具体实施方式

现在，参考附图对本发明的各个示例实施例进行更全面的描述，其中示出了本发明的一些示例实施例。在附图中，为了清楚起见，可能夸大了层和区域的厚度。

本文中公开了本发明的详细说明性实施例。然而，本文中所公开的具体结构和功能细节仅表示描述本发明的示例实施例的目的。然而，本发明可以以多种备选形式体现并且不应被解释为仅局限于本文中所阐述的实施例。

因而，虽然本发明的示例实施例能够进行各种修改和备选形式，但其实施例在附图中通过示例示出并且将在本文中进行详细描述。然而，应当理解，不旨在将本发明的示例实施例局限于所公开的特定形式，而是相反，本发明的示例实施例要涵盖落入本发明范围内的所有修改、等效物和备选物。贯穿附图的描述，相同的数字是指相同的元件。

如本文中所使用的，术语“样本”通常是指晶片或感兴趣缺陷(DOI)可以位于其上的任何其他样本。尽管术语“样本”和“样品”在本文中可互换使用，但应当理解，本文中关于晶片所描述的实施例可以被配置和/或用于任何其他样本(例如，掩模版、掩模或光掩模)。

如本文中所使用的，术语“晶片”通常是指由半导体材料或非半导体材料形成的衬底。这种半导体材料或非半导体材料的示例包括但不限于单晶硅、砷化镓和磷化铟。这种衬底通常可以在半导体制造设施中找到和/或加工。

术语交叉是指电子束所聚焦的点。

术语虚拟源意指从阴极发射的电子束可以追溯回到“虚拟”源。

根据本发明的检查工具可以涉及一种带电粒子源，具体涉及可以应用于SEM、电子束检查工具或EBDW的电子束源。在本领域中，电子束源还可以被称为电子枪(e-枪)。

关于附图，应当指出，这些附图并非按比例绘制。具体地，附图中的元件中的一些元件的比例可能被极大地夸大以强调元件的特点。还应注意，这些图并非按相同比例绘制。已经使用相同的附图标记指示了在多于一张图中示出的可以类似配置的元件。

在附图中，为了清楚起见，每个部件的相对尺寸以及每个部件之间的相对尺寸可能被夸大。在以下对附图的描述内，相同或相似的附图标记是指相同或相似的部件或实体，并且仅对关于各个实施例的差异进行描述。

因而，虽然本发明的示例实施例能够形成各种修改和备选形式，但其实施例在附图中通过示例示出并且将在本文中进行详细描述。然而，应当理解，并不旨在将本发明的示例实施例局限于所公开的特定形式，而是相反，本发明的示例实施例涵盖落入本发明范围内的所有修改、等效物和备选物。

图1a和图1b示意性地描绘了电子束(e束)检查(EBI)系统100的顶视图和剖视图，该电子束EBI系统100可以例如是根据本发明的一个实施例。所示的实施例包括封壳110、用作接口以接收待检查对象并输出已经被检查的对象的一对上料端口120。如所示的实施例还包括对象传送系统(其被称为EFEM)，即，设备前端模块130，其被配置为处置和/或运送对象到上料端口和从上料端口运送对象。在如所示的实施例中，EFEM 130包括处置机器人140，该处置机器人140被配置为在上料端口与EBI系统100的上料锁150之间运送对象。上料锁150是封壳110外部和EFEM中发生的大气条件与EBI系统100的真空腔室160中发生的真空条件之间的接口。在所示的实施例中，真空腔室160包括电子光学系统170，该电子光学系统被配置为将电子束投影到要检查对象上，例如，半导体衬底或晶片。EBI系统100还包括定位设备180，该定位设备180被配置为相对于由电子光学系统170生成的电子束移动对象190。

在一个实施例中，定位设备可以包括多个定位器的级联布置，诸如用于在基本水平的平面中定位对象的XY平台和用于沿垂直方向定位对象的Z平台。

在一个实施例中，定位设备可以包括粗定位器和精细定位器的组合，该粗定位器被配置为在相对较大的距离上提供对对象的粗定位，而精细定位器被配置为在相对较小的距离上提供对对象的精细定位。

在一个实施例中，定位设备180还包括载物台，该载物台用于在EBI系统100所执行的检查过程期间保持对象。在这种实施例中，对象190可以借助于诸如静电夹具之类的夹具而被夹紧到载物台上。这种夹具可以集成在载物台中。

在一个实施例中，定位设备180包括用于定位载物台的第一定位器和用于定位第一定位器和载物台的第二定位器。另外，应用于电子束检查工具100的定位设备180可以包括加热设备，该加热设备被配置为在载物台中生成热负荷。

图2示意性地描绘了如可以应用于根据本发明的电子束检查工具或系统的电子光学系统200的实施例。电子光学系统200包括被称为电子枪210的电子束源和成像系统240。

电子枪210包括电子源212、抑制器214、阳极216、孔集合218、以及会聚器220。电子源212可以是肖特基发射器。更具体地，在一个实施例中，电子源212包括陶瓷衬底、两个源电极、钨丝和钨引脚。两个源电极平行固定到陶瓷衬底上，两个源电极的另一侧分别连接到钨丝的两端。钨稍微弯曲以形成用于放置钨引脚的尖端。接着，ZrO2涂覆在钨引脚表面上，加热到1300℃使其熔化并覆盖钨引脚，但露出钨引脚的引脚尖。熔融ZrO2可以使钨的功函数降低，减小所发射的电子的能垒，从而有效发射电子束202。然后，通过向抑制器214施加负电，抑制电子束202。因而，具有大扩散角的电子束被抑制为初级电子束202，从而增强了电子束202的亮度。通过阳极216的正电荷，可以提取电子束202，并且电子束202的库仑强制力然后可以通过使用可调孔218来控制，该可调孔218具有不同孔大小，用于消除孔外部的不必要的电子束。为了会聚电子束202，会聚器220被施加到电子束202，该会聚器还提供放大率。图2所示的会聚器220可以例如是能够会聚电子束202的静电透镜。另一方面，会聚器220还可以是磁性透镜。

如图3所示的成像系统240包括消隐器248、孔集合242、检测器244、四个偏转器250、252、254和256的集合、线圈对262、轭260、滤波器246和透镜电极270。透镜电极270用于延迟和偏转电子束202，并且由于上极片和样品300的组合还具有静电透镜功能。此外，线圈262和轭260被配置到磁性物镜。

