双狭缝长波红外光谱仪及其光学系统、光学系统设计方法

文档序号:1936116 发布日期:2021-12-07 浏览:10次 >En<

阅读说明:本技术 双狭缝长波红外光谱仪及其光学系统、光学系统设计方法 (Double-slit long-wave infrared spectrometer, optical system thereof and optical system design method ) 是由 韩艳雪 郑玉权 蔺超 纪振华 李诚良 张佳伦 是逸 于 2021-09-15 设计创作,主要内容包括:本发明公开了一种双狭缝长波红外光谱仪及其光学系统、光学系统设计方法,其中,光学系统包括第一倾斜狭缝、第二倾斜狭缝、主镜、次镜和三镜;其中,主镜和三镜均为球面反射镜,次镜为一凹面镀有反射膜的曲面棱镜,主镜、次镜、三镜形成offner结构;在温度T1时,第一倾斜狭缝、主镜、次镜、三镜、长波红外光谱仪的像面均处于第一光路;在温度T2时,第一倾斜狭缝、主镜、次镜、三镜、长波红外光谱仪的像面均处于第二光路;T1>T2。本发明在未牺牲系统像质,大温差应用环境的情况下,在一个系统中同时满足了常温装调,低温使用,稳定性好,体积小质量小,同时加工制造难度低。(The invention discloses a double-slit long-wave infrared spectrometer, an optical system thereof and a design method of the optical system, wherein the optical system comprises a first inclined slit, a second inclined slit, a primary mirror, a secondary mirror and a tertiary mirror; the primary mirror and the tertiary mirror are both spherical reflectors, the secondary mirror is a curved prism with a concave surface plated with a reflecting film, and the primary mirror, the secondary mirror and the tertiary mirror form an offner structure; at the temperature of T1, the image planes of the first inclined slit, the primary mirror, the secondary mirror, the tertiary mirror and the long-wave infrared spectrometer are all positioned in a first light path; at the temperature of T2, the image planes of the first inclined slit, the primary mirror, the secondary mirror, the tertiary mirror and the long-wave infrared spectrometer are all positioned in a second light path; t1 &gt; T2. The invention meets the requirements of normal temperature installation and adjustment, low temperature use, good stability, small volume, small mass and low processing and manufacturing difficulty in one system under the conditions of not sacrificing system image quality and large temperature difference application environment.)

双狭缝长波红外光谱仪及其光学系统、光学系统设计方法

技术领域

本发明属于长波红外光谱仪技术领域,特别涉及一种双狭缝长波红外光谱仪及其光学系统、光学系统设计方法。

背景技术

光谱仪的精细分光能力可以探测出物质微小的差异,长波红外谱段作为大气的主要透过窗口之一,也是地物光谱特征的重要覆盖区域,因此长波红外光谱仪在矿物勘探与地质填图、化学气体检测与分类、军事伪装识别与水下目标探测等军事和民用等领域具有重要的应用价值。

长波红外光谱仪具有严重的背景辐射,会严重影响光谱仪对目标的识别,背景杂散光的抑制水平将直接决定仪器性能的优劣。因此,想要提高长波红外光谱仪的探测灵敏度,就必须降低长波红外光谱仪的背景辐射。

采用全光路或部分光路制冷的方式进行背景辐射抑制是目前最主要的方法,需要光谱仪在极低的温度下工作,将要求长波红外光谱仪在常温下设计与安装,低温下使用。从常温到低温存在一个较大的温度变化,导致光学元件的折射率、曲率半径、厚度、间隔、镜面面型以及所在介质折射率产生变化,从而引起焦面位置相对于常温状态产生漂移,形成离焦,降低仪器成像质量。

目前,已有多种解决低温光谱仪光学系统离焦的方案,典型的技术方式有以下几种:

第一种,如图1所示,采用调焦装置,利用温度传感器自动探测温度,将探测到的温度信息传给处理器,由处理器实时计算出温度变化引起的像面位移,控制系统接收到位移量信息后,通过电机和传动机构来移动系统的元件或者接收面来补偿温度对光学系统的影响。

利用该方法,整个系统需要增加一整套电子设备,这会增加系统的体积和重量,使系统趋于复杂,可靠性降低。此外,当系统温度低于100K,还需要额外考虑调焦机构的温度适应性。

