有保护层的GaN基HEMT器件源漏电极及制备方法
阅读说明：本技术 有保护层的GaN基HEMT器件源漏电极及制备方法 (GaN-based HEMT device source-drain electrode with protective layer and preparation method thereof ) 是由 王洪 周泉斌 高升 李先辉 于 2019-08-13 设计创作，主要内容包括：本发明公开了有保护层的GaN基HEMT器件源漏电极及制备方法,所述源漏电极为Ti/Al/Ni/Au/X五层金属叠层结构,Ti/Al/Ni/Au/X五层金属叠层结构为在GaN基HEMT器件的外延层上从下到上依次排布的Ti、Al、Ni、Au和X金属层,其中X为TiN、Ti、W或TiW中的一种以上。该制备方法无需额外的光刻步骤,利用磁控溅射中沉积的金属X在剥离后会向两边扩散0.5μm～1μm,从而能够实现将下方的Ti/Al/Ni/Au完全包裹住,改善了退火后金属的形貌,提高了器件击穿电压。(The invention discloses a source drain electrode of a GaN-based HEMT device with a protective layer and a preparation method thereof, wherein the source drain electrode is of a Ti/Al/Ni/Au/X five-layer metal laminated structure, the Ti/Al/Ni/Au/X five-layer metal laminated structure is a Ti, Al, Ni, Au and X metal layer which are sequentially arranged on an epitaxial layer of the GaN-based HEMT device from bottom to top, and X is more than one of TiN, Ti, W or TiW. The preparation method does not need an additional photoetching step, and the metal X deposited in the magnetron sputtering can diffuse 0.5-1 mu m towards two sides after being stripped, so that the lower Ti/Al/Ni/Au can be completely wrapped, the appearance of the annealed metal is improved, and the breakdown voltage of the device is increased.)
技术领域
本发明涉及半导体领域AlGaN/GaN HEMT器件，特别涉及有保护层的GaN基HEMT器件源漏电极及制备方法。
背景技术
GaN材料因具有高电子迁移率、低导通电阻、优异的散热能力以及高击穿等特性，广泛应用于雷达、铁路交通和航空航天等高功率需求的场合。然而目前制备出的芯片的可靠性有待进一步提高，其中尤为显著的是目前传统的有金欧姆金属叠层结构（Ti/Al/Ni/Au）普遍需要在高温退火下才能获得比较好的欧姆接触，而高温退火后形成的欧姆电极表面的粗糙度以及边缘的齐整度不够理想，有待进一步改进；
粗糙的欧姆金属边缘容易引入电场峰值，使得器件在该区域提前击穿，大大降低了器件的可靠性与实用性；
近年来，有研究者致力于实现低温欧姆接触，通常采用刻蚀欧姆区域下方的部分或者全部的势垒层来实现低温退火的目的，通过该工艺在低温退火后（如600°C）获得了较为平整的欧姆合金，且比接触系数也达到了与有金欧姆工艺同等的数量级，但是该工艺中刻蚀深度的稳定性以及可重复性较差，对于实际应用来说，还有待优化；部分研究者为了进一步减小接触电阻，在将欧姆区域的势垒层全部移除后再生长n-GaN，一定程度减小了接触电阻；也有研究者采用复合金属（如Ti/Al/Ti/Al/Ti/ Al等多层金属）结构来改善高温退火后的形貌，虽取得了一定的积极效果，但增加了器件的制备成本以及工艺难度。总上所述，从GaN器件可靠性以及使用推广的角度来说，在保证欧姆接触性能的前提下，尽量减小金属体系的层数、退火温度以及工艺复杂度是人们努力的方向。
发明内容
为了解决现有技术中存在的问题和不足，本发明采用Ti/Al/Ni/Au/X五层金属结构，改善高温退火后合金形貌的平整度，达到提高器件的击穿特性与稳定性的目的。不需要额外的光刻步骤便可实现所述的五层金属结构的沉积。
Ti/Al/Ni/Au结构采用电子束蒸发设备沉积，第五层金属X采用磁控溅射沉积；采用磁控溅射沉积的第五层金属X在剥离后会向两边扩散，因此能够实现将下方的Ti/Al/Ni/Au完全包裹住，而整个五层金属叠层的边缘仅存在金属X，在高温退火后，边缘的金属X形貌较为平整，且Ti/Al/Ni/Au/X层退火后形貌较Ti/Al/Ni/Au有明显的改善。
本发明的目的至少通过如下技术方案之一实现的。