上文所描述的电子束202通过加热电子引脚并且向阳极216施加电场而生成，因此，为了稳定电子束202，必须有很长的时间来加热电子引脚。对于用户端而言，这肯定费时且不便。因此，消隐器248被施加到经会聚电子束202用于暂时偏转电子束202远离样品而非关闭它。

施加偏转器250和256以将电子束202扫描到大视场，并且偏转器252和254用于将电子束202扫描到小视场。所有偏转器250、252、254和256都可以控制电子束202的扫描方向。偏转器250、252、254和256可以是静电偏转器或磁性偏转器。轭260的开口面向样品300，从而将磁场浸入样品300中。另一方面，透镜电极270放置在轭260的开口下方，因此不会损坏样品300。为了校正电子束202的色差，延迟器270、样品300和上极片形成透镜以消除电子束202的色差。

此外，当电子束202轰击到样品300中时，二次电子将从样品300的表面发出。接着，二次电子通过滤波器246而被引导到检测器244。

图4示意性地描绘了根据本发明的EBI系统的可能控制架构。如图1所示，EBI系统包括上料锁、晶片传送系统、上料/锁、电子光学系统和定位设备，该定位设备例如包括z平台和x-y平台。如所图示的，EBI系统的这些各种部件可以配备有相应控制器，即，连接到晶片传送系统的晶片运送器系统控制器、上料/锁控制器、电子光学器件控制器、检测器控制器、平台控制器。这些控制器可以例如经由通信总线例如通信连接到系统控制器计算机和图像处理计算机。在所示的实施例中，系统控制器计算机和图像处理计算机可以连接到工作站。

上料端口将晶片上料到晶片传送系统，诸如EREM 130，并且晶片传送系统控制器控制晶片传送以将晶片传送到上料/锁，诸如上料锁150。上料/锁控制器控制腔室的上料/锁，使得待检查对象(例如，晶片)可以固定在夹具上，例如，静电夹具，也称为电子卡盘。定位设备(例如，z平台和x-y平台)使得晶片能够通过平台控制器移动。在一个实施例中，z平台的高度可以例如使用诸如压电致动器之类的压电部件进行调整。电子光学控制器可以控制电子光学系统的所有状况，并且检测器控制器可以接收来自电子光学系统的电信号并且将其转换为图像信号。系统控制器计算机向对应控制器发送指令。在接收到图像信号后，图像处理计算机可以处理图像信号以标识缺陷。

随着对电子束检查工具的要求增加，控制所发射的电子束所需的所施加的电压或电压电位也增加。因此，还必须向(源和/或透镜)电极和偏转器中的至少一些提供更高的电压电位。然而，在传统电子束工具中，在操作电子束工具之前对这些部件进行充电可能就已足够，这对于高电压电位并不切实际。因此，需要电连接来为所述部件充电并且维持这些部件处于期望电压电位。应当指出，在本发明的上下文中，较高的电压电位意指绝对值，即，它可以是正电压或负电压。

电连接带来若干后果。首先，在使用期间，电连接处于高压电位并且产生电场。所述电场可以影响电子束工具中的部件(例如，可充电元件，诸如电容器)的正确工作。图5a示出了电线的表面处的电场强度E作为电线的直径D的函数的曲线图。随着直径D增加，电场强度E减小。由于电线的表面处的电场强度E决定了从电线发射的电子量，所以所述电场优选地较低。因此，从这个角度来看，直径D优选地选择得尽可能大。

电连接的第二结果是它形成与载物台的机械连接，从而通过在载物台的任何移动期间在该载物台上施加力来影响载物台的这种移动。所述力取决于电连接的机械刚度，该机械刚度优选地尽可能小，使得第一定位器的工作失真尽可能小。对于电线，机械刚度随着直径D的增加而增加。因此，从这个角度来看，直径D优选地选择得尽可能小。

上述结果对电连接的设计或选择提出了相互冲突的要求，这通常会导致电场强度与电连接的机械刚度之间的折衷。发明人已经通过应用他们的导体的电场知识发现了对此的改进。在静电平衡中，因为所有多余电荷都在导体的外表面上，所以导体内部的电场为零。即使导体具有不导电的空腔或空隙，例如，充满空气或真空，这也成立。也就是说，空腔中或包围该空腔的导体的表面上没有电荷。导体的外表面越大，电场的最大强度就越小，如例如由图5a中作为较大直径D的函数的减小的电场强度E所图示的。

使用该知识，可以设计多种布置，其中电连接被布置为使得例如电连接的一个或多个电线的多个分段彼此相互作用，从而表现得像导体，从电场的角度来看，其直径大于电线本身，从而导致有所降低的最大电场强度。换句话说，电连接可以被布置为使得电连接的一个或多个电线的分段彼此足够接近，以便为了确定所得电场的目的，它们可以被认为是所述电线分段或电线之间具有空腔的单个导体。由于电连接的所有导电物质均电连接，所以电荷本身可以分布在电连接的外表面上以形成静电平衡。同时，实际电线的直径可以保持较小，从而维持机械刚度相对较低。这种构造的示例如图6a所示，该图6a描绘了包括电线302的电连接301，该电线302被布置为包括环路的线圈。

图5b示出了三个曲线图，这三个曲线图图示了这种布置对电场的影响。上曲线图示出了作为线圈的环路的直径的函数的电场强度，左下曲线图示出了作为后续环路之间的距离与电线的直径的比例的函数的电场强度，以及右下曲线图示出了作为电线的直径的函数的电场强度。可以看出，电场的最大强度随着环路的直径的增加和环路被布置为更为靠近彼此而降低。还应当指出，只要环路的直径以及环路之间的距离相对于电线直径的比例保持恒定，电线本身的直径对电场的影响有限。然而，电线的直径对机械刚度有很大影响，因此在这种布置中可以有利地保持较小而不会过多地影响最大电场强度。

更进一步地，发明人已经发现，通过使用多个电线作为电连接，可以实现降低电场强度的相同效果，所述多个电线彼此足够靠近并且可选地彼此平行布置，并且使用时也处于相同或至少基本相同的电位。这种构造的示例如图7a所示，该图7a描绘了包括平行布置的六个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的电连接401。