第二种,如图2所示,采用材料匹配,利用光学材料与机械材料热特性之间的差异,在光学系统中通过不同特性材料之间的合理组合来消除温度变化的影响。

在低温光谱仪系统设计过程中,对于透射式结构,材料匹配带来的补偿量对于大温差(293K至100K)引起的离焦是远远不够的;对于反射式结构,为了保证光学元件与机械结构均匀的膨胀和收缩,一般令光学元件与机械结构采用相同的材料制成。以上两种方式都对材料选择十分严格,低温光学系统的光学材料还需要考虑透过性、耐高温性、耐腐蚀性,这导致可供选择的材料较少。

第三种,如图3所示,采用焦面预置,利用理论计算得出低温下焦平面的位置,在系统完成常温装调后,移动探测器,使其位于低温焦平面位置。因为每一次降温和升温过程以及恒温器的真空化都需要很长时间,而且室温下的装调结果在低温工作时还会变化,而在低温下很难进行调整。需要将系统重新升温至常温进行修改,增加了设计周期,数据反馈不及时。尽管可以通过一些压电促动器进行低温下微调,但难以保证其可靠性。

综上所述,采用现有方法设计的低温长波红外光谱仪分别存在系统复杂性与体积急剧增加,可供选择材料少,设计周期长等问题,均不是最理想方法。

发明内容

本发明的目的在于,针对上述现有技术的不足,提供一种双狭缝长波红外光谱仪及其光学系统、光学系统设计方法,采用倾斜双狭缝设计长波红外光谱仪,可以有效校正光学系统由于温度形成的离焦。针对长波红外光谱仪的低温设计,同时保证了光学系统在常温(如20℃)和低温(如-173℃)时良好成像,在系统不存在移动元件的基础上满足设计指标。

为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案是:

一种双狭缝长波红外光谱仪光学系统,其特点是包括第一倾斜狭缝、第二倾斜狭缝、主镜、次镜和三镜;其中,主镜和三镜均为球面反射镜,次镜为一凹面镀有反射膜的曲面棱镜,主镜、次镜、三镜形成offner结构;

在温度T1时,第一倾斜狭缝、主镜、次镜、三镜、长波红外光谱仪的像面均处于第一光路;在温度T2时,第一倾斜狭缝、主镜、次镜、三镜、长波红外光谱仪的像面均处于第二光路;T1>T2。

借由上述结构,本发明创造性地提出将倾斜双狭缝结构引入长波红外光谱仪系统中用于实现低温抑制背景辐射设计。选择offner结构作为长波红外光谱仪光学系统的主结构,系统的主镜和三镜使用球面反射镜,次镜用一块凹面镀反射膜的曲面棱镜代替作为色散元件,曲面棱镜前后面均为球面。倾斜双狭缝的其中之一用于光谱仪在常温T1(如20℃)的装调,另外一个用于低温T2(如-173℃) 的使用。两个狭缝之间存在间隔,远大于狭缝的宽度。因此,根据光谱仪的使用要求,在低温时选择第二倾斜狭缝作为入射狭缝,可以实现系统在低温下保持良好的成像质量。本发明没有引入特殊面型和特殊结构,稳定性好,体积小质量小,同时加工制造难度低。

进一步地,还包括设于第一倾斜狭缝与第二倾斜狭缝之间的至少一个第三倾斜狭缝。

在两个狭缝之间增刻适量的狭缝,还可以实现对光谱仪系统降温过程中成像质量的实时监控。此外,根据光谱仪的使用要求,选择合适的倾斜狭缝作为入射狭缝,可以实现在不同温度情况下获得良好的成像质量。

作为一种优选方式,T1=20℃,T2=-173℃。

作为一种优选方式,所述第一倾斜狭缝和/或第二倾斜狭缝的倾斜角度为 4°~5°。

作为一种优选方式,所述第一倾斜狭缝和/或第二倾斜狭缝的大小为 60mm×60um。

基于同一个发明构思,本发明还提供了一种双狭缝长波红外光谱仪,其特点是包括所述的光学系统。

作为一种优选方式,所述光谱仪的光谱范围为8um~12um。

基于同一个发明构思,本发明还提供了一种所述光学系统的设计方法,其特点是包括:

