具体实施方式

在下文中，将参照附图详细描述本发明的实施方式。然而，本发明的精神和范围不限于所描述的实施方式的一部分，并且可以以各种其他形式实现，以及在本发明的精神和范围内，可以选择性地组合和替换实施方式的一个或更多个元件。

此外，除非另有明确定义和描述，否则本发明的实施方式中使用的术语(包括技术和科学术语)可以被解释为与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同，并且诸如在常用词典中定义的术语可以被解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义。

此外，本发明的实施方式中使用的术语用于描述实施方式，并且不旨在限制本发明。在本说明书中，单数形式也可以包括复数形式，除非在短语中特别说明，并且单数形式当以“A(和)、B和C中至少一个(或更多个)”描述时可以包括可以以A、B和C组合的所有组合中的至少一个。

此外，在描述本发明的实施方式的元件时，可以使用术语诸如第一、第二、A、B、(a)和(b)。这些术语仅用于将元件与其他元件进行区分，并且术语不限于本质、顺序或元件的顺序。

此外，当元件被描述为“连接”、“耦接”或“连接”到另一元件时，其不仅可以包括当元件直接“连接”到、“耦接”到或“连接”到其他元件的情况，而且可以包括当元件通过该元件与其他元件之间的另一元件“连接”、“耦接”或“连接”的情况。

此外，当描述为被形成或设置在每个元件的“上(上方)”或“下(下方)”时，“上(上方)”或“下(下方)”不仅可以包括两个元件直接连接至彼此的情况，而且可以包括在两个元件之间形成或设置一个或更多个其他元件的情况。

此外，当表达为“上(上方)”或“下(下方)”时，其不仅可以包括基于一个元件的上方向，而且可以包括基于一个元件的下方向。

在下文中，将参照附图描述根据实施方式的超声波面膜。

图1是示出根据实施方式的超声波面膜的视图。

参照图1，根据实施方式的超声波面膜(1000)可以形成为对应于人面部的形状。详细地，超声波面膜可以具有与人面部的形状对应的形状，以将超声波面膜的一个表面上形成的诸如化妆品或药物的化妆品成分输送至人的面部皮肤。

超声波面膜(1000)可以以预定的尺寸提供以覆盖使用者的面部，并且可以具有预定的弹性以便贴附于使用者的面部。超声波面膜(1000)可以包括与使用者的皮肤接触的一个表面和与该一个表面相对的另一表面，并且超声波面膜(1000)的一个表面可以由对人体无害的材料制成，使得其尽管长时间与使用者的皮肤接触也是无害。

超声波面膜(1000)可以包括开口(1010)和/或切口部分(1020)。详细地，可以在对应于使用者的眼睛或嘴巴的部分中形成开口(1010)。开口(1010)是穿透面膜(1000)的一个表面和另一表面的区域，并且当使用者佩戴面膜(1000)时，使用者的眼睛和嘴巴可以被插入到开口(1010)中，并且除开口(1010)之外的区域可以被紧密地贴附于使用者的面部。

此外，可以在与相对弯曲的两侧脸颊线、下巴等对应的部分中形成切口部分(1020)，以便改善面膜(1000)与皮肤之间的贴附。切口部分(1020)可以具有部分地切开面膜(1000)的一个表面和另一表面的形式。

超声波面膜可以贴附于人的面部，以将诸如化妆品或药物物质的化妆品成分输送至与面膜接触的人的面部区域。

例如，超声波面膜可以直接贴附于人体的皮肤，并且预先涂抹至皮肤的化妆品物质可以通过从超声波面膜产生的超声波通过皮肤的角质层容易地输送至表皮层。

也就是说，超声波面膜形成物质通过超声波移动到人体的皮肤的路径，因此，要被吸收到皮肤中的物质可以容易地转移到皮肤中以被吸收到皮肤中。

详细地，根据实施方式的面膜可以使用超声波导入法原理将化妆品物质或药物物质输送至与面膜接触的人体的区域。

超声波导入法原理是使用超声波输送化妆品成分或药物成分的方法。详细地，超声波导入法被定义为通过超声波使皮肤内的微泡膨胀以在皮肤中形成微通道，从而能够吸收5μm内的极性和非极性颗粒和大分子。

也就是说，在根据实施方式的超声波面膜中，通过面膜内的压电构件沿人体的皮肤的方向施加超声波，并且位于超声波面膜的面向人体的皮肤的一个表面上的诸如化妆品物质的成分可以经由通过超声波形成的皮肤的微通道穿过皮肤的角质层以被输送至表皮层。

同时，根据下面描述的实施方式的超声波面膜涉及如下超声波面膜，所述超声波面膜可以使用面膜方法以简单的方式使诸如化妆品物质的成分吸收到皮肤中，使超声波的损失最小化以提高药物输送效率，并且使由于佩戴面膜而对面膜内的电极的损坏最小化。

在下文中，参照图2至图9，将通过根据第一实施方式的面膜的内部结构详细地描述根据实施方式的超声波面膜。

图2是示出根据实施方式的超声波面膜的截面图的视图。参照图2，根据实施方式的超声波面膜可以包括被设置成彼此间隔开的多个压电构件(500)。

压电构件(500)可以产生超声波，并且超声波可以容易地通过下面将描述的电极、布线和用作特定功能层的基体层将设置在超声波面膜与人体的皮肤之间的化妆品成分渗透到皮肤中。

详细地，参照图3和图4，根据第一实施方式的超声波面膜的多个压电构件(500)可以通过多个布线彼此连接。详细地，压电构件(500)的下表面可以连接至第一布线(210)，并且压电构件(500)的上表面可以连接至第二布线(220)。

图3是用于描述设置在第一衬底(110)上的第一布线(210)与压电构件(500)之间的电连接的视图，所述第一衬底(110)是根据第一实施方式的超声波面膜的下衬底，并且图4是用于描述设置在第二衬底(120)上的第二布线(220)与压电构件(500)之间的电连接的视图，所述第二衬底(120)是根据第一实施方式的超声波面膜的上衬底。

参照图3，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)的一个表面上。详细地，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)的上表面上。更详细地，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)内部。

第一布线(210)可以被设置成在第一方向上延伸。第一布线(210)可以布置在第一方向上。也就是说，第一布线(210)可以包括在第一方向上延伸的多个单元布线。例如，第一布线(210)可以包括在列方向上延伸的多个单元布线，并且单元布线可以被设置成彼此间隔开。

详细地，每个压电构件(500)的一端和另一端可以连接至两个互连布线，并且单元布线可以被定义为彼此连接的互连布线的组件。

此外，第一布线(210)可以被定义为在列方向上延伸且彼此间隔开的多个单元布线的组件。

此外，参照图4，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)的一个表面上。详细地，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)的下表面上。更详细地，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)内部。

第二布线(220)可以被设置成在第二方向上延伸。第二布线(220)可以布置在第二方向上。第二方向可以是与第一方向不同的方向。例如，第一方向和第二方向可以是彼此交叉的方向。

也就是说，第二布线(220)可以包括在第二方向上延伸的多个单元布线。作为示例，第二布线(220)可以包括在行方向上延伸的多个单元布线，并且单元布线可以被设置成彼此间隔开。

详细地，每个压电构件(500)的一端和另一端可以连接至两个互连布线，并且单元布线可以被定义为彼此连接的互连布线的组件。

此外，第二布线(110)可以被定义为在行方向上延伸且彼此间隔开的多个单元布线的组件。

第一布线(210)和第二布线(220)中至少之一可以包括导电材料。作为示例，第一布线(210)和第二布线(220)中至少之一可以包括各种金属。

详细地，第一布线(210)和第二布线(220)中至少之一可以包括铬(Cr)、镍(Ni)、铜(Cu)、铝(Al)、银(Ag)、钼(Mo)、金(Au)、钛(Ti)及其合金中的至少一种金属。

此外，第一布线(210)和第二布线(220)可以具有预定的厚度和线宽。例如，第一布线(210)和第二布线(220)的线宽可以是50μm至500μm。

此外，第一布线(210)和第二布线(220)的厚度可以具有线宽的约1/10或更小的尺寸。作为示例，第一布线(210)和第二布线(220)的厚度可以约为5μm至50μm。