本发明涉及一种创新电连接，其具体可以用于平台装置。创新电连接应用了上文所解释的见解并且可以以不同方式定义或描述，如以下关于附图所示的。

参考图6a，示意性地示出了根据本发明的电连接301，并且给出了描述或定义应用于本发明的电连接301的第一方式。电连接301包括具有直径306并且沿第一方向X在电连接301的第一端303和第二端304之间跨越一定距离305的电线302的空间布置。电连接301被配置为使用时产生部分由等效电直径307确定的电场。根据本发明，等效电直径307由电线302的空间布置限定，并且等于如图6b所描绘的电等效电线321的直径，该电等效电线321被布置为笔直的并且沿第一方向X跨越距离305。根据本发明，当对电等效电线321和电连接301施加相同的电压时，电等效电线321被认为产生最大强度与由电连接301产生的电场的强度相同的电场。根据本发明，电等效直径307大于电线302的直径306。

在图7a示意性所示的另一实施例中，根据本发明的电连接可以被描述为包括具有直径406并且沿第一方向X在电连接401的第一端403和第二端404之间跨越一定距离405的多个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的空间布置的电连接401。电连接401使用时产生电场，该电场部分由等效电直径407确定。根据本发明，等效电直径407由电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的空间布置限定，并且等于图7b所描绘的电等效电线421的直径，该电等效电线421被布置为笔直的并且沿第一方向X跨越距离405。根据本发明，当对电等效电线421和电连接401施加相同的电压时，电等效电线421被认为产生最大强度与由电连接401产生的电场的强度相同的电场。根据本发明，电等效直径407大于电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的直径406。应当指出，尽管在所示的示例中，电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6中的每个电线具有相同的直径406，但这并不是严格要求的，甚至电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的直径不同也是可能的。

在图7a所示的实施例中，第一端403和第二端404可选地电连接电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，使得电荷可以从电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6中的一个电线移动到一个或其他电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6。

如上文所描述的，电连接301、401包括一个或多个电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，它们被布置为使得它们相互作用并且形成具有最大强度的电场，该最大强度等于可能由具有等效电直径407的电等效电线321、421所产生的电场的最大强度，该等效电直径407大于一个或多个电线的直径306、206。因此，与相同直径306、406的一个电线在第一端303、403与第二端304、404之间平直布置的情况相比，则电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的空间布置导致了减少的最大电场强度。所述最大电场(即，电场的最高强度)通常位于电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6中的一个或多个电线的表面处、并且具体可以位于可能还与电等效电线321、421的表面相对应的位置处。

再次参考图6a，在一个实施例中，电连接301还包括机械刚度，该机械刚度表示沿第一方向X压缩或拉伸电连接301达单位长度所需的力。如图6c所示，确定等效机械直径308，其中等效机械直径308等于机械等效电线325的直径308，该机械等效电线325沿第一方向X上跨越距离305并且被布置为基本平直并且沿第一方向X跨越距离305，由此机械等效电线325将具有与电连接301相同的机械刚度。在该实施例中，等效电直径307大于等效机械直径308。当电连接301恰好包括一个电线302时，等效机械直径308主要由所述电线302的空间布置决定。

同样，对于图7a所示的布置，在一个实施例中，电连接401还包括机械刚度，该机械刚度表示沿第一方向X压缩或拉伸电连接401达单位长度所需的力。如图7c所描绘的，确定等效机械直径408，等效机械直径408等于机械等效电线425的直径408，该机械等效电线425沿第一方向X上跨越距离405并且被布置为基本平直并且沿第一方向X跨越距离405，其中机械等效电线425将具有与电连接401相同的机械刚度。在该实施例中，等效电直径407大于等效机械直径408。当电连接401包括多于一个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6时，等效机械直径主要由直径406和电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的空间布置两者决定。

有利地，电线302或电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6被布置为使得电等效直径307、407大于等效机械直径308、408。因此，降低电场强度的影响可以大于可能增加机械刚度的影响。

每个电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的机械刚度取决于直径以及诸如空间布置和材料之类的因素。在大多数空间布置中，用于计算电线刚度的公式已知。为了确定当电连接包括多于一个电线时的等效机械直径，所述电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6可以例如被视为平行的弹簧。然后，可以通过对每个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的刚度求和来确定等效刚度。然而，如果计算被证明是困难的或不切实际的，则等效机械刚度也可以使用胡克定律通过试验装置凭经验确定：

(1)

其中F表示从其平衡状态压缩或延伸电连接一定距离Δx所需的力。

根据等效刚度，可以确定等效机械直径。例如，对于平直电线，刚度可以使用以下公式确定：

(2)

其中k_eq表示等效刚度，L表示电线的长度，E表示杨氏模量，A_eq表示等效横截面积，由此可以推导出等效直径。应当指出，优选地假设针对同一材料(即，具有与用于电连接的一个或多个电线相同的杨氏模量E)的电线确定等效机械直径。

参考图6a和图7a两者给出描述或定义应用于本发明的电连接301、401的第二方式。根据该描述或定义，电连接301、401被定义为包括一个或多个电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，每个电线具有长度和直径306、406。电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6被布置为使得使用时对于沿着每个电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的长度的位置的例如至少75％，例如至少80％、85％、90％、95％或99％，电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6中的一个电线的至少一个分段布置在所述位置附近。根据本发明，布置在电线附近的电线分段的特征可以例如被定义为如下的电线分段，该电线分段被布置在垂直于所述位置处的电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的方向上的小于或等于电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的直径306、406的例如四倍、五倍或六倍(例如，小于三倍、二倍或一倍)的距离处。优选地，布置在电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6附近的电线分段处于与电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6基本相同的电压电位。

例如，在图6a中，电线302的位置331被指示以说明上述定义。对于该位置331，沿垂直于位置331处的电线302的方向的附近具有至少一个电线分段332。而且，电线分段332布置在距离333处，该距离333小于例如电线302的直径306的四倍、五倍或六倍。

例如，在图7a中，电线402.6的位置431被指示以说明上述定义。对于该位置431，沿垂直于位置431处的电线402.6的方向的附近存在至少一个电线分段432，在这种情况下，该电线分段432来自电线402.5。而且，电线分段432布置在距离433处，该距离433小于例如电线402.6的直径406的四倍、五倍或六倍。应当指出，为了清楚起见，在图7a中，电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的直径以及它们之间的距离可能并非按比例绘制。

