一种氢氮双通道配气系统

文档序号:1838330 发布日期:2021-11-16 浏览:33次 >En<

阅读说明:本技术 一种氢氮双通道配气系统 (Hydrogen-nitrogen double-channel gas distribution system ) 是由 崔文朋 林宏洪 朱泽喜 于 2021-09-03 设计创作,主要内容包括:本发明公开了一种氢氮双通道配气系统,包括混配机构、第一进气机构、第二进气机构和出气机构,混配机构由混配罐组成,混配罐内腔的中部固定连接有隔板,第一进气机构由第一氢气进气组件和第二氢气进气组件组成,第二进气机构由第一氮气进气组件和第二氮气进气组件组成,出气机构由第一混合出气组件和第二混合出气组件组成。本发明利用混配机构、第一进气机构、第二进气机构和出气机构的设置,可单次在混合机构内同时制备两种比例不同的氢氮混合气,从而有效的提高了氢氮混合气的制备效率。(The invention discloses a hydrogen-nitrogen dual-channel gas distribution system which comprises a mixing mechanism, a first gas inlet mechanism, a second gas inlet mechanism and a gas outlet mechanism, wherein the mixing mechanism is composed of a mixing tank, a partition plate is fixedly connected to the middle of an inner cavity of the mixing tank, the first gas inlet mechanism is composed of a first hydrogen gas inlet assembly and a second hydrogen gas inlet assembly, the second gas inlet mechanism is composed of a first nitrogen gas inlet assembly and a second nitrogen gas inlet assembly, and the gas outlet mechanism is composed of a first mixed gas outlet assembly and a second mixed gas outlet assembly. According to the invention, by utilizing the arrangement of the mixing mechanism, the first air inlet mechanism, the second air inlet mechanism and the air outlet mechanism, two kinds of mixed hydrogen and nitrogen gases with different proportions can be simultaneously prepared in the mixing mechanism once, so that the preparation efficiency of the mixed hydrogen and nitrogen gas is effectively improved.)

一种氢氮双通道配气系统

技术领域

本发明涉及氢氮配气领域,特别涉及一种氢氮双通道配气系统。

背景技术

为了减少高纯度气体的使用成本,会使用混合气去代替高纯度气体,氢氮混合气便是常见的一种代替混合气,氢氮混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护器,还可广泛应用于冶金、化工、机械等行业,但是现在的氢氮混合气制备设备单次只能制备一种单一比列的氢氮混合气,降低了氢氮混合气的制备效率,为此,我们提出一种氢氮双通道配气系统。

发明内容

本发明的目的在于提供一种氢氮双通道配气系统,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种氢氮双通道配气系统,包括:

混配机构,所述混配机构由混配罐组成,所述混配罐内腔的中部固定连接有隔板;

第一进气机构,所述第一进气机构由第一氢气进气组件和第二氢气进气组件组成,所述第一氢气进气组件和第二氢气进气组件与混配罐之间均设置有第一连接机构;

第二进气机构,所述第二进气机构由第一氮气进气组件和第二氮气进气组件组成,所述第一氮气进气组件和第二氮气进气组件与混配罐之间均设置有第二连接机构;

出气机构,所述出气机构由第一混合出气组件和第二混合出气组件组成,所述第一混合出气组件和第二混合出气组件与混配罐之间均设置有第三连接机构。

优选的,所述第一氢气进气组件包括第一氢气进气管道,所述第一氢气进气管道依次设有第一不锈钢截止阀、第一电磁阀、第一减压阀、第一Y型过滤器和第一质量流量控制器。

优选的,所述第二氢气进气组件包括第二氢气进气管道,所述第二氢气进气管道依次设有第四不锈钢截止阀、第二电磁阀、第三减压阀、第二Y型过滤器和第二质量流量控制器。

优选的,所述第一氮气进气组件包括第一氮气进气管道,所述第一氮气进气管道依次设有第二不锈钢截止阀和第二减压阀,所述第二减压阀连接有第一压力开关。

优选的,所述第二氮气进气组件包括第二氮气进气管道,所述第二氮气进气管道依次设有第五不锈钢截止阀和第四减压阀,所述第四减压阀连接有第二压力开关。

优选的,所述第一混合出气组件包括第一混合出气管道,所述第一混合出气管道依次设有第一分析管道、第三不锈钢截止阀、第一混合气出压力表和第一混合气流量计;

