具体实施方式

以下参照附图详细说明本发明。

此处，在指代方向时，将图1所示的X轴称作前后方向、Y轴称作左右方向、Z轴称作垂直方向。并且，水平方向包括由XY平面构成的所述左右方向和前后方向。并且，在区分前后方向时，将布置有容器10的一侧称作前方，布置有下部模块3的这一侧称作后方。并且，在以盖体分离部320和连接器紧固部330为基准区分左右方向时，将布置有盖体分离部320的这一侧定义为右侧，将布置有连接器紧固部330的这一侧定义为左侧。

参照图1至图3，本发明的气体供应装置1可以包括：上部模块2，包括设置为固定在从配备于容器10的上端的阀部朝上侧相隔的位置的上部板211；下部模块3，配备在所述上部模块2的下部，配备有盖体分离部320和连接器紧固部330，所述盖体分离部320分离覆盖阀连接器30(图2)的盖体31，所述连接器紧固部330用于将通过连接配管(未示出)连接到气体需求处的连接配管连接器331连接到所述阀连接器30；阀开闭模块4，用于开闭所述阀部的阀。

所述容器10作为用于储存供应至半导体装置等气体需求处的工艺气体并将其供应的构成，在容器10的上部配备有所述阀部。

所述阀部构成为包括：阀(未示出)，用于控制气体的供应；阀连接器30，配备在所述阀的一侧而紧固到所述下部模块3的连接器紧固部330；盖体31，覆盖所述阀连接器30；阀闸(valve shutter，未示出)开闭所述阀；手柄50，连接于所述阀闸的上部，随着旋转而使阀闸升降，从而对阀进行开闭。

在所述阀部结合有固定块510、520、530。在所述固定块510、520、530配备有第一对准部512。

所述固定块510、520、530可以利用围绕所述阀部的第一固定块510、第二固定块520以及第三固定块530构成。

如果通过所述第二固定块520和第三固定块530的结合而围绕所述阀部，则所述阀部中所述阀连接器30和盖体31相对于所述固定块520、530向侧方向突出而暴露，所述阀部中所述手柄50相对于所述固定块520、530向上方向突出而暴露。

所述第一固定块510构成为具有沿Y轴方向的长度的四角桶状，在所述Y轴方向的一侧面结合有所述第二固定块520，在X轴方向的一侧面配备有第一对准部512。

所述第一对准部512可以由在所述X轴方向的一侧面凹陷地形成的对准销插入槽512构成。

所述下部模块3形成为在能够相对于上部模块2进行水平方向移送的同时，还能够进行垂直方向的升降移送。

所述第一对准部512构成为在下部模块3进行水平方向移送时，通过与配备在下部模块3的第二对准部351的结合而实现容器10的对准。

所述第二对准部351可以由从后述的下部模块3的对准块350沿作为与所述对准销插入槽512相对向的方向的X轴方向突出而具有水平方向的长度的对准销351构成。

通过使所述对准销351被插入所述对准销插入槽512，从而实现所述容器10的对准。

虽然本实施例中示出了第一对准部512构成为对准销插入槽，第二对准部351构成为对准销的情形，但也可以将第一对准部构成为对准销，将第二对准部构成为对准销插入槽。

并且，虽然本实施例中示出了对准销被插入到对准销插入槽的情形，但并不限于此，也可以构成为第一对准部与第二对准部紧固或者结合的情形。将所述第一对准部和第二对准部被插入、紧固、结合的方式统称为“结合”。

在所述第一固定块510，在与所述第一对准部512相邻的位置配备有第一结合部511，并且在所述下部模块3的对准块350配备有与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352。

所述第一结合部511可以由所述第一固定块510中的与形成有所述第一对准部512的面相同的面沿X轴方向凹陷地形成的固定槽511构成。

所述第二结合部352可以由在与所述第二对准部351相邻的位置的对准块350向所述第一结合部511突出的固定块结合部件352构成。

在所述固定块结合部件352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a通过配备在内部的弹簧(未示出)而被弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有使所述凸起352a插入的凸起插入槽(未示出)。如果所述固定块结合部件352插入到所述固定槽511，则所述凸起352a被插入到所述凸起插入槽，从而可以防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而使所述下部模块3维持结合在所述第一固定块510的状态。

在从所述固定槽511拉出所述固定块结合部件352的情形下，如果供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹性力并从固定块结合部件352的表面向内侧移动，则所述凸起352a脱离所述凸起插入槽。因此，所述固定块结合部件352能够脱离固定槽511。