通过布置电线302或电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，使得电线302或电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的位置331、431附近存在电线分段332、432，所述位置331、431处的电线和电线分段332、432可以被认为是协作并且在它们之间形成具有空隙的导体。因此，如果附近没有其他电线分段332、432，则它们有助于所得电场的最大强度小于电线302、402单独产生的电场的最大强度。换句话说，电场的最大强度降低，同时维持相同的电线直径306、406，因此维持有限的机械刚度。

实际上，在电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6附近在所述电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的第一端和/或第二端处或电连接301、401的第一端和/或第二端处提供电线分段可能不太方便，因为它可能也需要连接例如到终端。因此，在一个实施例中，电场屏蔽1201可以布置在电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6和/或电连接301、401附近的这些位置处。电场屏蔽1201防止由电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6在这些位置产生的电场影响电场屏蔽1201后面的部件。电场屏蔽1201可以例如是导体，其可以例如接地。

在一个实施例中，对于每个电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的基本所有长度，附近布置有电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6中的一个电线的至少一个电线分段和/或电场屏蔽1201被布置在电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6和/或电连接301、401附近。例如，电场屏蔽1201可以被布置为在电连接301、401的一个或多个端部与电连接301、401相邻，并且用于电连接301、401的剩余部分；对于每个电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的基本所有长度，电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6中的一个电线的至少一个电线分段被布置在附近。本领域技术人员应当清楚，电场屏蔽1201屏蔽由任何其他形状的电线(例如，单个平直电线或平直电线系列)产生的电场。因此，电线或电连接301、401的具体形状对于电场屏蔽对电场的屏蔽无关紧要。电场屏蔽1201可以被布置为与单个平直电线或平直电线系列的一个或多个端部相邻，并且针对每个电线的基本所有长度，用于单个平直电线或平直电线系列的其余部分。

在一个实施例中，在图12中，电场屏蔽1201可以布置在电连接301、401与对象之间，电极可以经由电连接通过电源施加第一电压。对象处于第二电压，该第二电压与第一电压不同。设置在电连接与对象之间的电场屏蔽1201可以屏蔽电场并且防止电连接与对象之间的放电或火花。例如，对象可以是腔室的内部壁的一部分或本文件中稍后介绍的长行程定位器的一部分。第二电压可以基本等于0(即，电接地电平)或任何其他非零电压。

参考图6d和图7d给出描述或定义应用于本发明的电连接301、401的又一方式，即第三方式，该图6d和图7d分别示出了图6a和图7a的电气连接。根据该第三定义，电连接301、401被定义为包括导电物质，该导电物质可以例如是电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，并且沿第一方向X在第一端303、403与第二端304，404之间跨越距离305、405。定义虚拟包络体积341、441，该虚拟包络体积341、441包括基本所有导电物质。电连接的外部限定虚拟包络体积的外边界，并且虚拟包络体积包括至少一个空隙341.1、441.1，该空隙341.1、441.1的体积为虚拟包络体积的体积的至少例如1％、5％或10％。对于每个横截面AA、BB，如分别由图6e和图7e所描绘的，虚拟包络体积341、441的横截面AA、BB内的导电物质的总面积小于所述横截面AA、BB的面积。导电物质的总面积可以小于例如横截面AA、BB的面积的例如99％、95％、90％、75％或50％。

在所示的示例中，还图示了可选地，虚拟包络体积341、441的中心线342、442平行于第一方向X，并且横截面AA、BB在垂直于第一方向X的平面YZ中的外边界由电连接301、401的外部限定。

虚拟包络体积341、441可以被认为表示或至少类似于与电连接301、401相对应的导体，假使其没有空隙。换言之，优选地，电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的外表面处的最大电场强度等于导体的相同位置处的电场强度，该导体将具有虚拟包络体积341、441的形状并且将处于相同的电压电位。然而，电连接301、401与具有虚拟包络体积341、441形状的这种导体之间的重要差异在于横截面AA、BB内的导电物质的总面积小于所述横截面AA、BB的面积。因此，与这种导体相比较，电连接301、401的机械刚度降低，同时维持相同的相对较低的最大电场强度。

应当指出，单个电线302作为线圈的布置(例如，诸如图6a至图6e所示的实施例)产生具有空隙341，1的虚拟包络体积341，但是单个平直的或稍微弯曲的电线可能会产生没有空隙的虚拟包络体积。应当指出，在本发明的上下文中，可能存在于电线的材料中的微观空隙要忽略不计。

在例如其中电连接301包括单个电线302的一个实施例中，虚拟包络体积341还可以定义为大于所述电线302的直径，或可选地在垂直于第一方向X的每个方向YZ中在垂直于第一方向X的平面YZ中的至少一个或可选地所有横截面中比该直径的例如1.5、2或3倍大。该定义表示沿多个方向弯曲的电线比例如仅沿一个方向或至少大多数沿一个方向弯曲的平直电线或单个电线更高效。

在一个实施例中，虚拟包络体积341、441可以被定义为使得虚拟包络体积341、441在垂直于第一方向X的平面YZ中的任何横截面AA、BB的形状相同。虚拟包络体积341、441在垂直平面YZ中的外边界由在第一方向X上任何点处该方向上的电连接的外部部分所限定。

例如，在图6d至图6e所示的实施例中，电连接301包括单个电线302，该单个电线302在电连接301的第一端303和第二端304之间包括多个曲线，单个电线302由此在垂直于第一方向X的多个方向中偏离第一方向X。在这样的实施例中，虚拟包络体积341的外边界在平面ZY中的每个横截面AA中沿每个方向对应于最远离的单个电线302，所述最远离的单个电线302在电连接301中的任何地方在所述方向上偏离中心线342最远。在所示的示例中，由于根据该定义，电线302以圆形环路布置，所以横截面AA为圆形。

在图6e所示的横截面中，为了简单起见，线302被描绘为圆形。然而，应当指出，实际上，依据电连接301的环路被布置地如何接近彼此，这种横截面中的电线302可以具有更为细长的形状。

在一个实施例(例如，图7d至图7e所示的实施例)中，电连接401包括未被布置在单个平面中的多个平行电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6。然后，虚拟包络体积441可以被定义为使得虚拟包络体积441在垂直于第一方向X的平面XY中的横截面BB具有多边形形状，其中多个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6中的外电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6形成多边形的角，并且多边形的边通过利用平直线段连接所述外电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6而被限定。在所示的示例中，因为所有电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6都被布置为外电线，所以多边形的角和边的数目与电线的数目(例如，6个)相对应。然而，应当指出，一个或多个电线还可以布置在多边形内，例如，布置在中心处。

