具体实施方式

下面，参照附图来详细地说明本发明的实施方式。此外，本发明并不限定于以下的实施方式和实施例中记载的内容。另外，以下所记载的实施方式和实施例中的构成要件包括本领域人员能够容易地想到的构成要件、实质上相同的构成要件、所谓同等范围的构成要件。并且，可以将以下记载的实施方式和实施例中公开的构成要素适当进行组合来使用，也可以适当地进行选择来使用。

图1表示本发明的实施方式。此外，在图1中，将相对于纸面的左右方向设为z轴方向、将相对于纸面的上下方向设为y轴方向、将相对于纸面垂直的方向设为x轴方向来进行说明。

X射线测量装置100为使用X射线对被测定物进行三维形状测量的装置，如图1所示，X射线测量装置100具备主体部108、主计算机128以及运动控制器130。

此外，在图1、图2中，取代被测定物而将校正治具102载置于旋转台120上。如图3A、图3B所示，校正治具102由能够使X射线118透过的材质(例如铝等)制成，并且提前在板状构件104上以固定的相对位置间隔设置了多个(例如4个*3个即N＝12个)直径为D的球(基准物体)106(即，球106以相对位置间隔(也称作相对位置)配置于N个部位)。然而，例如虽然提前已知固定的相对位置间隔，但设是校正治具102由于经年变化而发生变形从而全部的球106的位置相对于固定的相对位置间隔发生了偏离(即，在图3A、图3B中，特定的相对位置间隔Pu、Pv未知，并非固定的间隔)。在该时间点，也可以说N个球106、换言之为处于N个部位的球106的相对位置X(1～N)为未知状态(X(1～N)与X1～XN表示相同的含义，下面进行同样的记载)。其中，在本实施方式中，设是在校正治具102中将全部的球106仅载置于一个平面上。此外，球106的形状简单，呈能够根据投影于X射线图像检测器124的投影像容易地确定的形状。此外，在图3A中，将相对于纸面的左右方向设为u轴方向，将相对于纸面的上下方向设为v轴方向，将相对于纸面垂直的方向设为w轴方向。

另外，校正治具102具备使板状构件104向xyz这3个轴方向移动的3轴直动台。因此，校正治具102能够以不改变球106的特定的相对位置间隔的方式使配置于N个部位的球106自如地进行平行移动(不限于此，也可以是旋转台120具备所述3轴直动台)。在将校正治具102载置于旋转台120并且照射X射线118时，将该3轴直动台尚未运动的状态的位置设为第一个台位置Dis1。而且，在照射X射线118时，设为i＝j，将3轴直动台以后述的式(1)的差位置Erj满足后述的式(2)的方式运动至第i(1≤i≤N)个的状态的位置设为第i个台位置Disi。

如图1所示，所述主体部108在基部112上具备用于防止X射线118的泄漏的X射线遮蔽罩110、产生X射线118的X射线源116、将被测定物(未图示)以能够旋转的方式载置的旋转台120以及对透过了被测定物的X射线118进行检测的X射线图像检测器124。X射线源116设置于基部112上的射线源支承基座114。射线源支承基座114能够具备能够使X射线源116向xyz这3个轴方向移动的直动机构。旋转台120设置于基部112上的台支承基座122。此外，台支承基座122具备能够使被测定物向xyz这3个轴方向移动的直动机构。并且，可以在台支承基座122设置能够对旋转台120的旋转轴Ax进行倾斜调整的倾斜机构。X射线图像检测器124具有对X射线118具有灵敏度的二维的检测面124A。X射线图像检测器124支承于基部112上的检测器支承基座126。检测器支承基座126也可以具备能够使X射线图像检测器124向xyz这3个轴方向移动的直动机构。来自X射线源116的X射线118的放射线束被调整为沿z轴方向呈圆锥状扩散，其中心线与旋转台120的旋转轴Ax交叉并且为X射线图像检测器124的检测面124A的垂线。

图1所示的所述主计算机128控制主体部108的射线源支承基座114、X射线源116、旋转台120、台支承基座122、X射线图像检测器124以及检测器支承基座126。另外，主计算机128通过读出并且执行未图示的存储部中保存的程序，还能够自动或半自动地进行X射线测量装置100的测量动作和校正。也就是说，在X射线测量装置100的测量动作中，主计算机128例如对由X射线图像检测器124得到的投影像的数据进行重建来制作被测定物的三维体数据。

