具体实施方式

以下，基于附图来说明本发明的实施方式。

[第一实施方式]

参照图1至图7来说明第一实施方式的振动元件1的结构、以及包括振动元件1的光扫描装置100的结构。

(光扫描装置的结构)

本实施方式的光扫描装置100如图1所示，包括振动元件1、光源2及控制部3。光扫描装置100构成为，对投影面60照射光。

振动元件1构成为，一边通过驱动源12所产生的板波来使可动部14(参照图2)摆动，一边通过设于可动部14的镜10来反射从光源2照射的光以使其投影至投影面60。关于振动元件1的详细结构将后述。

光源2构成为输出光。具体而言，光源2构成为，经由透镜等而照射至振动元件1所包括的镜10。光源2例如包含发光二极管(Light Emitting Diode，LED)或激光二极管(Laser Diode，LD)等。本实施方式中，光源2为LED。

控制部3构成为，控制光源2对光的照射。而且，控制部3构成为，控制振动元件1。控制部3例如包含中央处理器(Central Processing Unit，CPU)等处理器。

(振动元件的结构)

如图2所示，振动元件1包括可动部14、基板11、驱动源12及保持构件13。另外，本说明书中，将与可动部14的表面14a正交的方向设为Z方向，将上方向设为Z1方向，将下方向设为Z2方向。而且，将在与Z方向正交的面内彼此正交的两方向分别设为X方向以及Y方向。将X方向中的其中一侧设为X1方向，将另一侧设为X2方向。而且，将Y方向中的其中一侧设为Y1方向，将另一侧设为Y2方向。另外，X方向是权利要求的“第一方向”的一例。而且，Z方向是权利要求的“第二方向”的一例。

基板11包含一对支撑梁部11a、支撑部11b以及扭力梁部11c。而且，基板11包含配置镜10的可动部14。基板11例如包含平板形状的不锈钢材。

一对支撑梁部11a各自具有第一端部111a以及第二端部111b。而且，第一端部111a各自被支撑部11b予以支撑。而且，第一实施方式中，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件13的固定部11d。另外，固定部11d是一对支撑梁部11a的一部分。

图2所示的示例中，通过加大一对支撑梁部11a的第二端部111b侧的X方向的宽度，从而形成固定部11d。而且，固定部11d例如通过螺固而保持于保持构件13。因此，在固定部11d，设有沿Z方向贯穿的贯穿孔30。

支撑部11b构成为，对一对支撑梁部11a各自的第一端部111a进行支撑。而且，在支撑部11b设有驱动源12。具体而言，支撑部11b具有支撑驱动源12的驱动源支撑部11e，驱动源12被配置于驱动源支撑部11e。驱动源支撑部11e与驱动源12同样，具有半圆形状。而且，支撑部11b在支撑梁部11a所延伸的方向(Y方向)上未支撑一对支撑梁部11a的一侧的端部，具有保持部11f。支撑部11b例如通过螺固而保持于保持构件13。为此，在保持部11f，设有沿Z方向贯穿的贯穿孔31。

扭力梁部11c可摆动地支撑可动部14。扭力梁部11c沿第一方向(X方向)延伸。而且，扭力梁部11c具有柱状形状。而且，扭力梁部11c设有一对。一对扭力梁部11c的其中一个与一对支撑梁部11a的其中一个连接，另一个扭力梁部11c连接于另一个支撑梁部11a。而且，一对扭力梁部11c各自连接于可动部14。

可动部14具有矩形形状。而且，可动部14是与基板11一体地形成。而且，可动部14经由扭力梁部11c而连接于一对支撑梁部11a。而且，本实施方式中，在可动部14的表面14a侧设有镜10。另外，图2所示的示例中，为了方便，对镜10标注影线而图示。

驱动源12构成为，产生使可动部14摆动的板波。驱动源12例如包含压电元件。压电元件例如包含锆钛酸铅(Lead Zirconate Titanate，PZT)以及用于对PZT施加电压的电极。图2所示的示例中，作为驱动源12，在基板11设有具有半圆形状的PZT。

