包括多束粒子显微镜的系统及其操作方法
阅读说明：本技术 包括多束粒子显微镜的系统及其操作方法 (System comprising a multibeam particle microscope and method of operating the same ) 是由 D.蔡德勒 N.卡默 C.克鲁格 于 2020-01-14 设计创作，主要内容包括：公开了一种包括用于逐层成像3D样品的多束粒子显微镜和具有多层架构的计算机系统的系统。当不同处理系统之间的数据交换和/或源自不同检测通道的数据发生时,多层架构允许通过逐渐降低并行处理速度的量来优化图像处理。此外,公开了一种用于逐层成像3D样品的方法,以及具有用于实行所公开的方法的程序代码的计算机程序产品。(A system including a multi-beam particle microscope for layer-by-layer imaging of a 3D sample and a computer system having a multi-layer architecture is disclosed. The multi-layer architecture allows for optimizing image processing by progressively reducing the amount of parallel processing speed when data exchange between different processing systems and/or data originating from different detection channels occurs. Furthermore, a method for layer-by-layer imaging of a 3D sample is disclosed, as well as a computer program product with program code for carrying out the disclosed method.)
技术领域
本发明涉及带电粒子束系统和方法。更具体地，本发明涉及包括用于对3D样品成像的多束粒子显微镜和指定计算机系统架构的系统。此外，本发明涉及用于逐层成像3D样品的方法以及对应的计算机程序产品。本发明特别适用于集成电路的反向工程。
背景技术
单束粒子显微镜已经被知道了很长一段时间。这其中，单束经由粒子光学系统聚焦到要检查的物体上并对后者进行扫描。粒子束可以是离子束或电子束。从粒子束入射的位置发射的二次粒子(诸如电子)被检测，并且检测的粒子强度被分配给物体上扫描粒子束当前指向的位置。因此，可以生成物体的粒子光学图像。用粒子束扫描粒子显微镜的视场需要时间。视场的范围是有限的。如果旨在扫描物体的相对较大部分，则必须相对于粒子显微镜移动物体以扫描更大的视场。这继而需要时间。对可以在较短的时间内扫描许多物体和相对较大物体的粒子显微镜存在需求。可想到为这样的问题提供更多数目的单束粒子显微镜，这些显微镜并行操作以同时扫描多个物体。然而，这是一个非常昂贵的解决方案，因为必须为每个单独的粒子束提供具有粒子光学件的专用粒子显微镜。
在此，多束粒子显微镜形成了一种很有前景的方法，因为多个粒子束被共同引导穿过单个粒子光学装置，以用一束粒子束同时扫描要检查的物体。
单束粒子显微镜以及多束粒子显微镜的典型应用是3D样品的结构分析，特别是反向工程。对于3D样品的结构分析，可以组合成像过程和去层过程。然后逐层完成3D样品的成像。通过对各个层的完全堆叠体进行成像所取得的数据允许重构3D样品的3D数据集合。然而，当成像中需要高分辨率时，例如要实现纳米级的立体像素尺寸，必须收集和处理海量数据。这会导致很长的处理时间。特别是当逐层成像过程和破坏性去层技术相组合时，这些长处理时间是重构速度的瓶颈。在此，重要的是在该层被不可逆地破坏之前就验证对于一个指定层所收集的数据。因此，减少前面的图像处理时间以便在下一个去层步骤之前就可以验证数据是一项挑战。
US 2015/0348749 A1公开了一种多束粒子显微镜及其操作方法，其中处理大量数据。
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