一种双模式的固晶机自动上料机构
阅读说明：本技术 一种双模式的固晶机自动上料机构 (Double-mode automatic feeding mechanism of die bonder ) 是由 渠敬国 彭清龙 李波 于 2021-09-06 设计创作，主要内容包括：本发明属于半导体固晶设备技术领域,具体是一种双模式的固晶机自动上料机构,包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构。同现有技术相比,通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上,可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换,选择基板叠放上料时,将送料轨道从推料盒机构下抽出,基板叠放在叠片台上,吸料机构将基板运至送料轨道上料,其余机构进入等待模式,选择料盒上料时,将送料轨道收回推料盒机构下,料盒放在叠片台上,推料盒机构将料盒推至升降机构上,推片机构与升降机构配合进行上料,卸载料盒时,升降机构将料盒降至收料盒机构水平位置,收料盒机构回收料盒。(The invention belongs to the technical field of semiconductor die bonding equipment, and particularly relates to a dual-mode automatic feeding mechanism of a die bonder. Compared with the prior art, the stacking table and the feeding track are integrated on the material pushing box mechanism, the two feeding modes can be switched without detaching the mechanism, when the substrates are selected to be stacked and fed, the feeding track is drawn out from the material pushing box mechanism, the substrates are stacked on the stacking table, the material sucking mechanism conveys the substrates to the feeding track for feeding, other mechanisms enter a waiting mode, when the material feeding is selected, the feeding track is retracted to the material pushing box mechanism, the material boxes are placed on the stacking table, the material pushing box mechanism pushes the material boxes to the lifting mechanism, the sheet pushing mechanism is matched with the lifting mechanism for feeding, when the material boxes are unloaded, the lifting mechanism lowers the material boxes to the horizontal position of the material receiving box mechanism, and the material receiving box mechanism recovers the material boxes.)
技术领域
本发明属于半导体固晶设备技术领域，具体是一种双模式的固晶机自动上料机构。
背景技术