而且，在X射线测量装置100的校正中，主计算机128例如如式(1)所示那样计算两个球106的第j个(另一个)球106的投影像的重心位置ImDisj_h_Sphr_j(2≤j≤N)相对于第1个(一个)球106的投影像的重心位置ImDis1_Sphr_1的差即差位置Erj。

Erj＝ImDis1_Sphr_1―ImDisj_h_Sphr_j (1)

此外，标记Disj_h表示进行平行移动直至第j个台位置Disj为止时的台位置。也就是说，在台位置Disj_h＝台位置Disj时，通过满足式(2)而被主计算机128视作第1个球106的投影像与第j个球106的投影像的相关度最大的情况。此外，规定值Vx为比校正的精度更接近零的值，能够根据校正的精度水平来适当决定。

Erj≤Vx (2)

此时的第j个球106相对于第1个球106的移动位置Mj由式(3)表示。

Mj＝Dis1-Disj (3)

也就是说，第j个球106相对于第1个球106的相对位置Xj由式(4)表示。

Xj＝Mj＝Dis1-Disj (4)

即，在本实施方式中，台位置D_is(1～N)分别为球106的相对位置X(1～N)。

另外，假定不是旋转台120进行了旋转而是X射线源116进行了旋转，主计算机128例如能够使用通过以下所示的一系列式表示的关系，根据第k(1≤k≤Q；Q为3以上的自然数)个旋转台120的旋转位置的3行*3列的投影变换矩阵(变换矩阵)Hk来计算第k个假定旋转位置的X射线源116的绝对位置Xs(图7A、图7B)。

具体地说明时，首先，根据X射线源116与X射线图像检测器124的距离f以及从X射线源116向X射线图像检测器124引出的垂线的垂足的位置Cc(cx，cy)来定义式(5)所示的内部参数矩阵A。此外，在X射线图像检测器124的像素的纵横比不同的情况下，内部参数矩阵A的第1行1列的距离f与第2行2列的距离f的值稍有不同。另外，也有时内部参数矩阵A的第1行2列使用与图像的失真有关的倾斜S，但在本实施方式中，将倾斜S设为0。

此时，第k个假定旋转位置的旋转矩阵Rk为包括三个列向量rk1、rk2、rk3的3行*3列，能够如式(6)那样表示。

Rk＝[rk1 rk2 rk3] (6)

在此，通过使用第k个假定旋转位置的平移矩阵Tk(1列的平移向量)、式(5)、(6)，能够将投影变换矩阵Hk如式(7)那样分解。

Hk＝A[rk1 rk2 Tk] (7)

根据式(7)，能够如式(8)所示那样计算第k个假定旋转位置的X射线源116的绝对位置Xs。此外，标记-inv()表示逆矩阵。

Xs＝-inv(Rk)*Tk (8)

另外，主计算机128通过对第k个假定旋转位置的X射线源116的绝对位置Xs进行坐标变换，还能够计算第k个旋转位置Posk的球106的绝对位置Xa(1～N)。

另外，主计算机128能够根据通过旋转台120的旋转产生的球106的绝对位置Xa(1～N)的变化，来计算旋转台120的旋转中心位置Cp。

此外，在X射线源116与X射线图像检测器124的距离f以及从X射线源116向X射线图像检测器124引出的垂线的垂足的位置Cc未知时，主计算机128将距离f和位置Cc进行变量化并将适当的值代入其中，使用式(8)、即基于投影变换矩阵Hk(k＝1～Q)来计算Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs。主计算机128根据计算出的Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs，例如通过最小二乘法对正圆(虚拟正圆)进行拟合。而且，主计算机128对虚拟正圆的轨迹上的位置与Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs的距离误差进行评价，计算距离误差最少的情况下的距离f和位置Cc。此外，此时旋转位置的总数Q为3以上，即，使旋转台120以规定角度α旋转三次以上。

图1所示的所述运动控制器130与主计算机128连接，用以控制主体部108的X射线源116、旋转台120的旋转/移动以及各种机构。

接着，简略地说明X射线测量装置100的测定动作。

在进行测定时，在产生了X射线118的状态下使旋转台120上的被测定物旋转，从多个角度方向(例如角度分割数约为1000～6000)收集投影像。以水平地横剖被测定物的切割平面为基准面将收集到的投影像进行重建处理，来制作被测定物的三维体数据(三维像)。

