阅读说明：本技术 变形球状波导谐振器及基于其的滤波器及其加工方法 (Deformed spherical waveguide resonator, filter based on same and processing method of deformed spherical waveguide resonator ) 是由 郭诚 舒敏杰 张安学 于 2019-08-30 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种变形球状波导谐振器及基于其的滤波器及其加工方法,基于变形球状波导谐振器的宽阻带抑制的滤波器结构上包括波导法兰盘、第二波导法兰盘和五个直接耦合的变形球状波导谐振腔。通过改变五个变形球状波导谐振器的排布方式实现相邻谐振腔间耦合方向旋转90°,从而降低了高次模的耦合分量；通过对球状波导谐振器顶面和底面凹陷处理增大高次模与基模的频率间隔,实现了更宽的无杂散阻带,且各谐振腔的凹陷深度不同使得各谐振腔的高次模不同,进而破坏了杂散通带；在第三谐振器的顶部和底部凹陷中心开十字形槽使高次模辐射损耗,进而实现了宽阻带内超过34dB的杂散抑制能力。(The invention discloses a deformed spherical waveguide resonator, a filter based on the deformed spherical waveguide resonator and a processing method of the filter. The coupling direction between adjacent resonant cavities is rotated by 90 degrees by changing the arrangement mode of the five deformed spherical waveguide resonators, so that the coupling component of a higher-order mode is reduced; the frequency interval between the higher mode and the basic mode is increased by carrying out recess treatment on the top surface and the bottom surface of the spherical waveguide resonator, a wider non-stray stop band is realized, and the higher modes of the resonant cavities are different due to different recess depths of the resonant cavities, so that the stray pass band is damaged; crossed slots are formed in the centers of the top and bottom depressions of the third resonator, so that the radiation loss of a high-order mode is reduced, and the stray suppression capability exceeding 34dB in a wide stop band is realized.)

变形球状波导谐振器及基于其的滤波器及其加工方法

技术领域

本发明属于无线通信技术领域，具体涉及一种变形球状波导谐振器及基于其的滤波器及其加工方法。

背景技术

随着无线通讯技术的发展，现代先进无线电通信系统需要高性能多功能的微波毫米波器件以适应复杂多变的电磁环境。在这些无线电通信系统尤其是射频前端收发系统中，传统的微波毫米波无源波导器件，例如波导滤波器等，具有杂散抑制能力强、射频损耗低和功率容量大等优势，是研究人员关注的重点之一。

通常，尽可能选择高品质因数(Q)谐振器以实现较小的射频损耗。空气填充的金属空腔谐振器一般具有较高的功率容量，其Q值主要取决于空腔几何形状，导电率以及其表面粗糙度。在所有可能的三维几何形状，球状谐振器由于其具有最高的体积表面积比，因而具有最高的Q值，在相同的工作频率下，球形腔的Q值是矩形的Q的1.8倍。且近几年，增材制造(AM)技术的快速发展为几何复杂的波导器件物理实现提供了良好的技术支持。

但是，由于球状波导谐振腔内模式繁多，且高次模与基模频率间隔较小，基于球状波导谐振器的滤波器具有较多的杂散通带，且杂散通带与目标通带间隔较小。因此，滤波器的高带外抑制和宽无杂散阻带设计技术成为了基于球状波导谐振器的滤波器设计的难点和关键技术。

此外，增材制造(AM)技术能实现器件的一体化加工，减小了器件加工过程中的装配误差和成本，能实现传统减材制造技术所不能实现的复杂结构。但特别的，利用金属SLM打印工艺实现的器件的上表面具有表面粗糙度高，失真严重的特点，这将会导致器件的品质因数降低，性能恶化。

发明内容

本发明目的在于提供一种变形球状波导谐振器及基于其的滤波器及加工方法，旨在设计一种高带外抑制和宽无杂散阻带的变形球状波导谐振器，基于该谐振器设计一种基于该变形球状波导谐振器且具有宽度带抑制性能的滤波器，并结合3D打印工艺设计了降低加工器件内部粗糙度的加工方式。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是，一种变形球状波导谐振器，包括变形球状波导谐振腔、第一波导法兰盘和第二波导法兰盘，变形球状波导谐振腔为底部和顶部均设有球面凹陷变形的球状波导谐振腔；第一波导法兰盘和第二波导法兰盘平行于变形球状波导谐振腔的顶部和底部均设置有球面凹陷变形中心的连线；第一波导法兰盘和第二波导法兰盘相互平行，变形球状波导谐振腔与第一波导法兰盘和第二波导法兰盘的耦合处均开设第一耦合窗和第二耦合窗。