步骤一,在温度T1时,确定第一倾斜狭缝、主镜、次镜、三镜、长波红外光谱仪的像面的位置;

步骤二,将温度降至T2,采用逆光路追迹法确定第二倾斜狭缝的位置。

根据光线具有可逆性,本发明以探测器作为“虚拟物面”,与实际光线传播方向相反进行光路追迹,即可获得低温状态下狭缝所在位置。逆光路追迹法不仅适用于光谱仪探测器像面位置不变时倾斜狭缝位置的确定,也可以用于倾斜狭缝位置不变时光谱仪探测器像面位置的确定。

进一步地,还包括步骤三,在第一倾斜狭缝与第二倾斜狭缝之间设置至少一个第三倾斜狭缝。

进一步地,所述步骤一和/或步骤二中还包括:调整光学系统中的元件规格和/位置以使得光学系统获得期望的性能参数。

在位置确定以后,还可以对光学系统进行微调,从而使得光学系统的工作状态最优化。

与现有技术相比,本发明在未牺牲系统像质,大温差应用环境的情况下,在一个系统中同时满足了常温装调,低温使用,稳定性好,体积小质量小,同时加工制造难度低。

附图说明

图1为现有采用调焦方法示意图。

图2为现有采用材料匹配方法示意图。

图3为现有采用焦面预置方法示意图。

图4(a)为光学系统子午光学结构图。

图4(b)为光学系统弧矢光学结构图。

图5为本发明3D模型图。

图6为倾斜双狭缝功能示意图。

图7为本发明方案的像质评价效果图,其中,图7(a)示出常温20℃系统的弥散斑,图7(b)示出低温-173℃系统的弥散斑,图7(c)示出常温20℃系统的MTF,图7(d)示出低温-173℃系统的MTF。

图8(a)为正光路追迹原理图。

图8(b)为逆光路追迹原理图。

图9为光学系统设计方法一实施方式流程图。

其中,1为第一倾斜狭缝,2为第二倾斜狭缝,3为主镜,4为次镜,5为三镜,6为像面。

具体实施方式

本发明涉及的相关术语解释如下:

背景辐射:当红外探测系统观测目标时,目标辐射会和其他辐射一起进入到像面6上,把除目标以外的辐射都定义为背景辐射。

光谱仪:以光探测器测量谱线不同波长位置强度的装置,构造一般包括狭缝、准直系统、色散系统、汇聚系统以及光探测器。

低温光学系统:一个在很大温度范围内能正常工作,并且维持衍射极限成像的特殊光学系统。

本发明将倾斜双狭缝应用于低温环境下长波红外光谱仪光学系统的设计中,设计出一种新型光谱仪,在本发明的一实施例中,保证长波红外光谱仪在不引入额外装置的前提下,同时实现常温20℃装调,低温-173℃使用,采用本发明可以使系统的工作温度横跨193℃,有效地抑制系统的背景辐射。

如图4和图5所示,双狭缝长波红外光谱仪光学系统,包括第一倾斜狭缝 1、第二倾斜狭缝2、主镜3、次镜4和三镜5;其中,主镜3和三镜5均为球面反射镜,次镜4为一凹面镀有反射膜的曲面棱镜,主镜3、次镜4、三镜5形成 offner结构。

在常温20℃时,第一倾斜狭缝1、主镜3、次镜4、三镜5、长波红外光谱仪的像面6均处于第一光路;在低温-173℃时,第二倾斜狭缝2、主镜3、次镜4、三镜5、长波红外光谱仪的像面6均处于第二光路。

长波红外光谱仪的光学系统的全部光学元件只有五部分,即以Offner结构为基础的一个倾斜双狭缝,两个反射镜,一块曲面棱镜和一个红外探测器的像面 6。曲面棱镜的位置在Offner次镜4的位置不仅承担着系统中色散的作用,同时曲面棱镜凹面镀有反射膜还承担Offner次镜4的反射作用。