保持构件13构成为，保持支撑部11b。如图2所示，保持构件13保持支撑部11b中的、设在Y方向上未支撑一对支撑梁部11a的一侧的端部的保持部11f。而且，保持构件13构成为，分别保持一对支撑梁部11a。如图2所示，保持构件13构成为，保持一对支撑梁部11a中的固定部11d。关于保持构件13保持固定部11d的结构的详细将后述。

(第一部分以及第二部分)

如图3所示，固定部11d包含第一部分110a以及第二部分110b。固定部11d中的、在第一方向(X方向)上靠近可动部14一侧的部分为第一部分110a。而且，固定部11d中的、在第一方向上远离可动部14一侧的部分为第二部分110b。

固定部11d通过调整相对于保持构件13的倾斜、沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一者，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。另外，固定部11d的固定面内的固定的方向是指固定面内的固定部11d的旋转方向。第一实施方式中，固定部11d通过调整相对于保持构件13的倾斜，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。

(固定部的倾斜)

如图4所示，固定部11d以通过彼此朝相反方向扭曲来调整了相对于保持构件13的倾斜的状态而固定。具体而言，固定部11d是以固定部11d中的、在第一方向(X方向)上靠近可动部14一侧的第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向(Z1方向)旋转的方式而扭曲的状态，或者以固定部11d中的、在第一方向上远离可动部14一侧的第二部分110b以朝从可动部14的表面14a侧朝向背面14b侧的方向(Z2方向)旋转的方式而扭曲的状态，而固定于保持构件13。图4所示的示例中，固定部11d以第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向旋转的方式而扭曲的状态固定于保持构件13。即，固定部11d在以绕Y方向旋转的方式而扭曲的状态下固定于保持构件13。

具体而言，X1方向侧的固定部11d以X1方向侧的第一部分110a朝沿着箭头40a的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。由此，X1方向侧的支撑梁部11a(参照图3)朝沿着箭头40a的方向扭曲。因此，对于X1方向侧的支撑梁部11a，产生箭头41a所示的方向的力，因此对于扭力梁部11c，在第一方向上朝远离可动部14的方向(X1方向)施加张力。

而且，X2方向侧的固定部11d以X2方向侧的第一部分110a朝沿着箭头40b的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。由此，X2方向侧的支撑梁部11a(参照图3)朝沿着箭头40b的方向扭曲。因此，对于X2方向侧的支撑梁部11a，产生箭头41b所示的方向的力，因此对于扭力梁部11c，在第一方向上朝远离可动部14的方向(X2方向)施加张力。

而且，第一实施方式中，固定部11d以支撑梁部11a朝使扭力梁部11c中的连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。另外，图4所示的示例中，突出至表面14a侧的方向为Z1方向。

(抵接部的结构)

接下来，参照图5以及图6来说明第一实施方式的抵接部15的结构。

如图5所示，保持构件13包含基台13a以及抵接部15。抵接部15以从基台13a突出至可动部14的表面14a侧(Z1方向侧)的方式而形成。抵接部15被设在保持构件13中的、Y2方向侧的端部。而且，抵接部15被设在保持构件13的Y2方向侧的端部中的、X1方向侧以及X2方向侧的两处。图5所示的示例中，抵接部15是与保持构件13一体地形成。而且，抵接部15具有与固定部11d抵接的抵接面15a。而且，抵接面15a包含第一抵接部分15b与第二抵接部分15c。抵接面15a中的在第一方向(X方向)上靠近可动部14一侧的部分为第一抵接部分15b。而且，抵接面15a中的在第一方向上远离可动部14一侧的部分为第二抵接部分15c。

如图6所示，抵接面15a倾斜。具体而言，抵接面15a以下述方式倾斜，即，第一抵接部分15b与第二抵接部分15c在与可动部14的表面14a正交的第二方向(Z方向)上处于互不相同的位置。第一实施方式中，抵接面15a以第一抵接部分15b较第二抵接部分15c处于Z1方向侧的位置的方式而倾斜。而且，第一实施方式中，抵接面15a以倾斜角度为角度θ1的方式而倾斜。所谓倾斜角度，是指沿着可动部14的表面14a的面与抵接面15a之间的角度。