在所述上部模块2可以配备有移送引导件(未示出)，以能够分别向X轴、Y轴以及Z轴方向移送所述下部模块3。如果操作人员用手抓住所述下部模块3并对其沿轴方向施加力，则下部模块3可以向X轴、Y轴以及Z轴中的某一个方向被移送。并且，可以通过这种下部模块3的移送而实现第一对准部512和第二对准部351的结合，通过这种结合可以实现容器10的对准。

在所述下部模块3配备有多个壳体311、312、313、314、盖体分离部320；连接器紧固部330、子模块移送机构340、对准块350、插塞模块360、密封垫供应部370以及密封垫移送部380。

所述多个壳体311、312、313、314构成为包括：上部壳体311，在所述下部模块3的上部配备为板状；第一侧面壳体312、第二侧面壳体313，分别结合在所述上部壳体311的Y轴方向两侧；下部壳体314，从所述上部壳体311向下侧相隔，两侧与所述第一侧面壳体312和第二侧面壳体313结合。

所述上部壳体311和第一侧面壳体312、第二侧面壳体313以及下部壳体314配备为围绕所述下部模块3的前后方以外的上部和下部以及两侧部。

所述盖体分离部320从所述阀连接器30分离覆盖阀连接器30的盖体31，其中所述阀连接器30配备于所述阀部。

所述盖体分离部320形成有槽，以使所述盖体31被插入到内部，如果在所述盖体31被插入到所述盖体分离部320的槽的状态下驱动旋转机构(未示出)而旋转所述盖体分离部320，则所述盖体31从所述阀连接器30分离。与此相反地，可以驱动所述旋转机构将从所述盖体分离部320分离的盖体31结合到所述阀连接器30。

所述连接器紧固部330包括：连接配管连接器331，连接到气体需求处；连接配管连接器壳体332(图4)，围绕所述连接配管连接器331的外侧。所述连接器紧固部330配备为能够将所述连接配管连接器331连接到所述阀连接器30。如果在所述连接器紧固部330和阀连接器30连接的状态下旋转手柄50而开放阀，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331供应至气体需求处。所述连接配管连接器331和连接配管连接器壳体332通过所述旋转机构的驱动而一起旋转。

所述子模块移送机构340将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地向左右方向(Y轴方向)和前后方向(X轴方向)移送。所述子模块移送机构340可以构成为包括：第一移送机构340a，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地向前后方向移送；第二移送机构340b，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地向左右方向移送。

所述第一移送机构340a可以利用用于沿前后方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。并且，所述第二移送机构340b可以利用用于沿左右方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。

所述旋转机构旋转所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述旋转机构包括产生旋转力的马达和减速器，并且包括用于将所述旋转力传递至所述盖体分离部320和连接器紧固部330的旋转传递部件。

所述旋转传递部件将所述旋转力分别传递到盖体分离部320和连接器紧固部330，如果驱动所述马达，则所述盖体分离部320和连接器紧固部330将同时旋转。与此不同地，所述旋转机构还可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达使所述盖体分离部320和连接器紧固部330分别旋转。

可以配备有前方和后方被开放，并且围绕左右和上下的内部壳体315，以能够设置所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述内部壳体315能够与下部壳体314的上部结合。

所述对准块350以从所述内部壳体315的前方端部突出的方式结合，并且构成为大致的多面体形状。在所述对准块350的前方表面以向所述阀部突出的形状形成有作为第二对准部351的对准销351，在所述对准销351的侧部以向所述阀部突出的形状形成有作为所述第二结合部352的固定块结合部件352。

参照图4说明连接配管连接器移送机构335。

所述盖体分离部320和连接器紧固部330可以通过第一移送机构340a实现向前方和后方的直线移送。虽然也可以构成为驱动所述第一移送机构340a而将连接配管连接器331结合到所述阀连接器30，但由于通过所述第一移送机构340a的驱动，包括分离部320和连接器紧固部330而用于使盖体分离部320和连接器紧固部330旋转的整个构成部件会一同被移送，因此由于其重量，在将连接配管连接器331结合到阀连接器30时可能产生冲击。

为了防止这种问题，可以构成为与第一移送机构340a独立地配备了连接配管连接器移送机构335，从而在将连接配管连接器331结合到阀连接器30的情形下，不驱动第一移送机构340a，而是驱动连接配管连接器移送机构335，以仅使连接配管连接器331沿前后方向移送。