因此，当超声波面膜在一个方向上弯折或折叠时，可以通过控制第一布线(210)和第二布线(220)的线宽和厚度来防止布线断开或损坏，从而提高超声波面膜的可靠性。

此外，第一布线(210)和第二布线(220)中至少之一可以具有拉伸特性。详细地，第一布线(210)和第二布线(220)可以具有在拉伸方向上延伸的伸长特性。

例如，第一布线(210)和第二布线(220)可以被拉伸总长度的约10％至约50％。

第一布线(210)和第二布线(220)中至少之一可以具有弯曲形状。详细地，第一布线(210)和第二布线(220)中至少之一可以在具有曲率的同时延伸。

如图3和图4所示，第一布线(210)可以在具有曲率的同时布置在第一方向上，并且同样第二布线(220)可以在具有曲率的同时布置在第二方向上。

在第一布线(210)和第二布线(220)中，具有相同曲率大小的图案可以是连续的，或者在具有不同曲率大小的图案为连续的同时，第一布线(210)和第二布线(220)可以分别延伸。

详细地，在具有5R至15R的曲率大小(mm)的图案为连续的同时，第一布线(210)可以在第一方向上延伸，并且在具有5R至15R的曲率大小(mm)的图案为连续的同时，第二布线(220)可以在第二方向上延伸。

由于第一布线(210)和第二布线(220)形成为具有曲率的弯曲形状，因此可以防止第一布线(210)和第二布线(220)由于当根据第一实施方式的超声波面膜被拉伸或恢复时产生的应力而变形或损坏。

也就是说，当根据第一实施方式的超声波面膜被拉伸或恢复时，具有连续曲率图案形状的第一布线(210)和第二布线(220)像弹簧一样一起被拉伸或恢复，因此，可以使由于拉伸或恢复引起的应力效应最小化。

此外，由于第一布线(210)仅在第一方向上延伸并且第二布线仅在第二方向上延伸，因此当根据第一实施方式的超声波面膜被拉伸或恢复时，取决于方向的限制可以被最小化。也就是说，可以提高超声波面膜的柔性。

图5是示出第一衬底(110)和第二衬底(120)彼此重叠的视图。

参照图5，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以被设置成在上部和下部中重叠，并且设置在第一衬底(110)的上表面上的第一布线(210)和设置在第二衬底(120)的下表面上的第二布线(220)也可以被设置成彼此搭接。

当从第一衬底(110)的下表面或第二衬底(120)的上表面观察时，第一布线(210)和第二布线(220)可以形成为网格形状。也就是说，当在第一方向上延伸的第一布线(210)和在第二方向上延伸的第二布线(220)彼此搭接时，第一布线(210)和第二布线(220)可以整体形成为网格形状。

在下文中，将参照图6和图7详细地描述根据第一实施方式的超声波面膜的整体配置。

图6是示出根据第一实施方式的超声波面膜沿图5中的线B-B'截取的整体截面图的视图，并且图7是示出根据第一实施方式的超声波面膜沿图5中的线C-C'截取的整体截面图的视图。

参照图6和图7，根据第一实施方式的超声波面膜可以包括衬底、布线、电极、压电构件和基体层。

衬底可以包括第一衬底(110)和第二衬底(120)。第一衬底(110)可以是根据第一实施方式的超声波面膜的下衬底，并且第二衬底(120)可以是上衬底。

第一衬底(110)可以支承设置在第一衬底(110)内部的第一布线(210)和第一电极(410)，并且第二衬底(120)可以支承设置在衬底(120)内部的第二布线(220)和第二电极(420)。也就是说，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以是支承衬底。

第二衬底(120)可以设置在第一衬底(110)的上表面上。第一衬底(110)和第二衬底(120)可以被设置成彼此间隔开。第一衬底(110)和第二衬底(120)可以被设置成彼此间隔开，并且压电构件(500)可以设置在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间。

第一衬底(110)和第二衬底(120)可以是柔性的。详细地，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以是柔性的，以便可弯折或可折叠。此外，第一衬底(110)和第二衬底(120)中至少之一紧密地贴附于上述的人面部，因此衬底可以由对人体无害的材料形成。

例如，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以包括塑料。作为示例，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以包括柔性塑料，例如聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、丙二醇(PPG)、聚碳酸酯(PC)等。

因此，当使用者将超声波面膜佩戴在面部等上并根据使用者面部的大小和形状施加使超声波面膜拉伸或恢复的变形时，可以容易地改变超声波面膜的形状。

此外，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以具有一定的厚度。

例如，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以具有约0.5μm至约5μm或更小的厚度。当第一衬底(110)和第二衬底(120)的厚度小于约0.5μm时，第一衬底(110)和第二衬底(120)的与部件重叠的区域的形状因设置在第一衬底(110)和第二衬底(120)上的部件例如压电构件(500)的重量而改变，从而可能出现可能影响化妆品成分的粘附和吸收的问题。

因此，第一衬底(110)和第二衬底(120)的可靠性可能劣化，并且设置在第一衬底(110)和第二衬底(120)上的部件的对准公差可能增加。

此外，当第一衬底(110)和第二衬底(120)的厚度超过约5μm时，可能增加根据第一实施方式的超声波面膜(1000)的总厚度。因此，存在如下问题：根据第一实施方式的超声波面膜(1000)不能根据使用者皮肤的形状有效地改变，并且因此面膜(1000)不能有效地贴附于使用者皮肤。

优选地，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以具有约0.5μm至约3μm的厚度。当第一衬底(110)和第二衬底(120)的厚度满足上述范围时，可以以对应于使用者皮肤的形式有效地改变第一衬底(110)和第二衬底(120)，并且可以在保持可靠性和对准特性的同时，减小根据实施方式的超声波面膜(1000)的总厚度和重量。

同时，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以具有多个凹入部(I)和多个凸出部(E)。每个凸出部(E)可以形成在凹入部(I)之间。

详细地，参照图8和图9，形成在第一衬底(110)的上表面上的多个第一凹入部(I1)可以形成在第一衬底(110)上，并且形成在第二衬底(120)的下表面上的多个第二凹入部(I2)可以形成在第二衬底(120)上。

也就是说，形成有第一凹入部(I1)的区域中的第一衬底(110)的厚度可以小于未形成有第一凹入部(I1)的区域中的第一衬底(110)的厚度。

此外，形成有第二凹入部(I2)的区域中的第二衬底(120)的厚度可以小于未形成有第二凹入部(I2)的区域中的第二衬底(120)的厚度。

上述第一布线(210)和第二布线(220)可以分别设置在第一衬底(110)的上表面和第二衬底(120)的下表面上。

第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)的第一凹入部(I1)内部。详细地，第一布线(210)可以在填充第一衬底(110)的上表面上形成的第一凹入部(I1)的内部时形成。因此，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)内部。

此外，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)的第二凹入部(I2)内部。详细地，第二布线(220)可以在填充第二衬底(120)的下表面上形成的第二凹入部(I2)的内部时形成。因此，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)内部。

如上所述，由于第一布线(210)被形成为仅在第一方向上延伸，并且第二布线(220)被形成为仅在第二方向上延伸，因此在图6中，图6是沿图5中的线B-B'截取的视图，仅弯曲形状的第二布线(220)可以设置在压电构件(500)之间，并且在图7中，图7是沿图5中的线C-C'截取的视图，仅弯曲形状的第一布线(210)可以设置在压电构件(500)之间。

由于第一布线(210)和第二布线(220)分别设置在第一衬底(110)和第二衬底(120)中形成的第一凹入部(I1)和第二凹入部(I2)内部，因此可以防止由于第一布线(210)和第二布线(220)的厚度而导致的超声波面膜的厚度的增加。

此外，由于第一布线(210)和第二布线(220)在被凹入部固定时设置在凹入部内部，因此防止了布线在诸如使超声波面膜拉伸或恢复的可变期间被去膜(de-film)的现象，从而提高了超声波面膜的可靠性。

压电构件(500)可以设置在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间。也就是说，压电构件(500)可以设置在第一衬底(110)的上表面上，并且可以设置在第二衬底(120)的下表面下。

