具体实施方式

下面将结合具体的实施方案对本发明进行进一步的解释，但并不局限本发明。

请参阅图1，系本发明第一实施例的具有压力平衡机制之支撑销10侧视图。如图所示，支撑销10系由销主体11所构成。销主体11绕其中心轴线A-A系呈现为圆棒状，销主体11由上至下分别为上段处12、中段处13与下段处14。上段处12系具有顶盖121以及颈部122。顶盖121的半径大于基板载台90的插销孔91(如图4所示)的半径，使其得以嵌插于插销孔91中，而不至于落下。中段处13的半径系保持固定，其略小于插销孔91的半径的大小，使其嵌插于插销孔91中时，不至于因间隙过大而造成不稳定。下段处14的半径往底端141系逐渐缩小，并于底端141形成圆头。下段处14系形成有一扩大区段142，其半径大致等于中段处13的半径。

并参阅图2，销主体11于其顶盖121上形成有一个开孔10H1，且于中段处13的侧面系形成有四个开孔10H2～10H5。销主体11于其内部系形成有气流通道，使得开孔10H1～10H5彼此连通。

图2系本发明图1中延A-A线之纵剖面图。如图所示，气体通道130系包含垂直段131，及水平段132，其系与垂直段131连通。垂直段131系连通于顶盖121的开孔10H1，水平段132系连通于中段处13侧面的开孔10H2～10H5。藉由气体通道130，使得开孔10H1～10H5间得以彼此连通。

请参阅图3，系本发明图2中延B-B线之纵剖面图。如图所示，水平段132系包含二水平通道132A、132B，二水平通道132A、132B系彼此垂直且连通，且分别连通于中段处13侧面上的开孔10H2～10H5。垂直段131系连通于二水平通道132A、132B彼此交会处，而与水平段132连通。

请参阅图4，系本发明第一实施例组装于基板载台90之示意图，所述基板载台90可为处理腔体中用于支撑或固持一待处理基板的基板载台。如图所示，基板载台90系具有插销孔91，而支撑销10系嵌插于插销孔91内，使得销主体11的顶盖12得以止档于插梢孔91的导角，使支撑销10仍可垂直活动于插销孔91内，而不至于落下。基板载台90靠近顶盖12的一侧系载置有基板W，并盖于销主体11的顶盖12的上方。在处理腔体执行某些操作中，如搬运基板W以将基板W放置于基板载台90或自基板载台90移除，支撑销10被升起，顶盖12将基板W上顶，而达到支撑基板W并使基板W抬升于基板载抬90上方的效果。尽管未显示，基板载台90具有至少三个所述支撑销10，且这些支撑销10分别藉由致动器而升降。

请续参图4，支撑销10的开孔10H1系连通于基板载台90载置有基板W的一侧空间(如靠近喷淋板的空间)，支撑销10的开孔10H1系连通于基板载台90不用来载置基板W的另一侧空间(如靠近腔体底部的空间)。所述一侧空间与另一侧空间可以是相互连通或者相互不连通，甚至在相互连通的情况中，可能仍存在压力差。藉由支撑销10内部的气体通道130，使得基板载台90两侧的空间得以连通，所述两侧空间的压力差得以平衡或降低，使得支撑销10得以更加稳定的支撑基板W而不受过大压力差的牵引。

<<第二实施例>>

请参阅图5，系本发明第二实施例的具有压力平衡机制之支撑销20侧视图。如图所示，支撑销20系由销主体21所构成。销主体21绕其中心轴线C-C系呈现为圆棒状，销主体21由上至下分别为上段处22、中段处23与下段处24，其外观结构与第一实施例的结构相同，在此不赘述。

并参图6，销主体21于其顶盖221上形成有一个开孔20H1，且于底端241另形成有一个开孔20H2。销主体21于其内部系形成有气流通道，使得开孔20H1、20H2彼此连通。

请参阅图6，系本发明图5中延C-C线之纵剖面图。如图所示，气体通道230系包含垂直段。垂直段系连通于销主体21顶盖221的开孔20H1与销主体21底端241的开孔20H2。藉由气体通道230，使得开孔20H1、20H2间得以彼此连通。藉由支撑销20内部的气体通道230，如同第一实施例所述，得以使基板载台90两侧的空间得以连通，使得支撑销20得以更加稳定的支撑基板W。

<<第三实施例>>

请参阅图7，系本发明第三实施例的具有压力平衡机制之支撑销30侧视图。如图所示，支撑销30系由销主体31所构成。销主体31绕其中心轴线D-D系呈现为圆棒状，销主体31由上至下分别为上段处32、中段处33与下段处34，其外观结构与第一实施例的结构相同，在此不赘述。

销主体31于其顶盖321上形成有一个开孔30H1，于中段处33的侧面系形成有两个开孔30H2、30H3，于下段处34的侧面系形成有两个开孔30H4、30H5，且于底端341形成有一个开孔30H6。销主体31于其内部系形成有气流通道(如图8所示)，使得开孔30H1～30H6彼此连通。

请参阅图8，系本发明图7中延D-D线之纵剖面图。如图所示，气体通道330系包含垂直段331，及水平段332，其系与垂直段331连通。垂直段331系连通于顶盖321的开孔30H1及底端341的开孔30H6。水平段332包含两个水平通道332A、332B，分别位于垂直段331的不同垂直位置上。水平通道332A连通于销主体31中段处33侧面的开孔30H2、30H3，水平通道332B连通于销主体31下段处34侧面的开孔30H4、30H5。藉由气体通道330，使得开孔30H1～30H6间得以彼此连通。

请参阅图9及图10，系本发明图8中延E-E线之横截面图及延F-F线之横截面图。如图所示，水平信道332A与水平信道332B彼此系呈现垂直，使得开孔30H2～30H4于圆周方向上得以均匀分布。支撑销30如同第一实施例般，得以更加稳定的支撑基板W。

至此，本发明之支撑销的较佳实施例，已经由上述说明以及图式加以说明。在本说明书中所揭露的所有特征都可能与其他手段结合，本说明书中所揭露的每一个特征都可能选择性的以相同、相等或相似目的特征所取代，因此，除了特别显著的特征之外，所有的本说明书所揭露的特征仅是相等或相似特征中的一个例子。经过本发明较佳实施例之描述后，熟悉此一技术领域人员应可了解到，本发明实为一新颖、进步且具产业实用性之发明，深具发展价值。本发明得由熟悉技艺之人任施匠思而为诸般修饰(例如改变气流信道的路径和开孔位置)，然不脱如附申请范围所欲保护者。