再次参考图6a和图7a，有用于描述或定义应用于本发明的电连接的又一方式，即第四方式。电连接301、401包括一个或多个电线302、402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，其具有直径306、406并且在电连接301、401的第一端303、403与第二端304、404之间跨越距离305、405，其中电连接301、401被布置为使得由它生成的最大电场强度小于由具有相同直径306、406并且跨越相同的距离305、405的平直电线生成的电场强度。

例如，在图6a的布置中，电线302被布置有环路，使得环路的不同部分和/或后续环路相互影响并且一起形成或生成电场。作为这种相互作用的结果，最大电场强度小于在电线302是处于相同电压电位的平直电线的情况下的电场强度。

例如，在图7a的布置中，多个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6彼此相互作用以形成电场。结果，平均最大电场强度小于在电连接401是单个平直电线的情况下的电场强度。

对于一些实施例(例如，如图6a所示的实施例)，可以使用描述或定义应用于本发明的电连接的第五方式。根据该第五定义，电连接301包括至少一个电线302，该至少一个电线302包括位于电连接301的第一端303和第二端304之间的多个环路，该多个环路基本彼此平行布置，使得在使用期间，相邻环路的对应部分331、332隔开的距离333小于或等于例如电线302的直径306的四倍、五倍、六倍，例如，小于直径306的三倍、两倍或一倍。

对于一些实施例(例如，如图7a所示的实施例)，可以使用描述或定义应用于本发明的电连接的第六方式。根据第六定义，电连接401包括多个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，它们被布置为线束连接器并且不被布置在单个平面中，线束连接器的相邻电线402.5、402.6之间的标称距离433小于或等于例如电线402.5、402.6的直径406的四倍、五倍或六倍，例如，小于直径406的三倍、两倍或一倍。

用于定义用于本发明的电连接的第五方式和第六方式反映了：通过将电线302或电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6布置为使得附近存在电线302的另一部分或另一电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，它们可以被认为形成在它们之间具有空腔的导体。因此，它们都有助于所得电场的最大强度小于单独由电线302、402.5产生的电场的最大强度。换句话说，降低了电场的最大强度，同时维持电线直径306、406相同，并因此维持有限的机械刚度。

图8a至图8c示出了应用于本发明的电连接的另一实施例，该电连接可以以下方式描述或定义。在该实施例中，电连接501包括柱体，该柱体由导电物质502制成并且包括多个孔509。例如，孔509的总体积可以是柱体的体积的至少例如1％、5％或10％。应当指出，在本发明的上下文中，应当忽略可能存在于导电物质502的材料中的微孔。在另一实施例中，柱体可以是中空的，具有由导电物质502制成的表面区域。

然而，应当指出，图8a所示的电连接还可以以备选方式定义。例如，在图8b中示出了虚拟包络体积521，并且在图8c中描绘了虚拟包络体积521的横截面CC。可以看出，横截面CC内的导电物质502的总面积小于所述横截面CC的面积。

图8a至图8c所示的实施例中的孔509有利地降低了电连接501的机械刚度，而没有增加最大电场强度。

应当指出，尽管本文中分开描述，但是上文所公开的用于描述或定义电连接的方式中的每个方式还可以彼此组合以定义电连接。

在一个实施例(例如，如图6a至图6e所示)中，其中电连接301包括电线302，该电线302包括环路，环路直径307介于例如电线302的直径306的三倍和六倍之间，例如，介于直径306的四倍和五倍之间。环路直径307越大，电场的所述最大强度降低得越多。然而，与此同时，关于可用空间，可能存在实际限制。例如，介于电线302的直径306的三倍和六倍之间的环路直径307满足这两个要求。

在一个实施例(例如，如图7a至图7e所示)中，其中电连接401包括被布置为线束连接器的多个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，线束连接器包括至少四个平行电线。在所示的实施例中，线束连接器包括六个平行电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6。

在一个实施例中(例如，如图7a至图7e所示)，其中电连接401包括被布置为线束连接器的多个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6，多个电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6的第一端和第二端布置在圆周上。在图7a中，所述圆周与电连接401的第一端403和第二端404相对应。可选地，电线402.1、402.2、402.3、402.4、402.5、402.6等距地布置在所述圆周上。

图9描绘了根据本发明的平台装置1001的一部分。平台装置1001包括载物台1002，该载物台1002被配置为保持对象，该对象可以例如是衬底。载物台1002包括被配置为由示意性示出的电源1111充电的示意性示出的电极1112，以及被配置为连接到第一端子1005的电连接1003，该第一端子1005被电连接到与第二端子1004连接的电极，该第二端子1004电连接到电源。根据本发明，电连接1003是创新电连接的实施例，本文中描述了其中的几个示例。在所示的示例中，电连接1003包括与关于图6a至图6e所描述的实施例相似的多个环路。

再次参考图9，在一个实施例中，电极1112被配置为被充电到至少-100V、-1kV、-10kV或-100kV。电连接1003被配置为在使用期间处于相同的电压电位。电连接1003所处的电压电位越大，该电连接1003所产生的电场强度就越大。因此，通过使用根据本发明的电连接1003尽可能地降低所述电场强度变得更加重要。

在一个实施例中，平台装置1001包括定位器，该定位器包括第一定位模块1011和第二定位模块1012。第一定位模块1011被配置为定位载物台1002，而第二定位模块1012被配置为定位载物台1002和第一定位模块1011。电连接1004形成第一定位模块1011与第二定位模块1012之间的连接。如图1所示，第一定位模块1011可以与定位设备180的第一定位器相对应，而第二定位模块与定位设备180的第二定位器相对应。第一定位模块1011也可以称为短行程模块，而第二定位模块1012也可以称为长行程模块。

再次参考图9，第一定位模块1011优选地能够尽可能精确地且尽可能独立于第二定位模块1012定位载物台1002。因此，由电连接1004形成的连接应当具有低机械刚度，该低机械刚度由根据本发明的电连接1003提供。

