阅读说明：本技术 腐蚀传感器以及腐蚀传感器的制造方法 () 是由 三井裕之 小城育昌 田上直人 于 2019-06-04 设计创作，主要内容包括：本发明提供腐蚀传感器以及腐蚀传感器的制造方法。该腐蚀传感器具备：内侧电极,其由导电性材料形成,并具有形成为以轴线为中心的圆柱状且外周面被设为随着向轴线方向一侧而缩径的锥形外周面的圆柱部；外侧电极,其由导电性材料形成,具有形成为以轴线为中心的圆筒状且内周面被设为随着向轴线方向一侧而缩径并且与所述锥形外周面从径向对置的锥形内周面的圆筒部；和绝缘层,其设于所述锥形外周面与所述锥形内周面的对置部位,由绝缘材料形成。()

腐蚀传感器以及腐蚀传感器的制造方法

技术领域

本公开涉及腐蚀传感器以及腐蚀传感器的制造方法。

背景技术

例如构成燃气轮机的各构件的一部分由碳素钢等钢材形成。若在大气环境中使用碳素钢，腐蚀就会推进而在表面产生锈，这有时会成为各种问题的原因。由此，使用腐蚀传感器来进行腐蚀速度的监视。

例如在日本特开2002-71616号公报中公开了腐蚀传感器，其具有形成环状的外侧电极、配置于该外侧电极的内侧的内侧电极、介于这些外侧电极与内侧电极之间而存在的绝缘层。外侧电极以及内侧电极由与成为监视对象的构件同样的材料形成。在该腐蚀传感器中，能通过测量外侧电极与内侧电极之间的阻抗来检测腐蚀速度。

然而在制造上述那样的腐蚀传感器时，需要在外侧电极与内侧电极之间的窄的间隙填充树脂等绝缘材料。这时，若在树脂内残留气泡，就会产生绝缘层内的缺陷，腐蚀传感器的质量会降低。

发明内容

本公开鉴于这样的事情而提出，目的在于，提供能谋求质量以及施工性的提升的腐蚀传感器以及该腐蚀传感器的制造方法。

在本公开中，为了解决上述课题而采用以下的手段。

即，本公开的第一方案所涉及的腐蚀传感器具备：内侧电极，其由导电性材料形成，并具有形成为以轴线为中心的圆柱状且外周面被设为随着向轴线方向一侧而缩径的锥形外周面的圆柱部；外侧电极，其由导电性材料形成，并具有形成为以所述轴线为中心的圆筒状且内周面被设为随着向轴线方向一侧而缩径并且与所述锥形外周面从径向对置的锥形内周面的圆筒部；和绝缘层，其设于所述锥形外周面与所述锥形内周面的对置部位，由绝缘材料形成。

根据这样的腐蚀传感器，在将内侧电极和外侧电极进行组装时，在锥形外周面和锥形外周面的至少一方涂布绝缘材料的状态下，将内侧电极***到外侧电极的锥形内周面的内侧。这时，由于锥形内周面和锥形外周面相互对置，因此能对这些锥形内周面与锥形外周面之间的绝缘材料赋予来自锥形内周面以及锥形外周面双方的面压作为负荷。由此能在锥形内周面与锥形外周面之间的窄的区域容易地填充绝缘材料，同时能通过上述负荷从绝缘材料中将空气除去。

在上述腐蚀传感器中，优选，所述绝缘材料包含玻璃材料以及陶瓷材料中的至少一者。

由此，与例如作为绝缘材料而使用环氧树脂等树脂来形成绝缘层的情况相比，能做出更耐高温的环境的绝缘层。另外，通过在将内侧电极和外侧电极组装后加热来使绝缘材料熔融，能提升内侧电极、外侧电极以及绝缘层的紧贴度。