随着变形球状波导谐振腔球面凹陷变形的深度增大，变形球状波导谐振腔的半径减小。

第一耦合窗和第二耦合窗均为矩形耦合窗，第一耦合窗和第二耦合窗的长边垂直于变形球状谐振器的顶面和底面球面凹陷变形中心连线。

变形球状波导谐振腔底面和顶面的球面凹陷变形面上均开设矩形槽，所述矩形槽的长边平行于第一波导法兰盘和第二波导法兰盘，所述矩形槽的中心与球面凹陷变形面的中心重合。

第一波导法兰盘和第二波导法兰盘与变形球状波导谐振腔的耦合处设置有凸台，变形球状波导谐振腔嵌入所述凸台。

变形球状波导谐振腔底面和顶面的球面凹陷变形面上均开设十字形槽；所述十字形槽的中心与球面凹陷变形面的中心重合；所述十字形槽包括两个相互垂直交叉的矩形槽，其中一个矩形槽的长边平行于第一波导法兰盘。

一种基于变形球状波导谐振器的滤波器，包括变形球状波导谐振腔、第一波导法兰盘和第二波导法兰盘；其中，变形球状波导谐振腔设置有五个，即第一变形球状波导谐振腔、第二变形球状波导谐振腔、第三变形球状波导谐振腔、第四变形球状波导谐振腔和第五变形球状波导谐振腔；所述第一变形球状波导谐振腔与第一波导法兰盘连接，第五变形球状波导谐振腔和第二波导法兰盘连接；第二变形球状波导谐振腔分别与第一变形球状波导谐振腔和第三变形球状波导谐振腔耦合；第四变形球状波导谐振腔分别与第五变形球状波导谐振腔和第三变形球状波导谐振腔耦合；其中第三变形球状波导谐振腔的顶部和底部均开设十字形槽；

第二变形球状波导谐振腔与第一变形球状波导谐振腔的耦合方向垂直于第二变形球状波导谐振腔和第三变形球状波导谐振腔的耦合方向；

第三变形球状波导谐振腔与第四变形球状波导谐振腔的耦合方向垂直于第二变形球状波导谐振腔与第三变形球状波导谐振腔的耦合方向；

第三变形球状波导谐振腔与第四变形球状波导谐振腔的耦合方向垂直于第四变形球状波导谐振腔与第五形球状波导谐振腔。

第三变形球状波导谐振腔的球面凹陷变形深度大于其余四个变形球状波导谐振腔的球面凹陷变形深度。

第一变形球状波导谐振腔与第二变形球状波导谐振腔之间为圆形耦合窗；

第二变形球状波导谐振腔和第三变形球状波导谐振腔之间为圆形耦合窗；

第三变形球状波导谐振腔与第四变形球状波导谐振腔之间为圆形耦合窗；

第四变形球状波导谐振腔与第五变形球状波导谐振腔之间为圆形耦合窗。

一种基于变形球状波导谐振器的滤波器的加工方法，采用3D打印工艺加工，将滤波器的侧面作为基面进行打印，打印时设置若干第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件顶面设置为弧面，所述弧面的形状分别与其对应的变形球状波导谐振腔和第三变形球状波导谐振腔表面形状匹配；第二支撑件表面为斜面，第二支撑件用于支撑第一波导法兰盘和第二波导法兰盘。

与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：变形球状波导谐振器第一高阶模的本征模频率和无载品质因数高于矩形谐振器的第一高阶模的本征模频率和无载品质因数，变形球状波导谐振器利用顶面和底面球面凹陷变形能将高次模拉远。

进一步的，基于变形球状波导谐振器的滤波器的变形球状波导谐振腔上开设一个矩形槽能将高次模辐射损耗掉而不影响基模，从而改善所述变形球状波导谐振器的高次模抑制特性。

进一步的，变形球状波导谐振腔上开设的十字形槽平行于基模TM101的电流，垂直切割高次模TM102和TM201的电流，从而使高次模辐射损耗，进而获得更好的高次模抑制效果。