压电构件(500)可以产生超声波，并且从压电构件(500)产生的超声波可以从第一衬底(110)朝向第二衬底(120)移动。

压电构件(500)可以以复数形式设置在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间。详细地，压电构件(500)可以被设置成在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间彼此间隔开，并且因此，可以在超声波面膜的整个面积上产生超声波。

同时，压电构件(500)可以被设置成在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间以相同或相似的距离间隔开。

替选地，压电构件(500)可以被设置成在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间以不同的距离彼此间隔开。例如，当超声波面膜被戴在人体的皮肤上时，压电构件(500)的分离距离可以根据超声波面膜在其处被弯折时的尺寸而变化。

例如，当超声波面膜被戴在人体的皮肤上时，每个区域的弯折区域可以根据面部的形状和尺寸而变化。在这种情况下，压电构件(500)的距离可以在超声波面膜被弯折的区域中增加，并且因此，压电构件(500)的距离在很大程度上弯折的区域中减小，从而可以补偿当超声波面膜被戴在皮肤上时压电元件的距离针对每个区域而变化。

同时，压电构件(500)可以包括刚性材料。

压电构件(500)可以包括各种压电材料。例如，压电构件(500)可以包括单晶陶瓷、多晶陶瓷、聚合物材料、薄膜材料或者其中多晶材料和聚合物材料被复合的复合材料。

单晶陶瓷的压电材料可以包括α-AlPO4、α-SiO2、LiTiO3、LiNbO3、SrxBayNb2O3、Pb5-Ge3O11、Tb2(MnO4)3、Li2B4O7、CdS、ZnO、Bi12SiO20或Bi12GeO20。

此外，多晶陶瓷的压电材料可以包括PZT基、PT基、PZT复合钙钛矿基或BaTiO3。

此外，聚合物材料的压电材料可以包括PVDF、P(VDF-TrFe)、P(VDFTeFE)或TGS。

此外，薄膜材料的压电材料可以包括ZnO、CdS或AlN。

此外，复合材料的压电材料可以包括PZT-PVDF、PZT-硅橡胶、PZT-环氧树脂、PZT-发泡聚合物或PZT-发泡聚氨酯。

多个压电构件(500)可以包括单晶陶瓷、多晶陶瓷、聚合物材料、薄膜材料或者多晶材料和聚合物材料被复合的复合材料中的至少一种压电材料。

多个压电构件(500)可以包括相同的压电材料或者可以包括不同的压电材料。

例如，根据实施方式的超声波面膜可以包括产生低频或中频超声波的压电材料。详细地，根据实施方式的超声波面膜可以包括如下压电材料，该压电材料产生针对美容而优化的具有20kHz至100kHz频带的低频的超声波以及/或者具有100kHz至1MHz频带的中频的超声波。

作为示例，根据实施方式的超声波面膜可以包括包含陶瓷的单晶陶瓷或多晶陶瓷。

从压电构件(500)施加的超声波的波形不受限制，并且可以包括正弦波形、锯齿波形或脉冲波形。

此外，从压电构件(500)产生的超声波可以被施加为横波和纵波中至少之一。详细地，从压电构件(500)产生的超声波可以被施加为：横波的单一波、纵波的单一波、或者施加有横波和纵波二者的多个波。

也就是说，根据实施方式的压电构件可以在单个或多个谐振模式下产生超声波。

压电构件(500)的厚度可以约为600μm或更小。详细地，压电构件(500)的厚度可以约为500μm或更小。优选地，压电构件(500)的厚度可以约为300μm或更小。考虑到超声波面膜(1000)的可变特性，压电构件(500)的厚度优选满足上述范围。

压电构件(500)可以具有各种形状。例如，压电构件(500)可以具有下表面和上表面为多边形的多边柱形状，并且下表面和上表面可以具有圆柱形。此外，压电构件(500)的下表面和上表面中的一个表面可以是多边形，而另一个表面可以具有柱形状。作为示例，压电构件(500)的下表面和上表面中至少之一的面积可以约为100mm²或更小。

如上所述，压电构件(500)可以具有各种柱形状，并且可以控制根据柱形状产生的超声波振动的强度和振动的振荡方向。此外，可以根据压电构件(500)的尺寸、布置间隔、布置密度等来调节传输到使用者皮肤的振动的强度。

压电构件(500)可以产生各种波。例如，压电构件(500)可以产生波的行进方向和介质的振动方向垂直的横波和波的行进方向和介质的振动方向相同的纵波中的至少一个波。此外，压电构件(500)可以多重谐振。

例如，压电元件(500)可以包括至少一个通孔，并且可以通过形成的通孔进行多重谐振。在这种情况下，通孔的上部面积可以为用于多重谐振的压电构件(500)的上表面面积的约10％至约45％。

此外，当压电构件(500)通过通孔进行多重谐振时，多个谐振频率区域的数目可以对应于通孔的数目。也就是说，压电构件(500)可以在通孔的设置数目范围内随着通孔的数目增加而发射各种频率范围的波长。

电极可以分别设置在压电构件(500)的下表面和上表面上。详细地，第一电极(410)可以设置在压电构件(500)的下表面上，并且第二电极(420)可以设置在压电构件(500)的上表面上。

也就是说，第一电极(410)可以设置在第一衬底(110)的上表面上，并且第二电极(420)可以设置在第二衬底(120)的下表面下。

第一电极(410)和第二电极(420)可以与压电构件(500)接触。详细地，第一电极(410)可以设置成与压电构件(500)的下表面直接接触，并且第二电极(420)可以设置成与压电构件(500)的上表面直接接触。

因此，第一电极(410)和第二电极(420)可以分别设置在压电构件(500)的两个表面上，并且电压可以通过第一电极(410)和第二电极(420)向压电构件(500)被施加以使压电构件(500)振动。

详细地，从超声波面膜的外部施加的电压通过第一布线(210)和第二布线(220)被传输到第一电极(410)和第二电极(420)，并且因此，电压被施加到压电构件(500)，使得压电构件(500)可以被振动以产生具有特定频率范围的超声波。

第一电极(410)可以设置在压电构件(500)的下表面的整个表面上。此外，第二电极(420)可以设置在压电构件(500)的上表面的整个表面上。在这种情况下，压电构件的下表面和上表面的整个表面可以被定义为包括工艺期间的误差的区域。

第一电极(410)和第二电极(420)中至少之一可以包括各种金属。例如，第一电极(410)和第二电极(420)中至少之一可以包括铬(Cr)、镍(Ni)、铜(Cu)、铝(Al)、银(Ag)、钼(Mo)、金(Au)、钛(Ti)及其合金中的至少一种金属。

替选地，第一电极(410)和第二电极(420)中至少之一可以形成为网格形状。详细地，第一电极(410)和第二电极(420)中至少之一可以包括多个子电极，并且子电极可以被设置成彼此交叉成网格形状。

详细地，第一电极(410)和第二电极(420)中至少之一可以包括网格线(LA)以及在网格线(LA)之间的网格开口(OA)，所述网格线通过彼此交叉成网格形状的多个子电极形成。

网格线(LA)的线宽可以为约0.1μm至约10μm。在制造过程中，线宽小于网格线(LA)的约0.1μm的网格线是不可行的，并且当线宽超过约10μm时，可以从外部视觉识别电极图案并且可能降低可见度。详细地，网格线(LA)的线宽可以为约1μm至约5μm。更详细地，网格线(LA)的线宽可以为约1.5μm至约3μm。

此外，网格线(LA)的厚度可以为约100nm至约1000nm。当网格线的厚度小于约100nm时，电极电阻可能增加并且电特性可能劣化。当网格线的厚度超过约1000nm时，超声波面膜的整体厚度可能增加并且工艺效率可能劣化。详细地，网格线(LA)的厚度可以为约150nm至约500nm。更详细地，网格线(LA)的厚度可以为约180nm至约200nm。

此外，网格开口可以形成为各种形状。例如，网格开口(OA)可以具有各种形状，例如正方状、菱形形状、五边形形状和六边形形状的多边形形状、圆形形状等。此外，网格开口可以形成为规则形状或随机形状。

电极和布线可以彼此粘附。详细地，电极和布线可以通过导电粘合剂层彼此粘附。

详细地，第一布线(210)和第一电极(410)可以通过第一粘合剂层(310)粘附，并且第二布线(210)和第二电极(420)可以通过第二粘合剂层(320)粘附。

第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)可以具有导电性。详细地，第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)可以是导电膏。例如，第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)可以包括银(Ag)膏。