在上述腐蚀传感器中，也可以是，所述绝缘层具备：所述锥形外周面侧的第一层；和所述锥形内周面侧的第二层，分别形成所述第一层和所述第二层的所述绝缘材料相互不同。

通过具有相互不同的绝缘材料所构成的第一层以及第二层，例如在因使用环境而一方的层劣化的情况下，也能由另一方的层担保绝缘性。

在上述腐蚀传感器中，也可以是，所述内侧电极还具有从所述圆柱部向径向外侧伸出的内侧凸缘部，所述外侧电极还具有从所述圆筒部向径向外侧伸出并与所述内侧凸缘部从所述轴线方向一侧对置的外侧凸缘部，所述腐蚀传感器还具备：间隔物，其与所述内侧凸缘部和所述外侧凸缘部抵接。

通过任意调整间隔物的尺寸，能容易地调整内侧电极与外侧电极之间的距离、即绝缘层的厚度。

在上述腐蚀传感器中，也可以是，所述圆柱部具有形成为从该圆柱部的所述轴线方向另一侧凹陷的凹部，所述凹部的内周面位于所述锥形外周面的径向内侧。

由此，即使是在高温环境下使用腐蚀传感器的情况下，也能减低内侧电极的热应力。

在此，在将内侧电极和外侧电极的组装后将它们加热来使绝缘材料熔接的情况下，有从绝缘材料产生氢等气体的情况。这样的气体若残留在绝缘层间就会成为缺陷的原因。在本实施方式中，由于凹部的内周面位于锥形外周面的内侧，因此从锥形外周面向内侧电极浸透的氢会经由凹部被放出到外部。由此能抑制气体残留在绝缘层内。

本公开的一个方案所涉及的腐蚀传感器的制造方法包括：内侧电极准备工序，准备由导电性材料形成的内侧电极，所述内侧电极具有形成为以轴线为中心的圆柱状且外周面被设为随着向轴线方向一侧而缩径的锥形外周面的圆柱部；外侧电极准备工序，准备由导电性材料形成的外侧电极，所述外侧电极具有形成为以所述轴线为中心的圆筒状且内周面被设为随着向轴线方向一侧而缩径并且与所述锥形外周面从径向对置的锥形内周面的圆筒部；绝缘材料涂布工序，在所述锥形外周面以及所述锥形内周面的至少一方涂布绝缘材料来形成绝缘覆膜；和组装工序，在所述绝缘材料涂布工序后将所述内侧电极和所述外侧电极进行组装，使得所述锥形外周面和所述锥形内周面相互对置。

根据这样的腐蚀传感器的制造方法，能使绝缘材料容易地填充到内侧电极与外侧电极的狭的间隙。另外，在组装内侧电极和外侧电极时，能对锥形内周面与锥形外周面之间的绝缘材料赋予来自锥形内周面以及锥形外周面双方的面压作为负荷。由此，能在锥形内周面与锥形外周面之间的窄的区域容易地填充绝缘材料，同时能通过上述负荷从绝缘材料中将空气除去。

在上述腐蚀传感器的制造方法中，优选，所述绝缘材料包含玻璃材料以及陶瓷材料中的至少一者。

由此，与例如使用树脂形成绝缘层的其相比，能实现耐热性高的绝缘层。

另外，由于绝缘材料的耐热性较高，能将它们加热使之再熔融。由此能提升内侧电极、外侧电极以及绝缘层的紧贴度。

在上述腐蚀传感器的制造方法中，在所述绝缘材料涂布工序，在所述锥形外周面以及所述锥形内周面双方涂布相互不同的所述绝缘材料。

由此，在例如因使用环境而由一方的绝缘材料形成的绝缘层发生劣化的情况下，也能通过由另一方的绝缘材料形成的绝缘层担保绝缘性。

在上述腐蚀传感器的制造方法中，也可以是，所述内侧电极还具有从所述圆柱部向径向外侧伸出的内侧凸缘部，所述外侧电极还具有从所述圆筒部向径向外侧伸出的外侧凸缘部，在所述组装工序，在使间隔物介于所述内侧凸缘部与所述外侧凸缘部之间而存在的状态下将所述内侧电极和所述外侧电极进行组装。