本发明提供了一种有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极，所述源漏电极为Ti/Al/Ni/Au/X 五层金属叠层结构，Ti/Al/Ni/Au/X 五层金属叠层结构为在GaN基HEMT器件的外延层上从下到上依次排布的Ti、Al、Ni、Au和X金属层，其中X为TiN、Ti、W或TiW中的一种以上。
优选地，X金属层的厚度大于Ti、Al、Ni和Au四层金属层厚度的和。
优选地，X金属层在Au金属层的上表面由所述上表面的边缘处向两侧各延伸出0.5μm - 1 μm，然后沿着Ti、Al、Ni和Au四层金属层的侧壁向GaN基HEMT器件的外延层延伸至所述外延层的上表面，即X金属层完全包裹Ti、Al、Ni和Au四层金属层。其中Ti的厚度为10 nm– 20 nm, Al的厚度为60 nm -150 nm, Ni的厚度为10 nm – 20 nm，Au的厚度为80 nm –120 nm，X金属的厚度为200 nm – 400 nm。
本发明还提供了制备所述有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极的方法，包括以下步骤：
（1）利用光刻技术，在GaN基HEMT器件的外延层表面制备出源漏电极接触窗口；
（2）在制备源漏电极前，利用等离子清洗工艺以及酸碱溶液预处理源漏电极接触窗口表面；
（3）在源漏电极接触窗口依次沉积Ti金属层、Al金属层、Ni金属层、Au金属层以及X金属层；
（4）金属去胶剥离后，进行整体合金退火处理。
优选地，步骤（2）中源漏电极制备前的预处理包括在光刻完成后，利用等离子清洗设备对步骤（1）处理后的GaN基HEMT器件的外延层进行预打胶，浸泡酸碱溶液后再进行等离子清洗打胶处理，其中等离子清洗打胶步骤通入的气体为氧气或者氩气。
优选地，步骤（3）中Ti金属层、Al金属层、Ni金属层和Au金属层由电子束EB沉积形成，X金属层由磁控溅射沉积形成。
优选地，X金属层的沉积采用直流溅射的方式，功率为200 - 300W，气压为3 -6mTorr，本体真空度低于3E-6 Torr。
优选地，退火的设备为快速退火炉或者炉管。
优选地，所述退火处理为在氮气气氛或真空中进行合金退火，退火温度为800 -900°C，退火时间为30 - 90 s，退火的升温速率为7 - 15°C/s。
本发明提供的欧姆接触的金属体系采用Ti/Al/Ni/Au/X五层欧姆接触金属技术，其中前四层金属Ti/Al/Ni/Au采用电子束蒸发方式形成，第五层金属X采用磁控溅射方式形成，在欧姆区域与AlGaN/GaN外延直接接触的是第一层金属Ti层；特别地，在Ti/Al/Ni/Au/X五层欧姆接触金属的两边边缘各0.5 μm～1 μm处，与AlGaN/GaN外延直接接触的是第五层金属X层。区别于传统的Ti/Al/Ni/Au金属体系，本发明中参与高温退火的金属多了金属X，一方面由于磁控溅射沉积的金属X在剥离后会向两边扩散，因此能够实现将下方的Ti/Al/Ni/Au完全包裹住，从而有效避免了金属Al在高温下融化从侧壁扩散到金属叠层表面，造成退火后整个叠层金属表面变得粗糙；另一方面，剥离后向两边扩散的第五层金属X有一部分直接与AlGaN势垒层接触，该部分单层金属X在退火后其形貌基本没有恶化；与传统的Ti/Al/Ni/Au欧姆结构相比，在相同欧姆电极长度下，Ti/Al/Ni/Au/X五层欧姆接触金属结构制备的器件获得了更大的击穿电压。
和现有技术相比，本发明具有以下技术效果和优点：
本发明提供的具有保护层的GaN基HEMT器件源漏电极采用Ti/Al/Ni/Au/X五层欧姆接触金属结构，无需额外的光刻步骤，利用磁控溅射中沉积的金属X在剥离后会向两边扩散0.5 μm～1 μm，从而能够实现将下方的Ti/Al/Ni/Au完全包裹住，改善了退火后金属的形貌，提高了器件击穿电压。
附图说明
图1为实施例1和2在制备源漏接触电极前GaN基 HEMT器件的外延层的示意图；
图2为实施例1和2在GaN基 HEMT器件的外延层上沉积的Ti/Al/Ni/Au金属层的示意图；
图3为实施例1和2在Ti/Al/Ni/Au的基础上通过磁控溅射沉积X金属层后的示意图；
图4为实施例1提供的有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极制备的器件与传统的金属结构Ti/Al/Ni/Au制备的器件的击穿电压的比较图。
图中，1-GaN基 HEMT器件的外延层；2-Ti金属层；3-Al金属层；4-Ni金属层；5-Au金属层；6-X金属层。
具体实施方式
下面结合实施例，对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施方式不限于此。
实施例1
本实施例提供了一种有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极，所述源漏电极为Ti/Al/Ni/Au/X 五层金属叠层结构，如图2和图3所示，Ti/Al/Ni/Au/X 五层金属叠层结构为在GaN基HEMT器件的外延层1上从下到上依次排布的Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5和X金属层6，其中X为Ti。X金属层6的厚度大于Ti、Al、Ni和Au四层金属层厚度的和。所述Ti金属层2的厚度为10 nm；所述Al金属层3的厚度为100 nm；所述Ni金属层4的厚度为10 nm；所述Au金属层5的厚度为80 nm；X金属层6的厚度为300 nm。
