具体实施方式

以下，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。另外，在各图中对相同或者相当的部分标注相同的符号并省略重复的说明。

如图1所示，高架输送车1沿着铺设于制造半导体设备的无尘室的顶棚附近的轨道100行进。高架输送车1进行收纳有多个半导体晶片的FOUP(Front Opening Unified Pod)(输送对象物)200的输送、以及FOUP200相对于设置于对半导体晶片实施各种处理的处理装置的装载口(移载目的地)300的移载。在以下的说明中，将铅垂方向称作Z轴方向，将轨道100的延伸方向称作X轴方向，将与Z轴方向以及X轴方向垂直的方向称作Y轴方向。在本实施方式中，轨道100沿着水平方向延伸。

高架输送车1具备框架单元2、行进单元3、横向单元4、θ单元5、升降驱动单元6、保持单元7以及控制器9。框架单元2具有中间框架21、前框架22以及后框架23。前框架22从中间框架21中的前侧(高架输送车1的行进方向上的前侧)的端部延伸至下侧。后框架23从中间框架21中的后侧(高架输送车1的行进方向上的后侧)的端部延伸至下侧。

行进单元3配置在中间框架21的上侧。行进单元3例如从沿着轨道100铺设的高频电流线无接触地接受电力的供给，由此沿着轨道100行进。横向单元4配置在中间框架21的下侧。横向单元4使θ单元5、升降驱动单元6以及保持单元7朝横向(高架输送车1的行进方向上的侧方)移动。θ单元5配置在横向单元4的下侧。θ单元5使升降驱动单元6以及保持单元7在水平面内转动。

升降驱动单元6配置在θ单元5的下侧。升降驱动单元6使保持单元7升降。更具体而言，升降驱动单元6通过卷绕吊挂有保持单元7的多个带61而使保持单元7上升，通过放出吊挂有保持单元7的多个带61而使保持单元7下降。保持单元7配置在升降驱动单元6的下侧。保持单元7保持FOUP200。更具体而言，保持单元7通过由保持部8保持FOUP200的凸缘部201而保持FOUP200。控制器9配置在中间框架21。控制器9是由CPU、ROM以及RAM等构成的电子控制单元。控制器9对高架输送车1的各部进行控制。

如以上那样构成的高架输送车1作为一例而如以下那样动作。在从装载口300朝高架输送车1移载FOUP200的情况下，未保持FOUP200的高架输送车1停止在装载口300的上方。接着，升降驱动单元6使保持单元7下降，保持部8保持载置于装载口300的FOUP200的凸缘部201。接着，升降驱动单元6使保持单元7上升，在前框架22与后框架23之间配置FOUP200。接着，保持有FOUP200的高架输送车1开始行进。

另一方面，在从高架输送车1朝装载口300移载FOUP200的情况下，保持有FOUP200的高架输送车1停止在装载口300的上方。接着，升降驱动单元6使保持单元7下降，在装载口300载置FOUP200，保持部8释放对FOUP200的凸缘部201的保持。接着，升降驱动单元6使保持单元7上升。接着，未保持FOUP200的高架输送车1开始行进。

接着，对保持单元7的结构进行详细说明。如图2以及图3所示，保持单元7除了保持部8之外，还具有基座71、多个直动机构72、73、74。保持部8经由多个直动机构72、73、74安装于基座71。各直动机构72、73、74将保持部8的各部支承为仅能够沿着X轴方向移动。在本实施方式中，各直动机构72、73、74是构成为线性块沿着导轨滑动的线性引导件。另外，配置在基座71上的保持部8以及多个直动机构72、73、74等由罩(省略图示)覆盖。

保持部8具有主体部81、驱动马达82、一对把持部83、84、一对连杆机构85、86、以及中间锥形单元87。主体部81固定于直动机构72的线性块。驱动马达82以旋转轴82a沿着Y轴方向延伸的方式固定于主体部81。在主体部81也安装有用于维持旋转轴82a的停止状态的制动机构82b等。