(固定部相对于保持构件的倾斜)

如图7所示，固定部11d是以相对于基台13a倾斜的状态而固定。具体而言，固定部11d以抵接于抵接面15a的状态而固定。

由于抵接面15a以第一抵接部分15b较第二抵接部分15c处于Z1方向侧的位置的方式而倾斜，因此通过使固定部11d以抵接于抵接面15a的状态而固定，从而使固定部11d以第一部分110a较第二部分110b处于Z1方向侧的位置的方式而倾斜。另外，第一实施方式中，抵接面15a的倾斜角度以角度θ1而倾斜，因此固定部11d的倾斜角度也以角度θ1而倾斜。另外，所谓固定部11d的倾斜角度，是指沿着可动部14的表面14a的面与固定部11d的表面110c之间的角度。

(第一实施方式的效果)

第一实施方式中，能够获得如下所述的效果。

第一实施方式中，如上所述，振动元件1包括：可动部14；金属制的基板11，包含各自具有第一端部111a及第二端部111b的一对支撑梁部11a、支持一对支撑梁部11a各自的第一端部111a的支撑部11b、以及可摆动地支撑可动部14的扭力梁部11c；驱动源12，设于支撑部11b，产生使可动部14摆动的板波；以及保持构件13，保持基板11，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件13的固定部11d，固定部11d通过调整相对于保持构件13的倾斜，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。

由此，通过调整固定部11d相对于保持构件13的固定方式，从而无须通过成膜而在支撑梁部11a设置用于对扭力梁部11c施加张力的构件，便能够在第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加(赋予)张力。其结果，无须在扭力梁部11c进行成膜，便能够对扭力梁部施加张力，因此与通过制造工序复杂化的成膜来对扭力梁部11c形成施加张力的构件的结构相比较，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14产生摆动以外的位移。

而且，第一实施方式中，如上所述，固定部11d以彼此朝相反方向扭曲来调整了相对于保持构件13的倾斜的状态而固定，或者以通过一对支撑梁部11a彼此朝相反方向弯曲来调整了固定面内的相对于保持构件13的固定位置的状态而固定。由此，通过固定部11d彼此朝相反方向扭曲，从而支撑梁部11a彼此朝相反方向扭曲，因此能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力。其结果，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能容易地抑制可动部14产生摆动以外的位移。

而且，第一实施方式中，如上所述，固定部11d是以固定部11d中的在第一方向(X方向)上靠近可动部14一侧的第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向(Z1方向)旋转的方式而扭曲的状态，而固定于保持构件13。由此，通过使固定部11d的第一部分110a朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向扭曲，从而能够容易且切实地在第一方向上对扭力梁部11c施加远离可动部14的方向的张力。其结果，能够容易且切实地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能更容易地抑制可动部14产生摆动以外的位移。

而且，第一实施方式中，如上所述，在固定部11d以扭曲的状态固定于保持构件13的情况下，保持构件13包含具有与固定部11d抵接的抵接面15a的抵接部15，抵接面15a以下述方式而倾斜，即，在第一方向(X方向)上靠近可动部14一侧的第一抵接部分15b、与在第一方向上远离可动部14一侧的第二抵接部分15c在与可动部14的表面正交的第二方向(Z方向)上处于互不相同的位置。由此，能够容易地使抵接面15a倾斜，因此通过使固定部11d以抵接于抵接面15a的状态而固定，从而能够容易地将固定部11d扭曲的方向设为相反方向。其结果，能够以成为在第一方向上由一对支撑梁部11a对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态的方式，而容易地将固定部11d固定至保持构件13。

