一种光刻机光源发生装置
阅读说明：本技术 一种光刻机光源发生装置 (Light source generating device of photoetching machine ) 是由 王�华 吴中海 甘泉 于 2021-11-01 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种光刻机光源发生装置,包括：底板、安装筒、激光源、调节镜筒、连接驱动机构和光源强度调节机构,所述底板中部开设有通孔,所述底板表面等距固定有固定柱,三个所述固定柱顶部固定有顶板,所述安装筒固定在顶板中部,且安装筒顶部贯穿顶板,所述激光源插接在安装筒内壁,且激光源与顶板固定连接,所述调节镜筒套设在安装筒外侧下端,所述安装筒外侧下端等距开设有弧形槽,所述调节镜筒内壁等距固定有拨柱。本发明通过调节焦距,可调节激光器的聚光点直径,方便生产不同型号的芯片,且在对激光器的聚光点直径进行调节时,可同时调节激光器的功率,防止基板烧坏,且焦距和激光器的功率通过机械方式同时调节,稳定性较强。(The invention provides a light source generating device of a photoetching machine, which comprises: bottom plate, an installation cylinder, laser source, adjusting lens cone, connection actuating mechanism and light source intensity adjustment mechanism, the through-hole has been seted up at the bottom plate middle part, bottom plate surface equidistance is fixed with the fixed column, and is three the fixed column top is fixed with the roof, the installation cylinder is fixed at the roof middle part, and runs through the roof at the installation cylinder top, the laser source is pegged graft at the installation cylinder inner wall, and laser source and roof fixed connection, adjusting lens cone cover is established at installation cylinder outside lower extreme, the arc wall has been seted up to installation cylinder outside lower extreme equidistance, adjusting lens cone inner wall equidistance is fixed with dials the post. The invention can adjust the diameter of the focal point of the laser by adjusting the focal length, is convenient for producing chips of different models, can simultaneously adjust the power of the laser when adjusting the diameter of the focal point of the laser, prevents the substrate from burning out, and has stronger stability because the focal length and the power of the laser are simultaneously adjusted by a mechanical mode.)