通过任意调整介于内侧凸缘部与外侧凸缘部之间而存在的间隔物的尺寸，能容易地调整内侧电极与外侧电极之间的距离、即绝缘层的厚度。

在上述腐蚀传感器的制造方法中，也可以是，所述内侧凸缘部以及所述外侧凸缘部的外周面的与所述轴线正交的截面形状形成为圆形且具有彼此相同的外径，在所述组装工序，使用形成为圆筒状且内周面被设为形成与所述内侧凸缘部以及所述外侧凸缘部的外周面的外径对应的内径的引导面的夹具，一边通过所述引导面将所述内侧凸缘部以及外侧凸缘部的至少一者向所述轴线方向引导一边将所述内侧电极和所述外侧电极进行组装。

由此，能担保内侧电极与外侧电极的同轴性，能遍及周向全域容易地形成均匀的厚度的绝缘层。

在上述腐蚀传感器的制造方法中，也可以包括：加热工序，在所述组装工序后加热到所述绝缘材料熔融的温度。

通过使绝缘材料再熔融，能提升内侧电极、外侧电极以及绝缘层的紧贴度。

根据本公开的腐蚀传感器以及腐蚀传感器的制造方法，能谋求质量以及施工性的提升。

附图说明

图1是第一实施方式所涉及的腐蚀传感器的纵截面图。

图2是表示第一实施方式所涉及的腐蚀传感器的制造方法的过程的流程图。

图3是表示第一实施方式所涉及的腐蚀传感器的制造方法中的组装工序的图。

图4是第二实施方式所涉及的腐蚀传感器的纵截面图。

图5是表示第二实施方式所涉及的腐蚀传感器的制造方法中的组装工序的图。

图6是第三实施方式所涉及的腐蚀传感器的纵截面图。

附图标记的说明

10 内侧电极

11 内侧第一端面

12 内侧第二端面

20 圆柱部

21 锥形外周面

22 凹部

23 内周面

24 底面

25 端面

30 内侧凸缘部

31 内侧凸缘面

32 内侧凸缘外周面

33 端面

40 外侧电极

41 外侧第一端面

42 外侧第二端面

50 圆筒部

51 锥形内周面

52 外周面

53 端部

54 端面

60 外侧凸缘部

61 外侧凸缘面

62 外侧凸缘外周面

63 端面

70 绝缘层

71 绝缘覆膜

80 间隔物

90 夹具

91 内周面

92 第一内周面

93 第二内周面

94 阶差面

95 下表面

100 腐蚀传感器

200 腐蚀传感器

300 腐蚀传感器

S1 内侧电极准备工序

S2 外侧电极准备工序

S3 绝缘材料涂布工序

S4 组装工序

S5 加热工序

O 轴线

具体实施方式

(第一实施方式)

以下参考图1～图3来详细说明本公开的第一实施方式的腐蚀传感器100。

如图1所示那样，腐蚀传感器100具有内侧电极10、外侧电极40以及绝缘层70。

(内侧电极)

内侧电极10由与构成成为监视对象的设备的材料相同的材料形成。本实施方式的内侧电极10例如由碳素钢等钢材或铝、铜以及锌等金属形成。内侧电极10具有圆柱部20以及内侧凸缘部30。

圆柱部20形成以轴线O为中心的圆柱状。即，圆柱部20以轴线O为中心在沿着该轴线O的方向(轴线O方向)上延伸。圆柱部20的外周面的与轴线O正交的截面形状形成为圆形。圆柱部20的外周面被设为随着向轴线O方向一方侧(图1中的下侧)而慢慢缩径的锥形外周面21。圆柱部20的轴线O方向一方侧的端面、即内侧电极10中的轴线O方向一方侧的端面被设为形成为与轴线O正交的平坦面状的内侧第一端面11。

内侧凸缘部30从圆柱部20中的轴线O方向另一方侧(图1中的上侧)的端部向径向外侧伸出。即，内侧凸缘部30遍及轴线O的周向全域而形成。内侧凸缘部30中的朝向轴线O方向一方侧的面被设为内侧凸缘面31。

内侧凸缘部30的轴线O方向另一方侧的端面33与圆柱部20的轴线O方向另一方侧的端面25齐平。由内侧凸缘部30的轴线O方向另一方侧的端面33和圆柱部20的轴线O方向另一方侧的端面25形成内侧电极10的轴线O方向另一方侧的端面即内侧第二端面12。内侧第二端面12形成为与轴线O正交的平坦面状。

