阅读说明：本技术 荧光粉涂布系统及方法 (fluorescent powder coating system and method ) 是由 黄涛 魏勇强 于 2018-05-28 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种荧光粉涂布系统及方法,其中,在该荧光粉涂布系统中包括：用于放置晶圆的载台；用于固定荧光胶载具的机械臂,机械臂与载台固定连接,置于载台上方；用于控制荧光胶涂布的点胶机,点胶机与荧光胶载具电连接；用于控制载台/机械臂按照预设路径运动的控制器,控制器分别与载台/机械臂及点胶机电连接。其采用控制器控制荧光胶载具定量出胶,代替现有技术中的人工手动打胶,使每次打胶都在设定范围内,节省荧光粉成本,避免荧光胶的浪费和人力的浪费。(The invention provides a fluorescent powder coating system and a method, wherein the fluorescent powder coating system comprises: a stage for placing a wafer; the mechanical arm is used for fixing the fluorescent glue carrier, is fixedly connected with the carrying platform and is arranged above the carrying platform; the glue dispenser is used for controlling the coating of the fluorescent glue and is electrically connected with the fluorescent glue carrier; and the controller is used for controlling the carrying platform/mechanical arm to move according to a preset path and is respectively and electrically connected with the carrying platform/mechanical arm and the dispenser. It adopts the ration of controller control fluorescence glue carrier to go out to glue, replaces artifical manual among the prior art to beat to glue, makes to beat at every turn and glues all in setting for the within range, saves the phosphor powder cost, avoids the waste of fluorescence glue and the waste of manpower.)

荧光粉涂布系统及方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种荧光粉涂布系统及方法。

背景技术

发光二极管凭借其高光效、低能耗、无污染等优点，已被应用于越来越多的 场合之中，大有取代传统光源的趋势。发光二极管是通过采用电流激发其发光芯 片的方式进行发光。由于单一的发光二极管芯片往往无法产生所需的颜色(特别 是日常照明用的白色)，因此通常在发光二极管芯片上涂布荧光粉，凭借荧光粉 的波长转换功能将发光二极管芯片的光色进行调整。

目前，荧光粉涂布的方法通常是，人工控制打胶针筒打出荧光粉，并且人工 移动出胶头在晶圆上方二分之一半径范围内做数次圆周运动，使荧光粉散布在晶 圆预定位置的表面上。但是人工控制会导致每次涂布的荧光粉量不稳定，导致荧 光粉的浪费，并且在晶圆表面的打胶范围也不一致，导致在后续的旋涂工艺中荧 光粉可能不能完全覆盖晶圆表面(如图1所示)造成返工。

发明内容

为了克服以上不足，本发明提供了一种荧光粉涂布系统及方法，有效解决现 有技术中荧光粉涂布易造成浪费的技术问题。

一种荧光粉涂布系统，包括：

用于放置晶圆的载台；

用于固定荧光胶载具的机械臂，机械臂与载台固定连接，置于载台上方；

用于控制荧光胶涂布的点胶机，点胶机与荧光胶载具电连接；

用于控制载台/机械臂按照预设路径运动的控制器，控制器分别与载台/机械 臂及点胶机电连接。

一种荧光粉涂布方法，应用于上述荧光粉涂布系统，包括：

将晶圆置于载台上；

将荧光胶载具置于机械臂中；

通过控制器设定载台移动晶圆或机械臂移动荧光胶载具的移动路径及荧光 胶载具的点胶量；

开启点胶机和控制器，载台移动晶圆或机械臂移动荧光胶载具完成荧光粉的 涂布。

本发明提供的荧光粉涂布系统及方法，采用控制器控制荧光胶载具定量出 胶，代替现有技术中的人工手动打胶，使每次打胶都在设定范围内，节省荧光粉 成本，避免荧光胶的浪费和人力的浪费；另外，采用台式机械臂代替人工移动出 胶头，使荧光胶载具中的出胶头按程序设定路径在晶圆表面移动，保证荧光粉在 后续的旋涂工艺中能完全覆盖晶圆表面。在实际应用中，采用该荧光粉涂布方法 应用于硅垂直结构LED芯片晶圆级荧光粉涂布工艺及蓝宝石激光剥离LED芯片 晶圆级荧光粉涂布工艺中，荧光粉用量可节约20％以上，工艺返工率由之前的 5％降至零返工。

附图说明

图1为现有人工滴涂荧光胶后旋涂机旋转后晶圆表面示意图；

图2为本发明中荧光粉涂布系统结构示意图；

图3为本发明中控制载台或机械臂横向运动路径示意图；

图4为本发明中控制载台或机械臂做圆周运动路径示意图。

附图标记：

1-载台，2-机械臂，3-点胶机，4-控制器。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图 说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一 些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可 以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

如图2所示为本发明提供的荧光粉涂布系统结构示意图，从图中可以看出， 在该荧光粉涂布系统中包括：用于放置晶圆的载台1；用于固定荧光胶载具(如 针筒等)的机械臂2，所述机械臂与所述载台固定连接，置于所述载台上方；用 于控制荧光胶涂布的点胶机3，所述点胶机与所述荧光胶载具电连接；用于控制 载台/机械臂按照预设路径运动的控制器4，所述控制器分别与载台/机械臂及点 胶机电连接。

在工作过程中，首先搭建该荧光粉涂布系统，将点胶机、控制器、载台及机 械臂连接起来；之后将待涂覆荧光胶的晶圆置于载台上，将配置好的荧光胶导入 荧光胶载具中，并将荧光胶载具固定在机械臂中。之后通过控制器设定载台移动 晶圆或机械臂移动荧光胶载具的移动路径、荧光胶载具的点胶量等参数；并开启 点胶机和控制器，以此，通过载台移动晶圆或机械臂移动荧光胶载具的方式，按 照预先设定的移动路径在晶圆表面涂覆荧光胶，当完成荧光粉的涂布之后，控制 点胶机停止点胶，智能控制整个垫脚的过程，无需人工进行涂布，也不会出现点 胶不均匀的情况。

具体，载台或机械臂在控制器的控制下可以沿X轴和Y轴方向移动，以此， 可以根据实际情况预先设定载台或机械臂的移动路径，如图3和图4所示为两个 移动路径的示意图，其中，图3所示控制载台或机械臂横向运动，如图4所示控 制载台或机械臂做圆周运动。

应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本发明的 优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发 明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明 的保护范围。