而且，第一实施方式中，如上所述，固定部11d以支撑梁部11a朝使扭力梁部11c中的连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。由此，除了能够在第一方向上对扭力梁部11c施加远离可动部14的方向的张力以外，还能够对可动部14的表面14a侧施加张力。其结果，例如在将可动部14的表面14a朝垂直方向的上方向配置的情况下，通过对可动部14的表面14a侧施加的张力，能够抑制因可动部14的自重产生的可动部14的下沉，因此能够进一步抑制可动部14的摆动以外的位移。

[第二实施方式]

参照图8以及图9来说明第二实施方式。第二实施方式的振动元件101(参照图8)与所述第一实施方式的振动元件1的不同之处在于，取代保持构件13而包括保持构件130。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注了同一符号。

如图8所示，第二实施方式的振动元件101包括保持构件130。保持构件130取代所述第一实施方式的抵接部15而包含与保持构件130独立地设置的抵接构件150。抵接构件150是金属制或树脂制的具有柱状形状的构件。第二实施方式中，抵接构件150为金属制。抵接构件150具有与固定部11d抵接的抵接面150a。

而且，第二实施方式中，振动元件101包括能够对抵接面150a的倾斜角度进行调整的固定角度调整机构16。另外，如图8所示，第二实施方式中，抵接构件150以及固定角度调整机构16是在保持构件130的Y2方向侧且X1方向侧设有一个，且在X2方向侧设有一个，合计设有两个。

固定角度调整机构16包含螺丝构件16a。固定角度调整机构16构成为，通过松开螺丝构件16a，从而能够使抵接构件150朝绕轴线Ax的旋转方向旋转。而且，固定角度调整机构16构成为，在使抵接构件150朝绕轴线Ax的旋转方向旋转后，通过紧固螺丝构件16a，从而能够固定抵接面150a的倾斜角度。

图9是从Y2方向侧观察抵接构件150的示意图。如图9所示，第二实施方式中，以通过固定角度调整机构16来使抵接构件150的倾斜角度以角度θ2倾斜的状态而固定。具体而言，抵接面150a以第一抵接部分150b较第二抵接部分150c位于Z1方向侧的方式而倾斜。另外，图9所示的示例中，图示了X2方向侧的抵接构件150以及固定角度调整机构16，但X1方向侧的抵接构件150以及固定角度调整机构16也为同样的结构。

另外，第二实施方式的振动元件101的其他结构与所述第一实施方式同样。

(第二实施方式的效果)

第二实施方式中，如上所述，抵接部包含与保持构件130独立地设置的抵接构件150，且振动元件还包括能够对抵接面150a的倾斜角度进行调整的固定角度调整机构16。由此，通过调整抵接面150a的倾斜角度，从而能够容易地调整固定部11d相对于保持构件130的倾斜。其结果，能够容易地调整对扭力梁部11c施加的张力的大小。

另外，第二实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。

[第三实施方式]

参照图10以及图11来说明第三实施方式。第三实施方式的振动元件201(参照图10)与所述第一实施方式的振动元件1的不同之处在于，取代保持构件13而包括保持构件230，以及还包括第一分隔部构件17。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注同一符号。

如图10所示，振动元件201包括第一分隔部构件17、辅助分隔部构件18、螺丝构件19、垫圈构件20以及保持构件230。保持构件230包括抵接部250。抵接部250具有抵接面250a。与抵接面15a倾斜的所述第一实施方式的抵接部15不同，第三实施方式的抵接面250a不倾斜。

图11是将X1方向侧以及X2方向侧的抵接部250中的X2方向侧的抵接部250放大的示意图。如图11所示，第一分隔部构件17是在与可动部14的表面14a正交的第二方向(Z方向)上，设在固定部11d与抵接面250a之间的位置。图11所示的示例中，第一分隔部构件17设在第一方向(X方向)中的靠近可动部14一侧(X1方向侧)。

而且，辅助分隔部构件18是在第一方向上与第一分隔部构件17设在相反侧。而且，辅助分隔部构件18在第二方向(Z方向)上，在Z2方向侧与固定部11d抵接，在Z1方向侧与垫圈构件20抵接。