固晶机基板上料方式一般分为两种，一种是将基板放入料盒上料，一种是基板叠放上料。传统固晶机上料机构需要分别配置，切换模式需要将原有机构拆除重新安装机构才能实现，因而只能实现单一模式上料，灵活性不足，给实际生产带来不便，阻碍生产进程，不利于产业化大生产。
因此，需要设计一种不用拆除机构即可实现两种上料模式切换的上料机构，集成度高，通用性强，节省换料时间，提高作业效率。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，提供了一种双模式的固晶机自动上料机构，可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换。
为达到上述目的，本发明是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构，吸料机构设置在叠片台上方，叠片台设置在推料盒机构上侧，推料盒机构的装载推杆穿过叠片台的长腰孔，送料轨道设置在推料盒机构下侧，升降机构位于推料盒机构的一侧，推片机构设置在升降机构的一侧，收料盒机构设置在升降机构前侧，收料盒机构的卸载推杆底板位于升降机构的料盒拖爪下方，送料轨道下侧、升降机构上部均设有料盒定位机构，推料盒机构包括装载平台、装载推杆、装载推杆底板、导向轴、同步带一、带轮、马达，导向轴设置在装载平台下方，导向轴两端与装载平台采用连接板连接，导向轴两端设有带轮，导向轴一端设有马达，马达与导向轴一端的带轮连接，导向轴两端的带轮之间采用同步带一连接，装载推杆底板与导向轴采用连接件一连接，连接件一套设在导向轴上，装载推杆底板与同步带一固定，装载推杆设置在装载推杆底板前端，装载推杆穿过装载平台，送料轨道包括送料轨道本体、底板、送片夹、送片夹马达、送片夹带轮、同步带二、送片夹导轨、送片轨道伸缩传感器、轨道材料检测传感器，送料轨道本体与底板活动连接，送片夹马达设置在底板一端，送片夹带轮设置在底板两端，送片夹马达与底板一端的送片夹带轮连接，底板两端的送片夹带轮采用同步带二连接，送片夹设置在底板前侧，送片夹与送片夹导轨连接，送片夹与同步带二采用连接件二连接，送片轨道伸缩传感器设置在推料盒机构下表面，轨道材料检测传感器设置在送料轨道本体上表面，收料盒机构包括卸载平台、卸载推杆、卸载推杆底板、卸载底板、卸载电机、卸载同步带、卸载同步轮、推杆到位点传感器、料盒满传感器，卸载底板设置在卸载平台下方，卸载电机设置在卸载底板的一端，卸载底板的两端设有卸载同步轮，卸载电机与卸载底板的一端卸载同步轮连接，卸载底板的两端的卸载同步轮采用卸载同步带连接，卸载推杆底板与卸载底板采用连接件三连接，卸载推杆底板与卸载同步带固定，卸载推杆设置在卸载推杆底板前端，推杆到位点传感器设置在卸载底板后侧，料盒满传感器设置在卸载平台后侧，升降机构包括升降台、料盒拖爪、升降台驱动机构、料盒到位传感器、料盒工作位传感器，料盒拖爪与升降台前侧连接，升降台驱动机构与升降台后侧连接，料盒到位传感器、料盒工作位传感器设置在升降台一侧，料盒到位传感器位于料盒工作位传感器上方，料盒工作位传感器与推片机构平行；
吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构按如下步骤运行：
步骤S1，送片轨道伸缩传感器检测送片轨道是否抽出，如是，则进入基板叠放上料模式，继续执行步骤 S2a，如否，则进入料盒上料模式，继续执行步骤S2b，
步骤S2a，吸料机构移动到叠片台上方，吸料Z轴机构带动吸头下降将叠片台上的基板吸取，料片传感器实时检测基板是否被吸头吸取，如是，则继续执行步骤S3a，如否，则重新执行步骤S2a，
步骤S3a，金属检测传感器判断吸取物品是否为基板，如是，则继续执行步骤S4a，如否，则继续执行步骤S4c，
步骤S4a，吸料机构将基板运至送料轨道，轨道材料检测传感器检测料片是否放置到位，如是，则继续执行步骤S5a，如否停机报警，
步骤S4c包括：吸料机构移动至丢弃隔纸位置，吸料机构下降至丢弃隔纸高度后，真空电磁阀关闭真空将隔纸丢弃，重新执行步骤S2a，步骤S5a，送片夹马达通过同步带二带动送片夹搬运基板输送至轨道内部；
步骤S2b，升降机构将料盒拖爪上升至取料位置，推料盒机构推动料盒前进，将料盒运至料盒拖爪上触发料盒到位传感器，继续执行步骤S3b，