所述连接配管连接器移送机构335可以包括：连接器卡接部件335-1，下部的一部分被插入到形成在连接配管连接器331的端部的槽(未示出)，从而实现与连接配管连接器331的卡接；卡接轴335-2，卡接到所述连接器卡接部件335-1的上部并配备为能够被沿前后方向直线移送；驱动部(未示出)，提供驱动力以使所述卡接轴335-2能够被沿前后方向直线移送；引导轴335-3，在所述卡接轴335-2被直线移送的情形下起到引导功能。

在所述阀连接器30和连接配管连接器331彼此相邻地布置的状态下，如果驱动所述连接配管连接器移送机构335的驱动部，则所述卡接轴335-2、被卡接在所述卡接轴335-2的连接器卡接部件335-1、卡接在所述连接器卡接部件335-1的连接器331被一体地移送到后方，从而使连接配管连接器331结合到阀连接器30。

在此情形下，连接配管连接器331可以在结合到阀连接器30时通过旋转机构的驱动而同时实现旋转。并且，由于所述盖体分离部320、用于旋转盖体分离部320和连接器紧固部330的构成部件不与所述连接配管连接器331一起被移送，因此在连接配管连接器331与阀连接器30结合时可以最小化冲击。

此外，将移送所述连接配管连接器331的所述子模块移送机构340以及所述连接配管连接器移送机构335统称为连接配管连接器移送系统340、335。

参照图3和图5说明密封垫供应部370。

所述密封垫供应部370是为了供应在更换容器10时用于安装到连接配管连接器331与阀连接器30之间的新的密封垫(gasket)的部件，包括：收纳部372，收纳多个密封垫371a；密封垫收纳部移送机构373，用于沿前后方向移送所述密封垫收纳部372。

所述密封垫收纳部移送机构373可以构成为包括：移送引导件，引导沿前后方向的移送；驱动部，提供驱动力以能够随着所述移送引导件而被移送。

在所述密封垫收纳部372以竖立的状态配备有多个密封垫371a，构成为在后述的密封垫夹持器381夹持位于一侧边沿的密封垫后使其能够通过作为形成在密封垫收纳部372的开口部的密封垫排出部372a脱离。

参照图6和图7说明密封垫移送部380。

所述密封垫移送部380构成为包括：密封垫夹持器381，为了夹持密封垫而利用一对密封垫夹持器部件381a、381b构成；密封垫夹持器操作机构382，用于使所述一对密封垫夹持器部件381a、381b以彼此靠近或者彼此远离的方式操作；密封垫夹持器移送机构383、384，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382一体地移送。

所述密封垫夹持器移送机构383、384构成为包括：第一密封垫夹持器移送机构383，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382一体地沿前后方向移送；以及第二密封垫夹持器移送机构384，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382以及第一密封垫夹持器移送机构383一体地沿左右方向移送。

所述第一密封垫夹持器移送机构383和第二密封垫夹持器移送机构384可以利用用于在前后方向和左右方向上引导移送的移送引导件和提供驱动力以能够随着所述移送引导件被移送的驱动部构成。

并且，配备有用于分离并回收安装在阀连接器30与连接配管连接器331之间的密封垫的密封垫回收部390。

此外，将移送所述密封垫371a的所述密封垫收纳部移送机构373以及所述密封垫夹持器移送机构383、384统称为密封垫移送系统373、383、384。

参照图3和图8说明插塞模块360。

所述插塞模块360包括：连接器插塞361，结合在连接器紧固部330，以防止在阀连接器30和连接配管连接器331没有被紧固的状态下气体从连接配管连接器331泄露或者异物进入连接配管连接器331内部；插塞支撑部件362，用于支撑所述插塞361的端部；插塞支撑壳体363，所述插塞支撑部件362被结合而支撑；插塞移送机构364、365，用于将所述连接器插塞361和插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地向前后方向移送。

所述插塞移送机构364、365构成为包括：插塞移送引导件364，起到引导件功能；以及插塞移送驱动部365，提供用于将所述连接器插塞361、插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地沿前后方向移送的驱动力。

此外，在本发明的气体供应装置配备有控制部(未示出)，所述控制部构成为有机地控制所述子模块移送机构340、旋转机构、连接配管连接器移送机构335、密封垫收纳部移送机构373、密封垫夹持器移送机构383、384以及所述插塞移送机构364、365等用于驱动本发明的气体供应装置的模块。