螺丝构件19构成为，紧固至设于抵接部250的螺丝孔(未图示)，以对固定部11d进行固定。具体而言，螺丝构件19以通过垫圈构件20、第一分隔部构件17以及辅助分隔部构件18来使固定部11d倾斜的状态，而将固定部11d固定至保持构件230。

垫圈构件20是在第二方向(Z方向)上，设在辅助分隔部构件18与螺丝构件19之间。

图11所示的示例是被固定于X1方向侧及X2方向侧的抵接部250中的X2方向侧的抵接部250的固定部11d，但被固定于X1方向侧的抵接部250的固定部11d也是与被固定于X2方向侧的抵接部250的固定部11d同样的结构。即，X1方向侧的第一分隔部构件17在X2方向侧且Z方向上，设在固定部11d与抵接面250a之间的位置。由此，在以固定部11d的第一部分110a与第二部分110b在第二方向(Z方向)上处于互不相同的位置的方式而倾斜的状态下，固定部11d固定于保持构件230(抵接部250)。第三实施方式中，与所述第一实施方式同样地，固定部11d在以第一部分110a较第二部分110b处于Z1方向侧的方式而倾斜的状态下，固定于保持构件230。

另外，第三实施方式的振动元件201的其他结构与所述第一实施方式同样。

(第三实施方式的效果)

第三实施方式中，如上所述，在固定部11d以扭曲的状态固定于保持构件230的情况下，保持构件230包含具有与固定部11d抵接的抵接面250a的抵接部250，振动元件还包括第一分隔部构件17，所述第一分隔部构件17在与可动部14的表面14a正交的第二方向(Z方向)上，设在固定部11d与抵接面250a之间的位置，固定部11d以通过第一分隔部构件17来调整了相对于保持构件230的倾斜的状态而固定于保持构件230。由此，能够通过第一分隔部构件17来使固定部11d相对于保持构件230而倾斜。其结果，无须使抵接面250a倾斜，便能够容易地使固定部11d相对于保持构件230而倾斜。

另外，第三实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。

[第四实施方式]

参照图12来说明第四实施方式。与以对固定部11d相对于保持构件13的倾斜进行了调整的状态而将固定部11d固定至保持构件13的所述第一实施方式不同，第四实施方式的振动元件301中，固定部11d是以沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置经调整的状态而固定于保持构件13。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注同一符号。

第四实施方式中，固定部11d通过对沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置进行调整，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。具体而言，固定部11d以下述状态而固定于保持构件13，即，一对支撑梁部11a以一对支撑梁部11a的第二端部111b彼此之间的距离D2比一对支撑梁部11a的第一端部111a彼此之间的距离D1大的方式而弯曲。

如图12所示，第四实施方式中，固定部11d以下述状态固定于保持构件13，即，一对支撑梁部11a以一对支撑梁部11a的第二端部111b彼此之间的距离D2比一对支撑梁部11a的第一端部111a彼此之间的距离D1大的方式而弯曲，因此是以一对支撑梁部11a各自朝外侧张开的状态而固定。另外，图12所示的示例中，为了便于说明，强调了距离D1与距离D2的差异而示意性地图示。

具体而言，X1方向侧的支撑梁部11a朝箭头42a所示的方向张开。因此，经由X1方向侧的支撑梁部11a，对扭力梁部11c施加箭头42a的方向的张力。而且，X2方向侧的支撑梁部11a朝箭头42b所示的方向张开。因此，经由X2方向侧的支撑梁部11a，对扭力梁部11c施加箭头42b的方向的张力。

另外，第四实施方式的振动元件301的其他结构与所述第一实施方式同样。

(第四实施方式的效果)

第四实施方式中，如上所述，振动元件301包括：可动部14，反射光；金属制的基板11，包含各自具有第一端部111a及第二端部111b的一对支撑梁部11a、对一对支撑梁部11a各自的第一端部111a进行支撑的支撑部11b、以及可摆动地支撑可动部14的扭力梁部11c；驱动源12，设于支撑部11b，产生使可动部14摆动的板波；以及保持构件13，保持基板11，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件13的固定部11d，固定部11d通过对沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置进行调整，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。由此，通过一对支撑梁部11a朝相反方向弯曲，从而能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向(第一方向)施加张力。其结果，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14发生位移。

