具体实施方式

在本发明中，术语“设置”、“设有”、“连接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本发明中的具体含义。

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

参阅图1，本发明实施例提供了一种电子级多晶硅硅块酸洗装置，包括酸洗笼10、酸洗池20和驱动臂30，酸洗笼10设于酸洗池20内，包括轴向两端封闭的滚筒11和连接在滚筒11的轴向两端的转轴12，滚筒11内形成供硅块容纳的空腔，滚筒11的周向上间隔地开设有连通空腔的若干进液孔111，进液孔111阵列布置在滚筒11的周面上，优选进液孔111呈多圈间隔地开设。当酸洗笼10放入酸洗池20内后，酸洗液可从进液孔111进入到滚筒11的空腔内，从而与空腔内的硅块进行反应，驱动臂30用于在酸洗池20内沿酸洗池20的高度方向上下移动酸洗笼10。

滚筒11的至少部分周面上设有周向上连续的啮合齿面112，啮合齿面112具有一组连续的啮合齿。酸洗池20用于盛装酸洗液，形成为桶状的结构，包括底板200和四周的侧壁，其第一侧壁201的内表面凸设有沿其高度方向上延伸的齿面21，第二侧壁202与第一侧壁201正对。两个驱动臂30分别与酸洗笼10两端的转轴12可转动地连接，用于沿酸洗池20的高度方向上往复移动，从而带动滚筒11依靠其啮合齿面112沿齿面21的配合而旋转。如此，在驱动臂30的带动下，滚筒11可沿酸洗池20的齿面21上下滚动，酸洗笼10内的硅块则可以随之在空腔内进行翻转和上下运动，实现了与酸洗液的充分接触和反应。

本实施例优选地，啮合齿面112相对于设有进液孔111的表面凸出于滚筒11的外周面，形成高出于其他区域的台阶状的齿面。本实施例示出的是一圈完整的啮合齿面112，可以理解的是，在其他实施方式中，酸洗池20的深度并不大，啮合齿面112无需布满整圈，可能只需要整圈的一部分连续面即可。

结合图2所示，考虑到滚筒11的啮合齿面112与酸洗池20的齿面21可能不能很好地保持接触，本实施例的酸洗池20还包括固定于其中且平行于第一侧壁201的挡板22，挡板22和与第一侧壁201正对的第二侧壁202间隔设置，也就是说，挡板22位于第一侧壁201、第二侧壁202之间。同时，又考虑到如果啮合齿面112与酸洗池20的第二侧壁202频繁摩擦接触会造成第二侧壁202磨损严重而影响寿命，挡板22上开设有竖直延伸的缺口220，挡板22抵接滚筒11的不具有啮合齿面112的区域，缺口220正对齿面21，作为啮合齿面112的避位孔，且其宽度不小于啮合齿面112的宽度，以供啮合齿面112通过。最终，齿面21、啮合齿面112、缺口220三者正对，滚筒11的设有进液孔111的表面由挡板22朝向齿面21所在的第一侧壁201挤压，从而使得酸洗笼10在竖直方向来回移动的过程中，其啮合齿面112与齿面21始终保持可靠的啮合，保持运动的可靠性。

显然，挡板22内侧(朝向酸洗笼10的一侧)与第二侧壁202内侧(朝向酸洗笼10的一侧)之间的距离大于啮合齿面112的凸出高度。酸洗笼10在转动的过程中，其啮合齿面112始终不会接触第二侧壁202，而是位于缺口220内，因此，可以保证酸洗池20的使用寿命。

本实施例中，示出的是挡板22垂直连接于酸洗池20的底板200的情形。在其他实施方式中，挡板22也可以不直接固定在底板200上，例如，可以通过横向伸出的连接板，将挡板22的底部固定在第二侧壁202上，挡板22的其他部分仍然与第二侧壁202间隔开。又或者，挡板22也可以不垂直于酸洗池20的底板200，可以是相对于底板200倾斜，最好是，挡板22朝向第一侧壁201倾斜，第一侧壁201也相对于底板200倾斜，第一侧壁201与挡板22互相平行，酸洗笼10受到第一侧壁201的支撑力作用的同时，还受到挡板22的挤压力，使得酸洗笼10的运动更顺畅、稳定，驱动臂30移动起来还更省力。

进一步地，本实施例的第一侧壁201朝内凸设有凸台210，凸台210呈条形，与第一侧壁201的高度一致，齿面21设于凸台210表面。这样，相比第一侧壁201的其他区域，齿面21更靠近内侧，第一侧壁201上的齿面21所在的部位厚度更厚，强度更高。

为了与驱动臂30转动连接，转轴12上固定有轴承，驱动臂30则可固定在轴承上。啮合齿面112关于滚筒11的中部的径向截面对称设置，这样可以保证滚筒11两端的转动平稳性。本实施例示出的是啮合齿面112只有一个，且设于滚筒11的轴向的中部的情形，啮合齿面112到滚筒11的端面之间的区域均设有进液孔111，可以充分保证进液通道的数量。

在有的实施方式中，啮合齿面112也可以有多个，多圈啮合齿面112沿滚筒11的轴向上间隔地布置，啮合齿面112与啮合齿面112之间、啮合齿面112与滚筒11的端面之间均可设有进液孔111。同样地，挡板22上对应地开设有与啮合齿面112数量和位置匹配的缺口220。

综上所述，本发明采用圆筒状构造的酸洗笼结构盛装电子级多晶硅硅块，并使其与酸洗池之间通过啮合齿配合，使得酸洗笼可以在酸洗液内上下移动的过程中进行旋转，从而带动笼内的多晶硅硅块翻转，实现了多晶硅硅块与酸洗液的充分接触反应，高效去除表面金属和酸斑，使得蚀刻更加均匀，因此，在提高酸洗效率的同时大幅度提升了电子级多晶硅的产品质量。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。