接着，使用图4至图6来说明X射线测量装置100的校正过程。在此，通过主计算机128进行全部的运算。此外，例如在i＝1时，第i个台位置Disi表示台位置Dis1。而且，重心位置ImDis(1～N)_Sphr_(1～N)表示重心位置ImDis1_Sphr_1～ImDisN_Sphr_N。另外，在k＝1时，第k个旋转位置Posk表示旋转位置Pos1。而且，在第k个旋转位置Posk处球106的数量为N时，重心位置ImPosk_Sphr_(1～N)表示第k个旋转位置Posk的N个球106的重心位置ImPosk_Sphr_1～ImPosk_Sphr_N。

首先，将以特定的相对位置间隔设置有多个球106的校正治具102载置于旋转台120(图4的步骤S2；载置工序)。

接着，设为j＝2，在处于N个部位的球106中的两个球106中，使第j个球106的位置相对于第1个球106的位置以不改变处于N个部位的球106的特定的相对位置间隔的方式平行移动。此时，向校正治具102照射X射线118，并从X射线图像检测器124的输出中获取第j个球106的投影像的重心位置ImDisj_h_Sphr_j相对于第1个球106的投影像的重心位置ImDis1_Sphr_1的差位置Erj的大小为规定值Vx以下的移动位置Mj(移动位置获取工序)。主要在以下说明的图4的步骤S4到步骤S12中进行该工序。

首先，在未进行平行移动的状态下，向校正治具102照射X射线118，并根据X射线图像检测器124的输出来确定N个(N＝12)球106各自的投影像的重心位置(特征点的位置)ImDis1_Sphr_(1～N)，并且进行记录(图4的步骤S4)。然后是第2个球106，因此设为j＝2(图4的步骤S6)。

接着，计算第j个球106的投影像的重心位置ImDisj_h_Sphr_j相对于第1个球106的投影像的重心位置ImDis1_Sphr_1的差位置Erj。然后，基于该差位置Erj来进行处于N个部位的球106的平行移动(图4的步骤S8)。关于规定此时的平行移动的移动位置Mj，例如能够直接使用差位置Erj。

接着，再次向校正治具102照射X射线118，并根据X射线图像检测器124的输出来确定第j个球106的投影像的重心位置ImDisj_h_Sphr_j(图4的步骤S10)。在此，台位置Disj_h能够设为对移动位置Mj附加最初的台位置Dis1所得到的位置。然后，计算第j个球106的投影像的重心位置ImDisj_h_Sphr_j相对于第1个球106的投影像的重心位置ImDis1_Sphr_1的差位置Erj。

接着，判定差位置Erj是否为规定值Vx以下(图4的步骤S12)。然后，如果差位置Erj不为规定值Vx以下(在图4的步骤S12中为“否”)，重复进行步骤S8至步骤S12，直至差位置Erj为规定值Vx以下为止。此外，例如能够将前次(最初)的差位置Er1的大小与本次的差位置Er2的大小进行比较来确定规定下一次平行移动的移动位置Mj。

然后，在差位置Erj为规定值Vx以下的阶段(在图4的步骤S12中为“是”)，记录移动位置Mj。

接着，对其余的球106进行移动位置获取工序，以使处于N个部位的全部的球106彼此通过移动位置Mj建立关联，并根据各个移动位置Mj(j＝1～N)来计算球106的相对位置(特定的相对位置间隔)X(1～N)(相对位置计算工序)。该工序主要由以下说明的图4的步骤S14至步骤S18构成。

首先，由于已经获取第j个球106相对于第1个球106的移动位置Mj(j＝2)，因此在步骤S14和步骤S16中获取第j＝3～N个球106相对于第1个球106的移动位置Mj(j＝3～N)。在获取到第j个球106相对于第1个球106的移动位置Mj(j＝2～N)的阶段(在图4的步骤S14中为“是”)，进入图4的步骤S18。此外，在本实施方式中，以第1个球106为基准，使其余的球106全部与第1个球106的位置一致，由此对其余的球106进行移动位置获取工序，以使处于N个部位的全部的球106彼此通过移动位置Mj建立关联(此外，不限于此，例如也可以使第j+1个球106的位置与第j个球106一致)。