把持部83配置在X轴方向上的主体部81的一侧。把持部83具有支承部83a、一对连结部83b、爪部83c。支承部83a固定于直动机构73的线性块。一对连结部83b从支承部83a经由一对狭缝71a朝基座71的下侧延伸。一对狭缝71a在直动机构73的两侧以沿着直动机构73在X轴方向上延伸的方式形成于基座71。爪部83c是与FOUP200的凸缘部201卡合的部分，在基座71的下侧固定于一对连结部83b的下端部。

把持部84配置在X轴方向上的主体部81的另一侧(相对于主体部81位于与把持部83相反的一侧)。把持部84具有支承部84a、一对连结部84b、爪部84c。支承部84a固定于直动机构74的线性块。一对连结部84b从支承部84a经由一对狭缝71b朝基座71的下侧延伸。一对狭缝71b在直动机构74的两侧以沿着直动机构74在X轴方向上延伸的方式形成于基座71。爪部84c是与FOUP200的凸缘部201卡合的部分，在基座71的下侧固定于一对连结部84b的下端部。

如图4所示，连杆机构85将驱动马达82的旋转轴82a与把持部83的支承部83a连结。更具体而言，连杆机构85具有第1连杆85a以及第2连杆85b。第1连杆85a的一端部固定于旋转轴82a。第2连杆85b的一端部以能够旋转的方式安装于第1连杆85a的另一端部。第2连杆85b的另一端部以能够旋转的方式安装于设置于支承部83a的销。

连杆机构86将驱动马达82的旋转轴82a与把持部84的支承部84a连结。更具体而言，连杆机构86具有第1连杆86a、第2连杆86b以及第3连杆86c。第1连杆86a的一端部固定于旋转轴82a。第2连杆86b的一端部以能够旋转的方式安装于第1连杆86a的另一端部。第2连杆86b的另一端部以能够旋转的方式安装于第3连杆86c的一端部。第3连杆86c的另一端部固定于支承部84a。另外，在本实施方式中，第1连杆85a以及第1连杆86a一体地形成。

在一对把持部83、84把持FOUP200的凸缘部201时，驱动马达82的旋转轴82a朝一个方向(图4中，顺时针方向)旋转，通过一对连杆机构85、86的作用，一对把持部83、84沿着X轴方向闭合。另一方面，在一对把持部83、84释放凸缘部201的把持时，驱动马达82的旋转轴82a朝另一方向(图4中，逆时针方向)旋转，通过一对连杆机构85、86的作用，一对把持部83、84沿着X轴方向展开。

如图2以及图3所示，中间锥形单元87具有一对引导件87a、一对杆87b、中间锥形件87c以及一对螺旋弹簧87d。一对引导件87a在X轴方向上排列设置的状态下固定于主体部81。各引导件87a是沿着Z轴方向延伸的筒状的部件。一对杆87b分别插入到一对引导件87a中。各杆87b的上端部通过连结部件87e相互连结。一对杆87b从一对引导件87a经由狭缝71c朝基座71的下侧延伸。狭缝71c以沿着直动机构72在X轴方向上延伸的方式形成于基座71。

中间锥形件87c固定于基座71的下侧中各杆87b的下端部。在一对螺旋弹簧87d被一对杆87b分别插通的状态下，分别配置在一对引导件87a与中间锥形件87c之间。一对螺旋弹簧87d相对于主体部81朝下侧对中间锥形件87c施力。中间锥形单元87为了在保持部8保持FOUP200的凸缘部201时相对于凸缘部201定位保持部8，使中间锥形件87c与形成于凸缘部201的凹部嵌合。

在如以上那样构成的保持部8中，一对把持部83、84以能够沿着X轴方向开闭的方式与主体部81连结，保持部8的整体以能够沿着一对把持部83、84的开闭方向即X轴方向移动的方式安装于基座71。即，直动机构73、74将一对把持部83、84引导为沿着X轴方向能够开闭，且将保持部8引导为能够沿着X轴方向移动。在本实施方式中，一对把持部83、84的开闭方向以及保持部8的移动方向沿着行进单元3的行进方向(即，轨道100的延伸方向)即X轴方向。

