具体实施方式

以下，基于附图，对本发明的实施方式进行说明。图1是三维形状测量用X射线CT装置的概要图。

该三维形状测量用X射线CT装置(以下，称为X射线CT装置)具备X射线照射部11、X射线检测部12与旋转台13。该X射线CT装置将检查物设置在配设于对置配置的X射线照射部11与X射线检测部12之间的旋转台13上，进行非破坏的内部的观察或三维形状测量。

X射线照射部11在内部具备作为X射线源的X射线管，从X射线管产生与由高电压产生装置15供给的管电压、管电流相应的X射线。该高电压产生装置15由X射线控制部16控制，X射线控制部16与安装有进行X射线CT装置整体的控制的控制用软件的个人计算机PC连接。X射线检测器12是将CCD摄像机与图像增强器(I.I.)组合的检测器、或者是FPD(Flat PanelDetector：平板探测器)，经由CT图像重建运算装置18与个人计算机PC连接。另外，X射线检测器12构成为为了透视拍摄区域的放大缩小而能够接近或远离旋转台13。此外，旋转台13也能够接近或远离X射线照射部11。

旋转台13以与沿着从X射线照射部11连结X射线检测器12的X射线光轴L的X轴正交的Z轴为旋转轴R进行旋转，并且通过工作台驱动机构14，能够向XY方向的水平方向与Z方向的上下方向移动。并且，工作台驱动机构14经由工作台控制部17与个人计算机PC连接。

在X射线CT拍摄时，一边从X射线照射部11对设置于旋转台13的被检查物照射X射线一边以旋转轴R为中心对旋转台13施加旋转。然后，由X射线检测器12检测从遍及被检查物周围的360度的全部方向透射的X射线，将该X射线透射数据读取至CT图像重建运算装置18。

CT图像重建运算装置18由计算机构成，该计算机具备作为存储程序或X射线测器12的检测数据等的存储装置的ROM、RAM、硬盘等，与作为运算装置的CPU。在CT图像重建运算装置18中，使用所读取的360度的量的X射线透射数据，在沿着X-Y平面的面构筑切片后的被检查物的断层图像(CT图像)。CT图像从CT图像重建运算装置18被发送到个人计算机PC，用于基于安装在个人计算机PC中的三维图像构筑程序的三维图像化。

个人计算机PC连接有液晶显示器等显示装置23、以及由键盘22a与鼠标22b构成的输入装置22。另外，键盘22a或鼠标22b在各种操作中由操作员进行输入。显示装置23显示从CT图像重建运算装置18发送到个人计算机PC的CT图像，并且显示利用CT图像构筑的三维图像。另外，CT图像重建运算装置18的功能也可以与个人计算机PC一体化，作为计算机的周边装置或软件由一台计算机实现。

接着，对将该X射线CT装置作为三维形状测量用进行评价时使用的长度测量误差评价用器具30进行说明。X射线CT装置根据由X射线检测器12检测出的多个投影像求出被称为重建像的体数据，因此在作为三维形状测量用的评价时，要求能够对X射线检测器12的X射线检测区域实施大范围的测长精度确认。此外，X射线CT装置为了变更投影像的放大率而变更X射线源、旋转台13、X射线检测器12的位置关系，因此要求能够评价从各构成被理想组合的状态偏离的几何误差。进而，由于X射线CT装置使旋转台13旋转而进行X射线拍摄，因此还要求能够评价旋转台13的运动误差。

图2是本发明的三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具30的立体图。

该三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具30(以下，称为器具30)，通过将在前端固定了球35的长度不同的支承棒36、37、38安装于基台31，在基台31上的XYZ空间配置15个球35。在基台31的上部的平坦面32，以规定的间隔竖立设置有支承球35的长度不同的支承棒36、37、38。基台31由热变形极小的低热膨胀金属材料制成。此外，球35采用形状误差小(球形度高)的红宝石球等球体，支承棒36、37、38采用陶瓷等材料。

基台31的上部中球35的配置空间在保管时以及使用时被圆筒状的罩33覆盖，以使进行了基于CMM的坐标测量后的各球35的空间配置不会失常。该罩33由丙烯酸树脂等X射线透过率比较高的材料制成。另外，该罩33不需要对可见光透明，但优选对可见光是透明的。如果是透明的，则操作员能够直接看到内部，因此容易理解结构。

