置处。

当在每个工艺中结合点总是相同时，每个轴承部件400的竖直位置和水平位置可总是保持相同。这可使得压印工艺的散布均匀，使得可在每个工艺中制造相同的元件并且可改善工艺的可靠性。

通过总结和回顾，可使用纳米压印光刻以将压印树脂施加到其上将形成图案的层上，随后通过用以期望的图案设计的印模按压并压印压印树脂以及通过干法蚀刻或湿法蚀刻来使预定的层图案化。

为了执行压印，压辊可放置在印模(例如，模具)上，并且在一个方向上移动以形成图案。如果压辊用非均匀的压力来按压基底的上表面，则形成在基底的上表面上的图案也可以是非均匀的。

如上所述，实施例可提供用均匀的压力来执行压印工艺的压印压辊装置。

这里已经公开了示例实施例，虽然采用了特定的术语，但是它们仅以一般性的和说明性的含义来使用和解释并且不出于限制的目的。在某些情况下，除非另外特别指示，否则如到提交本申请为止对本领域普通技术人员来说将明显的是，结合具体实施例描述的特征、特性和/或元件可以单独使用或者与结合其它实施例描述的特征、特性和/或元件来组合使用。因此，本领域技术人员将理解的是，在不脱离在权利要求中所阐述的本发明的精神和范围的情况下，可作出形式上和细节上的各种改变。