所述第一分析管道依次设有第一不锈钢球阀、第一微调阀和第一氢分析仪。

优选的,所述第二混合出气组件包括第二混合出气管道,所述第二混合出气管道依次设有第二分析管道、第六不锈钢截止阀、第二混合气出压力表和第二混合气流量计;

所述第二分析管道依次设有第二不锈钢球阀、第二微调阀和第二氢分析仪。

优选的,所述第一连接机构包括第一连接管,所述第一连接管固定穿插连接于混配罐的顶端,所述第一连接管的端部设置有第一连接法兰;

所述第二连接机构包括第二连接管,所述第二连接管固定穿插连接于混配罐的顶端,所述第二连接管的端部设置有第二连接法兰;

所述第三连接机构包括第三连接管,所述第三连接管固定穿插连接于混配罐的顶端,所述第三连接管的端部设置有第三连接法兰。

优选的,所述第一压力开关、第二压力开关、第一氢分析仪和第二氢分析仪连接有控制系统,所述控制系统为PLC控制器。

本发明的技术效果和优点:

(1)本发明利用混配机构、第一进气机构、第二进气机构和出气机构的设置,可单次在混合机构内同时制备两种比例不同的氢氮混合气,从而有效的提高了氢氮混合气的制备效率;

(2)本发明利用控制系统的设置,通过控制系统便于对第一氢分析仪、第二氢分析仪、第一压力开关和第二压力开关进行控制,提高了第一氢分析仪、第二氢分析仪、第一压力开关和第二压力开关操作的便捷性和安全性。

附图说明

图1为本发明第一进气机构结构示意图。

图2为本发明第二进气机构结构示意图。

图3为本发明出气机构结构示意图。

图4为本发明控制系统结构示意图。

图5位本发明图1的A处局部放大结构示意图。

图中:1、第一不锈钢截止阀;2、第二不锈钢截止阀;3、第三不锈钢截止阀;4、第四不锈钢截止阀;5、第五不锈钢截止阀;6、第六不锈钢截止阀;7、第一电磁阀;8、第二电磁阀;9、第一减压阀;10、第二减压阀;11、第三减压阀;12、第四减压阀;13、第一Y型过滤器;14、第二Y型过滤器;15、第一质量流量控制器;16、第二质量流量控制器;17、第一不锈钢球阀;18、第二不锈钢球阀;19、第一微调阀;20、第二微调阀;21、第一混合气出压力表;22、第二混合气出压力表;23、第一混合气流量计;24、第二混合气流量计;25、第一氢分析仪;26、第二氢分析仪;27、第一压力开关;28、第二压力开关;29、第一氢气进气管道;30、第二氢气进气管道;31、第一氮气进气管道;32、第二氮气进气管道;33、第一混合出气管道;34、第二混合出气管道;35、混配罐;36、隔板;37、第一连接管;38、第一连接法兰;39、第二连接管;40、第二连接法兰;41、第三连接管;42、第三连接法兰;43、控制系统。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

本发明提供了如图1-5所示的一种氢氮双通道配气系统,包括:

混配机构,混配机构由混配罐35组成,混配罐35内腔的中部固定连接有隔板36,通过隔板36将混配罐35的内腔分隔为两部分,从而使得混配罐35可以同时制备两种不同比例的氢氮混合气;

第一进气机构,第一进气机构由第一氢气进气组件和第二氢气进气组件组成,第一氢气进气组件和第二氢气进气组件与混配罐35之间均设置有第一连接机构;

第二进气机构,第二进气机构由第一氮气进气组件和第二氮气进气组件组成,第一氮气进气组件和第二氮气进气组件与混配罐35之间均设置有第二连接机构;

