发明内容

为了克服上述不足，本发明提供了一种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法，它能提高陶瓷介质窗的加工效率，降低生产成本，烧结过程不易变形。

为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法，包括以下步骤：a、将陶瓷粉料装入冷等精压成型模具中；b、将装满陶瓷粉料的冷等精压成型模具放入冷等精压容器中，采用冷等静压缸对冷等静压成型模具加压，并保压；c、取出冷等精压成型模具，并脱模取出陶瓷介质窗生坯；d、对陶瓷介质窗生坯外轮廓进行磨削加工；e、将完成外轮廓磨削的陶瓷介质窗生坯放入烧结炉内进行烧结，烧结炉内设置支撑台，支撑台上设置若干支撑凸环，陶瓷介质窗生坯开口朝上支撑在支撑凸环上，烧结炉内装入烧结砂；f、烧结完成后取出烧结后的陶瓷介质窗。

采用冷等静压成型方式加工出陶瓷介质窗生坯，陶瓷介质窗生坯内轮廓直接成型到位，而对陶瓷介质窗生坯的外轮廓采用磨削加工。有利于提高加工效率。陶瓷介质窗生坯装入烧结炉进行烧结时，通过支撑台进行支撑，支撑凸环给陶瓷介质窗生坯提供支撑点，再加上烧结砂对陶瓷介质窗生坯的支撑，使陶瓷介质窗生坯烧结过程中不易发生大幅变形的现象。这种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法能提高陶瓷介质窗的加工效率，降低生产成本，烧结过程不易变形。

作为优选，陶瓷介质窗呈半球壳状结构，陶瓷介质窗顶部设有凸环，步骤e中凸环支撑在烧结炉底部。

作为优选，支撑凸环上表面呈弧形曲面结构且与陶瓷介质窗外表面相适配，支撑台上设有和凸环适配的通孔，凸环置于通孔中，支撑台上相邻支撑凸环之间形成蓄热环槽。通孔方便了凸环的支撑，蓄热环腔便于烧结过程中的均匀受热。

作为优选，烧结炉包括台板、设置在台板上的一圈烧结壁，支撑台放置在台板上。烧结炉结构简单，烧结效果好。

作为优选，冷等精压成型模具包括成型芯棒、橡胶外套、底板、底座，成型芯棒下端和橡胶外套下端均与底板连接，底板、成型芯棒均紧固连接在底座上，橡胶外套置于成型芯棒外，成型芯棒和橡胶外套之间形成成型腔，橡胶外套上端设有装料口，陶瓷粉料通过装料口装入成型腔内，进行步骤b时在装料口盖上封盖。

成型芯棒和橡胶外套共同对陶瓷介质窗生坯起定型作用。装料口方便陶瓷粉料装入成型腔内。

作为优选，步骤a中冷等精压成型模具的成型腔内装满陶瓷粉料后，将冷等精压成型模具装载到振动装置上将冷等精压成型模具内的陶瓷粉料振实；振动装置包括固定座、升降台，升降台可升降安装在固定座上，升降台和固定座之间连接回位弹簧，升降台上安装推动柱，固定座上安装由电机带动转动的转盘，转盘上均布设有若干顶杆，顶杆随转盘一起转动拨动推动柱向上移动；升降台上安装补料架，补料架上安装补料筒；冷等精压成型模具安装在升降台上进行振动操作，补料筒和装料口之间连接柔性套，补料筒内装入陶瓷粉料；转盘转动，转盘上的顶杆推动升降台向上移动，移动到顶后顶杆与推动柱分离，升降台快速下降使升降台产生振动。

冷等精压成型模具的成型腔内装满陶瓷粉料后，振动装置对冷等精压成型模具内的陶瓷粉料振实，有利于提高烧结后的陶瓷介质窗的强度，提高产品的品质。

作为优选，成型芯棒上设有开口朝下的凹槽使成型芯棒截面呈倒U形结构，升降台上安装支座，支座上安装齿轮、摆杆，摆杆铰接在支座上，摆杆上端连接缓冲弹簧，缓冲弹簧上连接撞击球，摆杆上设有长条形的推动滑槽，齿轮上设有滑柱，滑柱插装在推动滑槽中且可在推动滑槽内滑动，固定座上安装齿条，齿条与齿轮啮合传动；升降台升降过程中齿轮转动，带动摆杆左右摇摆使撞击球撞击到成型芯棒上对冷等精压成型模具进行振动。

升降台上下移动对冷等精压成型模具振动的同时，齿条与齿轮啮合传动，齿轮转动带动摆杆摆动，使撞击球不断撞击到成型芯棒上，对冷等精压成型模具进行振动，进一步振实陶瓷粉料。

作为优选，升降台上设有若干导柱，固定座上和导柱对应设有插孔，导柱与插孔插装在一起，导柱上连接上定位块和下定位块，上定位块抵接在固定座上表面上，回位弹簧抵接在固定座下表面和下定位块上。在升降台升降的过程中，导柱起到了很好的导向和定位作用。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：（1）等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法能提高陶瓷介质窗的加工效率，降低生产成本，烧结过程不易变形；（2）等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法能提高陶瓷介质窗的加工效率，降低生产成本，烧结过程不易变形。