因此，第一布线(210)和第一电极(410)以及第二布线(220)和第二电极(420)可以通过第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)电连接。

同时，第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)可以形成为具有相同和相似的厚度。替选地，第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)可以形成为具有不同的厚度。

详细地，第一粘合剂层(310)的厚度可以大于第二粘合剂层(320)的厚度。也就是说，远离皮肤设置的第一粘合剂层(310)的厚度可以大于第二粘合剂层(320)的厚度。

因此，通过使第一粘合剂层(310)的厚度与第二粘合剂层(320)的厚度不同，从压电构件(500)产生并沿皮肤的相反方向移动的超声波可以被第一粘合剂层(310)反射以沿皮肤的方向传输，从而使超声波的损失最小化。

同时，用于容易地将超声波传输到皮肤的基体层可以分别设置在第一衬底(110)和第二衬底(120)的外表面上。

上述衬底、布线、电极和压电构件可以设置在基体层之间，也就是说，基体层可以是支承多个部件的支承层。

例如，当定义设置第二衬底(120)的位置是靠近人体的皮肤的位置并且设置第一衬底(110)的位置是远离人体的皮肤的位置时，第一基体层(610)可以设置在第一衬底(110)的外表面上即第一衬底(110)的下表面上，在第一基体层(610)中，从压电构件(500)产生的超声波被反射，使得超声波沿人体的皮肤的方向传输。

第二基体层(620)可以设置在第二衬底(120)的外表面上即第二衬底(120)的上表面上，在第二基体层(620)中，从压电构件(500)产生的超声波被反射，使得超声波沿人体的皮肤的方向传输。也就是说，第二基体层(620)可以被定义为与人体的皮肤直接接触以传输超声波的层。

详细地，第二基体层(620)可以设置在第二衬底(120)的上表面上。第二基体层(620)可以包括匹配层。

第二基体层(620)可以减少由于超声波信号的反射引起的能量损失，该超声波信号的反射由压电构件与对象即人体的皮肤之间的声阻抗的差产生。为此，第二基体层(620)由具有对应于压电构件的声阻抗与人体的皮肤的声阻抗之间的声阻抗的材料形成，因此，可以通过配置多个声匹配层使超声波信号的能量损失最小化，所述声匹配层具有从与压电元件相邻的第二基体层(620)逐渐减小的声阻抗。

作为示例，第二基体层(620)可以包括硅(Si)。例如，第二基体层(620)可以包括硅或硅化合物。此外，第二基体层(620)的厚度可以约为1mm或更小。详细地，匹配层的厚度可以为约300μm至约1mm。

第二基体层(620)的厚度可以根据从压电构件(500)产生的超声波的频率而改变。

详细地，第二基体层(620)的厚度可以按通过以下等式计算的波长(λ)被定义为波长的λ/4或更大的大小。

[等式]

第二基体层的声速＝从压电构件产生的频率*波长(λ)

也就是说，第二基体层(620)的厚度可以形成为具有通过等式计算的波长的大小的约25％或更大的大小。

例如，当第二基体层(620)包括硅(Si)时，可以根据压电构件中产生的频率区域的大小来确定波长值，并且第二基体层(620)的厚度可以形成为波长大小的约25％或更大的大小。

因此，当从压电构件产生的超声波通过匹配层传输到人的皮肤时，可以使超声波的损失最小化。

第一基体层(610)可以设置在第一衬底(110)的下表面上。第一基体层(610)可以包括背衬层。

第一基体层(610)可以反射从压电构件(500)产生的超声波当中沿第一衬底的方向移动以及沿人体的皮肤的方向移动的超声波，所述第一衬底的方向是与人体的皮肤相反的方向。也就是说，第一基体层(610)可以是反射超声波的反射层。

背衬层可以包括与匹配层的材料相同或相似的材料。例如，背衬层可以包括硅(Si)。

背衬层可以形成为具有与匹配层的厚度不同的厚度。详细地，背衬层可以形成为具有与匹配层的厚度相同的厚度或比匹配层的厚度更小的厚度。

此外，第一基体层(610)可以具有形成在其中的空气层以容易地反射超声波。也就是说，可以在第一基体层(610)内部形成多个孔以将入射到第一基体层(610)中的超声波朝向第二基体层(620)反射。

此外，第一基体层(610)可以形成为与第二基体层(620)的形状不同的形状。详细地，第一基体层(610)可以包括在与压电构件(500)对应的区域中形成的凹槽。因此，入射到第一基体层(610)中的超声波可以被形成在凹槽内部的空气层朝向第二基体层(620)反射。

第一基体层(610)和第二基体层(620)可以形成为具有与第一衬底(110)和第二衬底(120)的尺寸相同或相似的尺寸。也就是说，第一基体层(610)和第二基体层(620)可以被设置成同时覆盖多个压电构件。

也就是说，第一基体层(610)和第二基体层(620)形成为大于压电构件的面积，使得从压电构件辐射的超声波可以沿人体的皮肤的方向有效地传输。

因此，从压电材料径向产生的超声波可以通过第一基体层和第二基体层沿人体的皮肤的方向容易地传输。

同时，保护层(150)可以设置在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间。保护层(150)可以包括与第一基体层(610)和第二基体层(620)中至少之一的材料相同或相似的材料。例如，保护层(150)可以包括硅或硅基化合物。

第一布线(210)和第二布线(220)可以与保护层(150)接触。详细地，第一布线(210)和第二布线(220)的一部分可以与保护层(150)接触。

详细地，第一布线(210)和第二布线(220)的连接压电构件(500)的互连布线可以与保护层(150)接触。

也就是说，第一布线(210)和第二布线(220)的互连布线可以分别设置在第一衬底(110)和第二衬底(120)的凹入部中，暴露表面可以形成，在该暴露表面中，互连布线的一个表面暴露于外部，并且互连布线的暴露表面可以与保护层(150)接触。

保护层(150)防止外部冲击或杂质对第一衬底(110)与第二衬底(120)之间的压电构件(500)、电极、布线等的损坏，从而提高超声波面膜的可靠性。

此外，由于保护层(150)被设置成覆盖第一布线和第二布线的暴露于外部的互连布线，因此可以防止包括金属的布线的氧化，从而提高可靠性。

根据第一实施方式的超声波面膜可以使用超声波将材料容易地转移到人体的皮肤中。

详细地，可以根据使用者要佩戴的对象的位置、形状和尺寸通过刚性压电构件、柔性衬底和布线容易地输送诸如化妆品的化妆品物质。

此外，当使用者佩戴通过衬底以及可以被拉伸和恢复的布线形成的超声波面膜时，可以防止电极由于超声波面膜的变形而损坏。

此外，通过由匹配层和背衬层控制从压电构件产生的超声波的方向性，可以使在传输期间产生的超声波的损失最小化。

此外，通过控制匹配层和背衬层的厚度以及根据从压电构件产生的超声波的频带控制超声波的移动，可以使在传输期间产生的超声波的损失最小化。

此外，当超声波面膜被拉伸或恢复时，具有连续曲率图案形状的第一布线(210)和第二布线(220)像弹簧一样一起被拉伸或恢复，因此可以使由于拉伸或恢复引起的应力效应最小化。

此外，由于第一布线(210)仅在第一方向上延伸并且第二布线仅在第二方向上延伸，因此当根据第一实施方式的超声波面膜被拉伸或恢复时，取决于方向的限制可以被最小化。也就是说，可以提高超声波面膜的柔性。

在下文中，将参照图10至图14描述根据第二实施方式的超声波面膜。在根据第二实施方式的超声波面膜的描述中，将省略与根据上述第一实施方式的超声波面膜相同和相似描述的描述。此外，在根据第二实施方式的超声波面膜的描述中，对与根据上述第一实施方式的超声波面膜的部件相同的部件给出相同的附图标记。

参照图10至图14，根据第二实施方式的超声波面膜可以具有不同的方向，其中第一布线和第二布线从根据上述第一实施方式的超声波面膜延伸。

详细地，参照图10，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)的上表面上。也就是说，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)内部。此外，第一布线(210)可以布置在彼此交叉的第一方向和第二方向上。因此，第一布线(210)可以布置在两个不同的方向上。