出气机构,出气机构由第一混合出气组件和第二混合出气组件组成,第一混合出气组件和第二混合出气组件与混配罐35之间均设置有第三连接机构;

第一氢气进气组件包括第一氢气进气管道29,第一氢气进气管道29依次设有第一不锈钢截止阀1、第一电磁阀7、第一减压阀9、第一Y型过滤器13和第一质量流量控制器15,通过第一不锈钢截止阀1控制第一氢气进气管道29内的氢气流通;

第二氢气进气组件包括第二氢气进气管道30,第二氢气进气管道30依次设有第四不锈钢截止阀4、第二电磁阀8、第三减压阀11、第二Y型过滤器14和第二质量流量控制器16。通过第四不锈钢截止阀4控制第二氢气进气管道30的氢气流通;

第一氮气进气组件包括第一氮气进气管道31,第一氮气进气管道31依次设有第二不锈钢截止阀2和第二减压阀10,第二减压阀10连接有第一压力开关27,通过第二不锈钢截止阀2控制第一氮气进气管道31内的氮气流通;

第二氮气进气组件包括第二氮气进气管道32,第二氮气进气管道32依次设有第五不锈钢截止阀5和第四减压阀12,第四减压阀12连接有第二压力开关28,通过第五不锈钢截止阀5控制第二氮气进气管道32内的氮气流通;

第一混合出气组件包括第一混合出气管道33,第一混合出气管道33依次设有第一分析管道、第三不锈钢截止阀3、第一混合气出压力表21和第一混合气流量计23,通过第三不锈钢截止阀3控制第一混合出气管道33内的氢氮混合气的流通;

第一分析管道依次设有第一不锈钢球阀17、第一微调阀19和第一氢分析仪25;

第二混合出气组件包括第二混合出气管道34,第二混合出气管道34依次设有第二分析管道、第六不锈钢截止阀6、第二混合气出压力表22和第二混合气流量计24,通过第六不锈钢截止阀6控制第二混合出气管道34内的氢氮混合气流通;

第二分析管道依次设有第二不锈钢球阀18、第二微调阀20和第二氢分析仪26;

第一连接机构包括第一连接管37,第一连接管37固定穿插连接于混配罐35的顶端,第一连接管37的端部设置有第一连接法兰38,第二连接机构包括第二连接管39,第二连接管39固定穿插连接于混配罐35的顶端,第二连接管39的端部设置有第二连接法兰40,第三连接机构包括第三连接管41,第三连接管41固定穿插连接于混配罐35的顶端,第三连接管41的端部设置有第三连接法兰42,第一连接管37延伸至混配罐35的底部,因氢气质量更小,使得氢气在混配罐35内上移,氮气下移,使得氢氮混合气混合的更加均匀;

第一压力开关27、第二压力开关28、第一氢分析仪25和第二氢分析仪26连接有控制系统43,控制系统43为PLC控制器,通过控制系统43便于对第一压力开关27、第二压力开关28、第一氢分析仪25和第二氢分析仪26进行控制。

本发明工作原理:

向第一氢气进气管道29和第二氢气进气管道30内注入氢气,再向第一氮气进气管道31和第二氮气进气管道32内注入氮气,第一氢气进气管道29内的氢气依次通过第一不锈钢截止阀1、第一电磁阀7、第一减压阀9、第一Y型过滤器13和第一质量流量控制器15进入混配罐35内,第一氮气进气管道31的氮气依次通过第二不锈钢截止阀2和第二减压阀10进入混配罐35内,混合后的气体通过第一混合出气管道33排出,第二氢气进气管道30内的氢气依次通过第四不锈钢截止阀4、第二电磁阀8、第三减压阀11、第二Y型过滤器14和第二质量流量控制器16进入混配罐35内,第二氮气进气管道32内的氮气依次通过第五不锈钢截止阀5和第四减压阀12进入混配罐35内,混合后的气体通过第二混合出气管道34排出。

最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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