具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请实施例中所有方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

本实施例涉及的技术方案适用于半导体领域及其它领域的应用，涉及的其它领域包括但不限于生活、工业制造、通用机械等，只要本实施例涉及的技术方案能够对相应领域的应用产生实际效果，即可实施。优选的，作为应用之一，本实施例涉及的技术主要以半导体领域的应用为主，目的在于保障在半导体领域生产制造的安全性。

某一去胶机，其包括用于片盒传送的输送模块，还包括若干个用于去胶处理的工艺模块，任意工艺模块与输送模块之间有经常拆卸的需求，输送模块也有单台销售，与其他工艺单元组合的需求。原先设计时，输送模块和待连接的工艺模块仅仅采取螺柱紧固，装配时较难对准紧固，模块之间的锁定效率低；且，当模块之间需要解锁分离时，需拆卸螺丝，因工艺模块重心偏重，有侧移和倾覆的危险，威胁维护人员的安全；如用螺丝限位，则每次拉走模块，都需要依次脱开四个螺柱，做不到便捷拆卸，拆卸效率低。

基于上述技术问题，本申请实施例设计了一种自锁结构，以解决上述问题。

图1为本申请实施例的一种自锁结构处于锁定状态的结构示意图，结合图1，本申请实施例的自锁结构，适用于第一模块4和第二模块5的锁定，其包括连接件1、导向件2以及锁止件3。

图2为本申请实施例的第一模块的部分结构示意图，图3为图2的主视示意图，结合图2以及图3，本申请实施例的第一模块4上设置有第一通孔7。

图4为本申请实施例的第二模块的部分结构示意图，结合图4，本申请实施例中，第二模块5设置有第二通孔8以及第三通孔9，第三通孔9连通设置在第二通孔的上方，当操作第一模块4和第二模块5靠近锁紧时，第二通孔8和第一通孔7对接连通。

图5为图1中的连接件和导向件的结构示意图，图6为图5所示的连接件和导向件在第一模块上的装配示意图，结合图1、图5以及图6，本申请实施例的连接件1的第一端可锁紧地设置在第一模块4的第一通孔内7，连接件1的第二端可活动地设置在第二模块5的第二通孔8内，导向件2固定设置在连接件1的第二端，导向件2的顶部高于连接件1的顶部，导向件2远离连接件1的一端为导向面10，该导向面10为斜面，该导向面10的顶端向连接件1的方向延伸，导向件2的顶部设置导向槽11，导向槽11沿连接件的长度方向设置。

结合图1-图3，以及图5和图6，本申请实施例中，第一模块4上设置有第一通孔7可以为腰形孔，而连接件1可以为方形，连接件1的第一端可在第一通孔7内沿第一通孔7的长度方向活动，连接件1的第一端通过螺钉6锁紧在第一模块4上，这样可对连接件1在第一通孔7的宽度方向进行微调，调整到位后，通过螺钉6即可将连接件1相对固定设置在第一模块4上。

结合图5，本申请实施例中，导向件2和连接件1均可呈块状，导向件2可采用一体成型的方式固定设置在连接件1的第二端上，当然，其也可以采用焊接等其他固定方式连接，本申请实施例对此不作限制。

结合图5，本申请实施例中，导向件2的底部和连接件1的底部可齐平设置，而导向件2的顶部高于连接件1的顶部，这样导向件2可以和连接件1之间形成具有高度差的阶梯，该阶梯可以用于限制锁止件1的移动。

另外，本申请实施例中，导向件2的顶部可以为一条直线，即导向面10的顶端直接延伸至导向件2面向连接件1的一侧，此时，导向件2整体呈直角三角形；当然，本申请实施例中，导向件2的顶部可以为平面，即导向面10的顶端延伸至导向件2的顶面的中部，此时，导向件2整体呈直角梯形。

进一步地，结合图5，本申请实施例中，导向槽11的底部和连接件1的顶面齐平，以方便锁止件2在导向槽11中的滑道。

图7为图1中的锁止件的结构示意图，图8为图7所示的锁止件在第二模块上的处于第一种状态下的装配示意图，图9为图7所示的锁止件在第二模块上的处于第二种状态下的装配示意图，结合图7-9，本申请实施例中，锁止件3的顶端301设置在第三通孔9的上端，锁止件3的底端303活动穿过第三通孔9，锁止件3的底端303设置在第二通孔7内，锁止件3的底端303可操作地遮挡导向槽11或在导向槽11中滑动。