在其他实施例中，载物台1002布置在第一定位模块1011中，而电源布置在第二定位模块1012中。

在一个实施例中，平台装置1001包括至少一个其他电连接1003，该至少一个其他电连接1003的体现方式与电连接1003相似。在所示的实施例中，平台装置1001包括六个类似电连接1003。可选地，电连接1003中的每个电连接被配置成为另一电极(图9中未示出)充电，和/或电连接1003中的一个或多个电连接1003在使用期间可以处于相互不同的电压电位。

图10图示了一个实施例，其中平台装置还包括可选电场屏蔽361，用于屏蔽电连接301的至少一部分，该可选电场屏蔽361可以例如与电连接301的至少一部分相邻布置，该电连接301在所示的示例中为电连接301，也如图6a至图6e所描绘的。电场屏蔽361防止由电连接301产生的电场影响电场屏蔽361后面的部件。电场屏蔽361可以例如是导体，该导体可以例如接地。

在所示的示例中，电场屏蔽361包括第一周围体积361.1，其包围包括第一端303的电连接301的第一部分301.1；以及第二周围体积361.2，其包围包括第二端304的电连接301的第二部分301.2。在所示的示例中，第二周围体积361.2的至少一部分的外表面361.2a小于第一周围体积361.1的至少一部分的内表面361.1a，第一周围体积361.1和第二周围体积361.2的所述部分被配置为径向相邻，从而允许第一周围体积361.1和第二周围体积361.2相对于彼此轴向移动。在一个备选实施例中，第二周围体积361.2的至少一部分的内表面可以大于第一周围体积361.1的至少一部分的外表面。

在所示的示例中，第一周围体积361.1和第二周围体积362.2在所示的示例中经由导电柔性线361.3彼此电耦合，并且第一周围体积361.1和第二周围体积362.2中的至少一个周围体积可以例如接地。然而，还可以通过或不通过导电柔性线361.3将第一周围体积361.1电连接到第一端303和/或将第二周围体积361.2电连接到第二端304。

在该实施例中，电连接301始终完全被电场屏蔽361包围，同时仍然允许电连接的一端相对于另一端移动，因为第一周围体积361.1和第二包围体积361.2能够沿轴向方向X相对移动。

在所示的实施例中，第一周围体积361.1和第二周围体积361.2被成形为中空柱体。然而，其他布置也是可能的。例如，第二周围体积361.2可以部分成形为径向尺寸与第一周围体积361.1的径向尺寸相同的中空柱体，但是具有缩窄部分，在该缩窄部分，第一周围体积361.1和第二周围体积361.2重叠。另一示例是电场屏蔽361仅包括第一周围体积361.1，该第一周围体积361.1延伸穿过电连接301的几乎整个长度，其中电连接301的一端具有一些间隙，因此基本包围第一部分301.1和第二部分301.2两者，但仍然没有在第一端303与第二端304之间引入刚性连接，并且允许第一端303与第二端304之间的相对移动。图11a还示出了电连接901的实施例，其中多个环路至少包括第一环路902a、第二环路902b和第三环路902c，其中在第一环路902a、第二环路902b和第三环路902c之中，第一环路902a被布置为最靠近第一端903。在第一环路902a、第二环路902b和第三环路902c之中，第三环路902c被布置为最靠近第二端904。第二环路902b布置在第一环路902a与第三环路902c之间，多个环路以直径增加布置进行布置，其中第一环路902a的直径小于第二环路902b的直径，而第二环路902b的直径小于第三环路902c的直径。可替代地，多个环路可以以直径减小布置进行布置，其中第一环路902a的直径大于第二环路902b的直径，并且第二环路902b的直径大于第三环路902c的直径。

图11b示出了根据本发明的电连接601的另一实施例，在这种情况下，该电连接包括以线圈形状布置的电线602.1，该线圈形状包括多个环路，其中第一环路602.1a和第二环路602.1b在图11b中由参考数字表示。可选地，第一环路602.1a的直径与第二环路602.b的直径不同，例如，多个环路包括具有相互不同直径的环路，并且进一步可选地，当沿电连接601的第一端603和第二端604之间第一方向X查看时，环路的直径单调增加或减小。例如，在所示的实施例中，第一环路602.1a的直径大于第二环路602.1b的直径，并且当沿第一方向X查看时，直径减小。

在所示的实施例中，电连接601还包括可选的第二电线602.2，该第二电线602.2以线圈形状布置，该线圈形状包括多个环路，其中当沿第一方向X查看时，环路的直径单调增加或减小。特别地，沿垂直于第一方向X的方向Y彼此相邻布置的电线602.1、602.2交替具有直径单调增大和减小的环路。因此，在所示的示例中，电线602.1具有直径减小的环路并且电线602.2具有直径增大的环路。通过像这样布置电线602.1、602.2，它们可以沿方向Y彼此更靠近地放置，并且如此消耗更少的空间。应当指出，还可以提供各自包括一个电线的两个电连接，每个电线与图11b所示的电连接601的两个电线602.1、602.2类似地布置。

换言之，电连接601包括以线圈形状布置的多个电线602.1、602.2，该线圈形状包括以增大布置或减小布置进行布置的多个环路，其中沿基本垂直于第一方向X的方向Y彼此相邻交替布置的电线被以增大布置和减小布置进行布置。应当指出，通过彼此相邻布置的多个电连接可以实现相同的效果，每个电连接包括以线圈形状布置的至少一个电线，该线圈形状包括多个环路，该多个环路以增大直径或减小直径布置进行布置。

图11c示出了电连接701的另一实施例，其中多个环路至少包括第一环路702a、第二环路702b和第三环路702c。在第一环路、第二环路和第三环路之中，第一环路702a被布置为最靠近第一端103。在第一环路、第二环路和第三环路之中，第三环路702c被布置为最靠近第二端704。第二环路702b布置在第一环路702a与第三环路702c之间，并且第二环路702b的直径小于第一环路702a的直径和第三环路702c的直径。

图11d至图11f图示了电连接801的实施例，其中与多个环路中的至少一个其他环路802b相比较，多个环路中的至少一个环路802a以相反方向缠绕。这分别在图11e和图11f所描绘的横截面DD、EE中图示。通过使环路802a、802b沿相反方向弯曲，当电流流过电线802时生成的磁场对于每个环路802a、802b是相反的。因此，所述磁场至少部分相互抵消并且所得磁场被减小，从而降低影响例如平台装置或电子束检查工具中的其他周围部件的风险。