支承棒37具有比支承棒36长30mm的尺寸，支承棒38具有比支承棒37长30mm的尺寸。通过使用长度各差30mm的支承棒36、37、38，能够在3个Z位置配置多个(例如每一个Z位置配置5个)球35。即，通过将用于支承球35的支承棒36、37、38的长度的差异设为3个等级，使球35被配置在Z位置不同的3个X-Y平面上。并且，在该实施方式中，通过将最短的支承棒36与中间长度的支承棒37的长度之差，和中间长度的支承棒37与最长支承棒38的长度之差设为相同长度，使3个Z位置之间的间隔均等。

图3以及图4是对球35的配置进行说明的概要图。图3是示出由双点划线表示的圆筒形的拍摄空间中的各球35的配置的三维图像，图4是俯视概要图。在图4中示出了朝向被最短的支承棒36所支承的球35的Z位置的X-Y平面，与Z轴平行地对各球35的位置进行投影的投影坐标(Xi，Yi)。在此，图中的三角形(△)示出了被最短的支承棒36所支承的5个球35的位置，四边形(□)示出了被中间长度的支承棒37所支承的5个球35的位置，圆形(〇)示出了被最长的支承棒38所支承的5个球35的位置。

如图3以及图4所示，在该器具30中，在以投影坐标中的原点(0，0)为中心的半径约10mm的圆(内圆)上，在3个Z位置各配置1个球35，并且通过在半径约50mm的圆(外圆)上，在3个Z位置各配置4个球35，使该4个球35偏离约90度成大致十字型，从而配置有共计12个球35。由于投影坐标的原点(0，0)也是Z轴，因此Z位置不同的3个X-Y平面上各配置有5个，整体配置有共计15个球。由于各支承棒36、37、38的长度之差为30mm等的相同长度，因此3个X-Y平面在Z方向上距离相互均等地隔开。另外，在1个X-Y平面上，比配置于Z轴附近的内圆的球体更远的位置处，配置于隔开Z轴规定的距离的外圆上的球体的配置为,配置有多个相对于Z轴对置配置了2个球体的组，即，在该实施方式中，通过配置两组将2个球体相对于Z轴对置配置的组，从而配置有4个球35。并且，通过调整两组的位置以使通过该Z轴的同一线上连结两个球35的两个线段成为正交关系，从而将4个球35的配置设为相互偏离约90度的大致十字型。

在不同的3个X-Y平面中，在如图4所示的俯视观察中，配置于外圆上的各球35的位置关系为，以Z轴为中心在同一圆上等间隔地配置。即，在以图4的原点(0，0)为中心的圆上的位置中，位于相互隔开大致30度的位置。在该实施方式中，通过三角形(△)示出的Z位置以最低的X-Y平面中的4个球35的配置为基准，在将Z位置向上偏移的X-Y平面以Z轴为中心逆时针旋转了大致30度的位置配置有四边形(□)所示的四个球35，进而，在将从此处使Z位置向上偏移的X-Y平面以Z轴为中心逆时针旋转了大致30度的位置配置有圆形(○)所示的4个球35。即，在半径50mm、高60mm的圆筒的每90度角的外周面，按照三角形(△)、四边形(□)、圆形(○)的顺序,通过以Z轴为旋转轴旋转30度与平行于Z轴前进30mm的组合而将球35配置为螺旋状。像这样,配置于每3个X-Y平面的外周侧的多个球体作为拍摄空间的圆筒形状的区域(图3中用双点划线表示)的评价点配置为圆筒状。并且，外周侧的多个球体通过将配置于3个X-Y平面上的各平面的4个球体的配置位置相对于相邻的X-Y平面的球体的配置位置以Z轴为中心旋转大致30度进行配置，从而能够在俯视观察中在以Z轴为中心的圆上以大致30度间隔均等地配置。