技术领域
本发明涉及光刻机光源技术领域，尤其涉及一种光刻机光源发生装置。
背景技术
光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备，光刻机中，需要激光器作为曝光光源，在生产不同规格芯片时，则需要调节激光器的聚光焦距，激光源的激光光刻精度越高，则需要激光的聚光点直径越小，当激光的聚光点越小时，其能量越大，则非常容易烧坏基板。
因此，有必要提供一种光刻机光源发生装置解决上述技术问题。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明是提供一种光刻机光源发生装置。
本发明提供的一种光刻机光源发生装置，包括：底板、安装筒、激光源、调节镜筒、连接驱动机构和光源强度调节机构，所述底板中部开设有通孔，所述底板表面等距固定有固定柱，三个所述固定柱顶部固定有顶板，所述安装筒固定在顶板中部，且安装筒顶部贯穿顶板，所述激光源插接在安装筒内壁，且激光源与顶板固定连接，所述调节镜筒套设在安装筒外侧下端，所述安装筒外侧下端等距开设有弧形槽，所述调节镜筒内壁等距固定有拨柱，且拨柱与弧形槽内壁滑动连接，所述调节镜筒内壁底部固定有聚光镜片，所述调节镜筒外侧等距固定有驱动齿，所述连接驱动机构安装在顶板下表面，所述光源强度调节机构安装在顶板上表面靠近连接驱动机构的一端，且调节镜筒通过连接驱动机构与光源强度调节机构相连接。
优选的，所述光源强度调节机构包括底座、连接柱、圆形槽、电阻器、L形导电柱、导电槽、转动壳、导电头和导电弹性柱，所述顶板顶部固定有底座，所述底座顶部固定有连接柱，所述连接柱外侧中部开设有圆形槽，所述圆形槽内壁镶嵌固定有若干电阻器，所述电阻器的正负电位分别固定有L形导电柱，且两个L形导电柱的端部朝向相反，所述底座上表面同心镶嵌固定有两个导电槽，且导电槽与激光源的电源电性连接，所述连接柱外侧通过轴承转动连接有转动壳，所述转动壳内壁依次固定有两个导电头，且两个导电头分别与两个L形导电柱的端部滑动接触，所述转动壳底部对称固定有导电弹性柱，且两个导电弹性柱分别与两个导电头电性连接，两个所述导电弹性柱分别与两个导电槽内壁滑动连接。
优选的，所述电阻器的电阻值依次增加。
优选的，所述L形导电柱的端部固定有导电弹片，且导电弹片呈梯形设置，所述导电头底部设有圆角，且导电头与导电弹片表面滑动连接。
优选的，所述连接驱动机构包括L形板、转轴、第一齿轮、第二齿轮、齿轮环、蜗轮、固定座、蜗杆和电机，所述顶板下表面固定有L形板，所述L形板一端通过轴承转动连接有转轴，且转轴顶部通过轴承与顶板转动连接，所述转轴底部固定有第一齿轮，所述第一齿轮与驱动齿啮合连接，所述转轴顶部穿过顶板固定有第二齿轮，所述转动壳外侧固定有齿轮环，且第二齿轮与齿轮环啮合连接，所述转轴上端位于顶板下表面固定有蜗轮，所述底板下表面靠近蜗轮的一端对称固定有固定座，两个所述固定座中部通过轴承转动连接有蜗杆，且蜗杆与蜗轮啮合连接，一个所述固定座一侧固定有电机，且电机的输出端与蜗杆固定连接。
优选的，所述转轴下端固定有第三齿轮，所述L形板内壁固定有编码器，所述编码器的输出端固定有第四齿轮，且第三齿轮与第四齿轮啮合连接。
优选的，所述顶板表面对称固定有安装板，且安装板表面开设有安装孔。
优选的，所述激光源靠近顶板的一端固定有安装片，所述顶板上表面对称固定有定位块，且安装片与定位块卡接，所述安装片通过螺栓与顶板固定连接。
优选的，所述弧形槽和拨柱设置两个以上，且等距排列。
优选的，所述第二齿轮和齿轮环的大小相同。
与相关技术相比较，本发明提供的光刻机光源发生装置具有如下有益效果：
本发明提供光刻机光源发生装置：