接着，使用第j＝2～N个球106相对于第1个球106的移动位置Mj(j＝2～N)来进行球106的相对位置X(1～N)的计算(图4的步骤S18)。

接着，将旋转台120尚未旋转的状态设为k＝1(图4的步骤S20)。然后，向校正治具102照射X射线118，并且根据X射线图像检测器124的输出来确定处于N个部位的球106各自的投影像的重心位置ImPosk_Sphr_(1～N)(图4的步骤S22；特征位置计算工序)。此外，该工序中可以延用进行图4的步骤S4所得到的结果。

接着，根据处于N个部位的球106各自的投影像的重心位置ImDis(1～N)_Sphr_(1～N)和球106的相对位置X(1～N)来计算用于进行球106的向X射线图像检测器124的检测面124A的投影变换的投影变换矩阵Hk(图4的步骤S24；变换矩阵计算工序)。

接着，判断旋转位置Posk的数量k是否为Q以上(在本实施方式中为三次以上即可)(图4的步骤S26)。如果旋转位置Posk的数量k不为Q(Q≥3)以上(在图4的步骤S26中为“否”)，则使旋转台120以规定角度α旋转(图4的步骤S28)。然后，使旋转位置Posk的数量k加1(图4的步骤S30)，重复进行步骤S22和步骤S24(步骤S22～步骤S30；旋转检测工序)。在旋转位置Posk的数量k为Q(Q≥3)以上时(在图4的步骤S26中为“是”)，进入步骤S32。也就是说，在旋转检测工序中，使旋转台120以规定角度α旋转两次以上，重复进行从特征位置计算工序至变换矩阵计算工序的工序。此外，在本实施方式中，规定角度α例如设为固定的30度，但不特别地进行限定，可以为更小的角度，也可以是规定角度α每次都变化。

接着，基于投影变换矩阵Hk(k＝1～Q)来计算每旋转规定角度α时(Q个部位)的球106的绝对位置Xa(1～N)(图4的步骤S32；位置计算工序)。也在后文中叙述该工序的详情。

接着，根据通过旋转台120的旋转产生的Q个部位的球106的绝对位置Xa(1～N)的变化，来计算旋转台120的旋转中心位置Cp和旋转轴Ax(图4的步骤S34；中心位置计算工序)。在该工序中，首先，例如根据球106的绝对位置Xa(1～N)的变化来计算以正圆进行拟合所得到的轨迹Fb的中心位置Cp，将该中心位置Cp设为旋转台120的旋转中心位置Cp。更详细地说明，将Q个部位的球106的绝对位置Xa(1～N)拟合成正圆。此时，如果Q>3，则例如通过最小二乘法来计算正圆的中心位置Cp。如果Q＝3，则例如通过联立方程式来计算正圆的中心位置Cp。

而且，例如计算以正圆进行拟合所得到的轨迹Fb的相对于水平面(xz平面)的倾斜角度。而且，计算旋转台120的旋转中心位置Cp和旋转轴Ax。此时，针对N＝12个球106分别计算正圆的中心位置Cp及其轨迹Fb，因此将12个球106的正圆的中心位置Cp平均化来计算旋转中心位置Cp，并且将这些轨迹Fb的相对于水平面的倾斜平均化，由此能够计算旋转轴Ax的倾斜角度，从而能够计算旋转轴Ax。

在此，下面使用图5来说明位置计算工序的一例。

首先，假定不是旋转台120进行了旋转而是X射线源116和X射线图像检测器124进行了旋转(图5的步骤S60)。而且，在图7A中示出旋转台120进行了旋转时的规定角度α和球106的轨迹Fb。而且，在图7B中记载了假定X射线源116和X射线图像检测器124进行了旋转时的X射线源116的绝对位置Xs的轨迹Fs。

接着，基于投影变换矩阵Hk(k＝1～Q)来计算每旋转规定角度α时的、即Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs(图5的步骤S62)。

接着，对Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs进行坐标变换，由此计算Q个部位的球106的绝对位置Xa(1～N)(图5的步骤S64)。

此外，下面使用图6说明以下情况：在上述位置计算工序中，在计算Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs时，X射线源116与X射线图像检测器124的距离f以及从X射线源116向X射线图像检测器124引出的垂线的垂足的位置Cc未知情况。