如上所述，被最短的支承棒36所支承的5个球35中的4个、被中间长度的支承棒37所支承的5个球35中的4个、被最长的支承棒38所支承的5个球35中的4个，在以投影坐标的原点(0，0)为中心的半径50mm的圆上均等地配置。像这样，在该实施方式中，通过在各X-Y平面上各自将4个球35配置于同一圆上，从而使各球35与Z轴的距离变得相等。另外，在如图4所示的Z轴附近的3个球35之外的各球35中，如果原点(0，0)与各三角形(△)的距离的平均值、原点(0，0)与各四边形(□)的距离的平均值、原点(0，0)与各圆形(○)的距离的平均值成为相同，则不一定需要将球35配置在同一圆上。即，配置于各X-Y平面的Z轴附近的3个以外的球35，只要各球35与Z轴的距离在每个X-Y平面上的平均值大致相等即可。

被最短的支承棒36所支承的5个球35中的1个、被中间长度的支承棒37所支承的5个球35中的1个、被最长的支承棒38所支承的5个球35中的1个为本发明的内周侧球体，以均等间隔被配置在Z轴附近的半径约10mm以内的圆上。即，在Z轴方向的大致直线上，每3种Z位置各配置1个球35。另外，在该器具30中，由于是利用支承棒36、37、38分别支承球35的结构，因此无法严格地在投影坐标的原点(0,0)上配置仅Z位置不同的3个球35。因此，在本实施方式中，通过在Z轴附近的半径约10mm以内的圆上以均等间隔配置，实现在Z轴方向的多个球体的均等配置(纵向上球体的均等配置)。另外，作为Z轴附近的基准，是距Z轴的距离为在各X-Y平面上限定4个球35的配置位置的圆直径的20％以下左右的距离的范围。在本实施方式中，将被长度不同的支承棒36、37、38分别支承的3个球35以均等间隔配置于Z轴附近的内周圆上，但是若能够取得沿着Z轴高度不同的3点的球位置，也可以不配置在同一圆上。本发明中Z轴附近的“附近”中，包括以可视为中央位置的程度的距离远离中心的位置，也包括中心即Z轴上。此外，配置在Z轴附近的球35被配置于，在各个Z位置的各X-Y平面上的半径50mm的圆上所配置的4个球35中、将隔着原点(0，0)处于对角关系的2个球连结的线上，从而容易掌握从Z轴偏离的量与俯视观察中以Z轴为中心的均等配置。

图5～图8是对球35的配置的变形例进行说明的概要图。图5以及图7是示出在拍摄空间的各球35的配置的三维图像，图6以及图8是俯视概要图。在该变形例中，用黑色圆形表示Z位置较低的X-Y平面上的球35的位置，用白色圆形表示Z位置较高的X-Y平面上的球35的位置。

在图5以及图6所示的球35的配置中，通过在Z轴配置1个球体，从而Z方向的评价点为1点。并且，在不同的2个X-Y平面中，以Z轴为中心沿着一个外周各配置2个球35。在图6所示的俯视观察中，各球35被等间隔地配置在同一圆上。

在图5以及图6所示的球35的配置中，能够通过Z轴的一个球35评价配置有外周侧球体的区域的内侧区域中的拍摄空间。然后，通过沿着外周圆对置配置2个球体使得至少能够将球35投影到接近X射线检测器12的横向的最大X射线检测区域的位置，从而能够在圆筒形状的拍摄空间中得到多个评价点。此外，通过在每2个Z位置不同的X-Y平面配置2个外周侧的球35，能够在接近X射线检测器12的纵向的最大X射线检测区域的位置且不同的高度位置投影球35。因此，在改变Z位置进行多次拍摄的情况下，就能够以较少的拍摄次数对圆筒状的拍摄视野空间内进行评价，而不会在一次拍摄空间彼此之间产生无法评价的范围。进而，通过在每组Z位置不同的X-Y平面配置2个球35，能够进行旋转台13的运动误差的评价、几何误差的评价。

另外，在本变形例中，在不同的2个X-Y平面中，在每个X-Y平面对置配置有2个球35，但是如果2个X-Y平面的各球35沿着一个外周圆配置，则它们的配置也可以不是严格的等间隔，此外，也可以不在每个X-Y平面对置配置。本发明中的外周侧的球体的“外周”是指具有能够在接近X射线检测器12的横向的最大X射线检测区域的位置对球35进行投影的直径的圆，或者具有长径的椭圆等的圆周。通过在2个以上的Z位置不同的X-Y平面各配置2个以上的球体，由此，能够消除如参照图15(c)进行说明的以往的跟踪仪那样球体被配置为圆锥面状而在圆筒状的拍摄空间中产生无法评价的范围这一问题。