内侧凸缘部30的外周面即内侧凸缘外周面32形成为以轴线O为中心且与轴线O平行的圆筒面状。内侧凸缘外周面32中的与轴线O正交的截面形状遍及轴线O方向而形成为以同样的轴线O为中心的圆形。

(外侧电极)

外侧电极40由与构成成为监视对象的设备的材料相同材料形成。即，外侧电极40与内侧电极10同样，例如由碳素钢等钢材或铝、铜以及锌等金属形成。外侧电极40具有圆筒部50以及外侧凸缘部60。

圆筒部50形成为以轴线O为中心的圆筒状。即，圆筒部50以轴线O为中心在沿着该轴线O的方向(轴线O方向)上延伸。圆筒部50的内周面的与轴线O正交的截面形状形成圆形。圆筒部50的内周面被设为随着向轴线O方向一方侧而慢慢缩径的锥形内周面51。在本实施方式中，锥形内周面51的锥度率与锥形外周面21的锥度率相同。圆筒部50的轴线O方向一方侧的端面、即外侧电极40中的轴线O方向一方侧的端面被设为形成为与轴线O正交的平坦面状的外侧第一端面41。

圆筒部50的外周面52形成为以轴线O为中心且与轴线O平行的圆筒面状。

外侧凸缘部60从圆筒部50中的轴线O方向另一方侧的端部53向径向外侧伸出。即，外侧凸缘部60遍及轴线O方向全域形成。外侧凸缘部60中的面向轴线O方向一方侧的面被设为外侧凸缘面61。

外侧凸缘部60的轴线O方向另一方侧的端面63与圆筒部50的轴线O方向另一方侧的端面54齐平。由外侧凸缘部60的轴线O方向另一方侧的端面63和圆筒部50的轴线O方向另一方侧的端面54形成外侧电极40的轴线O方向另一方侧的端面即外侧第二端面42。外侧第二端面42形成为与轴线O正交的平坦面状。

外侧凸缘部60的外周面即外侧凸缘外周面62形成为以轴线O为中心且与轴线O平行的圆筒面状。外侧凸缘外周面62中的与轴线O正交的截面形状遍及轴线O方向形成为以同样的轴线O为中心的圆形。外侧凸缘外周面62的外径与内侧凸缘外周面32的外径相同。

在外侧电极40的圆筒部50的内侧配置内侧电极10的圆柱部20。由此，内侧电极10的锥形外周面21和外侧电极40的锥形内周面51遍及周向全域相互在径向上对置。锥形外周面21和锥形内周面51遍及周向全域且轴线O方向均匀空开间隔而对置。

外侧电极40的外侧第一端面41和内侧电极10的内侧第一端面11相互齐平地配置。外侧电极40的外侧第二端面42和内侧电极10的内侧凸缘面31相互在轴线O方向上空开间隔配置。即，外侧电极40的外侧第二端面42和内侧电极10的内侧凸缘面31在轴线O方向上对置。外侧电极40的外侧第二端面42和内侧电极10的内侧凸缘面31相互平行。外侧电极40的外侧凸缘外周面62和内侧电极10的内侧凸缘外周面32位于以轴线O为中心的相同圆筒面上。

(绝缘层)

绝缘层70设于内侧电极10的锥形外周面21与外侧电极40的锥形内周面51之间的间隙、即这些锥形外周面21与锥形内周面51的对置部位。绝缘层70例如由玻璃材料或陶瓷材料等绝缘材料形成。绝缘层70在内侧电极10的锥形外周面21与外侧电极40的锥形内周面51之间遍及周向全域以及锥形内周面51的轴线O方向范围全域配置。

即，绝缘层70填充在内侧电极10的锥形外周面21与外侧电极40的锥形内周面51之间的对置区域全域。内侧电极10的锥形外周面21中的轴线O方向另一方侧的部分不与外侧电极40的锥形内周面51对置。因此，不在该部分设置绝缘层70。