步骤S3b，升降机构上部的料盒定位机构弹出，带动料盒Y向移动至用户设定料盒下降位置，升降机构上部的料盒定位机构收回，料盒拖爪托举料盒下降，至设定料盒第一卡槽与轨道齐平位，继续执行步骤S4b，
步骤S4b，送料轨道下方的料盒定位机构弹出，X向钳制料盒，料盒工作位传感器感应料盒是否到位，如是，则继续执行步骤S5b，如否停机报警，
步骤S5b，推片机构将框架从料盒中推送至轨道内部，送料轨道下方的料盒定位机构收回，料盒拖爪下降至下一卡槽，料盒工作位传感器检测料盒下一卡槽是否到位，如是，则重新执行步骤S4b，如否，则继续执行步骤S6b，
步骤S6b，料盒拖爪至收料盒机构水平位置，卸载推杆推动料盒Y向移动至推杆到位点传感器感应到卸载推杆到位，料盒托爪自动返回料盒托爪接料位置，卸载推杆自动返回卸载推杆接料位置，料盒满传感器检测收料盒机构是否堆满，如是，则提示用户收取料盒。
所述的吸料机构包括调节架、吸头、料片传感器、金属检测传感器、吸料Y轴机构、吸料Z轴机构、Z轴滑块、吸头保护传感器、真空电磁阀，吸料Z轴机构设置在吸料Y轴机构的一侧，调节架的上侧与吸料Z轴机构采用Z轴滑块连接，吸头设置在调节架底面，真空电磁阀设置在吸料Y轴机构的上，真空电磁阀与吸头采用气管连接，料片传感器、金属检测传感器设置在调节架上，吸头保护传感器设置在吸料Z轴机构上，吸头保护传感器位于Z轴滑块上方。
所述的调节架底部设有至少1个吸头。
所述的推片机构包括推片杆、推片杆原点传感器、固定板、导轨、推片带轮、同步带三、推片电机，固定板两端设有推片带轮，固定板一端设有推片电机，推片电机与固定板一端的推片带轮连接，固定板两端的推片带轮之间采用同步带三连接，导轨设置在固定板上侧，同步带三与导轨采用滑块连接，推片杆的后端与导轨采用滑块连接，推片杆原点传感器设置在固定板后侧。
所述的料盒定位机构包括料盒定位气缸、料盒定位块，料盒定位气缸与料盒定位块连接。
本发明同现有技术相比，通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上，可以不用拆除机构自动实现上料模式切换，选择基板叠放上料时，将送料轨道从推料盒机构下抽出，基板叠放在叠片台上，吸料机构将基板运至送料轨道上料，其余机构进入等待模式，选择料盒上料时，将送料轨道收回推料盒机构下，料盒放在叠片台上，推料盒机构将料盒推至升降机构上，推片机构进行上料，卸载料盒时，升降机构将料盒降至收料盒机构水平位置，收料盒机构回收料盒。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明吸料机构侧视图。
图3为本发明吸料机构结构示意图。
图4为本发明推料盒机构侧视图。
图5为本发明推料盒机构结构示意图。
图6为本发明推料盒机构与送料轨道连接示意图。
图7为本发明送料轨道仰视图。
图8为本发明推料盒机构与送料轨道俯视图。
图9 为本发明送料轨道结构示意图。
图10 为本发明升降机构结构示意图。
图11为本发明升降台立体图。
图12为本发明收料盒机构结构示意图。
图13为本发明收料盒机构的卸载平台结构示意图。
图14为本发明推片机构结构示意图。
具体实施方式
现结合附图对本发明做进一步描述。
如附图1、图4、图7、图10所示，本发明是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构1、推料盒机构2、叠片台3、送料轨道4、收料盒机构5、推片机构6、升降机构7、料盒定位机构8，吸料机构1设置在叠片台3上方，叠片台3设置在推料盒机构2上侧，推料盒机构2的装载推杆2-2穿过叠片台3的长腰孔，送料轨道4设置在推料盒机构2下侧，升降机构7位于推料盒机构2的一侧，推片机构6设置在升降机构7的一侧，收料盒机构5设置在升降机构7前侧，收料盒机构5的卸载推杆底板5-3位于升降机构7的料盒拖爪7-2下方，送料轨道4下侧、升降机构7上部均设有料盒定位机构8，结合图4~图8，推料盒机构2包括装载平台2-1、装载推杆2-2、装载推杆底板2-3、导向轴2-4、同步带一2-5、带轮2-6、马达2-7，导向轴2-4设置在装载平台2-1下方，导向轴2-4两端与装载平台2-1采用连接板2-8连接，导向轴2-4两端设有带轮2-