本发明中的外周侧的球体是指，沿着能够在接近X射线检测器12的横向的最大X射线检测区域的位置投影球35的外周，配置于多个X-Y平面的球体，且只要沿着圆周，则所有的球体也可以不具有与Z轴的距离相等的关系。此外，本发明中的外周侧的球体被配置为圆筒状是指，如果在不同的X-Y平面间使各自的X-Y平面的多个球体朝向其他的X-Y平面并与Z轴平行前进，则能够形成2个X-Y平面的Z位置之差成为高度的圆筒形状的状态的球体的配置。

在图7以及图8所示的球35的配置中，Z方向的评价点有2点。即，在每2个X-Y平面Z轴附近配置1个球35，其不同的X-Y平面间的Z轴附近的球35在图8所示的俯视观察中，成为沿着Z轴附近的内周圆的位置关系。本发明中的内周侧的球体的“内周”是指，与外周相对的内侧的圆周，且通过使不同的X-Y平面间的Z轴附近的球体的位置关系具有设计上的一定的规则性，从而能够确保器具制作上的均匀性。与图5以及图6的变形例相比较，通过增加Z方向的评价点，能够对成为重复多次X射线CT拍摄时的每一次X射线CT拍摄的评价对象的圆筒状空间彼此的相互位置关系进行评价。

球35的配置除了参照图1～图8进行说明以外，还能够进行变形。即，根据X射线检测器12的尺寸、改变Z轴的位置的多次X射线CT拍摄的必要性，能够对配置多个外周侧球体的X-Y平面的数量、配置于其中的球体的数量进行变更。

对将支承球35的支承棒36、37、38固定于基台31的结构进行说明。图9是对将圆柱状的支承棒36固定于基台31时的、三维空间中的约束条件进行说明的图。图10是对基于楔形挡块的力的传递进行说明的图。

为了将圆柱状的支承棒36、37、38固定于基台31，考虑在图9中对空心箭头标记带圆圈的1～5的标号来表示5个自由度。即，关于X-Y平面上，在图9的1与2的点，利用来自其相反方向的力(1与2的中间方向的180度反向的力)进行约束，并且，在3与4的点，利用来自其相反方向的力(3与4的中间方向的180度反向的力)进行约束。关于Z轴方向的前进，在图9的5的点，利用来自其相反方向的力进行约束。并且，对于Z轴方向的旋转，除了在图9的1～5的点的约束之外，能够通过面接触产生的摩擦力来进行约束。

如图9中虚线箭头所示，为了约束支承棒36、37、38的X-Y平面上的前进方向的自由度与Z轴上的前进方向(上下方向)的自由度，需要同时向支承棒36施加夹角呈90度的不同的两个方向的力。作为能够将这样的力传递的机构，能够采用将具有45度的锐角的楔形形状的楔形与约束支承棒36的挡块的形状组合的挡块。如图10所示，在组合了彼此在倾斜面接触的楔形的形状的3个部件的楔形挡块中，相对于使用空心箭头所示的载荷，通过倾斜面的作用，能够产生如图10中虚线箭头所示的夹角呈90度不同的2个方向的力。

图11是对支承棒保持机构40进行说明的分解立体图。图12是示出将支承棒保持机构40插入基台31的状态的概要图。图12(a)是支承棒保持机构40的俯视图，图12(b)是图12(a)的A-A’剖视图。

该支承棒保持机构40由设置有可插入支承棒36、37、38的空间的有底圆筒部件41、用于约束支承棒36、37、38的固定用挡块45与载荷传递用挡块46、用于对固定用挡块45与载荷传递用挡块46施加载荷的载荷用螺栓42构成。另外，由于支承棒36、37、38是长度相互不同的同一直径的棒材，因此在以下的说明中，作为支承棒36进行说明。

在圆筒部件41的开口的内壁，形成有与在后述的载荷用螺栓42的外周形成的外螺纹部43螺纹接合的内螺纹。此外，在圆筒部件41的侧面，从圆筒轴向3方向、以大致120度的等间隔形成有用于配置固定用挡块45以及载荷传递用挡块46的冲孔44。在设置于该圆筒部件41的侧面的3处冲孔44分别配置有2个固定用挡块45与1个载荷传递用挡块46。在固定用挡块45中，在相当于图9所示的1与3的点、2与4的点的位置设置有与支承棒36抵接的凸部47。另外，在本实施方式的固定用挡块45中，在与支承棒36抵接一侧的相反侧的面对应的位置，同样设置有凸部47。

