具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

磁悬浮分子泵是利用磁轴承产生电磁力使转子悬浮在空中，实现转子和定子之间无机械接触且转子位置可主动控制的一种新型高性能分子泵。

目前针对在分子泵运转过程中普通涡轮高速转子，通常使用红外射线测温仪进行非接触式温度测量。非接触式温度测量，不会破坏温度场，测温范围广，响应速度快。但当涡轮覆盖有涂层或表面进行过其他处理，红外射线反射会发生变化，红外射线测温仪测量的涡轮温度会与实际温度相差较大。

为了解决上述技术问题，本申请实施例提供一种温度测量方法、装置及系统、计算机可读存储介质，以实现对使用非接触测温方法得到的不准确温度进行校准的目的。比如，使用本申请实施例提及的方法校准红外射线测量高速运转的表面镀镍等光面金属的磁悬浮分子泵涡轮温度。本申请实施例能做到实时、准确，实用性、可操作性强，无需人工手动测量参与。下面结合图1至图6详细介绍本申请实施例提及的温度测量方法。

图1所示为本申请一实施例提供的温度测量方法的流程示意图。如图1所示，本申请实施例提供的温度测量方法包括如下步骤。

步骤S11，基于待测温器件对应的接触式测温设备，确定待测温器件对应的接触温度数据。

本申请实施例对待测温器件不做限定。例如，待测温器件可以是高速运转的表面镀镍等有其他涂层的磁悬浮分子泵涡轮。

示例性地，接触式测温设备是指测量过程中需要设备接触待测温器件来获得待测温器件的温度的测温设备，比如利用金属材料、半导体材料等制成的热电阻式传感器，或者热电偶式传感器等等。

步骤S12，基于待测温器件对应的非接触式测温设备，确定待测温器件对应的非接触温度数据。

示例性地，非接触式测温设备是指测量过程中无需设备接触待测温器件，就能获得待测温器件的温度的测温设备，比如光学高温计、辐射高温计或比色温度计等，又比如可见光传感器或红外射线传感器等。

步骤S13，基于接触温度数据和非接触温度数据，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系。

本申请实施例提供的温度测量方法，能够借助接触温度数据和非接触温度数据来确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系，以便基于该温度测量关系，确定利用非接触式测温设备测得的待校准非接触温度值对应的校准温度值。流程简单，实用性、可操作性强。

图2所示为本申请一实施例提供的确定温度测量关系的流程示意图。在图1所示实施例基础上延伸出图2所示实施例，下面着重叙述图2所示实施例与图1所示实施例的不同之处，相同之处不再赘述。

如图2所示，在本申请实施例提供的温度测量方法中，基于接触温度数据和非接触温度数据，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系，包括如下步骤。

步骤S131，基于接触温度数据和非接触温度数据，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的修正系数。

修正系数是基于标准指标而言，需要做出的调整修正的量化数据。

步骤S132，基于修正系数确定温度测量关系。

本申请实施例提供的确定温度测量关系的步骤，基于修正系数来确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系，通过量化达到科学、有效地开展实践应用。

示例性地，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的修正系数，是基于接触温度数据和非接触温度数据，利用数据拟合方式确定修正系数。数据拟合方式可以采用线性拟合方式和/或非线性拟合方式。

图3所示为本申请一实施例提供的采用数据拟合方式确定修正系数的流程示意图。在图2所示实施例基础上延伸出图3所示实施例，下面着重叙述图3所示实施例与图2所示实施例的不同之处，相同之处不再赘述。

如图3所示，在本申请实施例中，基于接触温度数据和非接触温度数据，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的修正系数，包括如下步骤。

步骤S1311，设定接触式测温设备测得的温度与非接触式测温设备测得的温度有如下线性关系式：T_pt＝A×T_ir+B。

其中，T_pt代表接触式测温设备测得的温度；T_ir代表非接触式测温设备测得的温度；A、B为线性拟合出来的修正系数。

步骤S1312，使用接触温度数据和非接触温度数据进行拟合，确定修正系数A和B。

步骤S1313，基于修正系数确定温度测量的关系式，即确定了A和B后的温度测量关系。

本申请实施例提供的确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的修正系数的步骤，采用线性拟合确定修正系数，更直观与便捷。

可选地，为了提升准确度，还可以使用非线性拟合来确定修正系数，以确定温度测量的关系式。

图4所示为本申请一实施例提供的确定待测温器件对应的接触温度数据的流程示意图。在图1所示实施例基础上延伸出图4所示实施例，下面着重叙述图4所示实施例与图1所示实施例的不同之处，相同之处不再赘述。

具体地，在本申请实施例中，待测温器件包括磁悬浮分子泵的涡轮，且涡轮的表面覆盖有涂层。如图4所示，在本申请实施例中，基于待测温器件对应的接触式测温设备，确定待测温器件对应的接触温度数据，包括如下步骤。

