阅读说明：本技术 一种六轴双相机影像仪 (Six-axis double-camera imaging instrument ) 是由 谢锡洋 谢锡良 杨健 代凯 何玉陈 于 2021-08-02 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种六轴双相机影像仪,包括机架、安装在机架上的外壳、氮气弹簧、中部成型有让位槽A的支撑台、Z轴伺服驱动模组、安装在Z轴伺服驱动模组背部的旋转驱动平台、两个XY轴驱动机构和两个检测机构,氮气弹簧穿过让位槽A与旋转驱动平台固接,Z轴伺服驱动模组局部穿过让位槽A并通过设置基座与支撑台连接,两个XY轴驱动机构分别设置在让位槽A相对两侧所对应的支撑台上,两个检测机构分别连接设置在两个XY轴驱动机构上,本发明的支撑台两边均设置有检测机构可以同步实时工作,同时通过旋转驱动品台可以驱动产品旋转90°,还可通过上Z轴伺服驱动模组驱动支撑台进行升降可以实现测量产品的高度,具有较高的使用价值。(The invention discloses a six-axis dual-camera imager, which comprises a frame, a shell arranged on the frame, a nitrogen spring, a supporting platform with a abdication groove A formed in the middle, a Z-axis servo driving module, a rotary driving platform arranged on the back of the Z-axis servo driving module, two XY-axis driving mechanisms and two detection mechanisms, wherein the nitrogen spring penetrates through the abdication groove A and is fixedly connected with the rotary driving platform, the Z-axis servo driving module partially penetrates through the abdication groove A and is connected with the supporting platform through a base, the two XY-axis driving mechanisms are respectively arranged on the supporting platform corresponding to two opposite sides of the abdication groove A, the two detection mechanisms are respectively connected and arranged on the two XY-axis driving mechanisms, the detection mechanisms arranged on two sides of the supporting platform can synchronously work in real time, simultaneously, the product can be driven to rotate 90 degrees by the rotary driving platform, and the height of the product can be measured by driving the supporting platform to lift by the upper Z-axis servo driving module, has high use value.)

一种六轴双相机影像仪

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种六轴双相机影像仪。

背景技术

众所周知，半导体晶圆储藏盒的四个侧面特征在生产后需要对其进行测量，但是传统的影像仪只能实现对产品的一个面一个面测量，在测量过程中操作人员还需要将产品来回的进行反转才可以测量侧面，这样的工作方式费时费力；不仅如此，人员在来回切回产品方向会影响测量精度；而且储藏盒为塑料材质，接触式会引起产品的微量变形,测量效率又不高。

发明内容

发明目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本发明公开了一种六轴双相机影像仪。

技术方案：一种六轴双相机影像仪，包括机架、安装在机架上的外壳、氮气弹簧、中部成型有让位槽A的支撑台、Z轴伺服驱动模组、安装在Z轴伺服驱动模组背部的旋转驱动平台、两个XY轴驱动机构和两个检测机构，所述氮气弹簧穿过让位槽A与旋转驱动平台固接，所述Z轴伺服驱动模组局部穿过让位槽A并通过设置基座与支撑台连接，两个所述XY轴驱动机构分别设置在让位槽A相对两侧所对应的支撑台上，两个所述检测机构分别连接设置在两个XY轴驱动机构上。

作为本发明的一种优选方式，两个所述XY轴驱动机构均包括X轴伺服驱动模组和Y轴伺服驱动模组，所述Y轴伺服驱动模组配合安装在支撑台上，所述X轴伺服驱动模组与Y轴伺服驱动模组连接设置。

作为本发明的一种优选方式，所述X轴伺服驱动模组、Y轴伺服驱动模组和Z轴伺服驱动模组的侧面两端均设置有光栅检测装置。

作为本发明的一种优选方式，两个所述检测机构均包括安装座、装有小视野远心镜头的数字相机以及与Y轴伺服驱动模组连接的滑动板，所述数字相机通过安装座固定在滑动板上。

作为本发明的一种优选方式，所述Z轴伺服驱动模组通过连接架与旋转驱动平台连接，且所述连接架与氮气弹簧连接设置。

作为本发明的一种优选方式，所述基座具体采用花岗岩基座。

作为本发明的一种优选方式，所述外壳表面成型有让位槽B。

作为本发明的一种优选方式，所述外壳顶部设置有显示器以及报警器。

本发明实现以下有益效果：

本发明的支撑台两边均设置有检测机构可以同步实时工作，相较于单一相机提升很多，同时通过旋转驱动品台可以驱动产品旋转90度，可以测量其余两条边界特征；还可通过上Z轴伺服驱动模组驱动支撑台进行升降可以实现测量产品的高度，相较于现有技术，本发明具有较高的使用价值。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明公开的实施例，并于说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本发明公开的整体结构示意图。

图2为本发明公开的局部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例

参考图1-2，一种六轴双相机影像仪，包括机架10、安装在机架上的外壳160、氮气弹簧20、中部成型有让位槽A30的支撑台40、Z轴伺服驱动模组120、安装在Z轴伺服驱动模组背部的旋转驱动平台60、两个XY轴驱动机构和两个检测机构90，且外壳表面成型有让位槽B170，氮气弹簧穿过让位槽A与旋转驱动平台固接，Z轴伺服驱动模组局部穿过让位槽A并通过设置基座130与支撑台连接，在组装过程中，Z轴伺服驱动模组通过连接架50与旋转驱动平台连接，且连接架与氮气弹簧连接设置，在具体安装时，基座具体采用花岗岩基座，两个XY轴驱动机构分别设置在让位槽A相对两侧所对应的支撑台上，两个检测机构分别连接设置在两个XY轴驱动机构上。

在本实施例中，两个XY轴驱动机构均包括X轴伺服驱动模组100和Y轴伺服驱动模组110，Y轴伺服驱动模组配合安装在支撑台上，X轴伺服驱动模组与Y轴伺服驱动模组连接设置，通过Y轴伺服驱动模组和X轴伺服驱动模组的配合使用，能方便检测机构实时进行XY轴移动，精度较高，效果较佳。

在本实施例中，X轴伺服驱动模组、Y轴伺服驱动模组和Z轴伺服驱动模组的侧面两端均设置有光栅检测装置80，这样方便检测Y轴伺服驱动模组驱动X轴伺服驱动模组的行走距离，方便X轴伺服驱动模组驱动滑动板的移动距离以及方便Z轴伺服直线驱动模组驱动支撑台的升降移动距离。

在本实施例中，两个检测机构均包括安装座92、装有小视野远心镜头91的数字相机94以及与Y轴伺服驱动模组连接的滑动板93，数字相机通过安装座固定在滑动板上，在X轴伺服驱动模组以及Y轴伺服驱动模组的驱动下，数字相机能实时对产品的侧面进行检测，使用起来较为灵活，效果较佳。

在本实施例中，外壳顶部设置有显示器170以及报警器150，用于操作人员观察检测的效果，并且通过该报警器对检测异常的产品70进行报警，以便操作人员获知。

通过上述各个实施例的实施，本发明通过在支撑台两边均设置有检测机构可以同步实时工作，相较于单一相机提升很多，同时通过旋转驱动品台可以驱动产品旋转90度，可以测量其余两条边界特征；还可通过上Z轴伺服驱动模组驱动支撑台进行升降可以实现测量产品的高度，综上所述本发明具有较高的使用价值。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此来限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。