进一步的，滤波器的各谐振腔凹陷深度均不同，各谐振腔的高次模频率不同，进而破坏了该高次模产生的杂散通带，提高了滤波器的阻带杂散抑制特性。

本发明所述基于开设有十字槽的第三变形球状波导谐振腔和变形球状波导谐振腔的滤波器通过改变各谐振腔的排布方式，使相邻谐振腔间耦合方向互相垂直，利用该结构降低高次模TM211的耦合强度，提高滤波器的带外抑制效果。

本发明采用3D打印工艺制备基于变形球状波导谐振器的宽阻带抑制滤波器，采用其侧面作为打印时的基面，减小了所需的下表面支撑结构，从而使所加工的滤波器具有更高的无载品质因数，降低了滤波器的通带损耗。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术方案，下面将对实施例或现有技术方案中所使用的附图作简单介绍。需要注意的是，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本发明实施例提供的一种变形球状波导谐振器的斜轴测图；

图2为本发明实施例提供的一种变形球状波导谐振器的剖视图；

图3为本发明实施例提供的一种变形球状波导谐振器的球面凹陷变形实现方式；

图4为本发明实施例提供的一种变形球状波导谐振器不同凹陷深度下高次模偏移效果仿真结果；

图5为本发明实施例提供的一种开单槽变形球状波导谐振器的斜轴测图；

图6为本发明实施例提供的一种开单槽变形球状波导谐振器的剖视图；

图7为本发明实施例提供三种变形球状谐振腔的滤波器高次模抑制效果仿真结果；

图8为本发明实施例提供的基于开十字槽变形球状波导谐振器的滤波器的斜轴测图；

图9为本发明实施例提供的基于开十字槽变形球状波导谐振器的滤波器C的剖视图；

图10为本发明实施例提供三种滤波器仿真结果。

图11为本发明实施例提供基于开十字槽球状波导谐振器的滤波器呈45°倾斜角的3D打印方式示意图。

附图中，10-变形球状波导谐振腔，10a-第一变形球状波导谐振腔，10b-第二变形球状波导谐振腔，10c-第三变形球状波导谐振腔，10d-第四变形球状波导谐振腔，10e-第四变形球状波导谐振腔，101-第一耦合窗，102-第二耦合窗，20-开槽变形球状波导谐振腔，201-第一矩形槽，202-第二矩形槽，30-第一波导法兰盘，40-第二波导法兰盘，5-第一支撑件，6-第二支撑件。

具体实施方式

为使得本发明的目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰完整地描述。需要注意的是，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶面”、“底面”、“左侧”、“右侧”、“水平方向”和“竖直方向”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不能认定为所指示的元件或者装置是特定的方位。

在本发明实施例的描述中，所给出的结构尺寸为优选参数，参照本发明实施例，修改各个部件的尺寸参数可以进一步得到实际所需的性能。

参阅图1和图2，图1为本发明实施例提供的变形球状波导谐振器的斜轴测图，图2为本发明实施例提供的第一变形球状波导谐振器的剖面图。

所述的变形球状波导谐振器包括：第一波导法兰盘30、第二波导法兰盘40和变形球状波导谐振腔10。其中，第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40用于两个波导口之间相互连接，而波导终端与变形球状波导谐振器通过法兰盘连接；第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40与变形球状波导谐振腔10的耦合处设置有凸台，变形球状波导谐振腔10嵌入所述凸台。

本发明实施例中的第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40的尺寸均为X频段下WR-90标准矩形波导法兰盘尺寸，所述矩形波导法兰盘的尺寸为22.86mm×10.16mm，矩形波导法兰盘与变形球状谐振腔顶面和底面凹陷中心连线平行，矩形波导法兰盘的长边与变形球状谐振腔顶面和底面凹陷中心连线相垂直，波导法兰盘的厚度为5mm。

本发明实施例中的所有基于变形球状波导谐振腔的谐振器和基于所述变形球状波导谐振器的滤波器壁厚均为3mm。

图3为本发明实施例提供的变形球状波导谐振腔10的球面凹陷变形的几何示意图，所述变形球状波导谐振腔10底面和顶面的球面凹陷变形为球面形凹陷，所述球面形凹陷是采用目标的球形谐振腔几何减去两个球体与之相交的球面部分所得；其中待减球体Q2的半径为r2，目标球谐振腔的半径为r1，待减球体Q2与目标球谐振腔相交部分的最大深度d为所述变形球状谐振腔10上球面凹陷变形的凹陷最大深度，所述球面凹陷变形的最大深度不超过变形球状波导谐振腔10的半径。