6，导向轴2-4一端设有马达2-7，马达2-7与导向轴2-4一端的带轮2-6连接，导向轴2-4两端的带轮2-6之间采用同步带一2-5连接，装载推杆底板2-3与导向轴2-4采用连接件一连接，连接件一套设在导向轴2-4上，装载推杆底板2-3与同步带一2-5固定，装载推杆2-2设置在装载推杆底板2-3前端，装载推杆2-2穿过装载平台2-1，结合图6、图7、图9，送料轨道4包括送料轨道本体4-1、底板4-2、送片夹4-3、送片夹马达4-4、送片夹带轮4-5、同步带二4-6、送片夹导轨4-7、送片轨道伸缩传感器4-8、轨道材料检测传感器4-9，送料轨道本体4-1与底板4-2活动连接，送片夹马达4-4设置在底板4-2一端，送片夹带轮4-5设置在底板4-2两端，送片夹马达4-4与底板4-2一端的送片夹带轮4-5连接，底板4-2两端的送片夹带轮4-5采用同步带二4-6连接，送片夹4-3设置在底板4-2前侧，送片夹4-3与送片夹导轨4-7连接，送片夹4-3与同步带二4-6采用连接件二连接，送片轨道伸缩传感器4-8设置在推料盒机构2下表面，轨道材料检测传感器4-9设置在送料轨道本体4-1上表面，结合图12、图13，收料盒机构5包括卸载平台5-1、卸载推杆5-2、卸载推杆底板5-3、卸载底板5-4、卸载电机5-5、卸载同步带5-6、卸载同步轮5-7、推杆到位点传感器5-8、料盒满传感器5-9，卸载底板5-4设置在卸载平台5-1下方，卸载电机5-5设置在卸载底板5-4的一端，卸载底板5-4的两端设有卸载同步轮5-7，卸载电机5-5与卸载底板5-4的一端卸载同步轮5-7连接，卸载底板5-4的两端的卸载同步轮5-7采用卸载同步带5-6连接，卸载推杆底板5-3与卸载底板5-4采用连接件三连接，卸载推杆底板5-3与卸载同步带5-6固定，卸载推杆5-2设置在卸载推杆底板5-3前端，推杆到位点传感器5-8设置在卸载底板5-4后侧，料盒满传感器5-9设置在卸载平台5-1后侧，结合图10、图11，升降机构7包括升降台7-1、料盒拖爪7-2、升降台驱动机构7-3、料盒到位传感器7-4、料盒工作位传感器7-5，料盒拖爪7-2与升降台7-1前侧连接，升降台驱动机构7-3与升降台后侧7-1连接，料盒到位传感器7-4、料盒工作位传感器7-5设置在升降台7-1一侧，料盒到位传感器7-4位于料盒工作位传感器7-5上方，料盒工作位传感器7-5与推片机构6平行；
吸料机构1、推料盒机构2、叠片台3、送料轨道4、收料盒机构5、推片机构6、升降机构7、料盒定位机构8按如下步骤运行：
步骤S1，送片轨道伸缩传感器4-8检测送片轨道4是否抽出，如是，则进入基板叠放上料模式，继续执行步骤 S2a，如否，则进入料盒上料模式，继续执行步骤S2b，
步骤S2a，吸料机构1移动到叠片台3上方，吸料Z轴机构1-6带动吸头1-2下降将叠片台3上的基板吸取，料片传感器1-3实时检测基板是否被吸头1-2吸取，如是，则继续执行步骤S3a，如否，则重新执行步骤S2a，
步骤S3a，金属检测传感器1-4判断吸取物品是否为基板，如是，则继续执行步骤S4a，如否，则继续执行步骤S4c，
步骤S4a，吸料机构1将基板运至送料轨道4，轨道材料检测传感器4-9检测料片是否放置到位，如是，则继续执行步骤S5a，如否停机报警，
步骤S4c，吸料机构1向移动至丢弃隔纸位置，吸料机构1下降至丢弃隔纸高度后，真空电磁阀1-9关闭真空将隔纸丢弃，重新执行步骤S2a，
步骤S5a，送片夹马达4-4通过同步带二4-6带动送片夹4-3搬运基板输送至轨道内部；
步骤S2b，升降机构7将料盒拖爪7-2上升至取料位置，推料盒机构2推动料盒前进，将料盒运至料盒拖爪7-2上触发料盒到位传感器7-4，继续执行步骤S3b，
步骤S3b，升降机构7上部的料盒定位机构8弹出，带动料盒Y向移动至用户设定料盒下降位置，升降机构7上部的料盒定位机构8收回，料盒拖爪7-2托举料盒下降，至设定料盒第一卡槽与轨道齐平位，继续执行步骤S4b，
步骤S4b，送料轨道4下方的料盒定位机构8弹出，X向钳制料盒，料盒工作位传感器7-5感应料盒是否到位，如是，则继续执行步骤S5b，如否停机报警，