1、人们在使用时，通过电机转动带动带动蜗杆转动，进而可带动蜗轮转动，使得蜗轮带动转轴转动，进而使得转轴可带动第一齿轮和第二齿轮转动，第一齿轮转动带动驱动齿转动，进而可同时驱动调节镜筒旋转和驱动壳的旋转，调节镜筒在转动过程中在安装筒上升降，进而可调节聚光镜片距离激光光源的间距，进而可调节聚光聚光点的大小，与此同时带动转动壳转动，使得转动壳带动两个导电头运动，两个导电头转动至电阻器上的两个L形导电柱上后，通过导电弹片与电阻器电性连接，使导电槽、导电弹性柱、导电头和电阻器之间形成通路，对激光源进行通电，由于四个电阻器的电阻值不同，因此，转动壳每旋转度，则导电头与另一个电阻器相通导，根据电阻与功率的公式P=U2/R2可知，电阻R越大，则功率P越小，因此，当调节聚光镜片的光板直径越大时，则调节激光源的电源对应的电阻器的电阻值则越大，从而使得激光源发出的激光的聚光点的能量恒定，防止烧坏基板；
2、焦距和激光器的功率通过机械方式同时调节，稳定性较强；
3、通过调节焦距，可调节激光器的聚光点直径，方便生产不同型号的芯片。
附图说明
图1为本发明提供的整体结构示意图；
图2为本发明提供的安装筒结构示意图；
图3为本发明提供的弧形槽结构示意图；
图4为本发明提供的拨柱结构示意图；
图5为本发明提供的连接驱动机构结构示意图；
图6为本发明提供的激光源结构示意图；
图7为本发明提供的光源强度调节机构结构示意图；
图8为本发明提供的导电头结构示意图；
图9为本发明提供的光源强度调节机构内部结构示意图；
图10为图9中的A处放大图；
图11为本发明提供的电路图。
图中标号：1、底板；2、通孔；3、固定柱；4、顶板；5、安装筒；6、激光源；7、调节镜筒；71、弧形槽；72、拨柱；73、聚光镜片；74、驱动齿；8、连接驱动机构；81、L形板；82、转轴；83、第一齿轮；84、第二齿轮；85、齿轮环；86、蜗轮；87、固定座；88、蜗杆；89、电机；9、光源强度调节机构；91、底座；92、连接柱；93、圆形槽；94、电阻器；95、L形导电柱；96、导电槽；97、转动壳；98、导电头；99、导电弹性柱；10、导电弹片；11、第三齿轮；12、编码器；13、第四齿轮；14、安装板；15、安装片；16、定位块。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。
在具体实施过程中，如图1、图2、图3和图4所示，一种光刻机光源发生装置，包括：底板1、安装筒5、激光源6、调节镜筒7、连接驱动机构8和光源强度调节机构9，所述底板1中部开设有通孔2，所述底板1表面等距固定有固定柱3，三个所述固定柱3顶部固定有顶板4，所述安装筒5固定在顶板4中部，且安装筒5顶部贯穿顶板4，所述激光源6插接在安装筒5内壁，且激光源6与顶板4固定连接，所述调节镜筒7套设在安装筒5外侧下端，所述安装筒5外侧下端等距开设有弧形槽71，所述调节镜筒7内壁等距固定有拨柱72，且拨柱72与弧形槽71内壁滑动连接，所述弧形槽71和拨柱72设置两个以上，且等距排列，提高调节镜筒7升降的稳定性，所述调节镜筒7内壁底部固定有聚光镜片73，所述调节镜筒7外侧等距固定有驱动齿74，所述连接驱动机构8安装在顶板4下表面，所述光源强度调节机构9安装在顶板4上表面靠近连接驱动机构8的一端，且调节镜筒7通过连接驱动机构8与光源强度调节机构9相连接。
参考图6、图7、图8、图9和图10所示，所述光源强度调节机构9包括底座91、连接柱92、圆形槽93、电阻器94、L形导电柱95、导电槽96、转动壳97、导电头98和导电弹性柱99，所述顶板4顶部固定有底座91，所述底座91顶部固定有连接柱92，所述连接柱92外侧中部开设有圆形槽93，所述圆形槽93内壁镶嵌固定有若干电阻器94，所述电阻器94的正负电位分别固定有L形导电柱95，且两个L形导电柱95的端部朝向相反，所述底座91上表面同心镶嵌固定有两个导电槽96，且导电槽96与激光源6的电源电性连接，所述连接柱92外侧通过轴承转动连接有转动壳97，所述转动壳97内壁依次固定有两个导电头98，且两个导电头98分别与两个L形导电柱95的端部滑动接触，所述转动壳97底部对称固定有导电弹性柱99，且两个导电弹性柱99分别与两个导电头98电性连接，两个所述导电弹性柱99分别与两个导电槽96内壁滑动连接，所述电阻器94的电阻值依次增加，所述L形导电柱95的端部固定有导电弹片10，且导电弹片10呈梯形设置，所述导电头98底部设有圆角，且导电头98与导电弹片10表面滑动连接，转动壳97带动两个导电头98运动，两个导电头98转动至电阻器94上的两个L形导电柱95上后，通过导电弹片10与电阻器94电性连接，使导电槽96、导电弹性柱99、导电头98和电阻器94之间形成通路，对激光源6进行通电，由于四个电阻器94的电阻值不同，因此，转动壳97每旋转90度，则导电头98与另一个电阻器94相通导，根据电阻与功率的公式P=U2/R2可知，电阻R越大，则功率P越小，因此，当调节聚光镜片73的光板直径越大时，则调节激光源6的电源对应的电阻器94的电阻值则越大，从而使得激光源6发出的激光的聚光点的能量恒定，防止烧坏基板。