所述基于变形球状波导谐振腔的谐振器利用双端口弱耦合仿真考察其频率响应，变形球状波导谐振腔10上开设有第一耦合窗101和第二耦合窗102，第一耦合窗101和第二耦合窗102分别为第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40与变形球状波导谐振腔10的耦合窗，所述矩形耦合窗的截面尺寸为3.43mm×10.16mm；第一耦合窗101和第二耦合窗102分部开设在与第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40连接处，第一耦合窗101和第二耦合窗102中心的连线垂直于变形球状谐振腔顶面和底面凹陷中心的连线。

图4为本发明实施例提供的一种变形球状波导谐振腔10随着球面凹陷变形的深度d变化下高次模偏移效果仿真结果对比；待减球体半径r2＝17.5mm，为了保持基于变形球状波导谐振腔的谐振器基模不变，球面凹陷变形的深度d增大时，变形球状波导谐振腔10的半径应随之减小，d＝0mm，r1＝13.1；d＝2mm，r1＝12.925；d＝4mm，r1＝12.417；d＝6mm，r1＝11.67；随着球面凹陷变形的深度d增大，高次模TM201和TM102相对基模TM101的频率间隔增大，从而为基于变形球状波导谐振腔的谐振器提供了更宽的无杂散阻带；但是随着球面凹陷变形的深度d增大，所述基于变形球状波导谐振腔的谐振器的无载品质因数稍有降低，其第一高阶模的本征模频率和无载品质因数(6850)仍然比矩形谐振器高27％和13％，需要注意的是，所述的基于变形球状波导谐振腔的谐振器利用顶面和底面球面凹陷变形的方法仅能将高次模拉远，并不能消除高次模。

图5为本发明实施例提供的基于开槽变形球状波导谐振腔的谐振器斜轴测图，图6为本发明实施例提供的基于开槽变形球状波导谐振腔的谐振器的剖视图；所述基于开槽变形球状波导谐振腔的谐振器包括：第一波导法兰盘30、第二波导法兰盘40和开槽变形球状波导谐振腔；开槽变形球状波导谐振腔两端口开设第一耦合窗101和第二耦合窗102，第一耦合窗101和第二耦合窗102的尺寸与变形球状波导谐振腔10的两端的第一耦合窗101相同；开槽变形球状波导谐振腔是在变形球状波导谐振腔10的基础上进行改进，具体的，在变形球状波导谐振腔10的顶面和底面的凹陷中心分别开设第一矩形槽201和第二矩形槽202形成，所述第一矩形槽201和第二矩形槽202的长边平行于所述第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40的长边，且其物理尺寸为16mm×1.5mm。所述第一矩形槽201和第二矩形槽202平行于在所述开槽变形球状波导谐振腔的凹陷处基模产生的表面电流，第一矩形槽201和第二矩形槽202垂直于高次模TM201产生的表面电流，因此，第一矩形槽201和第二矩形槽202能将高次模辐射损耗掉而不影响基模，从而改善所述基于开槽变形球状波导谐振腔的谐振器的高次模抑制特性。

由于所述变形球状波导谐振腔10具有轴对称性，其高次模TM201具有极化兼并模式TM102，为了进一步消除所述开槽变形球状波导谐振腔中一对极化兼并高次模，在所述变形球状波导滤波腔10顶面和底面凹陷中心开十字形槽，从而形成第三变形球状波导谐振腔10c；所述的十字形槽包括两个互相垂直的矩形槽，所述矩形槽的尺寸为16mm×1.5mm；所述开槽变形球状波导谐振腔和第三变形球状波导谐振腔10c的无载品质因数分别为6820和6800，所以，在所述变形球状波导谐振腔顶面和底面开槽对基模影响很小。