另外，也可以是在内侧凸缘面31与外侧第二端面42之间的空间也填充绝缘层70的结构。

(腐蚀传感器的制造方法)

接下来说明上述结构的腐蚀传感器100的制造方法。如图2所示那样，本实施方式的腐蚀传感器100的制造方法包含内侧电极准备工序S1、外侧电极准备工序S2、绝缘材料涂布工序S3、组装工序S4以及加热工序S5。

在内侧电极准备工序S1，准备上述内侧电极10。该内侧电极10例如通过对钢材实施切削加工而形成。

在外侧电极准备工序S2，准备上述外侧电极40。该外侧电极40例如通过对钢材实施切削加工而形成。

内侧电极10以及外侧电极40也可以用上述以外的其他制法形成。

绝缘材料涂布工序S3在内侧电极准备工序S1以及外侧电极准备工序S2后进行。在绝缘材料涂布工序S3，在本实施方式中，如图3所示那样，在内侧电极10的锥形外周面21以及外侧电极40的锥形内周面51的双方涂布包含玻璃材料或陶瓷材料等绝缘材料的绝缘膏，形成绝缘覆膜71。即，在涂布熔融状态的绝缘膏后使其干燥并进行烧成，之后冷却来使之固化，由此形成绝缘覆膜71。另外，绝缘覆膜71也可以不固化而是半熔融状态。在作为绝缘材料而使用玻璃材料或陶瓷材料的情况下，形成玻璃覆膜、陶瓷覆膜作为绝缘覆膜71。

另外，在绝缘材料涂布工序S3，但也可以在内侧电极10的锥形外周面21以及外侧电极40的锥形内周面51涂布绝缘膏并使其干燥，在保留于该状态的基础上前进到接下来的组装工序S4。

在本实施方式中，在外侧电极40中的锥形内周面51的全域形成绝缘覆膜71。另外，在内侧电极10的锥形外周面21中的除了上部以外的区域形成绝缘覆膜71。这些形成绝缘覆膜71的部分是腐蚀传感器100中的锥形外周面21和锥形内周面51在径向上对置的区域。

组装工序S4在绝缘材料涂布工序S3后进行。组装工序S4是将内侧电极10和外侧电极40组装以使内侧电极10的锥形外周面21和外侧电极40的锥形内周面51相互对置的工序。

更具体地，在组装工序S4，如图3所示那样，将内侧电极10从外侧电极40的轴线O方向另一方侧***到该外侧电极40的内侧。这时，将内侧电极10***到外侧电极40内，使得外侧电极40和内侧电极10维持同轴且外侧电极40的锥形内周面51与内侧电极10的锥形内周面51的锥形的方向一致。

在本实施方式的组装工序S4，将内侧电极10***到外侧电极40内，直到在外侧电极40的外侧第一端面41，到达内侧电极10的内侧第一端面11成为同样的轴线O方向位置的位置。由此，外侧电极40的锥形内周面51上的绝缘覆膜71和内侧电极10的锥形外周面21的绝缘覆膜71成为相互紧贴的状态。进而，对各绝缘覆膜71赋予来自内侧锥形面以及外侧锥形面双方的面压，作为负荷。

加热工序S5在组装工序S4后进行。在加热工序S5，将通过组装工序S4一体化的内侧电极10、外侧电极40以及各绝缘覆膜71加热。在组装工序S4，进行加热，直到绝缘覆膜71再熔融的温度。通过该加热而各绝缘覆膜71彼此熔融，之后，进行冷却而固化，由此形成绝缘层70。即，通过绝缘覆膜71彼此熔敷而在锥形外周面21与锥形内周面51之间形成绝缘层70。

通过以上的工序，能得到图1所示的本实施方式的腐蚀传感器100。

(作用效果)

上述那样的腐蚀传感器100将引线分别与内侧电极10的内侧第一端面11和外侧电极40的外侧第一端面41电连接。并且经由引线由未图示的测定装置测定内侧电极10与外侧电极40之间的阻抗。通过监视该阻抗，能随时取得内侧电极10以及外侧电极40的腐蚀速度。由此能掌握放置在与腐蚀传感器100相同环境下的设备的腐蚀速度。