载荷传递用挡块46是参照图10进行说明的楔形挡块，由彼此在倾斜面接合的3个楔形部件46a、46b、46c构成，若以将这3个楔形部件46a、46b、46c与各自的倾斜面匹配的方式进行组合，则成为一个棱柱。如果对载荷传递用挡块46施加沿着棱柱的轴的压缩方向的力，则3个楔形部件46a、46b、46c通过在倾斜面的滑动而相互移动。

在基台31上设置有比圆筒部件41的外径稍大的、用于收容圆筒部件41的孔，该孔的数量与希望配置在XYZ空间的球35的数量对应。并且，在将载荷传递用挡块46与两个固定用挡块45配置于冲孔44的状态下，将圆筒部件41插入该基台31的各孔。

载荷用螺栓42是螺栓状部件，在中央部设置有使支承棒36贯通的孔，在外周部设置有与形成于圆筒部件41的开口的内壁的内螺纹螺纹接合的外螺纹部43。载荷用螺栓42在中央部形成有孔这一点上与一般的螺栓不同，但是通过在未形成外螺纹的部分形成平行的平面等，能够利用一般的工具即扳手进行旋转，能够相对于圆筒部件41进行安装、拆卸。

若将载荷用螺栓42紧固于圆筒部件41，则沿着挡块的长轴方向对载荷传递用挡块46施加力。在本实施方式中，使组合了3个楔形部件46a、46b、46c的载荷传递用挡块46的长轴方向的长度比固定用挡块45的长轴方向的长度足够大。由此，在紧固载荷用螺栓42时，载荷用螺栓42不与固定用挡块45的上端部抵接，此时的载荷仅传递至载荷传递用挡块46。另外，在本实施方式的固定用挡块45中，也可以通过将长轴方向的长度设为比载荷传递用挡块46的长度小，在紧固载荷用螺栓42时，使固定用挡块45的上端部不与载荷用螺栓42抵接，但也可以使长轴方向的长度与载荷传递用挡块46相同，以固定用挡块45的上端部成为载荷用螺栓42的直径的外侧的方式使与支承棒36抵接侧的上侧的凸部的形状变形。

如参照图10所说明的那样，通过该载荷用螺栓42的紧固而对载荷传递用挡块46施加的力在楔形部件46a与楔形部件46b的倾斜面彼此的接合部分，分散为相对于载荷方向水平方向的力与垂直方向的力。进而，垂直方向的力在楔形部件46b与楔形部件46c的倾斜面彼此的接合部分，分散为相对于载荷方向水平方向的力与垂直方向的力。通过像这样的朝向差90度的2个方向的力，对支承棒36施加朝向支承棒36的中心轴的力与朝向下方的力。朝向支承棒36的中心轴的力从配置有载荷传递用挡块46的位置向设置于±120度方向(参照图12(a))的固定用挡块45传递。然后，通过相对于固定用挡块45的凸部47与支承棒36的抵接点的相反侧的力，支承棒36被约束在X-Y平面上。此外，朝向支承棒36的下方的力向圆筒部件41传递。支承棒36的下端以从圆筒部件41的底部浮起那样的Z轴方向的动作被来自其相反方向的力即在载荷用螺栓42紧固时与对载荷传递用挡块46施加的载荷方向相同的方向的力所约束。此时，与载荷用螺栓42直接接触的楔形部件46a通过楔形部件46a与楔形部件46b所接触的倾斜面的倾斜而滑动，并向支承棒36侧微小移动，从而被按压于支承棒36的外周面。因此，支承棒36的旋转方向的动作通过支承棒36的外周面与楔形部件46a的面之间的摩擦力被约束。