也就是说，第一布线(210)可以包括在第一方向上延伸的多个单元布线和在第二方向上延伸的多个单元布线。例如，第一布线(210)可以包括在行方向上延伸的多个单元布线和在列方向上延伸的多个单元布线，并且单元布线可以被设置成彼此间隔开。

此外，参照图11，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)的下表面上。也就是说，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)内部。第二布线(220)可以形成为在第一方向和第二方向上延伸。也就是说，第二布线(220)可以被设置成在两个不同的方向上延伸，并且第二布线(220)延伸的方向可以与第一布线(210)延伸的方向相似。

也就是说，第二布线(220)可以包括在第一方向上延伸的多个单元布线和在第二方向上延伸的多个单元布线。作为示例，第二布线(220)可以包括在行方向上延伸的多个单元布线和在列方向上延伸的多个单元布线，并且单元布线可以被设置成彼此间隔开。

也就是说，当从第一衬底(110)的下表面观察时，第一布线(210)可以形成为网格形状，并且当从第二衬底(120)的上表面观察时，第二布线(220)可以形成为网格形状。

图12是示出第一衬底(110)和第二衬底(120)彼此重叠的视图。

参照图12，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以被设置成在上部和下部中重叠，并且设置在第一衬底(110)的上表面上的第一布线(210)和设置在第二衬底(120)的下表面上的第二布线(220)也可以被设置成彼此重叠。

当从第一衬底(110)的下表面或第二衬底(120)的上表面观察时，第一布线(210)和第二布线(220)可以形成为网格形状。也就是说，当在第一方向上延伸的第一布线(210)和在第二方向上延伸的第二布线(220)彼此搭接时，第一布线(210)和第二布线(220)可以整体形成为网格形状。

在根据第二实施方式的超声波面膜中，第一布线可以形成为在两个方向上延伸，并且第二布线也可以布置在两个方向上。

因此，第一布线(210)和第二布线(220)二者可以布置在第一方向和第二方向两个不同的方向上。

因此，在图13中，图13是沿图12中的线D-D'截取的视图，具有弯曲形状的第一布线(210)和第二布线(220)二者设置在压电构件(500)之间，并且在图14中，图14是沿图12中的线E-E'截取的视图，具有弯曲形状的第一布线(210)和第二布线(220)二者设置在压电构件(500)之间。

因此，即使在一个压电构件(500)中在行方向上的第一布线或第二布线中发生短路，在列方向上的第一布线或第二布线仍被激励，并且即使在列方向上的第一布线或第二布线中发生短路，在行方向上的第一布线或第二布线仍被激励，使得可以防止由于短路引起的特性的劣化。

如上所述，可以改变超声波面膜以适合人体的皮肤的形状，并且由于在改变过程中产生的应力，可能在布线中产生短路。

由于根据第二实施方式的超声波面膜被布置成在行方向和列方向上延伸布线，因此即使布线在一个方向上短路，也可以通过在另一个方向上延伸的布线防止整体短路，从而可以提高超声波元件的电特性和可靠性。

在下文中，将参照图15至图19描述根据第三实施方式的超声波面膜。在根据第三实施方式的超声波面膜的描述中，将省略与根据上述第一实施方式和第二实施方式的超声波面膜相同和相似描述的描述。此外，在根据第二实施方式的超声波面膜的描述中，对与根据上述第一实施方式和第二实施方式的超声波面膜的部件相同的部件给出相同的附图标记。

参照图15至图19，根据第三实施方式的超声波面膜可以具有与根据上述第一实施方式和第二实施方式的超声波面膜不同的第一布线和第二布线方向。

详细地，参照图15，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)的上表面上。也就是说，第一布线(210)可以设置在第一衬底(110)内部。此外，第一布线(210)可以仅布置在第一方向上。

也就是说，第一布线(210)可以包括在第一方向上延伸的多个单元布线。作为示例，第一布线(210)可以包括在列方向上延伸的多个单元布线，并且单元布线可以被设置成彼此间隔开。

此外，参照图16，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)的下表面上。也就是说，第二布线(220)可以设置在第二衬底(120)内部。第二布线(220)可以布置在第一方向和第二方向上。

也就是说，第二布线(220)可以包括在第一方向上延伸的多个单元布线和在第二方向上延伸的多个单元布线。作为示例，第二布线(220)可以包括在行方向上延伸的多个单元布线和在列方向上延伸的多个单元布线，并且单元布线可以被设置成彼此间隔开。

也就是说，当从第一衬底(110)的下表面观察时第一布线(210)的形状和当从第二衬底(120)的上表面观察时第二布线(220)的形状可以彼此不同。

图15和图16示出了第一布线在一个方向上延伸并且第二布线布置在两个方向上，但是实施方式不限于此，相反地，第一布线可以布置在两个方向上，并且第二布线可以布置在一个方向上。

图17是示出第一衬底(110)和第二衬底(120)彼此重叠的视图。

参照图17，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以被设置成在上部和下部中重叠，并且设置在第一衬底(110)的上表面上的第一布线(210)和设置在第二衬底(120)的下表面上的第二布线(220)也可以被设置成彼此重叠。

当从第一衬底(110)的下表面或第二衬底(120)的上表面观察时，第一布线(210)和第二布线(220)可以形成为网格形状。也就是说，当在第一方向上延伸的第一布线(210)和在第二方向上延伸的第二布线(220)彼此搭接时，第一布线(210)和第二布线(220)可以整体形成为网格形状。

在这种情况下，由于第一布线仅在列方向上延伸并且第二布线在行方向和列方向上延伸，因此当从第一衬底(110)的下表面或第二衬底(120)的上表面观察时，列方向上的布线的厚度可能看起来大于行方向上的布线的厚度。

在根据第三实施方式的超声波面膜中，第一布线可以布置在一个方向上，并且第二布线可以布置在两个方向上。

因此，由于第一布线(210)和第二布线(220)中的一个布线仅在一个方向上延伸，而另一个布线在两个方向上延伸，因此即使在一个压电构件(500)中在行方向上的第一布线或第二布线中发生短路，在列方向上的第一布线或第二布线仍被激励，并且即使在列方向上的第一布线或第二布线中发生短路，在行方向上的第一布线或第二布线仍被激励，使得可以防止由于短路引起的特性的劣化。

如上所述，可以改变超声波面膜以适合人体的皮肤的形状，并且由于在改变过程中产生的应力，可能在布线中产生短路。

由于根据第三实施方式的超声波面膜被布置成在行方向和列方向上延伸布线，因此即使布线在一个方向上短路，也可以通过在另一个方向上延伸的布线防止整体短路，从而可以提高超声波元件的电特性和可靠性。

此外，由于第一布线(210)和第二布线(220)中的一个布线仅在一个方向上延伸，而另一个布线在两个方向上延伸，因此当根据第三实施方式的超声波面膜被拉伸或恢复时，取决于方向的限制可以被最小化。也就是说，可以提高超声波面膜的柔性。

在下文中，将参照图20至图22描述根据第四实施方式至第六实施方式的超声波面膜。在根据第四实施方式至第六实施方式的超声波面膜的描述中，将省略与根据上述第一实施方式至第三实施方式的超声波面膜相同和相似描述的描述。此外，在根据第四实施方式至第六实施方式的超声波面膜的描述中，对与根据上述第一实施方式至第三实施方式的超声波面膜的部件相同的部件给出相同的附图标记。

参照图20至图22，在根据第四实施方式至第六实施方式的超声波面膜中，金属层和覆盖层可以设置在第一基体层(610)的下表面上或第二基体层(620)的上表面上或者第一基体层(610)的下表面上和第二基体层(620)的上表面上。

详细地，参照图20和图21，在根据第四实施方式和第五实施方式的超声波面膜中，金属层(710)可以设置在第一基体层(610)的下表面上或第二基体层(620)的上表面上，并且覆盖层(720)可以设置在金属层之下或之上。

详细地，参照图20，在根据第四实施方式的超声波面膜中，金属层(710)可以设置在第一基体层(610)的下表面上，并且覆盖层(720)可以设置在金属层(710)的下表面上。