在此，根据本实施方式的腐蚀传感器100，在将内侧电极10和外侧电极40组装时，在对锥形外周面21和锥形外周面21双方涂布了绝缘材料的状态下，将内侧电极10***到外侧电极40的内侧。这时，由于锥形内周面51和锥形外周面21相互对置，因此能对这些锥形内周面51与锥形外周面21之间的绝缘覆膜71赋予来自锥形内周面51以及锥形外周面21双方的面压，作为负荷。由此，能对锥形内周面51与锥形外周面21之间窄的区域容易地填充绝缘材料，与此同时，能通过上述负荷从绝缘覆膜71的内部、绝缘覆膜71彼此之间将空气除去。

在此，假设在将内侧电极10和外侧电极40组装并在它们之间形成间隙后想要对该间隙填充绝缘材料的情况下，在狭的间隙均匀且不残留空气地进行施工并不容易。在本实施方式中，在将内侧电极10和外侧电极40组装前对它们涂布绝缘材料，之后，将内侧电极10和外侧电极40锥形嵌合，由此能容易且精度高地形成绝缘性高的绝缘覆膜71。

由此，能提升腐蚀传感器100的制造时的成品率。另外，能缩短作业工序的时间，其结果能谋求制造成本的减低。进而能稳定地制造高质量的腐蚀传感器100。因此，能使腐蚀传感器100的可靠性提升。

另外，绝缘层70的厚度能通过预先调整内侧电极10以及外侧电极40的尺寸来设定为任意的值。由此，例如还能形成厚度0.1mm以下的绝缘层70。这样的绝缘层70难以用过去那样预先形成间隙并在该间隙填充绝缘材料的手法实现。如本实施方式的腐蚀传感器100的制造方法那样，通过预先涂布绝缘材料并使之锥形嵌合，能容易且精度高地实现厚度极小的绝缘层70。

另外，在本实施方式中，作为绝缘材料而使用玻璃材料或陶瓷材料。由此，与例如作为绝缘材料而使用环氧树脂等树脂来形成绝缘层70的情况相比，能制作更耐高温的环境的绝缘层70。另外，通过在将内侧电极10和外侧电极40组装后进行加热来使绝缘材料熔融，能提升内侧电极10、外侧电极40以及绝缘层70的紧贴度。

(第二实施方式)

接下来，参考图4以及图5来说明本公开的第二实施方式。在第二实施方式中，对与第一实施方式的同样的构成要素标注相同附图标记并省略详细的说明。

如图4所示那样，第二实施方式的腐蚀传感器200在第一实施方式的构成要素基础上具有间隔物80。

(间隔物)

间隔物80是包围轴线O的环状的构件。间隔物80由陶瓷等绝缘材料形成。间隔物80介于内侧电极10的内侧凸缘面31与外侧电极40的外侧第二端面42之间遍及周向全域而存在。间隔物80的轴线O方向的尺寸即该间隔物80的厚度在周向上是同样的。间隔物80在周向上被分割成多份，分割的间隔物片彼此排列在周向上而形成环形。

另外，间隔物80也可以形成为将环割半的C字状的形状。另外，间隔物80也可以是高度相等的2根棒。

在本实施方式中，间隔物80的外周面被设为以轴线O为中心的圆形。间隔物80的外周面的外径与内侧凸缘外周面32以及外侧凸缘外周面62的外径相同，或者被设为比内侧凸缘外周面32以及外侧凸缘外周面62的外径更靠径向内侧。

接下来，说明第二实施方式的腐蚀传感器200的制造方法。第二实施方式的腐蚀传感器200的制造方法与第一实施方式的腐蚀传感器100在组装工序S4上不同。

在第二实施方式的组装工序S4，如图5所示那样使用夹具90。夹具90由与内侧电极10以及外侧电极40相同材料、或与这些内侧电极10以及外侧电极40相比线膨胀系数更大的材料形成。夹具90形成以轴线O为中心的圆筒状。夹具90的内周面91具有位于轴线O方向一方侧的第一内周面92和位于轴线O方向另一方侧的作为引导面的第二内周面93。