此外，在将载荷用螺栓42紧固于圆筒部件41的状态下，载荷传递用挡块46的楔形部件46a、46b、46c中，在与圆筒部件41的底面接触的状态下配置的楔形部件46c利用楔形部件46b与楔形部件46c所接触的倾斜面的倾斜而滑动，朝向圆筒部件41的外侧微小移动。由此，楔形部件46c被按压于比圆筒部件41的外周更靠外侧的基台31的内壁面。此时楔形部件46b伴随着楔形部件46a与楔形部件46c向彼此相反的方向微小移动而倾斜，上部前端被按压于比圆筒部件41的外周更靠外侧的基台31的内壁面。此外，由于采用比铁柔软的铝等金属作为固定用挡块45以及载荷传递用挡块46的材料，因此若经由载荷传递用挡块46承受由载荷用螺栓42的紧固产生的载荷，则通过被按压于支承棒36使固定用挡块45也微小变形，并且与朝向固定用挡块45的支承棒侧的凸部47相反侧的凸部47被按压于基台31的内壁面。通过像这样的按压于基台31的内壁面的力的作用，包含圆筒部件41的支承棒保持机构40被固定于基台31，支承棒36被固定于基台31。

另外，在本实施方式中，采用了楔形的形状作为载荷传递用挡块46，但是也可以采用其他形状，只要是能够将来自1个方向的载荷分散为2个方向从而向支承棒36施加横向与下方向的力的机构即可。

接着，对将球35固定于支承棒36、37、38的前端的结构进行说明。图13是对支承棒前端中的球35的粘接结构进行说明的剖面概要图。以下的说明不仅关于支承棒36，对支承棒37与支承棒38也相同。

在本实施方式的支承棒36的一端(前端)为了固定球35而实施圆锥形的凹加工，与固定球35一侧的相反侧的端部为与圆筒部件41的底面接触的平坦的形状。如图13所示，如果将球35载置于圆锥凹部51，则球35在圆锥凹部51的圆锥倾斜面的标号t所示的圆形的线上接触。圆锥凹部51的深度以及圆锥面的倾斜由球35的直径决定，使得作为圆锥凹部51的边缘的支承棒36的上端52比球35的赤道e更靠近圆锥凹部51中的圆锥的顶点侧。球35通过粘接剂被固定于圆锥凹部51的圆锥形斜面。

球35如之前参照图17(a)进行说明的那样，无需实施用于插入细轴239的孔加工，在球35的赤道e上没有X射线透射像失真的结构体。因此，不会在本来应该检测的球单体的X射线CT图像的中心位置以及球的形状、与实际照射X射线所得到的球单体的X射线CT图像的中心位置以及球的形状之间产生不能忽视的偏差。

由于支承棒36与球35的接触被限制在圆锥倾斜面的圆的线上，因此难以受到各球35的加工精度的差的影响，能够比现有技术更稳定地对支承棒36进行球35的安装。此外，由于没有直接接触的支承棒36的圆锥面与球35的外侧部分之间的一定间隙也可以通过粘接剂来填充，因此也能够稳定球35的保持力。

对将球35固定于各支承棒36、37、38的前端的其他的结构进行说明。图14是对支承棒前端中的球35的粘接结构进行说明的剖面概要图。以下的说明不仅关于支承棒36，对支承棒37与支承棒38也同样。

在图14所示的支承棒36的前端与图13所示的结构相同，形成有用于载置球35的圆锥凹部51。并且，在如图14所示的支承棒36的前端设置有从圆锥凹部51的底部穿过支承棒36的外侧面的通孔54。该通孔54用于使固定球35时的粘接剂逃散至圆锥凹部51之外。通过设置这样的通孔54，能够使圆锥倾斜面与球35之间的粘接材料变薄。此外，通过粘接剂固化时的收缩作用，产生将球35朝向圆锥凹部51的底部拉伸的力，提高球35的保持力。另外，在图14所示的实施例中，通过通孔54连通到支承棒36的外侧面，粘接剂更容易逃散，但是该通孔54可以不必贯通到支承棒36的外侧面。仅通过在圆锥凹部51的底部设置较细的圆柱凹部，也可以得到相同程度的效果。