在一个实施例中，根据本发明的电连接可以包括具有非圆形横截面的一个或多个电线。例如，所述电线可以具有椭圆形横截面，例如，沿着电连接的外表面的切线更长。

在一个实施例中，可以预先张紧电连接的一个或多个电线(例如，呈线圈形状)。这可以在加速发生时减少不想要的(例如，侧向)偏转，并且增加横向谐振模式的频率。

可以在以下条款中对其他实施例进行描述：

1.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极，以及被配置为将第一端子连接到第二端子的电连接，第一端子被电连接到电极，第二端子被电连接到电源，该电连接：

·包括具有直径并且在电连接的第一端和第二端之间的第一方向跨越一定距离的一个或多个电线的空间布置，

·被配置为使用时产生电场，该电场由等效电直径部分确定，该等效电直径：

·由一个或多个电线的空间布置限定，并且

·当以基本平直方式布置且用于沿第一方向跨越该距离时等于电等效电线的直径，其中电等效电线将产生最大强度基本相同的电场，

其中等效电直径大于一个或多个电线的任何直径。

2.根据条款1的平台装置，其中电连接还包括

·机械刚度，

·其表示沿第一方向压缩或拉伸电连接达单位长度所需的力，

·针对该机械刚度，确定等效机械直径，其中等效机械直径：

·当以基本平直方式布置并且用于沿第一方向跨越该距离时等于机械等效电线的直径，并且其中机械等效电线将包括与电连接相同的机械刚度，

其中等效电直径大于等效机械直径。

3.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极，以及被配置为将第一端子连接到第二端子的电连接，第一端子被电连接到电极，第二端子被电连接到电源，

其中电连接包括一个或多个电线，每个电线都具有长度和直径，该一个或多个电线被布置为使得使用时对于沿着每个电线的长度的至少例如75％、80％、85％、90％、95％或99％的位置，电线中的一个电线的至少一个电线分段被布置在电线的所述位置附近，其中被布置在附近被定义为被布置在沿垂直于所述位置的电线的方向的小于或等于电线的直径的4倍、5倍或6倍的距离处。

4.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极以及被配置为将第一端子连接到第二端子的电连接，第一端子被电连接到电极，第二端子被电连接到电源，其中电连接：

·包括导电物质，并且

·沿第一方向在电连接的第一端和第二端之间跨越一定距离，

·电连接还包括虚拟包络体积，该虚拟包络体积被定义为包括基本所有导电物质，其中

·电连接的外部限定虚拟包络体积的外边界，以及

·虚拟包络体积包括体积为虚拟包络体积的体积的至少1％、5％或10％的空隙，

其中对于虚拟包络体积的每个横截面，横截面内的导电物质的总面积小于所述横截面的面积。

5.根据条款4所述的平台装置，其中所述虚拟包络体积被定义为使得所述虚拟包络体积在垂直于第一方向的平面中的任何横截面具有相同的形状。

6.根据条款4或条款5所述的平台装置，其中所述电连接包括多个平行电线，该多个平行电线未布置在单个平面中，其中虚拟包络体积被定义为使得虚拟包络体积在垂直于第一方向的平面中的横截面具有多边形形状，其中多个电线中的外电线形成多边形的角，并且多边形的边通过利用平直线分段连接所述外电线而限定。

7.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极，以及被配置为将第一端子连接到第二端子的电连接，第一端子被电连接到电极，第二端子被电连接到电源，

其中电连接一个或多个电线，该一个或多个电线具有直径并且在电连接的第一端和第二端之间跨越一定距离，并且其中电连接被布置为使得由电连接生成的最大电场强度小于直径相同且跨越相同距离的平直电线所生成的最大电场强度。

8.根据条款1至6中一项或多项所述的平台装置，其中所述电连接包括至少一个电线，该至少一个电线包括多个环路，该多个环路位于电连接的第一端和第二端之间，该多个环路基本彼此平行布置，使得在使用期间，相邻环路的对应部分被间隔开小于或等于电线的直径的4倍、5倍或6倍的距离。

9.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极，以及被配置为将第一端子连接到第二端子的电连接，第一端子被电连接到电极，第二端子被电连接到电源，

该电连接包括至少一个电线，该至少一个电线包括多个环路，该多个环路位于电连接的第一端和第二端之间，该多个环路基本彼此平行布置，使得在使用期间，相邻环路的对应部分被间隔开小于或等于电线的直径的4倍、5倍或6倍的距离。

10.根据条款8或条款9所述的平台装置，其中环路直径介于电线的直径的3倍与6倍之间。

11.根据前述条款中一项或多项所述的平台装置，其中电连接包括多个电线，该多个电线被布置为线束连接器且非布置在单个平面内，该线束连接器的相邻电线之间的标称距离小于或等于电线的直径的4倍、5倍、或6倍。

12.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极，以及被配置为将第一端子连接到第二端子的电连接，第一端子被电连接到电极，第二端子被电连接到电源，

其中电连接包括多个电线，该多个电线被布置为线束连接器且非布置在单个平面内，该线束连接器的相邻电线之间的标称距离小于或等于电线的直径的4倍、5倍、或6倍。

13.根据条款11或条款12所述的平台装置，其中线束连接器包括至少4个平行电线。

14.根据条款11至13中一项或多项所述的平台装置，其中多个电线的第一端和第二端被布置在圆周上。

15.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极，以及被配置为将第一端子连接到第二端子的电连接，第一端子被电连接到电极，第二端子被电连接到电源，

其中电连接包括柱体，该柱体由导电物质制成并且包括多个孔。

16.根据前述条款中一项或多项所述的平台装置，其中电极被配置为通过电源并且经由电连接充电到至少-100V、-1kV、-10kV或-100kV。

17.根据前述条款中一项或多项所述的平台装置，还包括电场屏蔽，该电场屏蔽用于屏蔽电连接的至少一部分。

18.根据条款17所述的平台装置，其中电场屏蔽包括包围包括第一端的电连接的第一部分的第一周围体积以及包围包括第二端的电连接的第二部分的第二周围体积，其中第二周围体积的至少一部分的外表面小于第一周围体积的至少一部分的内表面，或第二周围体积的至少一部分的内表面大于第一周围体积的至少一部分的内表面，第一周围体积和第二周围体积的所述一部分被配置为径向相邻，从而允许第一周围体积和第二周围体积相对于彼此轴向移动。