参照图3、图8、图9、图10说明连接器插塞361和利用其的容器更换过程。

图9是示出所述连接器插塞361的立体图，图10是将图9所示的连接器插塞361沿水平方向截取的剖面图。

根据本发明，所述连接器插塞361为了密封连接器插塞361与所述连接配管连接器331之间的空间而在连接器插塞361与所述连接配管连接器331之间的接触部配备有密封部件S。

所述密封部件S构成为一侧在与所述连接配管连接器331接触的所述连接器插塞361的接触面成型，另一侧在与所述连接器插塞接触的所述连接配管连接器331的接触面成型，从而密封(sealing)与所述连接配管连接器331之间的空间。

所述连接器插塞361包括通过所述插塞支撑部件362支撑的插塞主体，并且形成有从所述插塞主体的后方端部沿连接器插塞361的长度方向凹陷地形成的密封部件插入槽。

所述密封部件插入槽可以构成为形成在与所述连接配管连接器331接触的一侧的插塞主体，并且使所述密封部件S被插入所述密封部件插入槽。如果所述密封部件S被插入所述密封部件插入槽，则在所述密封部件S中，与所述连接配管连接器331接触的一侧端部配备为从所述密封部件插入槽的入口朝向所述连接配管连接器331而向外侧(后方)突出，并且在所述突出的部分的端部与所述连接配管连接器331接触而维持气密性。

所述插塞主体可以利用金属材质构成。

并且，所述密封部件S通过配备为具有较高的弹性、恢复性、耐热性、耐化学性、耐腐蚀性等性质的材质，从而替代现有技术中用于密封连接配管连接器和连接器插塞之间而安装的密封垫的作用。

例如，所述密封部件S可以利用树脂材质构成。并且，在所述树脂材质中，可以实现为聚氯三氟乙烯(PCTFE：Polychlorotrifluoroethylene)。并且，在所述树脂材质中，可以实现为聚四氟乙烯(PFTE：Poly tetra fluoroethylene)。所述PCTFE和PTFE的耐药性和机械特性优异。

并且，所述密封部件S可以利用镍构成或者利用其他金属材质构成。

所述密封部件S可以是以在现有技术中的连接器插塞成型的方式制造的，本发明的连接器插塞361可以是在现有技术中的连接器插塞贴附所述密封部件S而再加工的。

接下来说明利用所述连接器插塞361的容器更换过程。

在目前连接的容器中保管的气体被全部消耗的情形下，所述控制部通过所述连接配管连接器移送系统340、335移送所述连接配管连接器331而将其从目前连接的容器的阀连接器分离，然后通过所述密封垫夹持器移送机构383、384移送安装在所述连接部件连接器331的废密封垫而回收至所述密封垫回收部390，然后通过所述插塞移送机构364、365移送所述连接器插塞361并结合到所述连接配管连接器331。

此后，如果目前的容器被更换为新容器，则所述控制部通过所述插塞移送机构364、365移送所述连接器插塞361而从所述连接配管连接器331分离，之后通过所述密封垫收纳部移送机构373移送收纳在所述密封垫收纳部372的新密封垫而安装到所述连接配管连接器331，然后通过所述连接配管连接器移送系统340、335移送所述连接配管连接器331并将其结合至更换后的新容器的阀连接器。

即，根据本发明的利用连接器插塞361的容器更换过程与现有技术相比，通过省略在结合所述连接器插塞361与所述连接配管连接器331之前和之后安装和分离用于密封连接器插塞和连接配管连接器之间的密封垫的过程，从而缩短了密封垫更换过程，进而简化了容器更换过程。

如上所述，通过根据本发明的连接器插塞361以及包括连接器插塞361的气体供应装置1，不仅可以简化容器更换过程而节省所需时间，还可以节省容器更换过程所需的自动化工序的电力，并且节省对使用电力征收的费用。

并且，通过缩短更换密封垫371a的更换过程，缩短更换时间而最小化连接配管暴露到外部的时间，从而可以防止气体从连接配管泄漏或者异物进入连接配管的情形。

并且，可以降低所述密封垫371a的消耗量，从而降低容器更换过程所需的费用，并且提高经济性。

如前所述，虽然以优选实施例为例详细说明了本发明，但本发明并不限于前述的实施例，可以在权利要求书和发明的详细说明以及附图的范围内进行多种变形而实施，并且这些也属于本发明。