步骤S5b，推片机构6将框架从料盒中推送至轨道内部，送料轨道4下方的料盒定位机构8收回，料盒拖爪7-2下降至下一卡槽，料盒工作位传感器7-5检测料盒下一卡槽是否到位，如是，则重新执行步骤S4b，如否，则继续执行步骤S6b，
步骤S6b，料盒拖爪7-2至收料盒机构5水平位置，卸载推杆5-2推动料盒Y向移动至推杆到位点传感器5-8感应到卸载推杆5-2到位，料盒托爪7-2自动返回料盒托爪7-2接料位置，卸载推杆5-2自动返回卸载推杆5-2接料位置，料盒满传感器5-9检测收料盒机构5是否堆满，如是，则提示用户收取料盒。
其中，如图2、图3所示，吸料机构1包括调节架1-1、吸头1-2、料片传感器1-3、金属检测传感器1-4、吸料Y轴机构1-5、吸料Z轴机构1-6、Z轴滑块1-7、吸头保护传感器1-8、真空电磁阀1-9，吸料Z轴机构1-6设置在吸料Y轴机构1-5的一侧，调节架1-1的上侧与吸料Z轴机构1-6采用Z轴滑块1-7连接，吸头1-2设置在调节架1-1底面，真空电磁阀1-9设置在吸料Y轴机构1-5的上，真空电磁阀1-9与吸头1-2采用气管连接，料片传感器1-3、金属检测传感器1-4设置在调节架1-1上，吸头保护传感器1-8设置在吸料Z轴机构1-6上，吸头保护传感器1-8位于Z轴滑块1-6上方，调节架1-1底部设有至少1个吸头1-2。
如图12所示，推片机构6包括推片杆6-1、推片杆原点传感器6-2、固定板6-3、导轨6-4、推片带轮6-5、同步带三6-6、推片电机6-7，固定板6-3两端设有推片带轮6-5，固定板6-3一端设有推片电机6-7，推片电机6-7与固定板6-3一端的推片带轮6-5连接，固定板6-3两端的推片带轮6-5之间采用同步带三6-6连接，导轨6-4设置在固定板6-3上侧，同步带三6-6与导轨6-4采用滑块连接，推片杆6-1的后端与导轨6-4采用滑块连接，推片杆原点传感器6-2设置在固定板6-3后侧。
如图7、图10所示，料盒定位机构8包括料盒定位气缸8-1、料盒定位块8-2，料盒定位气缸8-1与料盒定位块8-2连接。
实施例：选择基板叠放上料时，将送料轨道4从推料盒机构2下抽出，吸料机构1移动到叠片台3上方，吸料Z轴机构1-6带动吸头1-2下降将叠片台3上的基板吸取，料片传感器1-3实时检测基板是否被吸头1-2吸取，金属检测传感器1-4判断吸取物品是否为基板，如否，吸料机构1向移动至丢弃隔纸位置，吸料机构1下降至丢弃隔纸高度后，真空电磁阀1-9关闭真空将隔纸丢弃，后返回吸片位置进行下次吸片循环，如是，吸料机构1将基板运至送料轨道4，轨道材料检测传感器4-9检测到料片，送片夹马达4-4通过同步带二4-6带动送片夹4-3移动到接料位置，送片夹4-3搬运基板输送至轨道内部，当吸料机构1在吸料过程中被阻碍到运行时，吸头1-2被托起触发吸头保护传感器1-8报警停机；选择料盒上料时，将送片轨道4收回至推料盒机构2下方触发送片轨道伸缩传感器4-8，升降机构7将料盒拖爪7-2上升至取料位置，推料盒机构2推动料盒前进，将料盒运至料盒拖爪7-2上触发料盒到位传感器7-4，升降机构7上部的料盒定位机构8弹出，带动料盒Y向移动至用户设定料盒下降位置，升降机构7上部的料盒定位机构8收回，料盒拖爪7-2托举料盒下降，至设定料盒第一卡槽与轨道齐平位，送料轨道4下方的料盒定位机构8弹出，X向钳制料盒，料盒工作检传感器7-4感应料盒到位，推片机构6将框架从料盒中推送至轨道内部，送料轨道4下方的料盒定位机构8收回，推片机构6的推片杆6-1收回，并触发推片杆原点传感器6-2，料盒拖爪7-2下降至料盒下一卡槽位置，料盒工作位传感器7-5检测料盒下一卡槽是否到位，如到位推片机构6继续完成下次推片循环，如未到位，料盒拖爪7-2移动至收料盒机构5水平位置，卸载推杆5-2推动料盒X向移动至推杆到位点传感器5-8感应到卸载推杆5-2到位，料盒托爪7-2自动返回料盒托爪7-2接料位置，卸载推杆5-2自动返回卸载推杆5-2接料位置，料盒满传感器5-9检测收料盒机构5是否堆满，如是提示用户收取料盒。
因此采用本发明可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换，集成度高，通用性强，节省换料时间，提高作业效率。
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