首先，在计算第k个假定旋转位置的X射线源116的绝对位置Xs时，将X射线源116与X射线图像检测器124的距离f以及从X射线源116向X射线图像检测器124的引出垂线的垂足的位置Cc进行变量化(图6的步骤S70)。然后，对将基于投影变换矩阵Hk计算出的第k个假定旋转位置的X射线源116的绝对位置Xs拟合成正圆所得到的虚拟正圆的轨迹Fs上的位置与X射线源116的绝对位置Xs的距离误差进行评价(图6的步骤S72)。然后，计算该距离误差为最小的误差的距离f和位置Cc(图6的步骤S74)。

具体地说，例如暂时将距离f固定决定为适当的值，使位置Cc变化，计算此时成为最小的距离误差的位置Cc。接着，暂时固定在成为该最小的距离误差的位置Cc，本次使距离f变化，计算此时成为最小的距离误差的距离f。另外，暂时固定在成为该最小的距离误差的距离f，使位置Cc变化，计算此时成为最小的距离误差的位置Cc。另外，暂时固定在成为该最小的距离误差的位置Cc，再次使距离f变化，计算此时成为最小的距离误差的距离f。通过重复进行多次，能够计算成为最小的距离误差的距离f和位置Cc，从而能够实现距离f和位置Cc的最优化。

像这样，在本实施方式中，首先，将以特定的相对位置间隔(未知间隔)设置有N个球106的校正治具102载置于旋转台120。然后，在处于N个部位的球106中的两个球106中，使第j个球106的位置相对于第1个球106的位置以不改变特定的相对位置间隔的方式平行移动。然后，获取第j个球106的投影像的重心位置ImDisj_h_Sphr_j相对于第1个球106的投影像的重心位置ImDis1_Sphr_1的差位置Erj的大小为规定值Vx以下的移动位置Mj。然后，将处于N个部位的全部的球106彼此通过移动位置Mj建立关联，根据各个移动位置Mj来计算所述特定的相对位置间隔。之后，使旋转台120符合3个部位的旋转角度来获取校正治具102的投影像。也就是说，在本实施方式中，能够通过这样的极简单的一系列工序来计算旋转台120的旋转中心位置Cp。而且，可以说特定的相对位置间隔是通过使第j个球106的投影像的位置与第1个球106的投影像的位置重叠的工序来求出的，因此，求出特定的相对位置间隔无需进行复杂的运算处理。并且，在本实施方式中，计算旋转中心位置Cp无需制作三维体数据，能够通过简单的处理进行校正。

另外，在本实施方式中，在移动位置获取工序中，计算第j个球106的投影像的重心位置ImDisj_h_Sphr_j相对于第1个球106的投影像的特征点的位置即重心位置ImDis1_Sphr_1的差位置Erj，基于该差位置Erj，考虑投影像的投影倍率来进行处于N个部位的球106的平行移动。因此，计算差位置Erj的运算变得容易，能够迅速地计算规定处于N个部位的球106的平行移动的移动位置Mj，从而能够迅速地实现平行移动。

另外，在本实施方式中，将第1个球106的投影像与第j个球106的投影像的相关度最大的情况设为差位置Erj的大小为规定值Vx以下的情况。因此，相比于进行实际的相关度运算而言运算自身简单且能够减少在相关度变得最大之前进行的处理，能够使校正进一步高速化。此外，不限于此，差位置Erj的大小可以为零，也可以通过运算处理分别单独地计算实际的相关度关系。

另外，在本实施方式中，在校正治具102中将全部的球106仅载置于一个平面上，因此将用于进行第k个旋转位置Posk的球106的向X射线图像检测器124的检测面124A的投影变换的变换矩阵设为投影变换矩阵Hk。因此，仅将12个球106中的4个球106设为各工序中的计算对象也能够计算旋转台120的旋转中心位置Cp，能够进一步缩短校正时间。此外，在本实施方式中，不是仅将4个球106而是将全部12个球106设为各工序中的运算对象，由此能够极准确地计算旋转台120的旋转中心位置Cp。

另外，在本实施方式中，在中心位置计算工序中，还计算旋转台120的旋转轴Ax。因此，即使假定为最初不需要校正旋转台120的旋转轴Ax，与实际计算旋转台120的旋转轴Ax所得到的结果相比较，也能够正确地评价校正的必要性。

另外，在本实施方式中，在位置计算工序中，假定不是旋转台120进行了旋转而是X射线源116和X射线图像检测器124进行了旋转，根据投影变换矩阵Hk来计算每旋转规定角度α时的X射线源116的绝对位置Xs，对X射线源116的绝对位置Xs进行坐标转换，由此计算球106的绝对位置Xa。即，并非直接计算球106的绝对位置Xa，暂时先计算X射线源116的绝对位置Xs。因此，结果是，通过直接使用投影变换矩阵Hk，结果能够减少运算量，从而能够迅速地实现校正。此外，并不限定于此，也可以使用直接计算球106的绝对位置Xa这样的方法。