第一内周面92的内径小于第二内周面93的内径。第一内周面92的内径设为与外侧电极40的圆筒部50的外周面52相同的内径。第二内周面93的内径设为与内侧电极10的内侧凸缘外周面32的外径以及外侧电极40的外侧凸缘外周面62的外径相同。第一内周面92与第二内周面93之间的台阶部形成为与轴线O正交的平坦面状且被设为朝向轴线O方向另一方侧的阶差面94。

在第二实施方式的组装工序S4，在使内侧电极10、外侧电极40以及夹具90的轴线O方向在上下方向上一致的状态下进行。将轴线O方向一方侧设为下侧，将轴线O方向另一方侧设为上侧。

首先，将形成绝缘覆膜71的外侧电极40从上方***到配置成在上下方向上延伸的夹具90内，从而在夹具90内设置外侧电极40。这时，外侧电极40的圆筒部50的外周面52与夹具90的第一内周面92抵接，外侧电极40的外侧凸缘外周面62与第二内周面93抵接。由此，外侧电极40的中心轴线和夹具90的中心轴线一致。另外，通过外侧电极40的外侧凸缘面61与阶差面94抵接，外侧电极40的轴线O方向的位置被定位。另外，外侧第一端面41和夹具90的下表面95可以不齐平，但需要设计成下表面95位于比外侧第一端面41更靠下方的位置。

接下来，在成为外侧电极40的上表面的外侧第二端面42上设置间隔物80。之后，与第一实施方式同样地，将形成了绝缘覆膜71的内侧电极10从上方***到外侧电极40的内侧。若将内侧电极10某种程度***到外侧电极40内，则内侧电极10的内侧凸缘外周面32与夹具90的第二内周面93遍及周向全域抵接。通过该第二内周面93，将内侧电极10在使其中心轴线与夹具90一致的状态下向下方引导。即，内侧电极10在维持与夹具90以及外侧电极40同轴的状态被向下方引导。

然后，在内侧电极10的内侧凸缘面31与间隔物80的上表面抵接的阶段，停止内侧电极10的***。或者，在与间隔物80抵接前，对应于绝缘覆膜71的厚度而内侧电极10的绝缘覆膜71和外侧电极40的绝缘覆膜71也接触的时间点，停止内侧电极10的***。

通过在这样的组装工序S4后进行加热工序S5，绝缘覆膜71熔融而形成绝缘层70。另外，在内侧电极10的内侧凸缘面31未与间隔物80抵接的情况下，在加热工序S5中的绝缘覆膜71的熔融时，由于自重而内侧电极10进一步***到外侧电极40内。然后，在内侧电极10的内侧凸缘面31与间隔物80抵接的阶段，内侧电极10相对于外侧电极40的相对移动停止。

在加热工序S5，例如可以使用对内侧电极10向下方施加负荷的压重物等负荷赋予单元。由此，能在将内侧电极10向下方按压的同时使绝缘覆膜71熔融。

在上述加热工序S5后，通过拆下夹具90而能得到本实施方式的腐蚀传感器200。另外，在该阶段，可以通过将被分割成多份的间隔物片从外周侧拆下，从而从腐蚀传感器200除去间隔物80。另外，在成为下端的内侧第一端面11与外侧第一端面41的轴线O方向位置未对齐而不齐平的情况下，可以通过在与轴线O正交的面切断腐蚀传感器200的下部，来使腐蚀传感器200的端面成为齐平的结构。

在本实施方式中，通过任意调整介于内侧凸缘部30与外侧凸缘部60之间而存在的间隔物80的轴线O方向的尺寸，能容易且高精度地调整内侧电极10与外侧电极40之间的距离、即绝缘层70的厚度。

另外，通过在组装工序S4使用夹具90，能担保内侧电极10与外侧电极40的同轴性，能容易地遍及周向全域形成均匀的厚度的绝缘层70。

(第三实施方式)