此外，参照图21，在根据第五实施方式的超声波面膜中，金属层(710)可以设置在第二基体层(620)的上表面上，并且覆盖层(720)可以设置在金属层(710)的顶表面上。

此外，参照图22，在根据第六实施方式的超声波面膜中，第一金属层(711)可以设置在第一基体层(610)的下表面上，并且第一覆盖层(721)可以设置在第一金属层(711)的下表面上。此外，第二金属层(712)可以设置在第二基体层(620)的上表面上，并且第二覆盖层(722)可以设置在第二金属层(712)的顶表面上。

金属层(710)可以具有一定的伸长特性以改变超声波面膜。此外，覆盖层(720)可以包括与衬底或保护层的材料相同或相似的材料。也就是说，覆盖层(720)可以包括硅(Si)。

金属层(710)可以设置在根据实施方式的超声波面膜的最外表面上，以阻挡可能从外部渗透的湿气和空气的流入。因此，可以防止其中的电极和压电构件由于湿气和空气流入到超声波面膜中而被氧化，并且因此，可以提高超声波面膜的可靠性。也就是说，金属层(710)可以提高超声波面膜的透湿性和耐久性。

此外，覆盖层(720)可以设置在金属层(710)的外表面上，以防止暴露于外部的金属层(710)由于与空气反应而被腐蚀。

此外，金属层可以阻止压电构件、电极或布线从外部被视觉识别，从而改善超声波面膜的外观。

如前所述，压电构件(500)可以具有多重谐振。也就是说，压电构件(500)可以振荡具有不同频率的至少三个或更多个超声波。详细地，压电构件(500)可以振荡具有不同频率且在弯曲模式下振荡的至少三个或更多个超声波。

参照图23和图26，压电构件(500)可以具有多层结构。详细地，压电构件(500)可以形成为包括第一层(510)和第二层(520)的多层结构。

第一层(510)可以位于面向皮肤的区域中并且可以与第二电极(420)接触，并且第二层(520)可以与第一电极(410)接触。

第一层(510)可以包括金属材料。详细地，第一层(510)可以包括铝、不锈钢(SUS)和黄铜中的至少一种。第一层(510)可以具有弹性。

此外，第二层(520)可以包括压电材料。详细地，压电构件可以包括陶瓷压电材料，例如单晶陶瓷或多晶陶瓷。

单晶陶瓷的压电材料可以包括α-AlPO4、α-SiO2、LiTiO3、LiNbO3、SrxBayNb2O3、Pb5-Ge3O11、Tb2(MnO4)3、Li2B4O7、CdS、ZnO、Bi12SiO20或Bi12GeO20。

此外，多晶陶瓷的压电材料可以包括PZT基、PT基、PZT复合钙钛矿基或BaTiO3。

多个压电构件(500)可以包括单晶陶瓷和多晶陶瓷中的至少一种压电材料。作为示例，压电构件(500)可以包括PZT基多晶陶瓷的压电材料。

第一层(510)和第二层(520)可以形成为圆形。详细地，第一层(510)和第二层(520)可以形成为外径大于高度的圆柱形。此外，第一层(510)和第二层(520)中至少之一可以形成为环形，其中通孔形成在圆形内部。也就是说，通孔可以形成在第一层(510)和第二层(520)中至少之一中。

换言之，第一层(510)和第二层(520)可以形成为圆形，并且至少一个层形成有通孔，使得第一层(510)和第二层(520)可以形成有外径和/或内径和厚度。

通过将外径、内径和厚度限制到特定范围，第一层(510)和第二层(520)可以实现多重谐振，其中压电构件(500)在至少三个或更多个弯曲模式下振荡。

参照图26，在压电构件(500)中，第一层(510)和第二层(520)可以根据外径、内径和厚度形成为各种形状。

参照图26中的(a)，在压电构件(500)中，第一层(510)和第二层(520)可以具有相同的外径，并且可以在第二层(520)中形成通孔。因此，可以在第一层(510)和第二层(520)的外径部分中形成弯曲模式的频率，可以在第二层(520)的通孔中形成处于弯曲模式且具有不同幅度的频率，并且可以在第二层(520)中形成具有不同幅度且处于与弯曲混合的弯曲模式而不是纯厚度模式的频率。

参照图26中的(b)，在压电构件(500)中，第一层(510)和第二层(520)可以具有不同的外径，并且可以在第二层(520)中形成通孔。因此，可以在第一层(510)的外径部分中形成弯曲模式的频率，可以在第二层(520)的外径部分中形成处于弯曲模式且具有不同幅度的频率，并且可以在第二层(520)的通孔中形成处于弯曲模式且具有不同幅度的频率。

参照图26中的(c)，在压电构件(500)中，第一层(510)和第二层(520)可以具有不同的外径，并且可以在第一层(510)和第二层(520)中的每一个中形成通孔。因此，可以在第一层(510)和第二层(520)的外径部分中形成弯曲模式的频率，可以在第一层(510)的外径部分中形成处于弯曲模式且具有不同幅度的频率，并且可以在第二层(520)的通孔中形成处于弯曲模式且具有不同幅度的频率。

也就是说，通过控制第一层(510)和第二层(520)的外径、内径和厚度，压电构件可以振荡具有不同尺寸同时具有弯曲模式的至少三个频率。

详细地，当向压电构件(500)施加电场时，压电构件(500)的第二层(520)即压电材料在纵向方向上膨胀或收缩，并且第一层(510)根据第二层(520)的收缩和膨胀引起竖直弯曲位移。

也就是说，压电构件(500)可以在弯曲模式下振荡超声波，在弯曲模式中，面积谐振模式和厚度谐振模式被组合。

如上所述，在厚度模式的情况下，沿皮肤方向传输超声波是有利的，但是由于厚度增加而存在问题，并且在面积谐振模式的情况下，可以解决厚度问题，但是难以沿皮肤方向传输超声波。

因此，根据实施方式的超声波面膜的压电构件可以容易地沿皮肤方向传输超声波，而没有由于压电构件在弯曲模式下振荡而导致的厚度的问题。

此外，压电构件(500)可以执行多重谐振。详细地，压电构件(500)可以振荡具有不同尺寸的至少三个或更多个频率。更详细地，压电构件(500)可以振荡至少三个或更多个频率，这些频率具有不同尺寸在弯曲模式下振荡。

压电构件(500)可以产生中心频率，并且可以在中心频率之前和之后产生具有不同尺寸的至少两个或更多个频率。例如，压电构件(500)可以在中心频率之前和之后在约150kHz的范围内产生具有不同尺寸的两个或更多个频率。例如，压电构件(500)可以具有约200kHz至约400kHz的中心频率，并且可以在中心频率之前和之后在约150kHz的范围内产生具有不同尺寸的两个或更多个频率。

例如，压电构件(500)可以振荡232kHz的中心频率，并且可以振荡中心频率附近的115kHz和357kHz的频率。也就是说，压电构件(500)可以振荡中心频率附近的高于中心频率的第一频率和低于中心频率的第二频率，并且此时，中心频率以及第一频率和第二频率可以在弯曲模式下振荡。

因此，使用者可以选择期望的频率水平来使用超声波面膜。详细地，根据使用者的皮肤环境，对于薄皮的使用者可以使用高频超声波，而对于厚皮的使用者可以使用低频超声波。

因此，由于具有不同皮肤环境和状况的使用者可以选择适合于使用者使用超声波面膜的频率，因此可以提高超声波面膜的效率。

同时，为了在弯曲模式下振荡压电构件(500)并执行多重谐振，可以将构成压电构件(500)的第一层(510)和第二层(520)的内径、外径和厚度的尺寸控制在一定的尺寸范围内。

详细地，第一层(510)的厚度(t1)和第二层(520)的厚度(t2)可以约为200μm至1500μm。将第一层(510)的厚度(t1)和第二层(520)的厚度(t2)形成为小于约200μm在工艺中难以实现，并且当第一层(510)的厚度(t1)和第二层(520)的厚度(t2)形成为超过约1500μm时，压电构件(500)的厚度增加，从而增加了超声波面膜的总厚度。

此外，第一层的厚度(t1)可以具有第二层的厚度(t2)的80％至120％的厚度。也就是说，第一层(510)的厚度(t1)和第二层的厚度(t2)彼此相同，或者第一层(510)和第二层(520)之一的厚度可以更大。