而且，第四实施方式中，如上所述，固定部11d以通过一对支撑梁部11a彼此朝相反方向弯曲来调整了固定面内的相对于保持构件13的固定位置的状态而固定。由此，与所述第一实施方式的振动元件1同样地，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14发生位移。

而且，第四实施方式中，如上所述，固定部11d以下述状态固定于保持构件13，即，一对支撑梁部11a以一对支撑梁部11a的第二端部111b彼此之间的距离D2比一对支撑梁部11a的第一端部111a彼此之间的距离D1大的方式而弯曲。由此，与所述第一实施方式的振动元件1同样地，能够容易且切实地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能更容易地抑制可动部14发生位移。

另外，第四实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。

[第五实施方式]

参照图13以及图14来说明第五实施方式。第五实施方式的振动元件401(参照图13)与所述第一实施方式的振动元件1的不同之处在于，取代保持构件13而包括保持构件330。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注同一符号。

第五实施方式中，振动元件401包括保持构件330。而且，第五实施方式中，固定部11d通过调整固定面内的固定的方向，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。而且，第五实施方式中，包含对一对固定部11d的其中一个进行固定的第一螺丝构件22a、以及对一对固定部11d的另一个进行固定的第二螺丝构件22b。

如图13所示，在保持构件330，设有供第一螺丝构件22a紧固的第一螺丝孔21a、以及供第二螺丝构件22b紧固的第二螺丝孔21b。第一螺丝孔21a以及第二螺丝孔21b构成为，紧固第一螺丝构件22a时经由其中一个固定部11d而施加至一对支撑梁部11a的其中一个的力、以及紧固第二螺丝构件22b时经由另一个固定部11d而施加至一对支撑梁部11a的另一个的力各自成为在第一方向(X方向)上远离可动部14的方向。图13所示的示例中，第一螺丝孔21a以及第二螺丝孔21b构成为，第一螺丝构件22a的紧固方向以及第二螺丝构件22b的紧固方向互不相同。具体而言，对于第一螺丝孔21a，朝箭头43a所示的方向形成有螺丝孔。箭头43a所示的方向是在从可动部14的表面14a(参照图2)侧(Z1方向侧)观察的情况下为顺时针的方向。而且，对于第二螺丝孔21b，朝箭头43b所示的方向形成有螺丝孔。箭头43b所示的方向是在朝向Z2方向观察可动部14的表面14a(参照图2)侧(Z1方向侧)的情况下为逆时针的方向。

如图14所示，固定部11d各自通过第一螺丝构件22a以及第二螺丝构件22b而固定于保持构件330。第一螺丝构件22a被紧固至第一螺丝孔21a。因此，第一螺丝构件22a的紧固方向(紧固扭矩所作用的方向)成为箭头43a所示的方向。因此，X1方向侧的固定部11d以朝箭头43a所示的方向旋转的方向而固定于保持构件330。换言之，X1方向侧的固定部11d伴随第一螺丝构件22a的紧固，朝箭头43a所示的方向旋转并被固定于保持构件13。由于X1方向侧的固定部11d朝箭头43a所示的方向旋转并被固定于保持构件330，因此X1方向侧的支撑梁部11a的位置朝X1方向侧偏离。由此，在X1方向侧的支撑梁部11a中，在箭头44a所示的方向上产生力。因此，对于X1方向侧的扭力梁部11c，朝箭头44a所示的方向施加张力。

而且，第二螺丝构件22b被紧固至第二螺丝孔21b。因此，第二螺丝构件22b的紧固方向成为箭头43b所示的方向。因此，X2方向侧的固定部11d以朝箭头43b所示的方向旋转的方向而固定于保持构件330。换言之，X2方向侧的固定部11d伴随第二螺丝构件22b的紧固，而朝箭头43b所示的方向旋转并被固定于保持构件330。由于X2方向侧的固定部11d朝箭头43b所示的方向旋转并被固定于保持构件330，因此X2方向侧的支撑梁部11a的位置朝X2方向侧偏离。由此，在X2方向侧的支撑梁部11a中，在箭头44b所示的方向上产生力。因此，对于X2方向侧的扭力梁部11c，朝箭头44b所示的方向施加张力。