步骤S111，开启磁悬浮分子泵以使涡轮的温度升高至预设温度。

示例性地，预设温度可以设为材料耐受极限温度。

步骤S112，降低磁悬浮分子泵的转速至零，以使磁悬浮分子泵处于停机状态。

可以理解，转速降为零，涡轮进入自然冷却状态。

步骤S113，在停机状态下，利用接触式测温设备测量涡轮转子端面的温度，得到接触温度数据。

示例性地，启动推拉式电磁铁，通过线圈通电使接触式测温探头底端下沉至与涡轮转子端面接触，位于探头底面的温度传感器对涡轮的温度进行测量，获取一定时间点的多个温度值。之后就可以将电磁铁断电，将接触式测温探头离开转子端面。

同理，图5所示为本申请一实施例提供的确定待测温器件对应的非接触温度数据的流程示意图。如图5所示，在本申请实施例中，基于待测温器件对应的非接触式测温设备，确定待测温器件对应的非接触温度数据，包括如下步骤。

步骤S121，开启磁悬浮分子泵以使涡轮的温度升高至预设温度。

如前所述，示例性地，预设温度可以设为材料耐受极限温度。

步骤S122，降低磁悬浮分子泵的转速至零，以使磁悬浮分子泵处于停机状态。

步骤S123，在停机状态下，利用非接触式测温设备测量涡轮转子端面的温度，得到非接触温度数据。

获取与S113中相同时间点的红外射线测温部件测量的转子端面的多个温度值。可选地，红外射线测温部件可以测量接触式测温探头所测量部位的对称部位的温度，是为了避免接触测温部件与红外射线测温部件测量同一部位或相近部位造成温度场互相影响。

以上申请实施例提供的确定待测温器件对应的接触温度数据和非接触温度数据的步骤，为了防止破真空现象的发生，导致温度速降不利于准确测量，可以在真空状态下进行以上步骤，提升准确度的同时避免了污染物的进入。即，磁悬浮分子泵的内部保持真空状态。

按如上步骤确定了待测温器件对应的接触温度数据和非接触温度数据后，即可以按照步骤S1311至S1313进行数据拟合，确定出接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系，以便基于该温度测量关系，确定利用非接触式测温设备测得的待校准非接触温度值对应的校准温度值。

图6所示为本申请另一实施例提供的温度测量方法的流程示意图。如图6所示，本申请实施例提供的温度测量方法包括如下步骤。

步骤S1，确定待测温器件对应的接触式测温设备和非接触式测温设备之间的温度测量关系。

示例性地，步骤S1中提及的温度测量关系可基于上述任一实施例提及的温度测量方法得到。

步骤S2，获取非接触式测温设备测得的待校准非接触温度值。

举例说明，可以是使用红外射线测温部件来测量转子端面的实时非接触温度值。此时可以是泵停机状态，也可以是泵运转状态。

步骤S3，根据温度测量关系和待校准非接触温度值，确定待校准非接触温度值对应的校准温度值。

举例说明，此步即是将步骤S2获取的温度值，即T_ir代入如步骤S1313确定的关系式中，求出对应的T_pt，即是校准后的温度值。

可选地，为方便起见，可以只有首次进行步骤S11至步骤S13来确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系。可选地，之后就可以根据首次获得的关系进行接下来的温度测量步骤，即步骤S1至S3。即只要确定了关系，就可以在任意时刻测量涡轮温度，不妨碍泵正常工作。

上文结合图1至图6，详细描述了本申请的方法实施例，下面结合图7和图8详细描述本申请的装置实施例。应理解，方法实施例的描述与装置实施例的描述相互对应，因此，未详细描述的部分可以参见前面方法实施例。

图7所示为本申请一实施例提供的温度测量装置的结构示意图。如图7所示，本申请实施例提供的温度测量装置包括第一确定模块10、第二确定模块20和第三确定模块30。

具体地，第一确定模块10用于基于待测温器件对应的接触式测温设备，确定待测温器件对应的接触温度数据。第二确定模块20用于基于待测温器件对应的非接触式测温设备，确定待测温器件对应的非接触温度数据。第三确定模块30用于基于接触温度数据和非接触温度数据，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系，以便基于该温度测量关系，确定利用非接触式测温设备测得的待校准非接触温度值对应的校准温度值。

在一些实施例中，第三确定模块30还用于，基于接触温度数据和非接触温度数据，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的修正系数，基于修正系数确定温度测量关系。

在一些实施例中，第三确定模块30还用于，设定接触式测温设备测得的温度与非接触式测温设备测得的温度有如下线性关系式：T_pt＝A×T_ir+B，使用接触温度数据和非接触温度数据进行拟合，确定修正系数A和B，基于修正系数确定温度测量的关系式，即确定了A和B后的温度测量关系。

在一些实施例中，待测温器件包括磁悬浮分子泵的涡轮，且涡轮的表面覆盖有涂层。第一确定模块10还用于，开启磁悬浮分子泵以使涡轮的温度升高至预设温度，降低磁悬浮分子泵的转速至零，以使磁悬浮分子泵处于停机状态，在停机状态下，利用接触式测温设备测量涡轮转子端面的温度，得到接触温度数据。