在这种情况下，当第一层的厚度(t1)小于第二层的厚度(t2)的80％，或者第一层的厚度(t1)超过第二层的厚度(t2)的120％时，从压电构件(500)产生的超声波的频率增长。也就是说，可能从超声波面膜产生具有不适于美容目的的频率的超声波，并且在弯曲模式下振荡的频率的数目可能小于三个。

此外，第一层(510)的外径(R1)和第二层(520)的外径(R2)可以约为3mm至8mm。此外，第一层的外径(R1)可以具有第二层的外径(R2)的92％至108％的尺寸。也就是说，第一层(510)的外径(R1)和第二层(520)的外径(R2)彼此相同，或者第一层(510)和第二层(520)之一的外径可以更大。

当第一层的外径(R1)小于第二层的外径(R2)的92％，或者第一层的外径(R1)超过第二层的外径(R2)的108％时，从压电构件(500)产生的超声波的频率增长。也就是说，可能从超声波面膜产生具有不适于美容目的的频率的超声波，并且在弯曲模式下振荡的频率的数目可能小于三个。

此外，第一层(510)的内径(r1)可以为0mm至1.5mm(当内径为0mm时，第一层未形成有通孔)，并且第二层(520)的内径(r2)可以约为1.5mm至5.6mm。此外，第一层(510)的内径(r1)可以是第二层(520)的内径(r2)的约20％或更小。也就是说，第一层(510)的内径(r1)可以小于第二层(520)的内径(r2)。

当第一层(510)的内径(r1)超过第二层(520)的内径(r2)的约20％时，从压电构件(500)产生的超声波的频率增长。也就是说，可能从超声波面膜产生具有不适于美容目的的频率的超声波。

此外，第二层(520)的内径(r2)可以具有第二层(520)的外径(R2)的约50％至约70％的尺寸。

也就是说，第二层(520)的内径(r2)可以小于第二层(520)的外径(R2)。

当第二层(520)的内径(r2)小于第二层(520)的外径(R2)的50％，或者第二层(520)的内径(r2)超过第二层(520)的外径(R2)的70％时，从压电构件(500)产生的超声波的频率增长。也就是说，可能从超声波面膜产生具有不适于美容目的的频率的超声波，并且在弯曲模式下振荡的频率的数目可能小于三个。

下面的表1用于描述当第一层(510)的外径和内径以及第二层(520)的外径和内径被控制在上述范围内时产生的频带。

[表1]

参照表1，可以看出，通过将第一层的厚度、外径和内径以及第二层的厚度、外径和内径控制到特定数值范围，根据实施方式的超声波面膜可以实现弯曲模式的多重谐振。

也就是说，根据实施方式的超声波面膜可以具有至少两个频率，所述至少两个频率的频率在中心频率之前和之后的150内，同时具有弯曲模式。

在下文中，将参照图27至图30描述根据第一实施方式至第三实施方式的超声波面膜的制造工艺。

首先，准备第一衬底(110)和第二衬底(120)，并且分别在第一衬底(110)和第二衬底(120)上形成第一布线(210)和第二布线(220)。

参照图27中的(a)，可以在衬底(100)上形成用作布线(200)的材料的铜图案层。如上所述，铜图案层可以在第一方向上延伸、在第二方向上延伸、或者在第一方向和第二方向上延伸。

随后，参照图27中的(b)，可以在衬底(100)上施加与衬底材料相同的材料。详细地，可以施加与衬底(100)上设置的布线(200)的厚度一样大的衬底材料。

因此，布线(200)可以设置在衬底(100)的凹入部上，并且凸出部(E)可以形成在其上设置有布线(200)的凹入部之间。

最后，第一布线(210)可以形成为被浸渍在第一衬底(100)内的形状，并且第二布线(220)可以形成为被浸渍在第二衬底(120)内的形状。

随后，参照图28，压电构件(500)可以设置在第一衬底(110)上方。第一电极(410)和第二电极(420)可以分别设置在压电构件(500)的下表面和上表面上。

然后，包括导电材料的第一粘合剂层(310)设置在第一电极(410)与第一布线(210)之间，并且第一电极(410)和第一布线(210)可以通过第一粘合剂层(310)彼此粘附，以将压电构件(500)设置在第一衬底(110)上。

随后，参照图29，其上形成有先前制造的第二布线的第二衬底(120)可以设置在第一衬底(110)上。

然后，包括导电材料的第二粘合剂层(320)设置在第二电极(420)与第二布线(220)之间，并且第二电极(420)和第二布线(220)可以通过第二粘合剂层(320)彼此粘附，以将压电构件(500)设置在第二衬底(120)的下表面上。

也就是说，第一衬底(110)、第二衬底(120)和压电构件(500)可以通过第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)粘附并电连接。

随后，参照图30，保护层(150)可以形成在压电构件(500)之间的空间中，即在第一衬底(110)与第二衬底(120)之间的压电构件(500)之间的空间中。

保护层(150)可以包括与第一衬底(110)和第二衬底(120)相同的材料，并且可以集成第一衬底(110)、第二衬底(120)和保护层(150)。

替选地，保护层(150)可以包括与第一衬底(110)和第二衬底(120)的材料不同的材料。例如，第一衬底(110)和第二衬底(120)可以包括与保护层(150)相比相对地抗应力的材料。

随后，第一基体层(610)即背衬层可以设置在第一衬底(110)的下表面上，并且第二基体层(620)即匹配层可以设置在第二衬底(120)的上表面上。

第一基体层(610)和第二基体层(620)可以包括与第一衬底(110)和第二衬底(120)相同的材料，并且可以集成第一衬底(110)、第二衬底(120)和保护层(150)。

替选地，第一基体层(610)和第二基体层(620)可以包括与第一衬底(110)和第二衬底(120)的材料不同的材料。例如，第一基体层(610)和第二基体层(620)可以包括与第一衬底(110)和第二衬底(120)相比相对地抗应力的材料。

可以通过与上述相同的工艺制造根据第一实施方式至第三实施方式的超声波面膜。

在下文中，将参照图31至图35描述根据第四实施方式至第六实施方式的超声波面膜的制造工艺。

由于根据图31至图34的过程与根据上述图27至图30的过程相同，因此将省略以下描述。

参照图35，第一金属层(711)和第一覆盖层(721)可以依次形成在第一基体层(610)的下表面上。

此外，第二金属层(712)和第二覆盖层(722)可以依次形成在第二基体层(620)的上表面上。

金属层可以包括铜等，并且金属的类型不受限制。

此外，覆盖层可以包括与衬底、保护层和基体层中至少之一的材料相同或相似的材料。

可以通过与上述相同的工艺来制造根据第四实施方式至第六实施方式的超声波面膜。

在下文中，将参照图36和图37描述根据实施方式的超声波面膜的粘合剂层与电极之间的重叠关系。

参照图36和图37，第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)设置在与第一电极(410)和第二电极(420)的一个表面重叠的区域中。

第一电极(410)和第二电极(420)的一个表面可以大于或等于第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)的一个表面。也就是说，电极与粘合剂层之间的接触面积可以小于电极的一个表面的面积。

当第一粘合剂层(310)和第一电极(410)的一个表面重叠的区域被定义为第一重叠区域，并且第二粘合剂层(320)和第二电极(420)的另一个表面重叠的区域被定义为第二重叠区域时，第一重叠区域和第二重叠区域的重叠面积可以是第一电极(410)或第二电极(420)的整个面积的约20％或更多。

详细地，第一重叠区域和第二重叠区域的重叠面积可以是第一电极(410)或第二电极(420)整个面积的约20％至约100％。

当第一重叠区域和第二重叠区域的重叠面积小于第一电极(410)或第二电极(420)整个面积的约20％时，连接至第一电极(410)或第二电极(420)的布线的电特性可能会劣化，因此超声波面膜的可靠性可能劣化。

也就是说，第一粘合剂层(310)和第一电极(410)以及第二粘合剂层(320)和第二电极(420)可以完全重叠并且彼此粘附，或者第一粘合剂层(310)和第二粘合剂层(320)可以彼此接触，同时暴露第一电极(410)或第二电极(420)的一个表面。