另外，在本实施方式中，在使旋转台120以规定角度α旋转三次以上来计算Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs时，将X射线源116与X射线图像检测器124的距离f以及从X射线源116向X射线图像检测器124引出的垂线的垂足的位置Cc进行变量化。而且，对将基于投影变换矩阵Hk(k＝1～Q)计算出的Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs拟合成正圆所得到的虚拟正圆的轨迹Fs上的位置与Q个部位的X射线源116的绝对位置Xs的距离误差进行评价。由此，计算X射线源116与X射线图像检测器124的距离f以及从X射线源116向X射线图像检测器124引出的垂线的垂足的位置Cc。因此，在想要校正X射线源116与X射线图像检测器124的距离f以及从X射线源116向X射线图像检测器124引出的垂线的垂足的位置Cc时，能够计算这些值，从而能够进行更准确的校正。

另外，在本实施方式中，在中心位置计算工序中，根据球106的绝对位置Xa的变化来计算以正圆进行拟合所得到的轨迹Fb的中心位置Cp，将该中心位置Cp设为旋转台120的旋转中心位置Cp。也就是说，通过以正圆进行拟合，能够减少旋转位置的总数Q，并且能够唯一地计算中心位置Cp。此外，并不限定于此，可以通过其它方法来计算旋转台120的旋转中心位置Cp。

另外，在本实施方式中，在计算旋转台120的旋转轴Ax时还计算以正圆进行拟合所得到的轨迹Fb的相对于水平面的倾斜角度，根据该倾斜角度和旋转中心位置Cp来计算旋转轴Ax。因此，计算旋转轴Ax只要一个球106即可，因此能够简化并且以短时间进行计算旋转轴Ax的工序。此外，不限定于此，例如，可以对各球106计算以正圆进行拟合所得到的轨迹Fb，根据该中心位置Cp的偏离来计算旋转轴Ax。

另外，在本实施方式中，校正治具102上的基准物体设为球106。因此，球106无论从哪个方向进行投影，轮廓都是圆(包括为椭圆的情况)。即，球106作为基准物体呈能够根据投影于X射线图像检测器124的投影像最容易确定的形状。此外，不限定于此，基准物体例如可以为包括正多面体、变形后的菱形体的多面体，也可以设为椭圆体、圆锥体等包括曲面的形状。

另外，在本实施方式中，将作为基准物体的球106的投影像的特征点的位置设为投影像的重心位置。由于球106的投影像为圆，因此容易计算重心位置，能够以少的位置误差进行计算。此外，不限于此，作为基准物体的球106的投影像的特征点的位置也可以为中心位置。或者，在基准物体不是球且局部具备特征性的凹部、凸部的情况下，将该特征性的凹部、凸部与投影像的特征点进行关联。

即，在本实施方式中，即使校正治具102由于经年变化等发生变形，也能够通过简单的工序容易地计算将被测定物以能够旋转的方式载置的旋转台120的旋转中心位置Cp。

此外，在上述实施方式中，在校正治具102中将全部球106仅载置于一个平面上，但本发明不限定于此。例如，可以不设为在校正治具102中将全部的球106载置于一个平面上的状态，三维地进行载置。此时，使用投影矩阵Pk以取代投影变换矩阵Hk。主计算机128能够使用下面的与投影矩阵Pk有关的式(9)以取代式(7)，根据第k个假定旋转位置的3行*4列的投影矩阵Pk来计算X射线源116的绝对位置Xs。

Pk＝A[rk1 rk2 rk3 Tk] (9)

在该情况下，通过使用投影矩阵Pk，即使校正治具102的平面精度不好也能够进行准确的校正。

此外，在上述实施方式中，设为N＝12个，但本发明不限定于此。例如，也可以为一个球106至少移动并且配置于4个部位(N≥4)这样的校正治具102的结构。

本发明能够广泛地应用于X射线测量装置的校正。

对于本领域技术人员来说显而易见的是，以上描述的实施例只是例示，表示本发明在原理上的应用。本领域技术人员能够在不脱离本发明的主旨和范围的情况下容易地设计出各种其它方式。