参考图5和图6所示，所述连接驱动机构8包括L形板81、转轴82、第一齿轮83、第二齿轮84、齿轮环85、蜗轮86、固定座87、蜗杆88和电机89，所述顶板4下表面固定有L形板81，所述L形板81一端通过轴承转动连接有转轴82，且转轴82顶部通过轴承与顶板4转动连接，所述转轴82底部固定有第一齿轮83，所述第一齿轮83与驱动齿74啮合连接，所述转轴82顶部穿过顶板4固定有第二齿轮84，所述转动壳97外侧固定有齿轮环85，且第二齿轮84与齿轮环85啮合连接，所述第二齿轮84和齿轮环85的大小相同，所述转轴82上端位于顶板4下表面固定有蜗轮86，所述底板1下表面靠近蜗轮86的一端对称固定有固定座87，两个所述固定座87中部通过轴承转动连接有蜗杆88，且蜗杆88与蜗轮86啮合连接，一个所述固定座87一侧固定有电机89，且电机89的输出端与蜗杆88固定连接，通过电机89转动带动带动蜗杆88转动，进而可带动蜗轮86转动，使得蜗轮86带动转轴82转动，进而使得转轴82可带动第一齿轮83和第二齿轮84转动，第一齿轮83转动带动驱动齿74转动，进而可带动调节镜筒7转动，调节镜筒7的高度，与此同时，转轴82带动第二齿轮84转动，从而可带动齿轮环85转动，进而带动转动壳97转动，跟随调节镜筒7的高度，而调节电阻器94的大小，实现焦距和电阻的线性调节。
参考图5所示，所述转轴82下端固定有第三齿轮11，所述L形板81内壁固定有编码器12，所述编码器12的输出端固定有第四齿轮13，且第三齿轮11与第四齿轮13啮合连接，通过编码器12可检测转轴82的转动角度，提高精度。
参考图6所示，所述顶板4表面对称固定有安装板14，且安装板14表面开设有安装孔，所述激光源6靠近顶板4的一端固定有安装片15，所述顶板4上表面对称固定有定位块16，且安装片15与定位块16卡接，所述安装片15通过螺栓与顶板4固定连接。
工作原理：
人们在使用时，可根据实际需求调节激光源6的光刻精度，而激光源6的激光光刻精度越高，则需要激光的聚光点直径越小，当激光的聚光点越小时，其能量越大，则非常容易烧坏基板，因此，在调节光刻精度时，也应该调节激光的功率，因此，调节时，通过电机89转动带动带动蜗杆88转动，进而可带动蜗轮86转动，使得蜗轮86带动转轴82转动，进而使得转轴82可带动第一齿轮83和第二齿轮84转动，第一齿轮83转动带动驱动齿74转动，进而可带动调节镜筒7转动，而调节镜筒7上的拨柱72在弧形槽71内滑动，进而使得调节镜筒7在转动过程中在安装筒5上升降，进而可调节聚光镜片73距离激光光源的间距，进而可调节聚光聚光点的大小，并且在调节聚光点的大小时，转轴82带动第二齿轮84转动，进而可带动齿轮环85转动，使得齿轮环85带动转动壳97转动，进而可带动转动壳97转动，使得转动壳97带动两个导电头98运动，两个导电头98转动至电阻器94上的两个L形导电柱95上后，通过导电弹片10与电阻器94电性连接，使导电槽96、导电弹性柱99、导电头98和电阻器94之间形成通路，对激光源6进行通电，由于四个电阻器94的电阻值不同，因此，转动壳97每旋转90度，则导电头98与另一个电阻器94相通导，根据电阻与功率的公式P=U2/R2可知，电阻R越大，则功率P越小，因此，当调节聚光镜片73的光板直径越大时，则调节激光源6的电源对应的电阻器94的电阻值则越大，从而使得激光源6发出的激光的聚光点的能量恒定，防止烧坏基板。
本发明中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
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