保持单元7还具有多个第1弹性部件75、76。第1弹性部件75配置在移动板81a与止动板71d之间。第1弹性部件76配置在移动板81a与止动板71e之间。移动板81a以位于主体部81与把持部84之间的方式设置于主体部81，能够沿着X轴方向与主体部81一起移动。止动板71d以相对于移动板81a位于把持部83侧的方式设置于基座71，在X轴方向上与移动板81a相面对。止动板71e以相对于移动板81a位于把持部84侧的方式设置于基座71，在X轴方向上与移动板81a相面对。各第1弹性部件75、76例如是凝胶材、橡胶材、压缩弹簧等。

在保持部8沿着X轴方向移动以使移动板81a接近止动板71d时，第1弹性部件75被压缩，通过被压缩的第1弹性部件75的反弹力，限制该保持部8的移动。另一方面，在保持部8沿着X轴方向移动以使移动板81a接近止动板71e时，第1弹性部件76被压缩，通过被压缩的第1弹性部件76的反弹力，限制该保持部8的移动。这样，多个第1弹性部件75、76在基座71与主体部81之间限制沿着X轴方向的保持部8的移动。

如图5所示，保持单元7还具有连接部件78以及第2弹性部件79。连接部件78设置成与升降驱动单元6的各带61对应。在连接部件78连接对应的带61的下端部61a。连接部件78经由形成于基座71的开口71f朝基座的下侧延伸。第2弹性部件79配置在连接部件78中的位于基座71的下侧的部分78a与基座71之间。第2弹性部件79例如是凝胶材、橡胶材、压缩弹簧等。与多个带61对应的多个连接部件78通过用于抑制绕Z轴扭转的连杆机构(省略图示)相互连接。另外，在图2、图3以及图4中，省略了连接部件78以及第2弹性部件79的图示。

如以上说明的那样，在高架输送车1中，保持部8以能够沿着一对把持部83、84的开闭方向即X轴方向移动的方式安装于基座71，多个第1弹性部件75、76在基座71与保持部8的主体部81之间，限制保持部8沿着一对把持部83、84的开闭方向即X轴方向的移动。由此，能够使多个第1弹性部件75、76吸收作为沿着水平方向的一个方向的振动的X轴方向的振动。而且，通过使保持部8相对于基座71的移动方向与一对把持部83、84的开闭方向一致，能够实现结构的简化。如上所述，根据高架输送车1，能够通过简单的结构有效地抑制沿着水平方向的一个方向的振动传递至FOUP200。

此外，在高架输送车1中，直动机构73、74将一对把持部83、84引导为能够开闭且将保持部8引导为能够移动。这样，通过使直动机构73、74兼用作一对把持部83、84的引导以及保持部8的引导，能够实现结构的简化。

此外，在高架输送车1中，一对把持部83、84的开闭方向以及保持部8的移动方向沿着行进单元3的行进方向即X轴方向。由此，能够抑制在高架输送车1加速或减速时或者高架输送车1通过轨道100上的微小的台阶时等产生的行进方向的振动传递至FOUP200。

此外，在高架输送车1中，升降驱动单元6所具有的各带61的下端部61a与连接部件78连接，在连接部件78中的位于基座71的下侧的部分与基座71之间配置有第2弹性部件79。由此，能够抑制在保持单元7在装载口300载置FOUP200时或者高架输送车1通过轨道100上的微小的台阶时等产生的铅垂方向的振动传递至FOUP200。

以上，对本公开的实施方式进行了说明，但本公开并不限定于上述的实施方式。例如，本公开的输送对象物并不限定于FOUP200，也可以是收纳有多个玻璃基板的中间掩模盒等其他的物品。此外，本公开的高架输送车行进的轨道并不限定于铺设于制造半导体设备的无尘室的顶棚附近的轨道100，也可以是铺设于其他设施的顶棚附近的轨道。此外，一对把持部83、84的开闭方向以及保持部8的移动方向也可以不沿着行进单元3的行进方向。此外，各直动机构72、73、74的导轨也可以一体地形成。

符号说明：

1：高架输送车；3：行进单元；6：升降驱动单元；7：保持单元；8：保持部；61：带；61a：下端部；71：基座；73、74：直动机构；75、76：第1弹性部件；78：连接部件；79：第2弹性部件；81：主体部；83、84：把持部；100：轨道；200：FOUP(输送对象物)。