X金属层6在Au金属层5的上表面由所述上表面的边缘处向两侧各延伸出0.9 μm，然后沿着Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5的侧壁向GaN基HEMT器件的外延层1延伸至所述外延层1的上表面，即X金属层6完全包裹Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5。
本实施例还提供了所述有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极的制备方法，包括以下步骤：
（1）利用光刻技术，如图1所示，在GaN基HEMT器件的外延层1表面制备出源漏电极接触窗口；
（2）在制备源漏电极前，利用等离子清洗工艺以及酸碱溶液预处理源漏电极接触窗口表面；
（3）采用电子束EB沉积方法在源漏电极接触窗口依次沉积Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5；采用磁控溅射的方法在源漏区域沉积X金属层6，X金属层6的沉积采用直流溅射的方式，功率为250W，气压为6mTorr，本体真空度为2.5E-6 Torr；
（4）金属去胶剥离后，进行整体合金退火处理，在快速退火炉（RTP）中进行合金退火处理，所述的退火温度为830°，所述的退火气体氛围为氮气，所述的退火时间为1 min，所述的退火升温速率为10°C/s。
图4为由本实施例的有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极（Ti/Al/Ni/Au/X）与传统Ti/Al/Ni/Au结构漏电极分别制备的器件的击穿电压的比较图，图中虚线指的是传统结构Ti/Al/Ni/Au制备的器件的击穿曲线，实线指的是本实施例的有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极（Ti/Al/Ni/Au/X）制备的器件的击穿曲线。从图4可知本实施例的有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极（Ti/Al/Ni/Au/X）制备的器件相比于传统Ti/Al/Ni/Au结构制备的器件，在击穿电压上提高了42.7%，从686 V提高到了979 V。
实施例2
本实施例提供了一种有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极，所述源漏电极为Ti/Al/Ni/Au/X 五层金属叠层结构，如图2和图3所示，Ti/Al/Ni/Au/X 五层金属叠层结构为在GaN基HEMT器件的外延层1上从下到上依次排布的Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5和X金属层6，其中X为TiN。X金属层6的厚度大于Ti、Al、Ni和Au四层金属层厚度的和。所述Ti金属层2的厚度为20 nm；所述Al金属层3的厚度为80 nm；所述Ni金属层4的厚度为20 nm；所述Au金属层5的厚度为100 nm；X金属层6的厚度为300 nm。
X金属层6在Au金属层5的上表面由所述上表面的边缘处向两侧各延伸出0.7μm，然后沿着Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5的侧壁向GaN基HEMT器件的外延层1延伸至所述外延层1的上表面，即X金属层6完全包裹Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5。
本实施例还提供了所述有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极的制备方法，包括以下步骤：
（1）利用光刻技术，如图1所示，在GaN基HEMT器件的外延层1表面制备出源漏电极接触窗口；
（2）在制备源漏电极前，利用等离子清洗工艺以及酸碱溶液预处理源漏电极接触窗口表面；
（3）采用电子束EB沉积方法在源漏电极接触窗口依次沉积Ti金属层2、Al金属层3、Ni金属层4、Au金属层5；采用磁控溅射的方法在源漏区域沉积X金属层6，X金属层6的沉积采用直流溅射的方式，功率为250W，气压为6mTorr，本体真空度为2.5E-6 Torr；
（4）金属去胶剥离后，进行整体合金退火处理，在快速退火炉（RTP）中进行合金退火处理，所述的退火温度为830°，所述的退火气体氛围为氮气，所述的退火时间为1 min，所述的退火升温速率为7°C/s。
本实施例提供的有保护层的GaN基 HEMT器件源漏电极的击穿特性和实施例1类似，具体性能可参照实施例1中的附图4。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受所述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。