光学系统元件数量较少,全系统所有表面皆为球面,无特殊面型,降低了加工和检测难度,同时系统除了温度变化带来的热胀冷缩外无特殊移动机构,提高了系统的可靠性。在未牺牲系统像质,大温差应用环境的情况下,在一个系统中同时满足了常温装调,低温使用。采用倾斜双狭缝设计的新型长波红外光谱仪对探索低温光学系统的研究具有重要意义。

倾斜双狭缝承担着系统由于温度变化带来的严重的低温离焦,是整个设计中最重要的部分。当系统处于常温20℃装调时,光线经过第一倾斜狭缝1进入光学系统,主镜3将光线反射到曲面棱镜上,经过曲面棱镜色散后,同一束光被色散成不同波长,三镜5将分散的光线反射到长波红外光谱仪的像面6上。

当光学系统在常温20℃完成装调后,利用恒温器对系统进行降温到使用温度-173℃,第二倾斜狭缝2开始工作,工作路径与第一倾斜狭缝1相似,依次经过主镜3、曲面棱镜、三镜5成像到长波红外光谱仪的像面6。通过两个倾斜狭缝的设置,使系统在经历温度变化发生热胀冷缩后焦平面位置不发生改变,保证系统成像质量。倾斜双狭缝示意图如图6所示。

本实施例中,设计一台光谱范围为8um~12um、数值孔径为0.11、狭缝长度为60mm、色散宽度为1.2mm的光谱仪,装调温度为20℃,工作温度为-173℃。

系统在Zemax中的子午和弧矢结构如图4所示,狭缝作为全系统的物面发出一束光线,首先经过主镜3的反射,实现了光路的首次转折,光线到达曲面棱镜,由于在曲面棱镜的凹面镀有反射膜,因此光线经过曲面棱镜不仅实现了光的色散同时也改变了光线的方向,实现了光路的二次转折,从曲面棱镜出射的光线又一次经过曲面棱镜进行二次色散,色散后的光线经过三镜5实现了光路的三次转折,最终汇聚于长波红外光谱仪的像面6。

光学系统结构参数及倾斜双狭缝参数如下表1、表2所示。

表1系统结构参数

表2倾斜双狭缝参数

技术指标 参数
单个大小 60mm×60um
狭缝1偏心(Y) -20mm
狭缝2偏心(Y) -30mm
间隔(Y) 1.356923mm
间隔(Z) 10mm
倾斜角度 4.782940°

系统像质评价如下图6所示,在焦平面处由于温度变化带来严重的离焦,依赖于倾斜双狭缝的调节能力可以获得较好的像质,此为倾斜双狭缝存在的意义。分别选取20℃、-173℃的调制传递函数曲线(MTF)和标准点列图(SPT),可以观察到全系统MTF均接近衍射极限,RMS弥散斑半径均在一个艾里斑半径内,系统具有较好的像质。

第一倾斜狭缝1与第二倾斜狭缝2之间存在间隔,这个间隔远大于狭缝的宽度,还可以在第一倾斜狭缝1与第二倾斜狭缝2之间至少一个第三倾斜狭缝,不仅可以测定装调温度和使用温度时系统的成像质量,还可以实现对系统质量的实时监控。

第三倾斜狭缝在附图中未示出,但并不影响本领域的技术人员对本发明的理解和实现。

本发明设计的双狭缝长波红外光谱仪,包括上述的光学系统。

为完成该光谱仪的设计,本发明提出一种方法用于设计该系统,即“逆光路追迹”方法,包括:

步骤一,在温度T1时,确定第一倾斜狭缝1、主镜3、次镜4、三镜5、长波红外光谱仪的像面6的位置。

步骤二,将温度降至T2,采用逆光路追迹法确定第二倾斜狭缝2的位置。

优选地,还包括步骤三,在第一倾斜狭缝1与第二倾斜狭缝2之间设置至少一个第三倾斜狭缝。

优选地,所述步骤一和/或步骤二中还包括:调整光学系统中的元件规格和/ 位置以使得光学系统获得期望的性能参数。

通过该方法并结合温度对系统的影响,求解系统经历低温后为保持探测器像面6位置不变,所对应的新狭缝的位置,然后在光学软件中优化,即可获得符合要求的结果。

逆光路追迹:

光路追迹是沿着光线实际传播方向,按照顺序依次通过各个光学元件,通过光路追迹往往获得光线最终成像在长波红外光谱仪探测器的像面6上的位置和信息。当系统完成常温T1下的优化设计后,对系统进行温度控制,温度变化会影响元件的折射率,曲率半径,厚度,间隔,表面面型,所在介质折射率,降低系统成像质量。逆光路追迹是指,根据光线具有可逆性,本发明以长波红外光谱仪探测器的像面6作为“虚拟物面”,与实际光线传播方向相反进行光路追迹,即可获得低温状态下第二倾斜狭缝2所在位置。

温度对光学系统的影响说明如下:

①元件折射率:n'abs=nabs+Δnabs

②元件曲率半径:R=R0(1+αgΔT)

③元件厚度:d=d0(1+αgΔT)

④元件间隔:D=L+z′1(h)-z'2(h)

L=L0(1+αmΔT)

h=h0(1+αgΔT)

⑤元件表面面型:

⑥介质折射率:为了达到低温效果,一般将恒温仓抽成真空,则此时折射率为1

其中:

n′abs——材料在低温下的折射率

nabs——材料的绝对折射率

Δnabs——当温度相对标准温度变化ΔT时,折射率的变化量

ΔT——为相对标准温度的温度变化差值,标准温度为20℃

R——温度变化ΔT后,元件的顶点曲率半径

R0——在标准温度下,元件的顶点曲率半径

αg——元件的热膨胀系数

d——温度变化ΔT后,元件的厚度

d0——在标准温度下,元件的厚度

D——温度变化ΔT后,两个元件的中心间隔

L——温度变化ΔT后,两个元件的边缘间距

z1′——温度变化ΔT后,元件的边缘点矢高

z2′——温度变化ΔT后,元件的边缘点矢高

h——温度变化ΔT后,元件的半口径

h0——在标准温度下,元件的半口径

L0——在标准温度下,两个元件的边缘间距

αm——机械结构的热膨胀系数

z1——元件的表面矢高

c1——元件的顶点曲率,等于1/R0

r1——表面到对称轴的距离

k——圆锥系数

a′i——高次非球面系数,i=1,2,3,4,……

正光路追迹原理图如图8(a)所示,逆光路追迹原理图如图8(b)所示。

已知入射光线入射点E0(x0,y0,z0)和入射方向元件的曲率半径R1,R2,间隔d,折射率n,n′,倾斜角θ,求出射点E1(x1,y1,z1)和出射方向

当逆光路依次逐面追迹光线在各点的位置后,最后利用Coodington Function求出子午和弧矢像距:

其中:

D=l-t

l=-α0(d+x0)-β0y00z0

M=(x0+lα0+d,y0+lβ0,z0+lγ0)

Γ=n′cosI′-ncosI

cosI=α0(cosθ-ρx1)-β0(sinθ+ρy1)-γ0ρz1

D——中间参量,无意义,仅代表1-t

Γ——偏向常数

I——光线在元件表面的入射角

I′——光线在元件表面的折射角

t——子午方向物距

s——弧矢方向物距

t′——子午方向像距

s′——弧矢方向像距

Rs——弧矢方向曲率半径

Rt——子午方向曲率半径

n′——像方折射率

n——物方折射率

ρ——等于1/R,为元件表面曲率

l——两折射球面顶点间的距离在光线传播方向的投影

t——中间参量,无任何意义,引入仅为了计算

——由球面顶点O1向入射光线作垂线,所表示的位置矢量

Mx——矢量在x方向分量

My——矢量在y方向分量

以上方法的设计总体流程图如图9所示。

具体而言,在低温长波红外光谱仪中,通过以下设计方法实现倾斜双狭缝光学系统设计:

评估背景辐射;

确定光学系统低温工作温度;

光学系统常温状态优化;

分析光谱仪常温性能;

光学系统低温参数计算;

光学系统低温状态优化;

分析光谱仪低温性能;

评估倾斜双狭缝的能力;

在性能满足要求时,输出设计的系统。

上面结合附图对本发明的实施例进行了描述,但是本发明并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是局限性的,本领域的普通技术人员在本发明的启示下,在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,这些均属于本发明的保护范围之内。

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