进一步地，结合图7，本申请实施例中，锁止件3的顶端301可以为一个螺帽，其大于第三通孔9的孔径，以使锁止件3可以悬挂在第二模块5的第三通孔9上。

结合图7，本申请实施例中，锁止件3的底端303的第一方向的长度尺寸大于锁止件3的底端303的第二方向的长度，锁止件3的底端303的第一方向的长度尺寸大于导向槽11的宽度尺寸，锁止件3的底端303的第二方向的长度尺寸不大于导向槽11的宽度尺寸，第一方向和第二方向垂直，即本申请实施例中的锁止件3具有两种使用状态，第一种状态下，操作锁止件3，使锁止件3的第一方向和导向槽11的长度方向垂直，此时，锁止件3无法在导向件2的导向槽11中滑动，锁止件被导向件2和连接件1形成的阶梯阻挡；另一种状态为，操作锁止件3，使锁止件3的第二方向和导向槽11的长度方向垂直，此时，锁止件3可在导向件2的导向槽11中滑动。

本申请实施例中，锁止件3的底端303可以大致呈矩形，锁止件303的底端的第一方向和第二方向即为该矩形的长度方向和宽度方向。

在一些实施例中，锁止件3的底端303也可以呈其他形状，只要能实现上述功能即可，本申请实施例对此不做限制。

优选地，结合图7，本申请实施例中，锁止件3的顶端301的第一方向的长度尺寸大于锁止件3的顶端301的第二方向的长度，这样，锁止件3的顶端301的尺寸和锁止件3的底端303的尺寸相一致，以方便通过操作锁止件3的顶端301实现对锁止件3的方位的操作。

进一步地，结合图7，本申请实施例中，锁止件3的中部302可以呈方形，锁止件3的底端303的正投影位于锁止件3的中部302的正投影的内部，即锁止件3的中部302尺寸大于锁止件3的底端303尺寸，以提高锁止件3的连接强度。

本申请实施例所提供的一种自锁结构，在实际实施时，当第一模块4和第二模块5需要锁定时，先将锁止件3的底端303通过第二模块5的第三通孔9下放至第二模块5的第二通孔8中，在第一模块4和第二模块5相互靠近的过程中，连接件1的第二端和导向件2插入到第二模块5的第二通孔8中，此过程中，锁止件3的底端303在导向件2的导向面10的作用下顶起，锁止件3相对连接件1上升，当第一模块4和第二模块5贴合后，锁止件3下落到连接件1的顶面上，并被导向件2限制其移动位置，此时，锁止件3的底端303遮挡导向槽11，第一模块4和第二模块5相对锁死固定；当第一模块4和第二模块5需要解锁分离时，操作锁止件3转换方位，使锁止件3的底端303在导向槽11中滑动，第一模块4和第二模块5可相互脱离，即可解除两个模块的锁死状态，由于导向槽11的导向功能，可避免解锁分离后的第一模块4和第二模块5的移动。

另外，本申请实施例还公开了一种设备，所述设备包括第一模块4和多个第二模块5，第一模块4可选择地与第二模块5通过上述自锁结构连接。

将上述自锁结构运用到去胶机上时，去胶机的输送模块即为该自锁结构的第一模块，图10为输送模块的结构示意图，结合图10，连接件1可以在去胶机的输送模块上间隔设置有多个，去胶机的工艺模块即为该自锁结构的第二模块，图11为某一工艺模块的结构示意图，结合图11，锁止件3也相应的设置有多个，通过多个自锁机构的同步作用，可快速实现去胶机的输送模块和选择的工艺模块的连接锁定以及解锁分离，操作效率高。

综上所述，本申请实施例所示的自锁结构，能快速实现两个模块的锁定或者接触锁定，提高操作效率，且解除锁定后，两个模块可安装导向槽的方向定向移动，从而可避免模块移动撞到维护人员的危险，具有很好的适用价值。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的普通技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。