在一些实施例中，待测温器件包括磁悬浮分子泵的涡轮，且涡轮的表面覆盖有涂层。第二确定模块20还用于，开启磁悬浮分子泵以使涡轮的温度升高至预设温度，降低磁悬浮分子泵的转速至零，以使磁悬浮分子泵处于停机状态，在停机状态下，利用非接触式测温设备测量涡轮转子端面的温度，得到非接触温度数据。

图8所示为本申请另一实施例提供的温度测量装置的结构示意图。如图8所示，本申请实施例提供的温度测量装置包括第四确定模块40、第五确定模块50和获取模块60。

具体地，第四确定模块40用于确定待测温器件对应的接触式测温设备和非接触式测温设备之间的温度测量关系。

获取模块60用于获取非接触式测温设备测得的待校准非接触温度值。

第五确定模块50用于根据温度测量关系和待校准非接触温度值，确定待校准非接触温度值对应的校准温度值。

下面，参考图9来描述根据本申请实施例的温度测量系统。图9所示为本申请一实施例提供的温度测量系统的结构示意图。如图9所示，温度测量系统80包括处理器810、接触式测温设备820和非接触式测温设备830。

进一步地，在一些实施例中，接触式测温设备采用接触式测温探头，非接触式测温设备采用红外射线测温部件，可制成与分子泵入口法兰尺寸一致，方便安装，且安装一次，无需反复拆装，不影响磁悬浮分子泵的正常使用，如图10所示。图10所示为本申请一实施例提供的温度测量系统安装后的示意图。其中，100代表磁悬浮分子泵，200代表接触式测温探头，300代表红外射线测温部件。红外射线测温部件负责测量泵运转及停机时转子端面的温度；接触式测温部件测量泵停机状态下红外射线测温位置对侧的转子端面的温度。

处理器810可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)或者具有数据处理能力和/或指令执行能力的其他形式的处理单元，并且可以控制温度测量装置中的其他组件以执行期望的功能。

在一个示例中，温度测量系统80还可以包括：输入装置840和输出装置850，这些组件通过总线系统和/或其他形式的连接机构(未示出)互连。

该输入装置840可以包括例如键盘、鼠标等等。用于选择或输入接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系式，或输入一些待校准数据等。

该输出装置850可以向外部输出各种信息，包括实时校准后温度值等。该输出装置850可以包括例如显示器、扬声器、打印机、以及通信网络及其所连接的远程输出设备等等。

当然，为了简化，图9中仅示出了该温度测量系统80中与本申请有关的组件中的一些，省略了诸如总线、输入/输出接口等等的组件。除此之外，根据具体应用情况，温度测量系统80还可以包括任何其他适当的组件。

除了上述方法和设备以外，本申请的实施例还可以是计算机程序产品，其包括计算机程序指令，计算机程序指令在被处理器运行时使得处理器执行本说明书上述描述的根据本申请各种实施例的温度测量方法中的步骤。

计算机程序产品可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本申请实施例操作的程序代码，程序设计语言包括面向对象的程序设计语言，诸如Java、C++等，还包括常规的过程式程序设计语言，诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。

此外，本申请的实施例还可以是计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，计算机程序指令在被处理器运行时使得处理器执行本说明书上述描述的根据本申请各种实施例的温度测量方法中的步骤。

计算机可读存储介质可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以包括但不限于电、磁、光、电磁、红外射线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(Erasable Programmable Read-OnlyMemory，EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(Compact Disc Read-OnlyMemory，CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

以上结合具体实施例描述了本申请的基本原理，但是，需要指出的是，在本申请中提及的优点、优势、效果等仅是示例而非限制，不能认为这些优点、优势、效果等是本申请的各个实施例必须具备的。另外，上述公开的具体细节仅是为了示例的作用和便于理解的作用，而非限制，上述细节并不限制本申请为必须采用上述具体的细节来实现。

本申请中涉及的器件、装置、设备、系统的方框图仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照方框图示出的方式进行连接、布置、配置。如本领域技术人员将认识到的，可以按任意方式连接、布置、配置这些器件、装置、设备、系统。诸如“包括”、“包含”、“具有”等等的词语是开放性词汇，指“包括但不限于”，且可与其互换使用。这里所使用的词汇“或”和“和”指词汇“和/或”，且可与其互换使用，除非上下文明确指示不是如此。这里所使用的词汇“诸如”指词组“诸如但不限于”，且可与其互换使用。

还需要指出的是，在本申请的装置、设备和方法中，各部件或各步骤是可以分解和/或重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本申请的等效方案。

提供所公开的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够做出或者使用本申请。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是非常显而易见的，并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本申请的范围。因此，本申请不意图被限制到在此示出的方面，而是按照与在此公开的原理和新颖的特征一致的最宽范围。

为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外，此描述不意图将本申请的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例，但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。