19.根据条款18所述的平台装置，其中第一周围体积和/或第二周围体积被成形为中空柱体。

20.根据前述条款中的一项或多项所述的平台装置，包括至少一个另一电连接，该至少一个另一电连接包括一个或多个电线，该一个或多个电线的布置与电连接的一个或多个电线的布置基本相同。

21.根据前述条款中一项或多项所述的平台装置，包括：

·定位器，包括第一定位模块和第二定位模块，其中

·第一定位模块被配置为定位载物台，以及

·第二定位模块被配置为定位载物台和第一定位模块，

其中第一定位模块包括电连接到电极的第一端子，而第二定位模块包括电连接到电源的第二端子。

22.根据条款21所述的平台装置，其中载物台被布置在第一定位模块中而电源布置在第二定位模块中。

23.根据前述条款中一项或多项所述的平台装置，其中电连接包括以线圈形状布置的至少一个电线，该线圈形状包括多个环路。

24.根据条款23所述的平台装置，其中多个环路至少包括第一环路和第二环路，其中第一环路的直径与第二环路的直径不同。

25.根据条款24所述的平台装置，多个环路至少包括第一环路、第二环路和第三环路，其中

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第一环路被布置为最靠近第一端，

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第三环路被布置为最靠近第二端，

·第二环路被布置在第一环路与第三环路之间，

·多个环路以增大方式布置，其中第一环路的直径小于第二环路的直径而第二环路的直径小于第三环路的直径，或

多个环路以减小方式布置，其中第一环路的直径大于第二环路的直径而第二环路的直径大于第三环路的直径。

26.根据条款25的平台装置，

·其中电连接包括多个电线，该多个电线以线圈形状布置，所述线圈形状包括以增大布置或减小布置进行布置的多个环路，

·其中沿基本垂直于第一方向的方向交替地彼此相邻布置的电线以增大布置和减小布置进行布置。

27.根据条款24所述的平台装置，其中多个环路至少包括第一环路、第二环路和第三环路，其中

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第一环路被布置为最靠近第一端，

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第三环路被布置为最靠近第二端，

·第二环路被布置在第一环路与第三环路之间，以及

·其中第二环路的直径小于第一环路和第三环路的直径。

28.根据条款8至10、23至27中一项或多项所述的平台装置，其中与多个环路中的至少一个其他环路相比较，多个环路中的至少一个环路以相反方向缠绕。

29.一种装置，包括根据前述条款中一项或多项所述的平台装置，其中该装置是光刻装置、计量装置、粒子束装置、电子束装置、电子束检查装置或检查装置。

30.一种平台装置，包括：

载物台，被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极和被配置为将电极电连接到电源的电连接；以及

电场屏蔽，被配置为屏蔽电连接的至少一部分。

31.根据条款30所述的平台装置，其中电场屏蔽被布置在电连接与对象之间，并且其中电极被电源施加第一电压并且对象处于第二电压，该第二电压与第一电压不同。

32.根据条款30或31所述的平台装置，其中电连接包括一个或多个电线。

33.根据条款30至32中任一项所述的平台装置，其中电连接包括一个或多个线圈。

34.根据条款30至33中任一项所述的平台装置，还包括定位器，该定位器包括第一定位模块和第二定位模块，其中

·第一定位模块被布置为定位载物台，以及

·第二定位模块被配置为定位载物台和第一定位模块。

35.根据条款34所述的平台装置，其中第一定位模块是精细定位模块而第二定位模块是粗定位模块。

36.根据条款35所述的平台装置，其中电连接连接电极和第二定位模块，或其中电连接连接第一定位模块和第二定位模块。

37.根据条款36所述的平台装置，其中电场屏被蔽布置在电连接与第二定位模块的一部分之间，并且其中电极被电源施加第三电压，并且第二定位模块的一部分处于第四电压，该第四电压与第三电压不同。

38.一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极和被配置为将电极电连接到电源的电连接，以及

其中电连接包括一个或多个线圈、或被布置在圆周上的一个或多个电线。

39.根据条款38所述的平台装置，其中一个或多个线圈包括多个环路，并且其中多个环路至少包括第一环路和第二环路，其中第一环路的直径与第二环路的直径不同。

40.根据条款39所述的平台装置，多个环路至少包括第一环路、第二环路和第三环路，其中

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第一环路被布置为最靠近电连接的第一端，

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第三环路被布置为最靠近电连接的第二端，

·第二环路被布置在第一环路与第三环路之间，

·多个环路以增大布置进行布置，其中第一环路的直径小于第二环路的直径而第二环路的直径小于第三环路的直径，或

多个环路以减小布置进行布置，其中第一环路的直径大于第二环路的直径而第二环路的直径大于第三环路的直径。

41.根据条款40的平台装置，

·其中一个或多个线圈中的至少两个线圈的多个环路以增大布置和减小布置中的一种布置进行布置，

·其中沿基本垂直于电连接的方向的方向彼此相邻布置的一个或多个线圈中的至少两个线圈以增大布置和减小布置交替地布置。

42.根据条款39所述的平台装置，其中多个环路至少包括第一环路、第二环路和第三环路，其中

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第一环路被布置为最靠近电连接的第一端，

·在第一环路、第二环路和第三环路之中，第三环路被布置为最靠近电连接的第二端，

·第二环路被布置在第一环路与第三环路之间，以及

·其中第二环路的直径小于第一环路的直径或第三环路的直径。

43.根据条款39至42中任一项所述的平台装置，其中与多个环路中至少一个其他环路相比较，多个环路中的至少一个环路以相反方向缠绕。

44.一种装置，包括根据条款30至43中任一项所述的平台装置，其中该装置是光刻装置、计量装置、粒子束装置、电子束装置、电子束检查装置或检查装置。

应当指出，尽管本文中示出了几个实施例，但是在没有背离本发明的范围的情况下，一个或多个电线的许多其他布置也是可能的。例如，代替环路，可以以曲折形状或其他弯曲形状来布置电线。

应当指出，尽管主要关于电子束检查工具对本文中的电连接和平台装置进行描述，但是它们还可以应用于其他应用。

本发明还涉及一种包括装置，该装置根据本发明的平台装置，其中该装置是光刻装置、计量装置、粒子束装置、粒子束检查装置或检查装置。

尽管本发明已经关于其优选实施例进行了解释，但是应当理解，在没有背离如以下所要求保护的本发明的精神和范围的情况下，可以做出其他修改和变化。