另外，第五实施方式的振动元件401的其他结构与所述第一实施方式同样。

(第五实施方式的效果)

第五实施方式中，如上所述，振动元件401包括：可动部14，反射光；金属制的基板11，包含各自具有第一端部111a及第二端部111b的一对支撑梁部11a、对一对支撑梁部11a各自的第一端部111a进行支撑的支撑部11b、以及可摆动地支撑可动部14的扭力梁部11c；驱动源12，设于支撑部11b，产生使可动部14摆动的板波；以及保持构件330，保持基板11，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件330的固定部11d，固定部11d通过调整固定面内的固定的方向，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件330。由此，与所述第一实施方式的振动元件1同样，在第五实施方式的振动元件401中，也既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14发生位移。

而且，第五实施方式中，如上所述，包含对一对固定部11d的其中一个进行固定的第一螺丝构件22a、以及对一对固定部11d的另一个进行固定的第二螺丝构件22b，在保持构件330，设有供第一螺丝构件22a紧固的第一螺丝孔21a、以及供第二螺丝构件22b紧固的第二螺丝孔21b，第一螺丝孔21a以及第二螺丝孔21b构成为，紧固第一螺丝构件22a时经由其中一个固定部11d而对一对支撑梁部11a的其中一个施加的力、与紧固第二螺丝构件22b时经由另一个固定部11d而对一对支撑梁部11a的另一个施加的力成为在第一方向(X方向)上远离可动部14的方向。

由此，通过第一螺丝构件22a以及第二螺丝构件22b来分别固定一对固定部11d，由此，在第一方向(X方向)上对一对支撑梁部11a分别施加远离可动部14的方向的力，因此能够容易地使一对支撑梁部11a各自的位置在第一方向(X方向)上朝远离可动部14的位置变化。其结果，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c施加在第一方向上远离可动部14的方向的张力。而且，通过调整第一螺丝构件22a以及第二螺丝构件22b的紧固情况(螺丝构件的角度)，从而能够容易地调整固定面内的固定部11d所固定的方向。其结果，通过调整固定部11d所固定的方向，能够使固定面内的一对支撑梁部11a的位置容易地变化，因此能够容易地调整经由支撑梁部11a对扭力梁部11c施加的张力。

另外，第五实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。

[变形例]

另外，应认为，此次公开的实施方式在所有方面仅为例示而非限制者。本发明的范围是由权利要求而非所述实施方式的说明所示，还包含与权利要求均等的含义以及范围内的所有变更(变形例)。

例如，所述第二实施方式中，表示了通过固定角度调整机构16将抵接构件150直接设于保持构件130的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可像图15所示的第二实施方式的变形例的振动元件102那样，还包括第二分隔部构件23。

第二实施方式的变形例中，抵接构件150构成为，通过第二分隔部构件23，能够调整支撑梁部11a所延伸的方向(Y方向)上的固定部11d的固定位置。

如图16所示，第二分隔部构件23具有平板形状。而且，在第二分隔部构件23，设有沿X方向延伸的切口23a。图16所示的第二分隔部构件23是设在X2方向侧的抵接构件150与保持构件130之间，因此切口23a设在X1方向侧。另外，虽未图示，但在设于X1方向侧的第二分隔部构件23，在X2方向侧设置切口23a。切口23a嵌至螺丝构件16a，从而设在抵接构件150与保持构件130之间。