此外，设置在多个电极上的粘合剂层的第一重叠区域和第二重叠区域的重叠面积可以具有统一的尺寸。

例如，设置在多个电极上的粘合剂层的第一重叠区域和第二重叠区域的重叠面积之间的差可能约为10％或更小。详细地，设置在多个电极上的粘合剂层的第一重叠区域和第二重叠区域的重叠面积之间的差可以为5％至10％。

因此，通过使第一重叠区域和第二重叠区域的重叠面积之间的差最小化，从多个压电构件(500)产生的超声波可以以统一的尺寸传输到超声波面膜的每个区域。

在下文中，将参照图38描述根据另一实施方式的超声波面膜。

参照图38，根据另一实施方式的超声波面膜可以包括指示器。详细地，能够识别超声波面膜的操作状态的指示器(800)可以设置在超声波面膜的一个区域中。

指示器(800)可以设置在超声波面膜的外表面上，使得使用者可以从外部识别指示器。也就是说，超声波面膜可以形成在与其上设置有诸如化妆品等的物质的表面相对的表面上。

指示器(800)可以显示超声波面膜的各种操作状态。例如，指示器(800)可以显示超声波面膜的开始/结束。此外，指示器(800)可以显示由超声波面膜产生的频带。

指示器(800)可以包括能够在视觉上或听觉上向使用者传输信息的诸如LED、显示器、蜂鸣器的构件中至少之一。

指示器(800)可以设置在超声波面膜(1000)的外部以显示超声波面膜(1000)的操作状态。作为示例，指示器(800)可以通过由蜂鸣器产生的听觉信息提供关于超声波面膜(1000)的操作开始的信息、指示操作正在进行的信息、以及关于操作完成的信息。此外，指示器(800)可以根据LED的发光颜色来显示操作状态。此外，指示器可以通过显示器显示操作频率区域的信息。

此外，指示器(800)可以提供关于超声波面膜(1000)是否紧密地贴附于皮肤的信息。

在下文中，将参照图39至图43描述根据又一实施方式的超声波面膜。

参照图39至图43，根据又一实施方式的超声波面膜可以包括设置在基体层上的多个间隔件(900)。

详细地，根据实施方式的超声波面膜可以包括设置在靠近皮肤的第二基体层(620)即匹配层上的多个间隔件(900)。

多个间隔件(900)可以被设置成彼此间隔开。例如，间隔件(900)中的每一个可以被设置成不与设置有压电构件(500)的区域重叠。详细地，间隔件(900)中的每一个可以被设置成不与设置有压电构件(500)的区域重叠，以便不影响从压电构件(500)产生的超声波传输到的压电构件的移动。也就是说，间隔件(900)可以分别设置在压电构件(500)之间。

间隔件(900)可以设置在匹配层上，包括涂抹至人体的皮肤的化妆品或药物物质的化妆品成分(950)施加到该匹配层上，以防止化妆品物质或药物物质聚集在一个区域中。

详细地，参照图40，当超声波面膜与涂抹至皮肤的诸如化妆品的材料接触时，诸如化妆品的材料通过从压电构件产生的振动和压力从设置有压电构件的区域向外移动，使得可以形成台阶。

因此，在设置有压电构件的区域中化妆品物质的量减少，因此化妆品物质通过超声波的移动效率可能劣化。

因此，如图41所示，通过在设置有压电构件的区域之间设置多个间隔件(900)，当超声波面膜与皮肤接触时，化妆品物质等移动到外部，从而可以防止在与压电构件重叠的区域中化妆品物质等的量减少。

参照图42和图43，间隔件(900)可以被设置成在压电构件(500)之间以点的形状间隔开，如图38所示，或者可以形成为在压电构件(500)之间彼此连接的线性形状，如图39所示。

在根据又一实施方式的超声波面膜中，在不与压电构件重叠的区域中设置彼此间隔开的多个间隔件，并且超声波面膜与皮肤接触，然后可以防止化妆品材料由于从压电构件产生的振动和压力而聚集到一个区域中。

因此，可以提高根据又一实施方式的超声波面膜的化妆品物质的传输效率。

在下文中，将参照图44和图45描述使用根据实施方式的超声波面膜的示例。

图44是示出使用者佩戴根据实施方式的面膜的视图，并且图45是示出应用根据实施方式的面膜的皮肤护理装置的视图。

参照图44，使用者(50)可以佩戴超声波面膜(1000)。超声波面膜(1000)可以包括上述开口(1010)，并且使用者可以通过开口(1010)获得视野。此外，面膜(1000)可以包括上述切口部分(1020)，并且超声波面膜(1000)可以通过切口部分(1020)有效地紧密贴附于弯曲的皮肤。在这种情况下，第二基体层(620)的一个表面可以与使用者的皮肤直接接触。

可以通过经由连接至超声波面膜(1000)的外部电源接收电力来操作超声波面膜(1000)。此外，可以通过经由设置在超声波面膜(1000)外部例如在第二基体层(620)的下表面上的电源单元(未示出)接收电力来操作超声波面膜(1000)。

此外，参照图45，面膜(1000)可以应用于皮肤护理装置(1)以操作。详细地，参照图41，皮肤护理装置(1)可以包括主体(10)，主体(10)的一侧是敞开的并且其中包括容纳空间(11)。

主体(10)可以包括轻且防止来自外部冲击或接触的损坏的材料。作为示例，主体(10)可以包括塑料或陶瓷材料，可以具有改进的对外部环境的可靠性，并且可以保护设置在容纳空间(11)内部的面膜(1000)。此外，主体(10)可以包括在对应于使用者眼睛的位置处形成的视野部分(13)。可以在对应于面膜(1000)的开口(1010)的区域中形成视野部分(13)，并且使用者可以通过视野部分(13)获得外部视野。

超声波面膜(1000)可以设置在主体(10)的容纳空间(11)中。超声波面膜(1000)可以设置在主体(10)与使用者(50)的皮肤之间。详细地，超声波面膜(1000)的第一基体层(610)可以被设置成面向主体(10)的容纳空间(11)，并且超声波面膜(1000)的第二基体层(620)可以被设置成面向使用者的皮肤。

超声波面膜(1000)可以耦接至主体(10)。例如，超声波面膜(1000)可以通过紧固构件(未示出)固定至容纳空间(11)中的设定位置并且可以具有从主体(10)可拆卸的结构。

超声波面膜(1000)可以通过设置在面膜(1000)外部的电源单元(未示出)接收电力。替选地，超声波面膜(1000)可以连接至主体(10)以通过设置在主体(10)上的电源单元(未示出)接收电力。

超声波面膜(1000)还可以包括设置在第一基体层(610)的下表面上的缓冲构件(未示出)。缓冲构件可以与第一基体层(610)直接接触并且可以被设置成面向主体(10)的容纳空间(11)。也就是说，可变形构件可以被设置在主体(10)与面膜(1000)的第一基体层(610)之间。

可变形构件可以包括形状由于外部压力而改变的材料。例如，可变形构件可以包括诸如空气隙或海绵的材料，但是实施方式不限于此，并且可以包括形状由于外部压力而改变的各种材料。因此，当使用者戴上皮肤护理装置(1)时，可变形构件可以变形为与使用者的面部的形状对应的形状。因此，超声波面膜(1000)和使用者的皮肤可以有效地紧密贴附于彼此。

此外，当多个使用者戴上皮肤护理装置(1)时，可变形构件会变形以对应于每个面部形状，使得使用者的皮肤和面膜(1000)可以有效地紧密贴附于彼此。

上述实施方式中描述的特征、结构、效果等包括在本发明的至少一个实施方式中，但不限于仅一个实施方式。此外，本领域技术人员可以对每个实施方式中示出的特征、结构和效果进行组合或修改以用于其他实施方式。因此，应当理解，关于这些组合和修改的内容被包括在本发明的范围内。

此外，以上描述集中于实施方式，但这仅是示例性的并且不限制本发明。实施方式所属领域的技术人员可以理解，在不脱离实施方式的本质特征的情况下，以上未示出的各种修改和应用是可行的。例如，可以修改和实现实施方式中具体呈现的每个部件。此外，应当理解，关于这些修改和应用的差异被包括在所附权利要求所限定的本发明的范围中。