在对该器具30进行X射线CT拍摄之前，通过CMM进行15个球35的坐标测量，将各球35的坐标信息、根据坐标测量结果求出的球间距离的值存储在个人计算机PC中。

此外，在该器具30中，能够实现支承棒保持机构40对三维空间中的各支承棒36、37、38的约束，且球35被稳定地固定于形成有圆锥凹部51的各支承棒36、37、38。因此，在将器具30载置于旋转台13上之前的输送时或设置时使器具30倾斜的情况下或者上下颠倒的情况下，也能够比以往减少球位置的变化。此外，在通过CMM进行坐标测量时，即使在因探针对球35的接触而使相当量的外力施加于各支承棒36、37、38的情况下，也能够防止如以往那样的球位置变化。

若CMM坐标测量结束，则通过罩33覆盖配置了各球35的XYZ空间。在该器具30中，由于将球35的数量抑制在15个，因此能够迅速地进行CMM的坐标测量。此外，由于与以往相比能够削减零件数量，因此也能够抑制器具30的制作成本。

在对该器具30进行X射线CT拍摄时，在旋转台13上安装了罩33的状态下对器具30定位，执行X射线CT拍摄。

在本实施方式的器具30中，各球35的投影坐标(Xi，Y i)如图4所示大致均等，Z位置不同的3个X-Y平面的Z方向的位置也大致均等，因此，配置于XYZ空间的15个球35不会成为在以往那样的圆锥表面上配置球体的结构，其分别具有适度的距离间隔。通过这样的球体配置，能够完全地捕捉X射线CT装置固有的空间畸变。

在本实施方式的器具30中，通过将基台31的上表面设为平坦面32，通过改变支承球35的支承棒36、37、38的长度，能够使一次X射线CT拍摄中的拍摄视野空间中的Z轴方向的评价范围比以往的具有台阶状的基台的器具宽。

此外，在本实施方式的器具30中，使长度最短的支承棒36与最长的支承棒38的长度的差(例如60mm)比以如图4所示的投影坐标的原点(0，0)为中心的圆的半径(50mm)长。因此，多个球体的配置范围是多个X-Y平面中Z位置最低的X-Y平面与Z位置最高的X-Y平面的Z方向的距离比距Z轴的XY方向的距离大的范围。像这样，在本实施方式中，由于将X-Y平面上的球35的配置范围与Z轴方向的配置范围的差设为比以往小，因此，例如在X射线检测器12的纵横的尺寸比相等的情况下，能够通过2次X射线CT拍摄而各向同性地评价圆筒状的拍摄视野空间，在X射线检测器12的纵横的尺寸比为纵：横＝1：2的情况下，能够通过1次X射线CT拍摄而各向同性地评价圆筒状的拍摄视野空间。像这样地，与以往相比，能够减少改变Z轴位置而进行重复测量的次数，因此能够缩短用于X射线CT装置的测量精度评价的拍摄时间。

另外，为了能够通过1次X射线CT拍摄而各向同性地评价圆筒状的拍摄视野空间，在X射线检测器12的纵横的尺寸比相等的情况下，优选多个X-Y平面中Z位置最低的X-Y平面与Z位置最高的X-Y平面的Z方向的距离与距Z轴的XY方向的距离的2倍距离大致相等。球35的配置范围根据X射线检测器12的尺寸与支承棒36、37、38的材料的挠曲所产生的长度等，在多个X-Y平面中Z位置最低的X-Y平面与Z位置最高的X-Y平面的Z方向的距离在比距Z轴的XY方向的距离(以图4所示的投影坐标的原点(0，0)为中心的圆的半径)大，比距离Z轴的XY方向的距离的2倍(以图4所示的投影坐标的原点(0，0)为中心的圆的直径)小或者大致相等的范围之间进行变更即可。

附图标记说明

11 X射线照射部

12 X射线检测器

13 旋转台

14 工作台驱动机构

15 高电压产生装置

16 X射线控制部

17 工作台控制部

18 CT图像重建运算装置

22 输入装置

23 显示装置

30 器具

31 基台

32 平坦面

33 罩

35 球体

36 支承棒

37 支承棒

38 支承棒

40 支承棒保持机构

41 圆筒部件

42 载荷用螺栓

43 外螺纹部

44 冲孔

45 固定用挡块

46 载荷传递用挡块

47 凸部

51 圆锥凹部

52 上端

54 通孔

131 基台

136 支承棒

140 固定部件

144 分割部分的间隙

145 紧固螺钉

153 外螺纹部

150 固定部件

231 基台

235 开孔球

236 支承棒

239 细轴。