第二实施方式的变形例中，如上所述，还包括第二分隔部构件23，所述第二分隔部构件23在支撑梁部11a所延伸的方向上，配置在抵接部(抵接构件150)与保持构件130之间，抵接部构成为，通过第二分隔部构件23，能够对支撑梁部11a所延伸的方向(Y方向)上的固定部11d的固定位置进行调整。由此，能够在支撑梁部11a所延伸的方向上对固定部11d的固定位置进行调整，因此即使在产生了基板11以及保持构件130中产生的制造时的公差的情况下，也能够降低装配时的固定部11d的固定位置的误差。其结果，能够容易地制造振动元件102。

而且，所述第四实施方式中，表示了在固定部11d设有贯穿孔30的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可像图17所示的第四实施方式的变形例的振动元件302那样，在固定部11d取代贯穿孔30而设置固定位置调整部24。

如图17所示，固定位置调整部24构成为，在固定部11d的厚度方向(Z方向)上贯穿固定部11d，并且沿着第一方向(X方向)而延伸。而且，如图18所示，固定部11d以通过插通固定位置调整部24的固定构件26来进行了固定面内的位置调整的状态而固定于保持构件13。另外，固定构件26例如包含螺丝构件。

第四实施方式的变形例中，如上所述，在以支撑梁部11a弯曲的状态固定于保持构件13的情况下，固定部11d具有固定位置调整部24，所述固定位置调整部24在固定部11d的厚度方向(Z方向)上贯穿固定部11d，并且沿着第一方向(X方向)延伸，固定部11d以通过插通固定位置调整部24的固定构件26来进行了固定面内的位置调整的状态而固定于保持构件13。由此，固定位置调整部24沿第一方向延伸，因此能够容易地调整将固定部11d固定于保持构件13时的第一方向上的第二端部111b彼此之间的距离D2(参照图12)。其结果，能够容易地调整经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c施加的张力的大小。

而且，所述第一实施方式中，表示了下述结构的示例，即，固定部11d以在第一方向(X方向)上靠近可动部14一侧的第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向(Z1方向)旋转的方式扭曲的状态而固定，但本发明并不限于此。例如，固定部11d也可以下述状态固定于保持构件13，即，固定部11d中的在第一方向上远离可动部14一侧的第二部分110b以朝从可动部14的表面14a侧朝向背面14b侧的方向(Z2方向)旋转的方式而扭曲。

而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，表示了下述结构的示例，即，以支撑梁部11a朝使扭力梁部11c的端部中的连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲的状态而固定于保持构件13，但本发明并不限于此。例如，支撑梁部11a也可不朝使连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲。

而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，表示了设有多个抵接部15或抵接构件150的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，抵接部15或抵接构件150只要一体地构成，且在保持构件的X1方向侧以及X2方向侧具有抵接面即可。

而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，表示了固定部11d通过螺丝构件而固定于保持构件13的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，固定部11d也可通过粘合剂等而固定于保持构件13。固定部11d只要通过调整相对于保持构件13的倾斜、沿着基板11的表面的固定面内相对于保持构件13的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一个，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13，则固定部11d的固定方法为任何方法皆可。

而且，所述第一实施方式至第三实施方式中，表示了固定部11d的第一部分110a较第二部分110b配置在Z1方向侧的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可构成为，第一部分110a较第二部分110b而配置在Z2方向侧。

而且，所述第三实施方式中，表示了第一分隔部构件17在第一方向(X方向)上较辅助分隔部构件18配置在靠近可动部14一侧的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，第一分隔部构件17也可在第一方向上较辅助分隔部构件18配置在远离可动部14的一侧。

而且，所述第三实施方式中，表示了包括第一分隔部构件17与辅助分隔部构件18的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可不包括辅助分隔部构件18。但是，在未设置辅助分隔部构件18的结构的情况下，若利用螺丝构件来对固定部11d进行固定，则无法稳定地固定。因此，在利用螺丝构件来对固定部11d进行固定的情况下，优选设置辅助分隔部构件18。或者，在未设置辅助分隔部构件18的结构的情况下，优选通过粘合剂等来对固定部11d进行固定。

而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置透镜。

而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置发光元件。

而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置受光元件。而且，也可在可动部14配置发光元件与受光元件这两者。

而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置气体或与气体发生反应的酶。