参考图7，本发明提供的基于变形球状谐振腔的谐振器a、基于开矩形槽的变形球状波导谐振腔的谐振器b和基于开十字槽的变形球状谐振腔的谐振器c的高次模抑制效果仿真结果；由图7可知，所述的基于变形球状谐振腔的谐振器利用球面凹陷变形只能使高次模与基模的间隔增大，高次模依然存在；而所述的基于开矩形槽的变形球状波导谐振腔的谐振器和基于开十字槽的第三变形球状谐振腔10c的谐振器利用在变形球状谐振腔顶面和底面开槽使高次模辐射损耗的方法将实现对高次模良好的抑制效果，由于所述谐振器的激励方式仅能激励起兼并高次模中的TM201，因此，所述的基于开矩形槽的变形球状波导谐振腔的谐振器和基于开十字槽的第三变形球状谐振腔10c的谐振器有相同的高次模抑制效果。

参考图8，本发明实施例提供的一种基于开十字槽变形球状谐振腔的滤波器斜轴测图，图9为本发明实施例提供的基于开十字槽的变形球状谐振腔的滤波器的剖视图；所述的基于开十字槽变形球状谐振腔的滤波器包括：第一波导法兰盘30、第二波导法兰盘40、四个变形球状波导谐振腔和一个第三变形球状波导谐振腔10c；其余四个变形球状波导谐振腔分别为第一变形球状波导谐振腔10a、第二变形球状波导谐振腔10b、第四变形球状波导谐振腔10d和第五变形球状波导谐振腔10e；第一波导法兰盘30与第一变形球状波导谐振腔10a连接，所述的第二波导法兰盘40与第四变形球状谐振器10d连接；第一变形球状波导谐振腔10a的耦合窗和第四变形球状谐振器10d的耦合窗均为矩形，矩形耦合窗长a1＝14.576mm，其宽为b1＝10.15mm。

为了改善所述基于开十字槽的第三变形球状谐振腔10c和变形球状谐振腔10的滤波器的阻带抑制特性，通过改变谐振腔的排布方式使得各相邻谐振腔间耦合方向互相垂直，即第二变形球状波导谐振腔10b和第三变形球状谐振腔10c之间的耦合方向相对于第一变形球状波导谐振腔10a和第二变形球状波导谐振腔10b间耦合方向逆时针旋转了90°，开十字槽的第三变形球状谐振腔10c和第四变形球状波导谐振腔10d间耦合方向相对于第二变形球状波导谐振腔10b和第三变形球状谐振腔10c间耦合方向顺时针旋转了90°，而第四变形球状波导谐振腔10d和第五变形球状波导谐振腔10e间耦合方向又相对于第三变形球状谐振腔10c和第四变形球状波导谐振腔10d间耦合方向逆时针旋转90°，采用上述结构降低了高次模TM211的耦合强度，从而进一步提高了滤波器的带外抑制效果。

第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40与变形球状波导谐振腔10连接处开设第二矩形耦合窗，第二矩形耦合窗的中心与第一耦合窗的中心位于同一条直线，第二矩形耦合窗的大于第一耦合窗。

基于变形球状谐振腔滤波器的第一变形球状波导谐振腔10a和第二变形球状波导谐振腔10b间为圆形耦合窗，其直径为d12＝11.515mm；第二变形球状波导谐振腔10b和第三变形球状波导谐振腔10c间为圆形耦合窗，其直径为d23＝10.325mm，第三变形球状波导谐振腔10c和第四变形球状波导谐振腔10d间为圆形耦合窗，其直径为d34＝10.141mm，第四变形球状波导谐振腔10d和第五变形球状波导谐振腔10e间为圆形耦合窗，其直径为d45＝11.739mm。