接下来，参考图6来说明本公开的第三实施方式。在第三实施方式中，对与第一、第二实施方式的同样的构成要素标注相同附图标记，并省略详细的说明。

第三实施方式的腐蚀传感器300在内侧电极10中的圆柱部20形成凹部22，使得从轴线O方向另一方侧的端面即内侧第二端面12向轴线O方向一方侧凹陷。

凹部22的内周面23形成为以轴线O为中心的圆形，在轴线O方向被设为同样的内径。凹部22的底面24形成为与轴线O正交的平坦状。凹部22的内周面23位于锥形内周面51的径向内侧。即，凹部22的内周面23位于锥形内周面51的里侧。如此地，本实施方式的内侧电极10的圆柱部20被设为基于凹部22的中空结构。

在此，在内侧电极10和外侧电极40的组装后将它们加热来使绝缘覆膜71熔接时，有从绝缘材料产生氢等气体的情况。若这样的气体残留在绝缘层70间，就会成为缺陷的原因。在本实施方式中，由于凹部22的内周面23位于锥形外周面21的里侧，因此，从锥形外周面21向内侧电极10浸透的氢经由凹部22被放出到外部。即，内侧电极10的中心能扩散并释放气体。由此抑制了气体残存在绝缘层70内，能避免结果的产生。

另外，通过将内侧电极10设为基于凹部22的中空结构，能缓和加热工序S5时或在高温环境下使用腐蚀传感器300的情况下在内侧电极10产生的热应力。

另外，凹部22并不限于上述形状，例如也可以在周向上空开间隔形成多个凹部22，使它们位于锥形外周面21的里侧。由此也起到上述同样的作用效果。

(其他实施方式)

以上说明了本公开的实施方式，但本公开并不限定于此，能在不脱离其公开的技术思想的范围内适当变更。

例如在上述实施方式中，在内侧电极10的锥形外周面21和外侧电极40的锥形内周面51双方形成绝缘覆膜71，但并不限定于此。也可以仅在内侧电极10的锥形外周面21和外侧电极40的锥形内周面51的任意一方形成绝缘覆膜71。

另外，在内侧电极10的锥形外周面21和外侧电极40的锥形内周面51双方形成绝缘覆膜71的情况下，也可以使内侧电极10的绝缘覆膜71的绝缘材料和外侧电极40的绝缘覆膜71的绝缘材料相互不同。

在该情况下，绝缘层70由锥形外周面21侧的第一层和锥形内周面51侧的第二层构成。通过第一层和第二层由不同绝缘材料构成，例如在因使用环境而一方的层劣化的情况下，也能由另一方的层担保绝缘性。由此能使绝缘层70具有冗余性，能在各种环境下发挥耐久性。进而，可以在第一层与第二层之间形成一个或多个其他层。即，第一层和第二层不仅可以直接接触，还可以使其他层介于该第一层与第二层之间。

另外，在上述实施方式中，通过经过加热工序S5将绝缘覆膜71熔接来使内侧电极10和外侧电极40一体化，但例如也可以不进行加热工序S5，使粘结剂介于绝缘覆膜71彼此间来使两者一体化。

在上述实施方式中，将内侧电极10的锥形外周面21的锥度率和外侧电极40锥形内周面51的锥度率设为相同，但也可以相互不同。

在上述实施方式中，将内侧电极10和外侧电极40用相同导电性材料形成，但也可以用相互不同导电性材料形成。

在上述实施方式中，将第二内周面93的内径设为与内侧电极10的内侧凸缘外周面32的外径以及外侧电极40的外侧凸缘外周面62的外径相同，但并不限定于此。第二内周面93的内径只要是在能将内侧凸缘外周面32、外侧凸缘外周面62在轴线O方向上进行引导程度上，与这些内侧凸缘外周面32以及外侧凸缘外周面62的外径对应的尺寸即可。

在上述实施方式中，说明了将夹具90的第二内周面93作为引导面来引导内侧电极10的手法。也可以取代其，例如在夹具90内配置内侧电极10，接下来将外侧电极40***到夹具90内并用引导面进行引导，从而组装内侧电极10和外侧电极40。