所述基于变形球状谐振腔滤波器的第一变形球状波导谐振腔10a是由半径Rr1＝11.489mm的球形谐振腔减去半径为R21＝17.259mm获得的变形球状谐振腔，其凹陷深度dr1＝4.125mm；第二变形球状波导谐振腔10b是由半径Rr2＝11.924mm的球形谐振腔减去半径为R22＝14.35mm获得的变形球状谐振器A，其凹陷深度dr2＝4.080mm；第四变形球状波导谐振腔10d是由半径Rr4＝11.629mm的球形谐振腔减去半径为R24＝13.546mm获得的变形球状谐振腔，其凹陷深度dr4＝4.740mm；第四变形球状波导谐振腔10d是由半径Rr5＝12.088mm的球形谐振腔减去半径为R25＝16.308mm获得的变形球状谐振腔，其凹陷深度dr5＝2.318mm；第三变形球状波导谐振腔由半径Rr3＝11.129mm的球形谐振腔减去半径为R23＝14.592mm获得的变形球状谐振腔的基础上开设十字形槽，其凹陷深度dr3＝6.096mm，变形球状谐振腔顶面和底面开十字形槽，所开十字形槽均为两互相垂直的矩形槽构成，所述矩形槽的尺寸为16mm×1.5mm；所述的基于变形球状波导谐振腔的滤波器利用变形球状谐振腔提高高次模频率，以获得更宽的无杂散阻带；各变形球状波导谐振腔的凹陷深度不同，即各变形球状波导谐振腔的高次模各不相同，从而破坏了滤波器阻带的杂散通带；此外，在第三变形球状波导谐振腔10的顶面和底面凹陷中心的十字形槽将高次模辐射损耗掉，进一步提高了滤波器的阻带性能，且所述的滤波器C五个谐振腔的排布方式，滤波器谐振腔中两极化简并高次模TM102和TM201均存在。

图10为本发明实施例提供三种基于球状波导谐振器的滤波器A、滤波器B以及滤波器C仿真结果，其中滤波器A为基于理想球状(无形变)波导谐振腔的滤波器，滤波器B为基于变形球状谐振腔10的滤波器，滤波器C为基于第三变形球状波导谐振腔10c和变形球状波导谐振腔10的滤波器；所述的滤波器A和滤波器B结构与滤波器C整体结构类似；所述的基于变形球状波导谐振器的滤波器C仿真结果；滤波器工作于X波段，中心频率为10GHz，带宽为5％，其通带内损耗为0.2-0.3dB，带内回波损耗大于20dB，且该滤波器宽阻带内有超过34dB的带外杂散抑制效果。

由滤波器A、滤波器B以及滤波器C的仿真结果对比可知，所述的滤波器A频率响应的仿真结果在13.8GHz、16.6GHz以及18GHz处均有杂散通带，且杂散信号较强，所述的滤波器B频率响应的仿真结果在15.6GHz和17GHz处仍有较强的杂散，可知滤波器B杂散通带是滤波器A的杂散通带向高频偏移形成的，滤波器B相对滤波器A有较宽的无杂散阻带，所述滤波器C频率响应的仿真结果在15.6GHz和17GHz处仍有杂散存在，但是滤波器C的杂散抑制效果相对于滤波器A和滤波器B有超过34dB的改善。

所述滤波器C利用3D打印工艺加工，由于在打印过程中需要大量支撑结构，而附在下表面的支撑结构难以完全移除，因此打印出的器件其下表面的粗糙程度远高于上表面和侧面，如所述需支撑的下表面处于器件内部则将导致器件的无载品质因数恶化，因此在滤波器设计中，需要通过适当设计滤波器结构以及正确选择3D打印方向来避免这种向下的表面，从而避免由于工艺引起的滤波器性能恶化。

采用3D打印工艺加工，将滤波器C的侧面作为基面进行打印，打印时设置若干第一支撑件5和第二支撑件6，所述第一支撑件5顶面设置为弧面，所述弧面的形状分别与其对应的变形球状波导谐振腔10和第三变形球状波导谐振腔表面形状匹配；第二支撑件6表面为斜面，第二支撑件6用于支撑第一波导法兰盘30和第二波导法兰盘40；滤波器C的侧面是指以第三变形球状波导谐振腔为基准，开十字槽的面为顶面和底面，与所述十字槽所在平面垂直的面为侧面。

图11为本发明实施例提供一种基于球状波导谐振器的宽阻带抑制滤波器为滤波器C，所述滤波器C呈45°倾斜角的3D打印方式示意图；以第二变形球状波导谐振腔10b为例，给出器件内部下表面和上表面的相对位置，其中第一支撑件5为滤波器C加工过程中的支撑体，滤波器C在加工过程中第三变形球状波导谐振腔和第四变形球状波导谐振腔10d的顶面被耦合窗口替代，减小了所需的下表面支撑结构，从而使所加工的滤波器具有更高的无载品质因数，降低了滤波器的通带损耗。

以上为对本发明所提供的一种波导滤波器及其制造方法的描述，对于本领域的技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。